專利名稱：基板載置臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及載置基板的基板載置臺。
背景技術(shù)：
以往，提出了各種取出載置于輸送用卡匣內(nèi)的玻璃基板、液晶面板等基板，搬入工藝流水線的起點(diǎn)的處理部的搬運(yùn)系統(tǒng)、搬運(yùn)裝置等。例如，特開平8-8322號公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)所記載的搬運(yùn)裝置具備將液晶用的玻璃基板從發(fā)泡性樹脂制成的輸送用卡匣取出的吸附臂。該吸附臂在其頂端具備滑動(dòng)限位器。該滑動(dòng)限位器具備阻止玻璃基板向吸附臂的頂端方向移動(dòng)的突起部。特開2000-351449號公報(bào)(專利文獻(xiàn)2~)所記載的玻璃基板搬運(yùn)裝置具備墊紙除去裝置，其從將多個(gè)玻璃基板和夾在玻璃基板間的墊紙斜堆的斜堆托板除去墊紙；卸料裝置，其設(shè)于墊紙除去裝置的附近；以及托板搬運(yùn)單元，其將取出了玻璃基板和墊紙后的托板搬運(yùn)到搬出口。此外，作為將玻璃基板和墊紙自動(dòng)堆積于傾斜托板的裝置，特開 2000-351448號公報(bào)(專利文獻(xiàn)幻提出了玻璃基板堆積裝置。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 特開平8-8322號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 特開2000-351449號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 特開2000-351448號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題在工廠內(nèi)，例如用如上述特開平8-8322號公報(bào)所述的搬運(yùn)裝置等從輸送用卡匣取出基板。然后，取出的玻璃基板由搬運(yùn)臺車、輸送機(jī)等搬運(yùn)到規(guī)定的處理室。因此，當(dāng)搬運(yùn)臺車、輸送機(jī)發(fā)生故障時(shí)，制造工藝的全過程停止。在特開2000-351449號公報(bào)記載的玻璃基板搬運(yùn)裝置中也同樣，當(dāng)工廠內(nèi)的搬運(yùn)臺車、輸送機(jī)發(fā)生故障時(shí)，制造工藝的全過程停止，會(huì)導(dǎo)致制造效率的降低。即使采用特開 2000-351448號公報(bào)記載的玻璃基板堆積裝置也會(huì)產(chǎn)生同樣的問題。另外，這種問題不限于將從工廠外部輸送的玻璃基板搬入工廠內(nèi)的工序，例如在各處理室間將玻璃基板搬運(yùn)到下一個(gè)處理室的過程中也同樣會(huì)產(chǎn)生。因此，考慮在上述搬運(yùn)裝置、玻璃基板搬運(yùn)裝置的附近配置臨時(shí)放置基板的基板載置臺，作業(yè)者來運(yùn)送載置于基板載置臺的基板。由此，即使搬運(yùn)基板的輸送機(jī)、搬運(yùn)臺車發(fā)生了故障，也能抑制制造工藝的全過程停止。但是，玻璃基板重， 因此需要實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)玻璃基板的作業(yè)者的負(fù)擔(dān)的減少，而且玻璃基板搬運(yùn)裝置等需要容易載置玻璃基板的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種對作業(yè)者來說容易搬運(yùn)載置的基板而且對玻璃基板搬運(yùn)裝置來說容易搭載玻璃基板的基板載置臺。
用于解決問題的方案本發(fā)明的基板載置臺具備基座部；支撐部，其從基座部向上方延伸，能用上端部支撐被載置的基板；以及托板，其以位于比支撐部的上端部靠下方的方式配置于基座部，并且設(shè)為能向上方位移，能載置被支撐部的上端部支撐的基板。優(yōu)選還具備引導(dǎo)部，所述引導(dǎo)部向上方延伸，能引導(dǎo)托板。優(yōu)選隔開間隔設(shè)有多個(gè)上述支撐部。優(yōu)選多個(gè)上述托板層疊于基座部。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的基板載置臺，能容易載置基板，而且作業(yè)者容易搬運(yùn)載置的基板。


圖1是示意性地是出包括本發(fā)明的基板臨時(shí)放置臺的搬運(yùn)系統(tǒng)的平面圖。圖2是搬入搬運(yùn)系統(tǒng)時(shí)的密實(shí)包裝的截面圖。圖3是基板臨時(shí)放置臺的側(cè)面圖。圖4是基板臨時(shí)放置臺的平面圖。圖5是托板的平面圖。圖6是托板的側(cè)截面圖。圖7是基板取出裝置將玻璃基板載置于基板臨時(shí)放置臺時(shí)的基板臨時(shí)放置臺的側(cè)面圖。圖8是基板取出裝置將玻璃基板載置于基板臨時(shí)放置臺時(shí)的基板臨時(shí)放置臺的平面圖。圖9是作業(yè)者搬運(yùn)載置于基板臨時(shí)放置臺的玻璃基板時(shí)的樣子的基板臨時(shí)放置臺的側(cè)面圖。
具體實(shí)施例方式用圖1至圖9說明包括本發(fā)明的基板臨時(shí)放置臺(基板載置臺)105的搬運(yùn)系統(tǒng) 100。圖1是示意性地示出包括基板臨時(shí)放置臺的搬運(yùn)系統(tǒng)100的平面圖。本實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)100是用于取出收納于密實(shí)包裝(dens pack)內(nèi)的玻璃基板，將玻璃基板搬運(yùn)到工廠內(nèi)的清潔室107的系統(tǒng)。在清潔室107內(nèi)，設(shè)有將從搬運(yùn)系統(tǒng)100搬入的玻璃基板搬運(yùn)到規(guī)定的處理室的搬運(yùn)輸送機(jī)106。圖2是搬入搬運(yùn)系統(tǒng)100時(shí)的密實(shí)包裝115的截面圖。如該圖2所示，密實(shí)包裝 115具備箱主體116和蓋體117，在搬入搬運(yùn)系統(tǒng)100內(nèi)時(shí)，蓋體117被取下。在箱主體116 上載置有層疊體W0。層疊體WO是通過將玻璃基板Wl和玻璃基板間用紙W2依次層疊而構(gòu)成的，在各玻璃基板Wl間插入有玻璃基板間用紙W2。此外，密實(shí)包裝115以收納有層疊體 WO的狀態(tài)從外部工廠等由卡車等輸送，在輸送時(shí)，蓋體117安裝于箱主體116，層疊體WO被密封在密實(shí)包裝115內(nèi)。在圖1中，搬運(yùn)系統(tǒng)100具備層疊體搬入裝置101，其搬入載置于密實(shí)包裝115 的箱主體116上的層疊體WO ；基板取出裝置102，其從由層疊體搬入裝置101搬入的層疊體 WO取出玻璃基板Wl ；以及紙取出裝置103，其從層疊體WO取出玻璃基板間用紙W2。層疊體搬入裝置101具備搬入輸送機(jī)111，其搬入新的層疊體WO ；搬出輸送機(jī)112，其搬出取出了玻璃基板等的空的箱主體116 ；以及交接輸送機(jī)113，其將變空的箱主體 116從搬入輸送機(jī)111交給搬出輸送機(jī)112。載置有層疊體WO的箱主體116載置于搬入輸送機(jī)111上，由搬入輸送機(jī)111搬運(yùn)到規(guī)定的位置。紙取出裝置103將位于載置于規(guī)定位置的層疊體WO的上表面的玻璃基板間用紙 W2從層疊體WO除去?；迦〕鲅b置102取出除去玻璃基板間用紙W2而露出的玻璃基板Wl?；迦〕鲅b置102具備多軸的轉(zhuǎn)動(dòng)臂131 ；以及設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)臂131的端部的叉130。在叉130的表面設(shè)有多個(gè)吸附部，叉130以使基板吸附于吸附部的狀態(tài)搬運(yùn)玻璃基板Wl。搬運(yùn)系統(tǒng)100具備基板搬運(yùn)裝置104，其載置由基板取出裝置102取出的玻璃基板Wl ；基板臨時(shí)放置臺105，其載置由基板取出裝置102取出的玻璃基板W1，并且作業(yè)者能搬運(yùn)所載置的玻璃基板Wl ；控制裝置108，其控制基板搬運(yùn)裝置104等的驅(qū)動(dòng)；以及操作部 110，其切換控制裝置108的控制。搬運(yùn)系統(tǒng)100具備劃分部120，所述劃分部120劃分載置層疊體搬入裝置101、基板臨時(shí)放置臺105、基板取出裝置102、基板搬運(yùn)裝置104的區(qū)域。劃分部120可以是壁部， 也可以是金屬網(wǎng)之類，只要是能抑制人進(jìn)入所劃分的區(qū)域內(nèi)的構(gòu)件即可。此外，清潔室107由劃分壁部121規(guī)定，抑制清潔室107外部的空氣進(jìn)入清潔室 107 內(nèi)。在劃分壁部121中形成有基板搬入部109，由基板搬運(yùn)裝置104搬運(yùn)來的玻璃基板 Wl通過基板搬入部109被搬入清潔室107內(nèi)。在基板搬運(yùn)裝置104的上表面設(shè)有傳送帶等，基板搬運(yùn)裝置104將利用基板取出裝置102載置于傳送帶上的玻璃基板向基板搬入部109搬運(yùn)。通過基板搬入部109搬入清潔室107內(nèi)的玻璃基板載置于搬運(yùn)輸送機(jī)106，被搬運(yùn)到規(guī)定的處理室。在正常驅(qū)動(dòng)各裝置時(shí)，從操作部110對控制裝置108發(fā)送通常驅(qū)動(dòng)信號，基板取出裝置102將載置于搬入輸送機(jī)111上的玻璃基板載置于基板搬運(yùn)裝置104上。載置于基板搬運(yùn)裝置104上的玻璃基板從基板搬入部109被搬運(yùn)到清潔室107內(nèi)，然后由搬運(yùn)輸送機(jī) 106搬運(yùn)。在搬運(yùn)輸送機(jī)106的驅(qū)動(dòng)由于故障等而停止時(shí)，從操作部110向控制裝置108發(fā)送手動(dòng)驅(qū)動(dòng)信號?？刂蒲b置108當(dāng)接收手動(dòng)驅(qū)動(dòng)信號時(shí)，切換基板取出裝置102的驅(qū)動(dòng)。然后，控制裝置108控制基板取出裝置102，以將從密實(shí)包裝115取出的玻璃基板載置于基板臨時(shí)放置臺105上。在劃分部120中形成有將載置于基板臨時(shí)放置臺105上的玻璃基板搬出的作業(yè)者能出入的搬出部，搬出部具備形成于劃分部120的開口部和使該開口部開閉的門122。在搬運(yùn)輸送機(jī)106等產(chǎn)生故障時(shí)，作業(yè)者拿出載置于基板臨時(shí)放置臺105的玻璃基板，搬運(yùn)到規(guī)定的處理室，由此能防止流水線完全停止?；迮R時(shí)放置臺105與門122相鄰地設(shè)置，作業(yè)者能將載置于基板臨時(shí)放置臺105 的玻璃基板Wl在短時(shí)間內(nèi)拿出到劃分部120的外部，能縮短搬出玻璃基板Wl的周期時(shí)間。搬出玻璃基板的作業(yè)者在劃分部120的外側(cè)等待，在玻璃基板被載置于基板臨時(shí)放置臺105，基板取出裝置102的轉(zhuǎn)動(dòng)臂131和叉130從基板臨時(shí)放置臺105退讓后，打開門122進(jìn)入劃分部120。然后，作業(yè)者將玻璃基板從基板臨時(shí)放置臺105搬出到劃分部120的外部。當(dāng)搬出了玻璃基板的作業(yè)者關(guān)上門122時(shí)，對操作部110進(jìn)行操作的作業(yè)者操作操作部110，由此驅(qū)動(dòng)紙取出裝置103驅(qū)動(dòng)，紙取出裝置103除去玻璃基板間用紙。進(jìn)而，作業(yè)者操作操作部110來驅(qū)動(dòng)基板取出裝置102，基板取出裝置102將新的1個(gè)玻璃基板載置于基板臨時(shí)放置臺105上。在該圖1所示的例子中，說明了通過操作操作部110來將玻璃基板一個(gè)個(gè)地載置于基板臨時(shí)放置臺105上的例子，但是也可以在控制裝置108中預(yù)先裝入程序等，根據(jù)裝入控制裝置108的程序等驅(qū)動(dòng)基板取出裝置102，將玻璃基板一個(gè)個(gè)地載置于基板臨時(shí)放置臺 105。在這種情況下，將質(zhì)量傳感器設(shè)于基板臨時(shí)放置臺105，并且將開閉傳感器設(shè)于門 122?？刂蒲b置108根據(jù)基板臨時(shí)放置臺105的質(zhì)量傳感器判斷未載置玻璃基板，并且由門 122的開閉傳感器判斷門122關(guān)閉時(shí)，控制裝置108驅(qū)動(dòng)紙取出裝置103和基板取出裝置 102。然后將玻璃基板Wl載置于基板臨時(shí)放置臺105。此外，在玻璃基板的搬運(yùn)中門122打開的情況下，控制裝置108使基板取出裝置102和紙取出裝置103的驅(qū)動(dòng)停止。而且在門 122附近等配置緊急停止按鈕，當(dāng)按下緊急停止按鈕時(shí)，控制裝置108使基板取出裝置102 和紙取出裝置103的驅(qū)動(dòng)停止。圖3是基板臨時(shí)放置臺105的側(cè)面圖，圖4是基板臨時(shí)放置臺105的平面圖。如該圖3和圖4所示，基板臨時(shí)放置臺105具備基座140 ；支撐部143，其從基座140向上方延伸；以及托板146，其配置在比支撐部143的上端部靠下方。在支撐部143的上端部載置有玻璃基板W1，玻璃基板Wl由支撐部143的上端部支撐。設(shè)有多個(gè)支撐部143。支撐部143的上端部形成為彎曲面狀，抑制載置的玻璃基板Wl 的損傷。此外，支撐部143也可以由撓性材料構(gòu)成?；?40具備立設(shè)的多個(gè)柱部141和架設(shè)于柱部141間的梁部142，支撐部143隔開間隔設(shè)于梁部142的上表面上。此外，在梁部142的上表面配置有通過各梁部142的寬度方向中央部的中央載置部149。在柱部141的上端部設(shè)有環(huán)狀的載置部144，在該載置部 144和上述中央載置部149上配置有托板146。在載置部144的外周緣部隔開間隔設(shè)有引導(dǎo)部145。引導(dǎo)部145的上端部的高度與托板146的上端部的高度一致。托板146配置在比支撐部143的上端部靠下方，在托板146中形成有使支撐部143 插通的孔部。并且，使配置在載置部144和托板146上的托板146向上方位移，由此能使由支撐部143支撐的玻璃基板Wl載置于托板146上。此外，在該圖3和圖4示出的例中，托板146 能由作業(yè)者位移到上方，也可以使用油壓設(shè)備、馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)源來使托板146位移。圖5是托板146的平面圖，圖6是托板146的側(cè)截面圖。如該圖5和圖6所示，在托板146的外周緣部形成有環(huán)狀延伸的框部147?？虿?47形成為臺階狀，在框部147形成有載置玻璃基板Wl的外周緣部的載置面153。在托板146中形成有多個(gè)使圖3和圖4示出的支撐部143插通的孔部148。圖7是基板取出裝置102將玻璃基板Wl載置于基板臨時(shí)放置臺105時(shí)的基板臨時(shí)放置臺105的側(cè)面圖，圖8是基板取出裝置102將玻璃基板Wl載置于基板臨時(shí)放置臺105 時(shí)的基板臨時(shí)放置臺105的平面圖。如該圖7和圖8所示，基板取出裝置102的叉130具備連接有轉(zhuǎn)動(dòng)臂131的根部 152 ；在根部152的長邊方向上隔開間隔設(shè)置的枝部150 ；以及在枝部150的延伸方向上隔開間隔設(shè)置的吸附部151。在圖2中，各玻璃基板Wl被層疊為使吸附面位于各玻璃基板Wl的上表面，叉130 吸附位于層疊體WO的上表面的玻璃基板W1。在玻璃基板Wl的搬運(yùn)中途，叉130翻轉(zhuǎn)，使玻璃基板Wl載于叉130上。然后，如圖 7和圖8所示，叉130被定位為使各枝部150位于支撐部143間和引導(dǎo)部145間，玻璃基板 Wl被載置于支撐部143的上端部。支撐部143間的間隔遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于枝部150的寬度，能使枝部150容易地配置在支撐部143間。并且，當(dāng)玻璃基板Wl由支撐部143的上端部支撐時(shí)， 吸附部151的驅(qū)動(dòng)停止，叉130從基板臨時(shí)放置臺105退讓。這樣，能將玻璃基板Wl容易地載置于基板臨時(shí)放置臺105上。圖9是示出作業(yè)者搬運(yùn)載置于基板臨時(shí)放置臺105的玻璃基板Wl時(shí)的樣子的基板臨時(shí)放置臺105的側(cè)面圖。如該圖9所示，作業(yè)者拿起配置在載置部144上的托板146。然后，將玻璃基板Wl 載置于托板146上。作業(yè)者將載置部144載置于托板146上之后，將托板146從基板臨時(shí)放置臺105取下，搬出托板146和玻璃基板Wl。在載置部144的外周隔開間隔設(shè)有多個(gè)引導(dǎo)部145，托板146由引導(dǎo)部145引導(dǎo)。 因此，能準(zhǔn)確地定位形成在圖6所示的框部147的載置面153和玻璃基板Wl的外周部，能使玻璃基板Wl的外周部載于載置面153上。這樣，將質(zhì)量重的玻璃基板Wl預(yù)先配置在上方，由此減小了作業(yè)者拿起玻璃基板Wl的距離，實(shí)現(xiàn)了作業(yè)者的負(fù)擔(dān)的減少。在圖3中，支撐部143的上端部的高度Ll為例如Im程度，為成人在運(yùn)送具有質(zhì)量的玻璃基板Wl時(shí)容易攜帶玻璃基板Wl和托板146的高度。配置有托板146的高度L2例如為50cm 60cm程度。此外，如圖4、圖7、圖9等所示，優(yōu)選預(yù)先使多個(gè)托板146層疊。預(yù)先在載置部144上準(zhǔn)備多個(gè)托板146，由此能實(shí)現(xiàn)玻璃基板Wl的搬出周期時(shí)間的減少。此外，在上述圖1至圖9所示的例子中，說明了將基板臨時(shí)放置臺105裝入從層疊體WO取出玻璃基板Wl并搬出玻璃基板Wl的搬運(yùn)系統(tǒng)100中的例子，裝入基板臨時(shí)放置臺 105的系統(tǒng)不限于上述搬運(yùn)系統(tǒng)100這樣的系統(tǒng)。例如也能用于在從處理室到處理室之間進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)系統(tǒng)等。一般地，在從玻璃基板到制造液晶面板為止的期間，玻璃基板Wi 被搬入搬出進(jìn)行清洗工序的處理室、進(jìn)行曝光工序的處理室、進(jìn)行蝕刻工序的處理室等多個(gè)處理室。在處理室和處理室之間例如設(shè)有如下基板交接系統(tǒng)，具備搬運(yùn)臺車，其搭載基板卡匣，在處理室間行駛；以及機(jī)器人臂等，其從搬運(yùn)來的基板卡匣取出玻璃基板，將玻璃基板插入處理室，或者將實(shí)施了處理的玻璃基板收納于卡匣。并且，在該基板交接系統(tǒng)中， 在機(jī)器人臂的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍內(nèi)也可以設(shè)置基板臨時(shí)放置臺105。由此，在搬運(yùn)臺車出現(xiàn)了故障的情況下，也能將處理完的玻璃基板載置于基板臨時(shí)放置臺105上，作業(yè)者將該玻璃基板搬運(yùn)到下一個(gè)處理室，由此能抑制制造工藝完全停止。如上所述說明了本發(fā)明的實(shí)施方式和實(shí)施例，應(yīng)認(rèn)為本次公開的實(shí)施方式和實(shí)施例的所有點(diǎn)均為舉例而非限制。本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求表示，意在包括與權(quán)利要求等同的含義和范圍內(nèi)的全部變更。而且，上述數(shù)值等也是例示，不限于上述數(shù)值和范圍。工業(yè)上的可利用件本發(fā)明適用于載置玻璃基板的基板載置臺。附圖標(biāo)記說明100搬運(yùn)系統(tǒng)，101層疊體搬運(yùn)裝置，102基板取出裝置，103紙取出裝置，104基板搬運(yùn)裝置，105基板臨時(shí)放置臺，106搬運(yùn)輸送機(jī)，107清潔室，108控制裝置，109基板搬入部，110操作部，111搬入輸送機(jī)，112交接輸送機(jī)，115密實(shí)包裝，116箱主體，117蓋體，120 劃分部，121劃分壁部，122門，130叉，131轉(zhuǎn)動(dòng)臂，140基座，141柱部，142梁部，143支撐部， 144載置部，145引導(dǎo)部，146托板，147框部，148孔部，149中央載置部，150枝部，151吸附部，152根部，WO層疊體，Wl玻璃基板，W2玻璃基板間用紙。
權(quán)利要求
1.一種基板載置臺，具備 基座部(140)；支撐部(143)，其從上述基座部向上方延伸，能用上端部支撐被載置的基板；以及托板(146)，其以位于比上述支撐部的上述上端部靠下方的方式配置于上述基座部，并且設(shè)為能向上方位移，能載置被上述支撐部的上端部支撐的上述基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板載置臺，還具備引導(dǎo)部(145)，所述引導(dǎo)部(145)向上方延伸，能引導(dǎo)上述托板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板載置臺， 隔開間隔設(shè)有多個(gè)上述支撐部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任一項(xiàng)所述的基板載置臺， 多個(gè)上述托板層疊于上述基座部。
全文摘要
基板臨時(shí)放置臺(105)具備基座(140)；支撐部(143)，其從基座(140)向上方延伸，能用上端部支撐被載置的基板；以及托板(146)，其以位于比支撐部(143)的上端部靠下方的方式配置于基座(140)，并且設(shè)為能向上方位移，能載置被基座(140)的上端部支撐的玻璃基板(W1)。
文檔編號B65G49/06GK102498554SQ20108002657
公開日2012年6月13日 申請日期2010年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月15日
發(fā)明者大河原淳平 申請人:夏普株式會(huì)社