專利名稱：利用小滴流體操縱物體的制作方法
小物體的操縱與半導(dǎo)體器件的制造是特別相關(guān)的。小電子元件需要精確放置在襯底上。經(jīng)常將晶狀的Si晶片用作襯底。顯然半導(dǎo)體器件的成本與襯底的尺寸關(guān)聯(lián)密切，因此，襯底上制造的半導(dǎo)體器件越多，則每個半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)成本就越低。如果給定了襯底的表面尺寸，那么當(dāng)采用較小尺寸的元件時，則襯底上容納的半導(dǎo)體器件的數(shù)量將會增多。需要操縱這些元件，例如需要將其拾取并精確放置在襯底上的預(yù)定位置處。
本發(fā)明涉及一種用于操縱小物體的系統(tǒng)。
從美國專利US6294063中獲知這樣一種系統(tǒng)。
已知的用于操縱的系統(tǒng)尤其涉及對密閉封裝的操縱。已知系統(tǒng)包括為該密閉封裝提供相互作用位置的反應(yīng)面。進(jìn)一步提供了與該反應(yīng)面連接的入口，以便將密閉封裝引入到該反應(yīng)面上。產(chǎn)生可編程的操縱力，使密閉封裝通過任意選擇的路徑在反應(yīng)面周圍移動。通過電場或通過光源產(chǎn)生該操縱力。該操縱力可包括介電泳力、電泳力、光學(xué)力或機(jī)械力。
已知系統(tǒng)的缺點是密閉封裝只能在反應(yīng)面上移動，因此當(dāng)更多的密閉封裝放置在該反應(yīng)面上時，操縱變得更加麻煩。此外，密閉封裝的尺寸在100nm到1cm的范圍內(nèi)。
本發(fā)明的目的在于提供一種用于操縱小物體的系統(tǒng)，該系統(tǒng)特別在操縱大量小物體的應(yīng)用中更加靈活。本發(fā)明的另一個目的在于提供一種用于操縱小物體的系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠操縱比已知密閉封裝更小的小物體。
通過根據(jù)本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)上述目的，所述系統(tǒng)包括運(yùn)送該小物體的載體；接收該小物體的襯底；以及將該小物體與該載體和/或該襯底可分開地連接的小滴流體。
根據(jù)本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)基于表面潤濕的物理現(xiàn)象來工作。特別有利的是可以采用電控的表面潤濕，即電潤濕。
本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)利用將該小物體與載體可分開地連接的小滴流體，在該載體上，小物體輸送到襯底。這種小滴流體還可以或可替換地用于在到達(dá)時連接小物體和襯底。在一個例子中，例如通過范德華力使小物體很弱地接合到載體上并運(yùn)送到襯底。然后該小物體與襯底上的小滴流體接觸。小物體與小滴流體的接合比該小物體與載體的接合更強(qiáng)，當(dāng)載體移開時，該小物體通過小滴流體保持與襯底的連接。最后，例如通過蒸發(fā)除去該小滴流體。在另一個方案中，該小滴流體使該小物體在傳送過程中與該載體連接。在到達(dá)時，該小物體與襯底的連接比該小物體與該小滴流體的連接更強(qiáng)。當(dāng)載體移開時，該小滴流體和小物體之間的連接斷開，之后該小物體留在該襯底上。
本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)特別用于操縱所討論的具有對運(yùn)載流體有適度潤濕性的承載側(cè)的小物體。當(dāng)在操作中時，運(yùn)載小滴流體用于在該小物體的承載側(cè)拾取該小物體。當(dāng)該運(yùn)載小滴流體移動到接近該小物體時，小物體承載側(cè)和運(yùn)載小滴流體的流體之間的粘附力使該小物體與該運(yùn)載小滴流體連在一起。然后，將載有該小物體的運(yùn)載小滴流體運(yùn)送到該小物體在襯底上的目標(biāo)位置。此外，該小物體與運(yùn)載小滴流體的粘附力很低，從而使該小物體面向目標(biāo)區(qū)的一側(cè)與該目標(biāo)區(qū)之間的粘附力大于該運(yùn)載小滴流體與該小物體承載側(cè)之間的適度粘附力。小物體承載側(cè)和運(yùn)載小滴流體之間的適度潤濕性和相應(yīng)的適度粘附力應(yīng)該足夠大，以使該小物體與流體運(yùn)載小滴流體充分接合，另一方面，該適度粘附力應(yīng)該足夠小，從而在該小物體和將要放置小物體的襯底之間存在較高的潤濕性和相應(yīng)較大的粘附力。值得注意的是，相應(yīng)較大的粘附力至少應(yīng)當(dāng)涉及當(dāng)放置小物體時該小物體面向襯底的那一側(cè)，和放置小物體的襯底上小滴流體的目標(biāo)區(qū)表面。
有各種方法將小物體從目標(biāo)小滴流體放置到襯底上。值得注意的是，在將該小物體運(yùn)送到目標(biāo)小滴流體上的目標(biāo)區(qū)之后，可以將該小物體膠合在襯底的目標(biāo)區(qū)上；另一種接合方法也是可行的，如當(dāng)該小物體到達(dá)其目標(biāo)位置時利用冷卻的蠟，或者通過焊接將該小物體接合到該襯底的目標(biāo)位置上。
用于操縱小物體的這種系統(tǒng)特別適合于操縱非常小的物體，這些小物體明顯小于由已知的用于操縱小物體的系統(tǒng)所操縱的小物體。本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)能夠操縱尺寸在20μm到500μm范圍內(nèi)的小物體。本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)進(jìn)一步適合于并行地操縱多個小物體。
多種液體都適合于形成該小滴流體，甚至可以使用蒸汽泡。該運(yùn)載小滴流體應(yīng)該具有粘附力，并因此應(yīng)該具有表面張力，從而使該小滴流體以穩(wěn)定的方式運(yùn)載該小物體。目標(biāo)小滴流體與該小物體的粘附力應(yīng)該比該運(yùn)載流體與該小物體的粘附力大，或者電潤濕效應(yīng)應(yīng)該使目標(biāo)小滴流體與該小物體的粘附力增大，以大于該小物體與運(yùn)載流體的粘附力。
參考從屬權(quán)利要求中限定的實施例來進(jìn)一步詳盡闡述本發(fā)明的這些和其他方面。
優(yōu)選的是，用于操縱小物體的系統(tǒng)還具有在襯底上的目標(biāo)小滴流體，該小物體具有高潤濕性的目標(biāo)側(cè)。即，承載側(cè)對運(yùn)載流體具有適度粘附力，而目標(biāo)側(cè)對目標(biāo)流體具有較大粘附力。在一些應(yīng)用中，同一種流體既可以用作運(yùn)載小滴流體也可以用作目標(biāo)小滴流體。例如，當(dāng)該流體是水或水溶液時，承載側(cè)具有較低程度的適度親水性，而目標(biāo)側(cè)具有更強(qiáng)的親水性。
當(dāng)在操作中時，載體用指向小物體承載側(cè)的運(yùn)載小滴流體拾取待操縱的小物體。然后該小物體通過運(yùn)載小滴流體與載體弱連接。例如，該小物體留在該運(yùn)載小滴流體上，或者當(dāng)采用略微親水性的承載側(cè)時，該小物體懸在該載體上。然后將帶有與運(yùn)載小滴流體連接的小物體的載體，即載有小物體的運(yùn)載小滴流體移動到襯底，從而使該小物體的目標(biāo)側(cè)接觸目標(biāo)小滴流體。由于該目標(biāo)側(cè)是更強(qiáng)烈親水的，因此小物體與目標(biāo)小滴流體的連接比該小物體與運(yùn)載小滴流體的連接更強(qiáng)。通過移動載體離開襯底，首先斷開運(yùn)載小滴流體與小物體的連接，小物體保持與襯底上的目標(biāo)小滴流體連接。這樣，將小物體放置在襯底上。然后，通常例如通過蒸發(fā)目標(biāo)流體的流體蒸發(fā)而除去該目標(biāo)小滴流體。
優(yōu)選的是，預(yù)先制備襯底，目標(biāo)小滴流體置于預(yù)定位置或按照預(yù)定空間圖案放置。因此，一個或多個小物體自動設(shè)置于這些預(yù)定位置或根據(jù)該預(yù)定圖案放置。因此，小物體不需要對襯底表面上的適當(dāng)路徑進(jìn)行繁重的搜索就可以到達(dá)其襯底上的目標(biāo)位置。
當(dāng)運(yùn)載和目標(biāo)小滴流體相對于小物體較小時，獲得了用于拾取該小物體并將其放置在適當(dāng)位置的特別好的結(jié)果，從而使該小滴流體的尺寸，特別是當(dāng)小滴流體位于載體或襯底上時該小滴流體的厚度，與小物體的尺寸，特別是小物體在橫截于所討論的該小滴流體的方向上的尺寸之比在1/10到1/3的范圍內(nèi)。最有利的是，這一比值約為1/5。在小物體的橫向尺寸和小滴流體厚度之比為1/10到1/3的范圍內(nèi)，所討論的通過小滴流體運(yùn)載的小物體或者懸在小滴流體上的小物體實現(xiàn)了穩(wěn)定平衡。值得注意的是，當(dāng)小物體和小滴流體的尺寸之比在優(yōu)選范圍內(nèi)時，幾乎從來不會出現(xiàn)運(yùn)載小滴流體的意外破裂或者目標(biāo)小滴流體的意外破裂。此外，所討論的小滴流體的厚度應(yīng)該大大低于小物體橫向尺寸(寬度)的1/2，即小于1/3，從而使該小物體以穩(wěn)定的方式留在小滴流體的頂部。另一方面，小滴流體相對于該小物體的寬度不應(yīng)該太薄，從而使小滴流體能夠有效地將小物體與其上設(shè)置小滴流體的表面分開。特別是，小滴流體優(yōu)選應(yīng)該比小物體的寬度的1/10更薄。這樣，加載的小滴流體在其上移動的表面的不規(guī)則性不會妨礙載有小物體的小滴流體的運(yùn)動。
優(yōu)選的是，襯底具有一個或多個電極。這些電極可以設(shè)置在襯底的表面上或該表面下。通過施加電壓可以驅(qū)動這些電極。這一電壓影響運(yùn)載小滴流體和襯底表面之間的相互作用。值得注意的是，運(yùn)載小滴流體和襯底表面的接觸角隨該襯底相對于該流體的電勢系數(shù)而增大。即，當(dāng)施加電壓時，使該襯底在電極區(qū)域中更加親水。這一現(xiàn)象經(jīng)常稱為“電潤濕”，并在H.J.J.Verheijen和M.W.J.Prins撰寫的論文“Reversible electrowetting and trapping of chargeModel and Experiments”，in Langmuir 19(1999)6616-6620中更詳細(xì)地討論。在操作中，當(dāng)待操作的小物體與目標(biāo)小滴流體接觸時驅(qū)動該電極。然后電潤濕效應(yīng)使襯底表面更親水，從而使目標(biāo)小滴流體集中在電極區(qū)域附近。此外，當(dāng)驅(qū)動該電極時，小物體與目標(biāo)小滴流體的接合比該小物體與運(yùn)載小滴流體的接合更強(qiáng)，當(dāng)運(yùn)載小滴流體移開時更容易斷開小物體和運(yùn)載小滴流體之間的連接。
更優(yōu)選的是，將電極形成空間形狀，從而使其對應(yīng)于待操縱的小物體的形狀。當(dāng)小物體放置在目標(biāo)小滴流體上時，電極的電場使目標(biāo)小滴流體上的小物體沿著該電極的形狀自動定向。當(dāng)目標(biāo)流體蒸發(fā)時，小物體位于電極頂部。因此，待操縱的小物體旋轉(zhuǎn)或翻轉(zhuǎn)，并且可獲得隨機(jī)方位，不需要特別的步驟就可將小物體放置在襯底上其正確方向上。
權(quán)利要求8中限定了采用本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)的非常實用的實施例。拾取運(yùn)載小滴流體從容器中置于拾取板上。一般來說，在拾取板上布置大量拾取運(yùn)載小滴流體。優(yōu)選的是，拾取板具有按照預(yù)定空間圖案設(shè)置的許多電極。在驅(qū)動這些電極時，根據(jù)這些電極的圖案自動布置該拾取運(yùn)載小滴流體。特別是，微射流陣列對于在拾取板上放置許多拾取運(yùn)載小滴流體是很實用的。值得注意的是，該微射流陣列允許并行處理大量拾取運(yùn)載小滴流體。隨后，拾取板上的拾取運(yùn)載小滴流體例如通過將小物體從存儲板上升高而負(fù)載了該小物體。然后將待操作的小物體發(fā)送到供給板，供給器目標(biāo)小滴流體置于該供給板上。載有小物體的拾取板和運(yùn)載供給器目標(biāo)小滴流體的供給板移動到彼此接近，從而使該小物體用其高潤濕性側(cè)接觸供給板上提供的供給器目標(biāo)小滴流體。然后拾取板和供給板彼此移開，從而從供給板提升或者拾取該小物體。然后將載有小物體的目標(biāo)小滴流體經(jīng)接頭運(yùn)送到放置板，該接頭連接供給器板和放置板。接頭可以是撓性接頭，從而使拾取板和放置板可以彼此相對移動，同時使它們通過該撓性接頭保持連接。供給器板有多個電極，在驅(qū)動時使被驅(qū)動的電極周圍的區(qū)域更加親水。連續(xù)驅(qū)動鄰接電極，使目標(biāo)小滴流體例如逐步地在電極上朝該撓性接頭移動?？梢詫⒓虞d的目標(biāo)小滴流體越過撓性接頭運(yùn)送到放置板。即，允許加載的目標(biāo)小滴流體滾下?lián)闲越宇^到達(dá)放置板上。為此，撓性接頭具有其鄰接電極。然后通過連續(xù)驅(qū)動撓性接頭的電極，在該撓性接頭上傳送加載的供給器目標(biāo)小滴流體。按照這種方式，供給器目標(biāo)小滴流體還起到將小物體從該供給器板經(jīng)接頭運(yùn)送到放置板的作用。
鄰接電極和控制這些電極的連續(xù)驅(qū)動從而控制小滴流體的傳送的適當(dāng)設(shè)計本身在M.G.Pollack等人撰寫的論文“Electrowetting-based actuation of liquid droplets for microfluidicapplications”，in Appl.Phys.Lett.77(2000)1725-6中公開。
放置板具有放置電極的圖案。當(dāng)驅(qū)動放置板上的放置電極時，根據(jù)當(dāng)通過向放置板的放置電極施加電壓而驅(qū)動該放置電極時產(chǎn)生的電潤濕效應(yīng)，很容易將載有小物體的供給器目標(biāo)小滴流體移動到放置板上，和/或在放置板上定向。優(yōu)選的是，本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)具有檢測系統(tǒng)，該檢測系統(tǒng)區(qū)分帶有負(fù)載的運(yùn)載小滴流體和空的運(yùn)載小滴流體。集成光學(xué)檢測器非常適合于檢測運(yùn)載小滴流體上是否存在小物體。將空的供給器目標(biāo)小滴流體從拾取板上除去。這是通過使其上檢測到空的小滴流體的電極不起作用而實現(xiàn)，從而使空的小滴流體不再保持在合適位置。根據(jù)檢測系統(tǒng)的輸出信號來控制使拾取板上的電極不起作用。當(dāng)輸出信號對應(yīng)于空的運(yùn)載小滴流體時使電極不起作用。可以提供具有電極段的排放管線來排空這種空的小滴流體。
最后，將供給器目標(biāo)小滴流體上的小物體運(yùn)送到器件襯底上。在該器件襯底上提供了襯底電極，在驅(qū)動該襯底電極時，該襯底電極將襯底小滴流體保持在適當(dāng)位置。放置板和器件襯底彼此移動，從而使放置板上的小物體接觸襯底小滴流體。當(dāng)控制向器件襯底上的襯底電極和放置板上的放置電極施加的電壓時，襯底小滴流體與小物體的粘附力比放置板上供給器目標(biāo)小滴流體與小物體的粘附力大。然后，器件襯底和放置板彼此移離，小物體保持在器件襯底上。然后例如簡單地通過蒸發(fā)除去襯底小滴流體。優(yōu)選的是，襯底電極形成為在驅(qū)動該襯底電極時定向小物體。根據(jù)預(yù)定的圖案進(jìn)一步設(shè)置襯底電極，所述圖案對應(yīng)于將要形成在器件襯底上的電子電路的電路圖。這樣，根據(jù)圖案和襯底電極預(yù)定圖案的定向來放置小物體。因此，當(dāng)已經(jīng)除去襯底小滴流體時，在器件襯底上形成了具有由非常小的物體構(gòu)成的非常小的元件的電子電路。因此，襯底電極可以起電子電路中的電連接的作用。
參考下文中描述的實施例和


本發(fā)明的這些和其他方面，其中圖1示出本發(fā)明的系統(tǒng)的示意圖；圖2示出在本發(fā)明的系統(tǒng)的襯底中采用的電極的兩個示例；圖3示出采用本發(fā)明的操縱小物體的系統(tǒng)的實例。
圖1示出本發(fā)明的系統(tǒng)1的示意圖。小物體2一開始(a)放置在載體3上的運(yùn)載小滴流體4上。然后載體3朝襯底5移動，小物體將要放置在襯底5上。載體3移動(b)該小物體到置于襯底5上的目標(biāo)小滴流體6附近，使小物體與目標(biāo)小滴流體接觸。小物體2接觸目標(biāo)小滴流體6的一側(cè)是該小物體的高可濕性側(cè)，因此，小物體與目標(biāo)小滴流體6的接合變得比該小物體與運(yùn)載小滴流體4的接合更強(qiáng)。在操縱小物體的系統(tǒng)的下一階段操作(c)中，通常通過使載體3遠(yuǎn)離襯底5移動而使該載體和襯底彼此遠(yuǎn)離移動。然后，首先斷開小物體2和運(yùn)載小滴流體之間的連接，小物體2保持與目標(biāo)小滴流體6的連接，并且小物體2懸在襯底5上。襯底5具有與電壓源10連接的電極7。電壓源10向電極施加電壓，因此通過電潤濕效應(yīng)，充分增強(qiáng)了目標(biāo)小滴流體和小物體的粘附力，特別是與該小物體的高可濕性一側(cè)的粘附力。電壓源10施加于電極的電壓是可調(diào)的，從而控制該目標(biāo)小滴流體與小物體的粘附力。
圖2示出在本發(fā)明的系統(tǒng)的襯底中采用的電極的兩個示例。特別是，圖2a和2b示出根據(jù)所包含的該小物體而成形的電極7的兩個例子的頂視圖。圖2a示出具有三個扇形71、72、73的電極7。該電極特別適合于根據(jù)扇形71、72、73的方位而定向該小物體。即，當(dāng)向電極7施加電壓時，在扇形71、72、73附近的電潤濕效應(yīng)比兩個扇形之間的區(qū)域中的電潤濕效應(yīng)強(qiáng)。因此，在能量方面有利于小物體根據(jù)扇形71、72、73對準(zhǔn)。類似地，圖2b示出具有伸長形狀的電極7，特別是非常適合于沿著電極7的長軸74定向該小物體的橢圓形。
圖3示出其中采用了本發(fā)明的用于操縱小物體的系統(tǒng)的實例。在圖3的實施例中，拾取板31用作載體3，該拾取板上設(shè)置多個電極81、82。根據(jù)用于驅(qū)動這些電極的圖案而在該拾取板上放置大量拾取運(yùn)載小滴流體4。隨后，拾取運(yùn)載小滴流體4裝載小物體。在圖3的實施例中，小物體懸在該拾取板上。類似于圖2中示出的簡單例子，拾取板31朝進(jìn)給板51移動，該進(jìn)給板用作其上放置了小物體的襯底。進(jìn)給板51具有多個電極75、76。在進(jìn)給板51上，放置了幾個供給器目標(biāo)小滴流體6。利用施加于電極75、76的電壓和進(jìn)給板51上電極75、76的形狀，根據(jù)電潤濕效應(yīng)來控制這些供給器目標(biāo)小滴流體的位置。拾取板31朝進(jìn)給板51移動，以便使該拾取板上的小物體4接觸到供給器目標(biāo)小滴流體。在下一個階段中，拾取板31遠(yuǎn)離該進(jìn)給板移動，將這些小物體留在該進(jìn)給板上。圖3中示出這一操作階段中的用于操縱小物體的系統(tǒng)，其中拾取板31剛好將小物體4移交給進(jìn)給板51。如圖3中所示，一些目標(biāo)小滴流體沒有載有小物體。進(jìn)給板51上的電極75、76分成多個段，相鄰的電極段是可以利用電壓單獨(dú)尋址的。通過連續(xù)驅(qū)動相鄰的電極段，目標(biāo)小滴流體移過進(jìn)給板51。來自進(jìn)給板51的目標(biāo)小滴流體作用于檢測系統(tǒng)90，在該檢測系統(tǒng)中辨別出空載的目標(biāo)小滴流體并將其移動到容器91中。隨后將加載的目標(biāo)小滴流體移過撓性接頭100和放置板110。撓性接頭100和放置板110都具有分段電極101、102和111、112。在連續(xù)施加于撓性接頭100的相鄰電極段101、102的電壓控制下，加載的目標(biāo)小滴流體移過該撓性接頭。最后，加載的目標(biāo)小滴流體停留在放置板110上放置電極111、112上的期望的位置處。在施加于放置板上的電極段111、112的電壓控制下，加載的目標(biāo)小滴流體停留在該放置板上。
為了向進(jìn)給板51上的電極段75、76、撓性接頭100上的多段電極101、102和放置板110上的放置電極段111、112施加電壓，用于操縱小物體的系統(tǒng)具有可調(diào)節(jié)的電壓源115，該電壓源也具有微處理機(jī)(μ)。通過電子電壓分配系統(tǒng)116使電壓源115與多個電極段連接。對微處理機(jī)(μ)進(jìn)行編程，以控制向進(jìn)給板、撓性接頭和放置板的相鄰電極段連續(xù)施加電壓。最后，將具有小物體的放置板移動到器件襯底52，該小物體加載到供給器目標(biāo)小滴流體上，而該供給器目標(biāo)小滴流體現(xiàn)在保持在放置電極上的適當(dāng)位置。在器件襯底上提供了襯底目標(biāo)小滴流體61。放置板和器件襯底移動到彼此接近，從而使放置板110上的目標(biāo)供給器小滴流體6上的小物體接觸襯底目標(biāo)小滴流體61。在襯底上設(shè)置襯底電極113，通過具有微處理機(jī)的電壓源117和電子電壓分配系統(tǒng)118驅(qū)動該襯底電極。當(dāng)驅(qū)動該器件襯底上的襯底電極113，而放置板上的放置電極111、112無效時，該小物體與襯底目標(biāo)小滴流體61連接，并脫離放置板110上的供給器目標(biāo)小滴流體6。一旦帶有其小物體的加載小滴流體置于器件襯底上的適當(dāng)位置，就通過例如蒸發(fā)除去該襯底目標(biāo)小滴流體，那么小物體就置于放置板上。例如，當(dāng)小物體是微型集成電路時，它們形成了該器件襯底上形成的較大電子電路。
權(quán)利要求
1.一種用于操縱小物體的系統(tǒng)，包括運(yùn)送該小物體的載體；接收該小物體的襯底；以及將該小物體與該載體和/或該襯底可分開地連接的小滴流體。
2.如權(quán)利要求1所述的用于操縱小物體的系統(tǒng)，其中-在載體上置有運(yùn)載小滴流體。
3.如權(quán)利要求1或2所述的用于操縱小物體的系統(tǒng)，其中-在載體上置有目標(biāo)小滴流體。
4.如權(quán)利要求1所述的用于操縱小物體的系統(tǒng)，其中目標(biāo)小滴流體放置在襯底上的預(yù)定位置或按照預(yù)定圖案放置。
5.如權(quán)利要求1所述的用于操縱小物體的系統(tǒng)，其中小滴流體的尺寸與物體的尺寸之比在1/10到1/3的范圍內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1所述的用于操縱小物體的系統(tǒng)，其中襯底具有一個或多個電極。
7.如權(quán)利要求4所述的用于操縱小物體的系統(tǒng)，其中電極的形狀對應(yīng)于小物體的形狀。
8.一種用于操縱小物體的系統(tǒng)，包括-拾取板，其上放置了拾取運(yùn)載小滴流體；-供給板，其上放置了供給器目標(biāo)小滴流體；-放置板，其上放置了多個放置電極；-供給板和放置板通過接頭相連，特別是通過撓性接頭相連；以及-器件襯底，其上放置了襯底目標(biāo)小滴流體。
9.如權(quán)利要求6所述的用于操縱小物體的系統(tǒng)，具有-檢測系統(tǒng)，響應(yīng)于拾取板上的運(yùn)載小滴流體，以辨別運(yùn)載小物體的運(yùn)載小滴流體和空的小滴流體；以及-小滴流體丟棄系統(tǒng)，響應(yīng)于檢測系統(tǒng)，而將空的小滴流體從拾取板上排出。
10.一種用于操縱小物體的方法，該小物體具有高潤濕性的運(yùn)載側(cè)和低潤濕性的目標(biāo)側(cè)，-將所述小物體的低潤濕性側(cè)放置在載體上的運(yùn)載小滴流體上；-使所述載體與小物體的高潤濕性側(cè)接觸襯底的存放區(qū)；-將載體移開襯底。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其中目標(biāo)小滴流體放置在存放區(qū)。
全文摘要
一種用于操縱物體的系統(tǒng)，包括將物體(2)傳送到接收小物體的襯底的載體(3)。小滴流體(4，6)將物體(2)與載體(3)和/或襯底(5)可分開地連接。根據(jù)電潤濕效應(yīng)，通過電子手段控制物體(2)與小滴流體(6)的連接以及小滴流體(6)與襯底(5)的連接。
文檔編號B65H5/00GK1729561SQ200380106655
公開日2006年2月1日 申請日期2003年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月18日
發(fā)明者M·M·J·德雷, R·M·沃夫 申請人:皇家飛利浦電子股份有限公司