自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于晶棒切片輔助設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在晶棒通過切片機(jī)切成硅晶片之后，需要對硅晶片進(jìn)行清洗，清洗后通過自動插片機(jī)將清洗后的硅晶片插入到晶片盒中，以便進(jìn)行下一步的烘干處理。在通過自動插片機(jī)插片的過程中，通過夾持裝置夾持晶片盒并移動至插片位置，再通過自動送片裝置將硅晶片插入晶片盒內(nèi)?，F(xiàn)有自動插片機(jī)的夾持裝置中大都采用氣動裝置作為動力來源，氣動裝置固定的牢靠性會對夾持裝置的運(yùn)作產(chǎn)生直接影響，現(xiàn)有夾持裝置中大都存在氣動裝置安裝牢固性較差及安裝操作繁瑣的問題亟待解決。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種晶片盒夾持裝置，能夠?qū)鈩友b置牢靠的固定在安裝架上。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，包括安裝架和左右對稱安裝在安裝架上的氣動裝置，所述氣動裝置的氣缸桿端部固定有適于夾持晶片盒的夾板，所述安裝架的上表面為平面，該平面上左右兩端分別設(shè)有用于安裝兩個氣動裝置的安裝區(qū)，兩安裝區(qū)之間設(shè)有讓位區(qū)，所述安裝區(qū)上設(shè)有沿左右方向設(shè)置的燕尾凸臺或/和燕尾槽，所述氣動裝置上設(shè)有適于與所述燕尾凸臺或/和燕尾槽配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺，所述安裝架上設(shè)有用于對所述的各氣動裝置軸向定位的定位結(jié)構(gòu)。
[0005]作為改進(jìn)，定位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述安裝區(qū)的外側(cè)端的定位板，所述定位板通過至少一根螺栓與氣動裝置連接。
[0006]作為改進(jìn)，定位結(jié)構(gòu)還包括成型于所述安裝區(qū)的安裝槽、設(shè)于所述安裝槽內(nèi)的限位件和設(shè)于所述安裝槽內(nèi)為所述限位件提供向上彈力的彈簧，所述限位件靠近讓位區(qū)的一側(cè)為斜面，遠(yuǎn)離讓位區(qū)的一側(cè)為阻擋面，所述氣動裝置安裝到位時所述限位件的所述阻擋面抵在所述氣動裝置的后端。
[0007]作為改進(jìn)，定位板內(nèi)側(cè)面上成型有定位凹槽或定位凸臺，所述氣動裝置的前端面上成型有適于與所述定位凹槽或定位凸臺配合的定位凸臺或定位凹槽。
[0008]作為改進(jìn)，定位凹槽和所述定位凸臺為相匹配的環(huán)狀或矩形塊狀。
[0009]采用上述結(jié)構(gòu)后，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0010]1、在氣動裝置安裝時，先將氣動裝置置于讓位區(qū)內(nèi)，將氣動裝置上燕尾凸臺或者燕尾槽與安裝區(qū)的燕尾凸臺或燕尾槽對準(zhǔn)后，推動氣動裝置使燕尾槽與對應(yīng)的燕尾凸臺形成配合，在氣動裝置移動到固定位置時通過所述定位結(jié)構(gòu)對氣動裝置進(jìn)行軸向定位，從而將氣動裝置固定在安裝架的安裝區(qū)內(nèi)，這樣就能夠?qū)鈩友b置便捷且牢靠的固定在安裝架上。
[0011]2、通過燕尾槽和對應(yīng)的燕尾凸臺配合后，實(shí)現(xiàn)了氣動裝置在除其軸向以外的其它方向上的定位，只需要使用螺栓(最少可使用一根螺栓)將定位板與氣動裝置固定，即可實(shí)現(xiàn)軸向定位，進(jìn)一步為了加強(qiáng)軸向定位效果，在氣動裝置后端設(shè)置了限位件，在氣動裝置安裝到位時，通過限位件的阻擋面抵住氣動裝置的后端，從而有效確保氣動裝置固定的牢靠性，并且結(jié)構(gòu)簡化合理，氣動裝置拆裝便捷。
[0012]3、進(jìn)一步，在定位板的內(nèi)側(cè)與氣動裝置的前端分別設(shè)置相配的環(huán)狀定位凹槽或定位凸臺，進(jìn)行輔助定位，增加氣動裝置與定位板之間的定位可靠性。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為本實(shí)用新型一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置安裝架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖3為本實(shí)用新型一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置的氣動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖4為本實(shí)用新型一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置的限位件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中所示，1、氣動裝置，2、安裝架，3、夾板，4、燕尾凸臺，5、燕尾槽，6、定位板，7、安裝區(qū)，8、讓位區(qū)，9、限位件，10、彈簧，11、定位凹槽，12、定位凸臺，13、斜面，14、通孔，15、螺栓。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明:
[0019]本實(shí)用新型一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，如圖1所示，其包括安裝架2和左右對稱安裝在安裝架2上的氣動裝置I，所述氣動裝置I的氣缸桿端部固定有適于夾持晶片盒的夾板3，安裝架2的上表面為平面，該平面上左右兩端分別設(shè)有用于安裝兩個氣動裝置I的安裝區(qū)7，兩安裝區(qū)7之間設(shè)有讓位區(qū)8，所述安裝區(qū)7上設(shè)有沿左右方向(即氣動裝置軸線方向)設(shè)置的燕尾凸臺4或/和燕尾槽5，所述氣動裝置I上設(shè)有適于與所述燕尾凸臺4或/和燕尾槽5配合的燕尾槽5或/和燕尾凸臺4，所述安裝架2上設(shè)有用于對所述的各氣動裝置I軸向定位的定位結(jié)構(gòu)。采用上述結(jié)構(gòu)，在氣動裝置I安裝時，推動氣動裝置I使燕尾槽5與對應(yīng)的燕尾凸臺4形成配合，在氣動裝置I移動到固定位置時通過所述定位結(jié)構(gòu)對氣動裝置I進(jìn)行軸向定位，從而使氣動裝置I可靠的固定在安裝架2的安裝區(qū)7內(nèi)，這樣就能夠?qū)鈩友b置I便捷且牢靠的固定在安裝架2上。實(shí)踐操作中，所述燕尾槽5可設(shè)置在所述安裝區(qū)7與所述氣動裝置I中的一個上，將對應(yīng)的燕尾凸臺4設(shè)置在所述安裝區(qū)7與所述氣動裝置I中的另一個上，當(dāng)然，也可在所述氣動裝置I上同時設(shè)置燕尾槽5和燕尾凸臺4，并在安裝區(qū)7設(shè)置與之對應(yīng)的燕尾凸臺4和燕尾槽5。
[0020]所述定位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述安裝區(qū)7的外側(cè)端的定位板6，所述定位板6通過至少一根螺栓15與氣動裝置I連接，在通過燕尾槽5和對應(yīng)的燕尾凸臺4配合后，實(shí)現(xiàn)了氣動裝置I在除軸向以外的其它方向上的定位，這樣只需要使用螺栓15(最少可使用一根螺栓15)將定位板6與氣動裝置I固定，即可實(shí)現(xiàn)軸向定位;進(jìn)一步為了加強(qiáng)軸向定位效果，在氣動裝置I后端設(shè)置了限位件9，在氣動裝置I安裝到位時，通過限位件9的阻擋面抵住氣動裝置I的后端，從而有效確保氣動裝置I固定的牢靠性，并且結(jié)構(gòu)簡化合理，氣動裝置拆裝便捷，所述限位件9靠近讓位區(qū)8的一側(cè)為斜面13，遠(yuǎn)離讓位區(qū)8的一側(cè)為阻擋面，所述阻擋面與所述安裝區(qū)表面垂直，所述氣動裝置I安裝到位時所述限位件9的所述阻擋面抵在所述氣動裝置I的后端，在氣動裝置I安裝時，限位件9通過斜面13受力，壓縮所述彈簧10，在氣動裝置I安裝到位后，彈簧10產(chǎn)生向上的復(fù)位彈力使限位件9彈起，阻擋面抵住氣動裝置I的后端，進(jìn)一步有效的限制了氣動裝置I的軸向運(yùn)動方向，拆卸氣動裝置I時，先拆除螺栓15，再通過手指或工具將限位件9向下按壓，至安裝槽內(nèi)，然后推動氣動裝置I沿左右方向移動至讓位區(qū)8內(nèi)即可完成氣動裝置I的拆卸，在拆換氣動裝置I時操作尤為便捷。
[0021]更進(jìn)一步，定位板6內(nèi)側(cè)面上成型有定位凹槽11或定位凸臺12，所述氣動裝置I的前端面上成型有適于與所述定位凹槽11或定位凸臺12配合的定位凸臺12或定位凹槽11，通過在定位板6內(nèi)側(cè)和氣動裝置I前端設(shè)置定位凹槽11或定位凸臺12，使其在完成安裝后，定位凹槽11和定位凸臺12配合，用于進(jìn)一步限制氣動裝置I軸向的移動，同時提高了安裝時的精度和安裝完成后定位的牢固和可靠性。本實(shí)施例中的所述定位凹槽11和所述定位凸臺12為相匹配的環(huán)狀，實(shí)踐操作中，所述定位凹槽11和所述定位凸臺12也可加工成相匹配的矩形塊狀。
[0022]本實(shí)施例中的氣動裝置I優(yōu)選雙桿氣缸，雙桿氣缸的氣缸桿穿過定位板6上的通孔14后連接夾板3，兩夾板3可在氣缸桿的帶動下相離或相向移動。
[0023]本實(shí)施例中，所述夾板3的下端還具有和晶片盒上對應(yīng)凹槽配合的凸條，從而提高夾持晶片盒時的可罪性及穩(wěn)定性。
[0024]以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，故凡依本專利申請范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實(shí)用新型專利申請范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，包括安裝架(2)和左右對稱安裝在安裝架(2)上的氣動裝置(I)，所述氣動裝置(I)的氣缸桿端部固定有適于夾持晶片盒的夾板(3)，其特征在于，所述安裝架(2)的上表面為平面，該平面上左右兩端分別設(shè)有用于安裝兩個氣動裝置(I)的安裝區(qū)(7)，兩安裝區(qū)(7)之間設(shè)有讓位區(qū)(8)，所述安裝區(qū)(7)上設(shè)有沿左右方向設(shè)置的燕尾凸臺(4)或/和燕尾槽(5)，所述氣動裝置(I)上設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(4)或/和燕尾槽(5)配合的燕尾槽(5)或/和燕尾凸臺(4)，所述安裝架(2)上設(shè)有用于對所述的各氣動裝置(I)軸向定位的定位結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，其特征在于，所述定位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述安裝區(qū)(7)的外側(cè)端的定位板(6)，所述定位板(6)通過至少一根螺栓(15)與氣動裝置(I)連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，其特征在于，所述定位結(jié)構(gòu)還包括成型于所述安裝區(qū)(7)的安裝槽、設(shè)于所述安裝槽內(nèi)的限位件(9)和設(shè)于所述安裝槽內(nèi)為所述限位件(9)提供向上彈力的彈簧(10)，所述限位件(9)靠近讓位區(qū)(8)的一側(cè)為斜面(13)，遠(yuǎn)離讓位區(qū)(8)的一側(cè)為阻擋面，所述氣動裝置(I)安裝到位時所述限位件(9)的所述阻擋面抵在所述氣動裝置(I)的后端。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，其特征在于，所述定位板(6)內(nèi)側(cè)面上成型有定位凹槽或定位凸臺，所述氣動裝置(I)的前端面上成型有適于與所述定位凹槽或定位凸臺配合的定位凸臺或定位凹槽。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，其特征在于，所述定位凹槽(II)和所述定位凸臺(12)為相匹配的環(huán)狀或塊狀。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種自動插片機(jī)的晶片盒夾持裝置，包括安裝架和安裝在安裝架上的氣動裝置，氣動裝置的氣缸桿端部固定有夾板，安裝架上設(shè)有安裝區(qū)，兩安裝區(qū)之間設(shè)有讓位區(qū)，安裝區(qū)上設(shè)有燕尾凸臺或/和燕尾槽，氣動裝置上設(shè)有適于與燕尾凸臺或/和燕尾槽配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺，安裝架上設(shè)有定位結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的氣動裝置安裝時，先將氣動裝置置于讓位區(qū)內(nèi)，將其上燕尾凸臺或者燕尾槽與安裝區(qū)的燕尾凸臺或燕尾槽對準(zhǔn)后，推動氣動裝置使燕尾槽與對應(yīng)的燕尾凸臺形成配合，在氣動裝置移動到固定位置時通過定位結(jié)構(gòu)對氣動裝置進(jìn)行軸向定位，這樣就能夠?qū)鈩友b置便捷且牢靠的固定在安裝架上。
【IPC分類】B65G49/07, B65G47/90
【公開號】CN205187337
【申請?zhí)枴緾N201521014153
【發(fā)明人】蔣軍
【申請人】海寧光泰太陽能工業(yè)有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年12月9日