r>[0053] 作為抗靜電劑，例如可W使用四級(jí)胺鹽單體等。作為四級(jí)胺鹽單體，例如有：（甲 基）丙締酸二甲基胺基乙醋四級(jí)氯化物、（甲基）丙締酸二乙基胺基乙醋四級(jí)氯化物、（甲 基）丙締酸甲基乙基胺基乙醋四級(jí)氯化物、對(duì)二甲基胺基苯乙締四級(jí)氯化物、及對(duì)二乙基 胺基苯乙締四級(jí)氯化物。其中，優(yōu)選使用（甲基）丙締酸二甲基胺基乙醋四級(jí)氯化物。
[0054] 似光硬化型粘著劑
[0055] 本發(fā)明的粘合片的形成粘著劑層的光硬化型粘著劑，包含（甲基）丙締酸共聚物、 光聚合性化合物、多官能異氯酸醋硬化劑及光聚合起始劑，不包含增粘樹(shù)脂。
[0056] (2-1)不包含增粘樹(shù)脂
[0057] 作為加熱時(shí)導(dǎo)致粘著劑層的軟化的增粘樹(shù)脂，無(wú)特別限定，然而可列舉松香類樹(shù) 月旨、祗締類樹(shù)脂、脂肪族石油樹(shù)脂、芳香族石油樹(shù)脂、氨化石油樹(shù)脂、苯并巧喃-巧樹(shù)脂、苯 乙締類樹(shù)脂、二甲苯樹(shù)脂W及所述等樹(shù)脂的混合物。
[0058] 粘著劑中只要不包含增粘樹(shù)脂，也可W添加剝離增強(qiáng)劑、抗老化劑、填充劑、紫外 線吸收劑W及光穩(wěn)定劑等各種添加劑。在剝離增強(qiáng)劑中，可W使用例如硅氧烷類接枝聚合 物（表1的硅氧烷類聚合物）。
[0059] 此外，在本發(fā)明的實(shí)施例中并未使用增粘樹(shù)脂，僅在比較例中使用增粘樹(shù)脂。
[0060] (2-2)(甲基）丙締酸共聚物
[0061] (甲基）丙締酸共聚物是僅為（甲基）丙締酸醋單體的聚合物，或者是（甲基）丙 締酸醋單體與乙締基化合物單體的共聚物。另外，（甲基）丙締酸醋是丙締酸醋與甲基丙 締酸醋的總稱。含有（甲基）丙締酸醋等的（甲基）的化合物等，也同樣是指在名稱中包 含"甲基"的化合物與不包含"甲基"的化合物的總稱。
[00創(chuàng)作為（甲基）丙締酸醋的單體，可W列舉例如（甲基）丙締酸下醋、2-(甲基）丙 締酸下醋、t-(甲基）丙締酸下醋、（甲基）丙締酸戊醋、（甲基）丙締酸辛醋、（甲基）丙 締酸2-乙基己醋、（甲基）丙締酸壬醋、（甲基）丙締酸癸醋、（甲基）丙締酸月桂醋、（甲 基）丙締酸甲醋、（甲基）丙締酸乙醋、（甲基）丙締酸異丙醋、（甲基）丙締酸十Ξ醋、（甲 基）丙締酸十四醋、（甲基）丙締酸十六醋、（甲基）丙締酸十八醋、（甲基）丙締酸環(huán)己 醋、（甲基）丙締酸異茨醋、（甲基）丙締酸雙環(huán)戊醋、甲基丙締酸節(jié)醋、（甲基）丙締酸甲 氧基乙醋、（甲基）丙締酸乙氧乙醋、（甲基）丙締酸下氧甲醋W及乙氧基-η-(甲基）丙締 酸丙醋、（甲基）丙締酸-2-徑乙醋、（甲基）丙締酸-2-徑基丙醋、（甲基）丙締酸-4-徑 基下醋。
[0063] 作為能夠在（甲基）丙締酸醋單體上共聚的乙締基化合物單體，可列舉含官能基 單體，其包含1種W上簇基、環(huán)氧基、酷胺基、胺基、徑甲基、橫酸基、橫胺酸基或者（亞）憐 酸醋基等官能基群。
[0064] 作為具有簇基的單體，例如有（甲基）丙締酸、下締酸、馬來(lái)酸、無(wú)水馬來(lái)酸、亞甲 基下二酸、反下締二酸、丙締酷胺基-Ν-乙醇酸及桂皮酸。
[0065] 作為具有環(huán)氧基的單體，例如有丙締基丙Ξ基酸W及（甲基）丙締酸環(huán)氧丙基酸。
[0066] 作為具有酷胺基的單體，例如有（甲基）丙締酷胺。
[0067] 作為具有胺基的單體，例如有（甲基）丙締酸-Ν，Ν-二甲胺乙醋。
[0068] 作為具有徑甲基的單體，例如有Ν-徑甲基丙締酷胺。
[0069] (2-3)光聚合性化合物
[0070] 作為光聚合性化合物，例如可W使用Ξ徑甲基丙烷Ξ丙締酸醋、新戊四醇四丙締 酸醋、Ξ丙締酸異戊四醇醋、季戊四醇Ξ丙締酸醋、二新戊四醇一徑五丙締酸醋、聚二季戊 四醇六丙締酸醋、1,4-下二醇雙丙締酸醋、1，6己二醇雙丙稀酸醋、聚乙二醇二丙締酸醋、 Ξ聚氯酸Ξ乙基丙締酸醋、市售的低聚醋丙締酸醋等。
[0071] 作為光聚合性化合物，除上述丙締酸醋類化合物，還可W使用聚氨醋丙締酸醋寡 聚物。聚氨醋丙締酸醋寡聚物是在使聚醋型態(tài)與聚酸型態(tài)等聚醇化合物與多價(jià)異氯酸化合 物反應(yīng)而得到的端異氯酸醋氨基甲酸乙醋預(yù)聚物上，反應(yīng)具有徑基的（甲基）丙締酸醋而 得。
[0072] 在多價(jià)異氯酸化合物中，例如可W使用2, 4-甲苯基二異氯酸醋、2, 6-甲苯基二異 氯酸醋、1，3-二異氯酸二甲苯醋、1，4-二異氯酸二甲苯醋、4, 4-二苯基甲燒二異氯酸醋、Ξ 甲基六亞甲基二異氯酸醋、六亞甲基二異氯酸醋、佛爾酬二異氯酸醋等。又，在具有徑基的 (甲基）丙締酸醋中，例如可W使用（甲基）丙締酸-2-徑乙醋、（甲基）丙締酸-2-徑基 丙醋、聚乙二醇（甲基）丙締酸醋、Ξ丙締酸異戊四醇醋、環(huán)氧丙醇二（甲基）丙締酸醋、二 新戊四醇一徑五丙締酸醋等。
[0073] 作為光聚合性化合物，優(yōu)選為具有4個(gè)W上的乙締基的聚氨醋丙締酸醋寡聚物， 其在紫外線等照射后的粘著劑的硬化良好。
[0074] 光聚合性化合物的混合量，優(yōu)選對(duì)于（甲基）丙締酸共聚物100質(zhì)量份設(shè)定為5 質(zhì)量份W上200質(zhì)量份W下。如果使光聚合性化合物的混合量減少，則照射紫外線之后的 粘合片的剝離性降低，容易發(fā)生半導(dǎo)體忍片的拾取不良。另一方面，如果增加光聚合性化合 物的混合量，則由于切割時(shí)粘著劑的刮起很容易發(fā)生拾取不良，且由于反應(yīng)殘?jiān)a(chǎn)生微小 的粘著劑殘留，導(dǎo)致污染。
[0075] (2-4)多官能異氯酸醋硬化劑
[0076] 在多官能異氯酸醋硬化劑中，使用包含2個(gè)W上異氯酸醋基者，例如芳香族聚異 氯酸醋、脂肪族聚異氯酸醋、脂環(huán)族聚異氯酸醋、運(yùn)些的二聚物及Ξ聚物、加成物等。
[0077] 作為芳香族聚異氯酸醋，例如有1，3-苯二異氯酸醋、4, 4'-二苯二異氯酸醋、 1，4-苯二異氯酸醋、4, 4' -二苯基甲燒二異氯酸醋、2, 4-甲苯基二異氯酸醋、2, 6-甲苯基二 異氯酸醋、4, 4' -甲苯胺二異氯酸醋、2, 4, 6-甲苯基異氯酸醋、1，3, 5-甲苯基異氯酸醋苯、 聯(lián)大茵香胺聯(lián)異氯酸醋、4, 4' -二苯酸二異氯酸醋、4, 4'，4"-Ξ苯甲燒甲苯基異氯酸醋、 ω，ω'-二異氯酸醋-1,3-二甲苯、ω，ω'-二異氯酸醋-1,4-二甲苯、ω，ω'-二異氯酸 醋-1，4-二乙苯、1，4-四甲基苯二亞甲基二異氯酸醋W及1，3-四甲基苯二亞甲基二異氯酸 醋。
[007引作為脂肪族聚異氯酸醋，例如有伸丙基二異氯酸醋、伸下基二異氯酸醋、六亞甲基 二異氯酸醋、五亞甲基二異氯酸醋、1，2-伸丙基二異氯酸醋、2, 3-下締二異氯酸醋、1，3-下 締二異氯酸醋、十二亞甲基二異氯酸醋W及2, 4, 4-Ξ甲基六亞甲基二異氯酸醋。
[00巧]作為脂環(huán)族聚異氯酸醋，例如有3-異氯酸甲基3, 5,5-Ξ甲基環(huán)己異氯酸醋、 1，3-環(huán)戊燒二異氯酸醋、1，3-環(huán)己燒二異氯酸醋、1，4-環(huán)己燒二異氯酸醋、甲基-2, 4-環(huán)己 燒二異氯酸醋、甲基-2, 6-環(huán)己燒二異氯酸醋、4, 4' -亞甲雙（環(huán)己燒異氯酸醋）、1，4-二 (環(huán)己燒異氯酸醋）環(huán)己燒W及1,4-二（異氯酸醋甲基）環(huán)己燒。
[0080] 作為二聚物及Ξ聚物、加成物，例如有二苯基甲燒二異氯酸醋的二聚物、六亞甲基 二異氯酸醋的Ξ聚物、Ξ徑甲基丙烷與甲苯基二異氯酸醋的加成物、Ξ徑甲基丙烷與六亞 甲基二異氯酸醋的加成物。
[0081] 上述聚異氯酸醋中，優(yōu)選具有3個(gè)W上異氯酸醋基，更優(yōu)選為六亞甲基二異氯酸 醋的Ξ聚物、Ξ徑甲基丙烷與甲苯基二異氯酸醋的加成物、Ξ徑甲基丙烷與六亞甲基二異 氯酸醋的加成物。
[0082] 多官能異氯酸醋硬化劑的混合比，優(yōu)選對(duì)于（甲基）丙締酸共聚物100質(zhì)量份設(shè) 定為0. 5質(zhì)量份W上20質(zhì)量份W下，更優(yōu)選設(shè)定為1. 0質(zhì)量份W上10質(zhì)量份W下。如果多 官能異氯酸醋硬化劑為0. 5質(zhì)量份W上，則粘著力并不過(guò)強(qiáng)，故能夠抑制拾取不良的發(fā)生。 如果多官能異氯酸醋硬化劑為20質(zhì)量份W下，則粘著力不會(huì)降低，切割時(shí)可W維持半導(dǎo)體 忍片的保持性。
[0083] (2-5)光聚合起始劑
[0084] 在光聚合起始劑中，可W使用安息香、安息香芳燒酸類、苯乙酬類、蔥膚類、塞噸酬 類、縮酬類、二苯基酬類或者氧雜蔥酬類等。
[0085] 作為安息香，例如有安息香、安息香甲酸、安息香乙酸、安息香二丙酸等。 W86] 作為苯乙酬類，例如有安息香芳燒酸類、苯乙酬、2, 2-二甲氧基-2-苯乙酬、 2, 2-二乙氧基-2-苯乙酬、1，1-二氯苯乙酬等。
[0087] 作為蔥膚類，有2-甲基蔥釀、2-乙基蔥釀、2-叔-下基蔥釀、1-氯蔥釀等。 陽(yáng)08引作為塞噸酬類，例如有2, 4-二甲基塞噸酬、2, 4-二異丙基塞噸酬、2-氯塞噸酬、 2, 4-二異丙基塞噸酬等。
[0089] 作為縮酬類，例如有苯乙酬二甲基縮酬、苯甲基二甲基縮酬、苯甲基二苯基硫、一 硫化四甲基秋蘭姆、偶氮雙異下臘、二苯基、雙乙酷、β-氯蔥釀等。
[0090] 光聚合起始劑，優(yōu)選為Wl〇°C/分鐘的升溫速度從溫度23°C升溫至500°C，質(zhì)量減 少率成為10%時(shí)的溫度為250°CW上。在下述的加熱工序中將貼附于晶圓等的粘合片加