基板對位機構(gòu)與基板對位方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種面板生產(chǎn)設(shè)備與工藝，尤其涉及一種基板對位機構(gòu)與基板對位方法。
【背景技術(shù)】
[0002]基板的對位是傳送設(shè)備以及基板在進入制程設(shè)備時必不可少的一個動作，主要目的是為了修正基板的位置，使基板進入制程設(shè)備時位置準確，保證制程設(shè)備能夠順利進行下一步工藝制程，以及防止基板因為位置的錯位造成傳送過程中與設(shè)備干涉造成缺角或破片。
[0003]請參閱圖1至圖3，為一種現(xiàn)有的基板對位機構(gòu)的示意圖。該基板對位機構(gòu)包括數(shù)個支撐柱100、及位于所述數(shù)個支撐柱100兩側(cè)的數(shù)個對位柱200。所述數(shù)個支撐柱100用于在對位過程中承載基板300，所述基板300的底面直接與所述數(shù)個支撐柱100相接觸，通過所述數(shù)個對位柱200分別從兩側(cè)對所述基板300進行夾持，從而實現(xiàn)對所述基板300的對位。
[0004]上述基板對位機構(gòu)在對位時主要依靠氣缸(未圖示)的推力來矯正基板300的位置，對位過程中基板300與數(shù)個支撐柱100之間存在相對位置的移動摩擦，容易造成基板300背面刮傷，基板300背面刮傷問題會造成后制程基板薄化不良，最終導致產(chǎn)品降等出貨或者報廢。
[0005]因此，有必要提供一種新的基板對位機構(gòu)與基板對位方法，以解決現(xiàn)有的基板對位過程中，由于基板與支撐柱之間存在相對位置的移動摩擦而造成基板背面刮傷，進而造成后制程基板薄化不良的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種基板對位機構(gòu)，可削減對位時基板與支撐柱發(fā)生相對位置移動所產(chǎn)生的摩擦力，避免基板背面刮傷，從而改善基板薄化不良。
[0007]本發(fā)明的目的還在于提供一種基板對位方法，可削減對位時基板與支撐柱發(fā)生相對位置移動所產(chǎn)生的摩擦力，避免基板背面刮傷，從而改善基板薄化不良。
[0008]本發(fā)明的目的還在于提供另一種基板對位方法，可削減對位時基板與支撐柱發(fā)生相對位置移動所產(chǎn)生的摩擦力，避免基板背面刮傷，從而改善基板薄化不良。
[0009]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種基板對位機構(gòu)，包括數(shù)個支撐柱、及位于所述數(shù)個支撐柱兩側(cè)的數(shù)個對位柱；所述支撐柱包括本體及設(shè)于所述本體頂部的滾珠；
[0010]所述數(shù)個支撐柱用于在對位過程中承載基板，所述基板的底面與所述滾珠相接觸，通過所述數(shù)個對位柱分別從兩側(cè)對所述基板進行夾持，從而實現(xiàn)對所述基板的對位。
[0011]所述滾珠的硬度小于所述基板的硬度。
[0012]所述滾珠的材料為超高分子量聚乙烯。
[0013]所述滾珠可在所述支撐柱的本體中上升與下降。
[0014]所述數(shù)個支撐柱的左右兩側(cè)均設(shè)有兩個對位柱，且每側(cè)的兩個對位柱之間的距離相等。
[0015]所述數(shù)個對位柱與氣缸相連接，通過所述氣缸的推力控制所述對位柱對所述基板進行夾持對位。
[0016]本發(fā)明還提供一種基板對位方法，包括如下步驟:
[0017]步驟1、提供一基板傳送設(shè)備，所述基板傳送設(shè)備包括轉(zhuǎn)軸、設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸上的數(shù)個滾輪、設(shè)于所述數(shù)個滾輪下方的數(shù)個支撐柱、及位于所述數(shù)個支撐柱兩側(cè)的數(shù)個對位柱；
[0018]所述數(shù)個滾輪用于在基板傳送過程中承載基板；所述數(shù)個支撐柱用于在基板對位過程中承載基板；所述數(shù)個對位柱用于在基板對位過程中對基板進行夾持對位；
[0019]所述數(shù)個支撐柱可相對所述數(shù)個滾輪上升與下降；所述支撐柱包括本體及設(shè)于所述本體頂部的滾珠；
[0020]將基板放置于所述數(shù)個滾輪上；
[0021]步驟2、當需要對基板進行位置矯正時，控制所述數(shù)個支撐柱上升，使所述基板的底面與所述支撐柱的滾珠相接觸，將所述基板從所述數(shù)個滾輪上頂起；
[0022]步驟3、控制所述數(shù)個對位柱分別從兩側(cè)對所述基板進行夾持對位；
[0023]步驟4、控制所述數(shù)個支撐柱下降，使所述基板回落至所述數(shù)個滾輪上，并控制所述數(shù)個對位柱松開基板，從而完成對所述基板的對位。
[0024]本發(fā)明還提供一種基板對位方法，包括如下步驟:
[0025]步驟1、提供一基板旋轉(zhuǎn)設(shè)備，所述基板旋轉(zhuǎn)設(shè)備包括數(shù)個支撐柱、及位于所述數(shù)個支撐柱兩側(cè)的數(shù)個對位柱；
[0026]所述數(shù)個支撐柱用于在基板旋轉(zhuǎn)和對位過程中承載基板；所述數(shù)個對位柱用于在基板對位過程中對基板進行夾持對位；
[0027]所述支撐柱包括本體及設(shè)于所述本體頂部的滾珠；所述滾珠可在所述本體中上升或下降；
[0028]將基板放置于所述數(shù)個支撐柱上，所述基板的底面與所述數(shù)個支撐柱的本體相接觸；
[0029]步驟2、當需要對基板進行位置矯正時，控制所述數(shù)個支撐柱的滾珠上升，使所述基板的底面與所述滾珠相接觸，將所述基板從所述數(shù)個支撐柱的本體上頂起；并控制所述數(shù)個對位柱分別從兩側(cè)對所述基板進行夾持對位；
[0030]步驟3、控制所述滾珠下降，使所述基板回落至所述數(shù)個支撐柱的本體上，并控制所述數(shù)個對位柱松開基板，從而完成對所述基板的對位。
[0031]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供的基板對位機構(gòu)，通過在支撐柱的頂部設(shè)置滾珠，可削減對位時基板與支撐柱發(fā)生相對位置移動所產(chǎn)生的摩擦力，避免基板背面刮傷，從而改善基板薄化不良。本發(fā)明提供的一種基板對位方法，通過在基板傳送設(shè)備中設(shè)置上述基板對位機構(gòu)，削減了對位過程中基板與支撐柱發(fā)生相對位置移動所產(chǎn)生的摩擦力，避免了基板背面刮傷，從而改善了基板薄化不良。本發(fā)明提供的另一種基板對位方法，通過在基板旋轉(zhuǎn)設(shè)備中設(shè)置上述基板對位機構(gòu)，削減了對位過程中基板與支撐柱發(fā)生相對位置移動所產(chǎn)生的摩擦力，避免了基板背面刮傷，從而改善了基板薄化不良。
【附圖說明】
[0032]為了能更進一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
[0033]附圖中，
[0034]圖1為一種現(xiàn)有的基板對位機構(gòu)的俯視不意圖；
[0035]圖2為米用圖1的基板對位機構(gòu)對基板進彳丁夾持對位的不意圖；
[0036]圖3為圖1的基板對位機構(gòu)的主視不意圖；
[0037]圖4為本發(fā)明的基板對位機構(gòu)的主視示意圖；
[0038]圖5為本發(fā)明的基板對位方法第一實施例的步驟I的示意圖；
[0039]圖6為本發(fā)明的基板對位方法第一實施例的步驟2的示意圖；
[0040]圖7為本發(fā)明的基板對位方法第一實施例的步驟3的示意圖；
[0041]圖8為本發(fā)明的基板對位方法第一實施例的步驟4的示意圖；
[0042]圖9為本發(fā)明的基板對位方法第二實施例的步驟I的示意圖；
[0043]圖10為本發(fā)明的基板對位方法第二實施例的步驟2的示意圖；
[0044]圖11為本發(fā)明的基板對位方法第二實施例的步驟3的示意圖。
【具體實施方式】
[0045]為更進一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進行詳細描述。
[0046]請參閱圖4，本發(fā)明首先提供一種基板對位機構(gòu)，包括數(shù)個支撐柱1、及位于所述數(shù)個支撐柱I兩側(cè)的數(shù)個對位柱2 ;所述支撐柱I包括本體11及設(shè)于所述本體11頂部的滾珠12。所述數(shù)個支撐柱I用于在對位過程中承載基板3，所述基板3的底面與所述滾珠12相接觸，通過所述數(shù)個對位柱2分別從兩側(cè)對所述基板3進行夾持，從而實現(xiàn)對所述基板3的對位。
[0047]具體的，所述滾珠12的硬度小于所述基板3的硬度，并且具有耐磨性，以在保證滾珠使用壽命的前提下防止?jié)L珠對基板造成損壞。
[0048]優(yōu)選的，所述滾珠12的材料為超高分子量聚乙稀(UPE，Ultra-high molecularWeight Polyethylene)。
[0049]具體的，根據(jù)該基板對位機構(gòu)所應(yīng)用的具體設(shè)備的特性，所述滾珠12可根據(jù)需要設(shè)置成可在所述支撐柱I的本體11中上升與下降。
[0050]具體的，所述數(shù)個支撐柱I的兩側(cè)均設(shè)有兩個對位柱2，且每側(cè)的兩個對位柱2之間的距離相等，以保證對基板3進行準確的對位。
[0051]具體的，所述數(shù)個對位柱2與氣缸(未圖示)相連接，通過所述氣缸的推力控制所述對位柱2對所述基板3進行夾持對位。
[0052]請參閱圖5至圖8，本發(fā)明還提供一種基板對位方法，包括如下步驟:
[0053]步驟1、如圖5所示，提供一基板傳送設(shè)備，所述基板傳送設(shè)備包括轉(zhuǎn)軸4、設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸4上的數(shù)個滾輪5、設(shè)于所述數(shù)個滾輪5下方的數(shù)個支撐柱I’、及位于所述數(shù)個支撐柱I’兩側(cè)的數(shù)個對位柱2’。
[0054]所述數(shù)個滾輪5用于在基板傳送過程中承載基板；所述數(shù)個支撐柱I’用于在基板對位過程中承載基板；所述數(shù)個對位柱2’用于在基板對位過程中對基板進行夾持對位。
[0055]所述數(shù)個支撐柱I’可相對所述數(shù)個滾輪5上升與下降；所述支撐柱I’包括本體11’及設(shè)于所述本體11’頂部的滾珠12’。
[0056]將基板