專利名稱：儲料器和自動傳送車以及液晶顯示器件制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于密封型玻璃襯底盒的儲料器和自動傳送車，以及使用了這些設(shè)備的液晶顯示器件制造裝置，這些設(shè)備和裝置能夠以低成本和小空間實現(xiàn)節(jié)省用于制作液晶顯示器件的處理裝置群的空間，以及降低處理裝置的成本，并且能抑制雜質(zhì)對于玻璃襯底的附著。
以往，在制作液晶顯示器件時，為了極力避免雜質(zhì)在作為原材料的玻璃襯底上的附著，是把玻璃襯底收容到具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒中進(jìn)行保管或者進(jìn)行向處理裝置群的傳送。
以往使用的密封型玻璃襯底盒使用圖3所示的滑動式盒體等。圖3的滑動式盒體28是用于收容玻璃襯底，標(biāo)線片(reticule)等襯底的盒體，由收容玻璃襯底21的收容盒22，蓋23，框架26構(gòu)成。另外，24是用于支持蓋23的彈性板，25是使蓋23上下移動的開閉控制桿。27是一端固定在開閉控制桿25上的皮帶，防止由開閉控制桿25引起蓋23在密封狀態(tài)下浮起。圖4中還示出了從滑動框架拉出的收容盒22的單一部分。
圖3的收容了玻璃襯底的盒體28，例如在圖6所示的液晶顯示器件制造裝置的情況中，于蓋23關(guān)閉了的狀態(tài)下收容到儲料器37內(nèi)，可根據(jù)需要從出庫口34，35取出，用自動傳送車33(以下稱為AGV)傳送。
當(dāng)?shù)竭_(dá)了預(yù)定的處理裝置32之前，可用分別設(shè)置在各處理裝置32的入口P(或者出入口附近)的蓋開閉機(jī)構(gòu)36打開盒體的蓋23，取出盒體內(nèi)部的玻璃襯底21進(jìn)行預(yù)定的處理。
作為蓋開閉機(jī)構(gòu)36，使用了例如具有圖5所示那種拉出部件41以及操作桿41a的水平移動機(jī)構(gòu)。
在使用圖5所示的蓋開閉機(jī)構(gòu)36進(jìn)行圖3中盒體28的開閉時，首先，將包含有拉出部件41的蓋開閉機(jī)構(gòu)36結(jié)合到收容盒22的側(cè)部向圖中左側(cè)移動。
這時，操作桿41a碰合上述開閉控制桿25，使開閉控制桿25沿順時針方向轉(zhuǎn)動，由此使蓋26整體向上方浮起。
接著，操作桿41a在彈性作用下越過處于打開位置的開閉控制桿25，進(jìn)而使蓋開閉機(jī)構(gòu)36向左側(cè)移動，由未圖示的設(shè)置在收容盒22中的止動部件止動。
蓋開閉機(jī)構(gòu)36在該止動部件的位置停止以后，僅向圖中的上方稍稍移動。于是，設(shè)置在收容盒22側(cè)面的未圖示的部件把旋轉(zhuǎn)滾輪41b向下按壓，以轉(zhuǎn)動支點41c為中心反時針方向地轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)滾輪41b以及操作桿41a。
由此，操作桿41a和開閉控制桿25在高度上成為互不干涉的關(guān)系。
隨后由拉出部件41拉出包含有玻璃襯底21的收容盒22，向圖中右側(cè)方向傳送。
由于操作桿41a和開閉控制桿25像上述那樣互不干涉，所以在操作桿41a向右側(cè)移動時，不會使開閉控制桿25發(fā)生變化，而蓋26保持成開放狀態(tài)。
這樣，水平移動機(jī)構(gòu)40便在向垂直方向稍稍上升的狀態(tài)下返回到水平方向的基準(zhǔn)位置。
在把處理后的玻璃襯底21收容到盒體28中的情況下，則可以進(jìn)行和上述過程相反的操作。
然而，在以往那樣的液晶顯示器件制造裝置的情況下，由于在處理裝置上分別設(shè)置著蓋開閉機(jī)構(gòu)，因此不可避免地存在著處理裝置大型化的問題。特別是近年來，對于液晶顯示器件具有大畫面化的傾向，與此相伴，蓋開閉機(jī)構(gòu)以及具有蓋開閉機(jī)構(gòu)的處理裝置也越來越大型化。
伴隨著這樣的大型化，各個處理裝置的制造成本也將增加。
另一方面，如果不采用帶蓋的盒體以及蓋開閉機(jī)構(gòu)，則又會有玻璃襯底大量附著雜質(zhì)的問題。特別是對于近年來見到的大幀面用的玻璃襯底將會附著更為大量的雜質(zhì)。雜質(zhì)的附著成為導(dǎo)致成品率降低的原因。
本發(fā)明是為解決上述這類問題而提出的，目的在于提供用于密封型玻璃襯底盒體的儲料器和AGV，以及使用了這些設(shè)備的液晶顯示器件制造裝置，這些設(shè)備和裝置能夠以低成本和小空間實現(xiàn)節(jié)省處理裝置群的空間，以及降低處理裝置的成本，并能抑制雜質(zhì)對于玻璃襯底的附著。
本發(fā)明的儲料器是用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的儲料器，特征在于，它具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的AGV是用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的AGV，特征在于，它具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明第1方案的液晶顯示器件制造裝置是由用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的儲料器、用于對玻璃襯底實施為制作液晶顯示器件的處理的至少1臺處理裝置以及用于在上述儲料器和處理裝置之間傳送盒體的AGV構(gòu)成，特征在于，上述儲料器具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)。
最好設(shè)置2個上述儲料器的出庫口，并且在各個出庫口上設(shè)置上述蓋開閉機(jī)構(gòu)。
最好設(shè)置多臺上述AGV。
本發(fā)明第2方案的液晶顯示器件制造裝置是由用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的儲料器、用于對玻璃襯底實施為制作液晶顯示器件的處理的至少1臺處理裝置以及用于在上述儲料器和處理裝置之間傳送盒體的AGV構(gòu)成，特征在于，上述AGV具有用于開閉上述儲料器的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)。
依據(jù)本發(fā)明，則將具有以下的主要特征，即通過在儲料器或AGV的任一個上設(shè)置以往分別在各處理裝置上設(shè)置的用于開閉密封型玻璃襯底盒的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)，以達(dá)到蓋開閉機(jī)構(gòu)的通用化。根據(jù)這一特征，能夠在各個處理裝置中除去蓋開閉機(jī)構(gòu)，結(jié)果就能以低成本和小空間實現(xiàn)節(jié)省處理裝置群的空間以及降低處理裝置的成本并且抑制雜質(zhì)對于玻璃襯底的附著。


圖1是示明第1方案的液晶顯示器件制造裝置的一實施例的說明圖。
圖2是示明第2方案的液晶顯示器件制造裝置的一實施例的說明圖。
圖3是襯底盒的斜視圖。
圖4是圖3中收容盒的斜視圖。
圖5是蓋開閉機(jī)構(gòu)的斜視圖。
圖6是以往的液晶顯示器件制造裝置的平面圖。
圖7是門式盒體的斜視圖。
發(fā)明實施例下面，參照附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的用于密封型玻璃襯底盒的儲料器和AGV，以及使用了這些設(shè)備的液晶顯示器件制造裝置。圖1是示明第3方案的液晶顯示器件制造裝置的一實施例的說明圖，圖2是示明第6方案的液晶顯示器件制造裝置的一實施例的說明圖。
圖1所示的液晶顯示器件制造裝置由收容了具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒(例如圖3所示的以往的滑動式盒體)的清理儲料器7、用于對玻璃襯底實施為制作液晶顯示器件的處理的多個處理裝置2和用于在上述清理儲料器7和處理裝置2之間傳送盒體的AGV3構(gòu)成。
另外，清理儲料器7具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)6。蓋開閉機(jī)構(gòu)6例如能夠取圖5所示那種滑動式盒體用的蓋開閉機(jī)構(gòu)或者圖7所示那種可適用于門式盒體的蓋開閉機(jī)構(gòu)(未圖示)等。
圖7的門式盒體在門37的上端固定著軸棒39，軸棒39可自由旋轉(zhuǎn)地支撐在盒體40的上端，在門37以及盒體40的相對面上設(shè)置著磁鐵38。門37用磁鐵38的磁力關(guān)閉。蓋開閉機(jī)構(gòu)通過把向打開方向的旋轉(zhuǎn)力供給到軸棒39和門37上，能夠把門打開。另一方面，如果在半開的狀態(tài)下去掉旋轉(zhuǎn)力，則門37可由磁鐵38的磁力自然地閉合。
本發(fā)明對于用于開閉具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒以及蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)并不特別指定具體的構(gòu)造，能夠采用以往眾所周知的種種形態(tài)。
另外，本發(fā)明的制造裝置具有用于向AGV發(fā)送傳送指令，以及在各個AGV之間進(jìn)行塊控制的傳送控制器1。
如上所述，依據(jù)在清理儲料器7上設(shè)置蓋開閉機(jī)構(gòu)6，在本發(fā)明的儲料器以及使用了該儲料器的液晶顯示器件制造裝置中，就能夠去掉在各個處理裝置2上的蓋開閉機(jī)構(gòu)。結(jié)果能夠使處理裝置2實現(xiàn)大幅度地節(jié)省空間。與此相伴，在制造處理裝置2時，還能夠大幅度地降低制造成本。進(jìn)而能夠以低成本和小空間實現(xiàn)抑制雜質(zhì)對于玻璃襯底的附著。
另外，圖1所示的液晶顯示器件制造裝置在上述清理儲料器7上設(shè)置了兩個出庫口，在各個出庫口4，5上設(shè)置了上述蓋開閉機(jī)構(gòu)6。從而，通過一方的出庫口4或者5的蓋開閉機(jī)構(gòu)6，就能在閉合盒體的蓋的期間由另一方出庫口的蓋開閉機(jī)構(gòu)6打開盒體的蓋，從而能夠使AGV3的等待時間減少，提高生產(chǎn)效率。
由于設(shè)置了多臺上述AGV，因此能夠同時地把盒體從儲料器向多臺處理裝置傳送或者傳回，從而能夠大幅度地提高傳送效率。
在圖1所示的液晶顯示器件制造裝置中，由于用傳送控制器1集中控制了制造裝置的工作狀況(位置狀況)以及AGV傳送，因此能夠最大限度地提高制造裝置的能力、AGV的傳送能力。
另外，作為上述處理裝置2，可以舉出以往眾所周知的處理裝置，例如CVD裝置、照相制版裝置、刻蝕裝置等。
圖2所示的液晶顯示器件制造裝置，在由收容了具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒(例如圖3所示的以往的滑動式盒體)的清理儲料器7、用于對于玻璃襯底實施為制作液晶顯示器件的處理的多個處理裝置2和用于在上述清理儲料器7和處理裝置2之間傳送盒體的AGV3構(gòu)成這一點上，和上述圖1的制造裝置相同。不過，與清理儲料器7不同，AGV3具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)6。其它的由圖1中符號相同的符號標(biāo)明的主要構(gòu)件則和圖1的制造裝置中的相同。
如上所述，依據(jù)在AGV3上設(shè)置了蓋開閉機(jī)構(gòu)6的結(jié)構(gòu)，在本實施例的儲料器以及使用了該儲料器的液晶顯示器件制造裝置中，能夠在各個處理裝置2上去掉蓋開閉機(jī)構(gòu)。結(jié)果就能夠?qū)崿F(xiàn)處理裝置2大幅度地節(jié)省空間。與此相伴，在制造處理裝置2的情況下，還能夠?qū)崿F(xiàn)大幅度地降低制造成本。進(jìn)而能夠以低成本和小空間實現(xiàn)抑制雜質(zhì)對于玻璃襯底的附著。
依據(jù)本發(fā)明，由于能夠從處理裝置中去掉蓋開閉機(jī)構(gòu)，結(jié)果能夠?qū)崿F(xiàn)處理裝置群大幅度地節(jié)省空間。與此相伴，在制造處理裝置時，還能夠?qū)崿F(xiàn)大幅度地降低制造成本。進(jìn)而能夠以低成本和小空間實現(xiàn)抑制雜質(zhì)對于玻璃襯底的附著。
權(quán)利要求
1.儲料器，它是用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的儲料器，特征在于它具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)。
2.自動傳送車，它是用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的自動傳送車，特征在于它具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)。
3.液晶顯示器件制造裝置，該液晶顯示器件制造裝置由用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的儲料器、用于對玻璃襯底制造液晶顯示器件進(jìn)行處理的至少一臺處理裝置以及在上述儲料器和處理裝置之間傳送盒體的自動傳送車構(gòu)成，特征在于上述儲料器具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)。
4.權(quán)利要求3記述的液晶顯示器件制造裝置，特征在于上述儲料器設(shè)置有2個出庫口，在每個出庫口上設(shè)置著上述蓋開閉機(jī)構(gòu)。
5.權(quán)利要求4記述的液晶顯示器件制造裝置，特征在于它設(shè)置有多臺上述自動傳送車。
6.液晶顯示器件制造裝置，該液晶顯示器件制造裝置由用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的儲料器、用于對玻璃襯底制造液晶顯示器件進(jìn)行處理的至少一臺處理裝置以及用于在上述儲料器和處理裝置之間傳送盒體的自動傳送車構(gòu)成，特征在于上述自動傳送車具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)。
全文摘要
由用于具有可開閉蓋的密封型玻璃襯底盒的清理儲料器7、用于對玻璃襯底制造液晶顯示器件進(jìn)行處理的至少一臺處理裝置以及用于在上述清理儲料器7和處理裝置2之間傳送盒體的自動傳送車3構(gòu)成的液晶顯示器件制造裝置。上述清理儲料器7具有用于開閉上述盒體的蓋的蓋開閉機(jī)構(gòu)6。能夠以低成本和小空間實現(xiàn)節(jié)省處理裝置群的空間,以及降低處理裝置的成本,并能抑制雜質(zhì)對于玻璃襯底的附著。
文檔編號B65G49/06GK1195637SQ9810568
公開日1998年10月14日 申請日期1998年3月23日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月24日
發(fā)明者鈴木信博 申請人:先進(jìn)顯示份有限公司