專利名稱：熱固化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種熱固化裝置。
背景技術(shù)：
在顯示面板制備工藝中，包含在基板上形成取向膜、黑矩陣層、彩色濾光層等步驟，都需要對(duì)膜層進(jìn)行固化以使其固化成型?，F(xiàn)有技術(shù)中，固化通常采用下述幾種方式進(jìn)行，但是每種方式都對(duì)應(yīng)存在不同的缺陷，具體描述如下。(I)將加熱板設(shè)置在基板上方，通過(guò)加熱板與基板之間氣體的熱交換作用，實(shí)現(xiàn)對(duì)基板上膜層的固化，基板在整個(gè)固化過(guò)程處于靜止的狀態(tài)，可避免針孔不良，但在真空吸附固定基板的位置存在加熱不均和吸附不良的隱患；(2)使用密閉腔進(jìn)行熱固化，密閉腔的使用雖然可以減少因氣流流動(dòng)而導(dǎo)致的膜厚不均問(wèn)題，但基板與加熱接觸部和傳送部存在接觸不良的隱患；(3)設(shè)置了進(jìn)氣和氣體吸收裝置的預(yù)固化技術(shù)，理論上可形成厚度更為均一的膜層，但存在氣流流動(dòng)的紊亂和真空吸附固定基板的位置加熱不均、吸附不良的隱患；(4)運(yùn)用遠(yuǎn)紅外輻射式加熱基板的技術(shù)，該加熱方法可減少加熱不均帶來(lái)的相關(guān)不良，但整個(gè)預(yù)固化過(guò)程中，基板相對(duì)于承載基臺(tái)處于靜止?fàn)顟B(tài)，存在真空吸附固定基板的位置加熱不均和吸附不良的隱患。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本實(shí)用新型的目的是改善熱固化過(guò)程中加熱不均以及基板支撐位置膜層厚度不均、吸附不良的缺陷。(二)技術(shù)方案 為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種熱固化裝置，包括熱固化腔體，還包括:加熱承載單元，用于對(duì)所述熱固化腔體加熱，并支撐待固化的基板，所述加熱承載單元可改變所支撐的待固化的基板位置；進(jìn)氣單元，用于使所述熱固化腔體內(nèi)的氣體流動(dòng)，所述進(jìn)氣單元位于所述加熱承載單元的上方，其進(jìn)氣方向朝向所述加熱承載單元。其中，所述加熱承載單元包括加熱基臺(tái)，所述加熱基臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)支柱，所述支柱用于支撐所述待固化的基板。其中，還包括用于夾持所述待固化的基板的氣動(dòng)夾手，所述氣動(dòng)夾手上安裝有絲杠，所述絲杠連接動(dòng)力驅(qū)動(dòng)單元。其中，所述多個(gè)支柱在所述加熱基臺(tái)上均勻分布。其中，所述支柱的頂端設(shè)置有滾珠，所述待固化的基板放置于所述滾珠上。其中，所述滾珠嵌入所述支柱的頂端，且在所述支柱頂端可滾動(dòng)。其中，所述支柱由絕熱材料制成，所述滾珠由導(dǎo)熱材料制成。[0016]其中，所述進(jìn)氣單元連通外部環(huán)境氣體。(三)有益效果上述技術(shù)方案所提供的熱固化裝置，形成有膜層的待固化的基板在加熱承載單元上方有規(guī)律的移動(dòng)，能夠使整個(gè)待固化的基板受熱均勻，不會(huì)引起基板與加熱承載單元接觸部位受熱不均，從而能夠避免基板上膜層固化后厚度不均的問(wèn)題；進(jìn)氣單元與加熱承載單元共同作用，能夠?qū)崿F(xiàn)膜層全方位加熱，簡(jiǎn)化制作工藝，提高產(chǎn)品良率，降低生產(chǎn)成本，最終提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，適用于顯示面板制造中對(duì)成膜平坦度要求高的工藝，尤其適用于取向膜預(yù)固化工藝。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中熱固化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1熱固化裝置中氣動(dòng)夾手加持待固化的基板的示意圖；圖3是待固化的基板在固化加熱過(guò)程中移動(dòng)的示意圖；圖4是本實(shí)施例中支撐待固化的基板的支柱的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，1:待固化的基板；2 旲層；3:加熱基臺(tái)；4:支柱；5:進(jìn)氣單兀；6:滾珠；7:氣動(dòng)夾手；8:絲杠。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。本實(shí)用新型采用動(dòng)態(tài)加熱`方式實(shí)現(xiàn)基板上膜層的均勻固化，通過(guò)可改變所支撐的待固化的基板位置的加熱承載單元和位于加熱承載單元上方的進(jìn)氣單元，能夠?qū)崿F(xiàn)加熱承載單元對(duì)所述待固化的基板上的膜層進(jìn)行動(dòng)態(tài)加熱，避免局部受熱不均勻，影響膜層固化后的厚度均一性以及固化質(zhì)量；進(jìn)氣單元與加熱承載單元相對(duì)設(shè)置，能夠使得進(jìn)氣單元引入的氣體吹拂加熱基臺(tái)后產(chǎn)生的熱空氣更加均勻的分布在膜層表面，使膜層表面均勻受熱且加快固化的速度。本實(shí)用新型提供了一種熱固化裝置，包括熱固化腔體；加熱承載單元，用于對(duì)所述熱固化腔體加熱，并支撐待固化的基板，所述加熱承載單元可改變所支撐的待固化的基板位置；進(jìn)氣單元，用于使所述熱固化腔體內(nèi)的氣體流動(dòng)，所述進(jìn)氣單元位于所述加熱承載單元的上方，其進(jìn)氣方向朝向所述加熱承載單元。具體地，參照?qǐng)D1至圖3所示出的本實(shí)施例提供的熱固化裝置的相關(guān)圖示，所述加熱承載單元包括加熱基臺(tái)3，所述加熱基臺(tái)3上設(shè)置有多個(gè)支柱4，所述支柱4用于支撐待固化的基板I。進(jìn)一步地，所述固化裝置還包括用于夾持所述待固化的基板I的氣動(dòng)夾手7，所述氣動(dòng)夾手7上安裝有絲杠8,所述絲杠8連接動(dòng)力驅(qū)動(dòng)單元。由動(dòng)力驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)絲杠8以帶動(dòng)待固化的基板I在大概水平方向上移動(dòng)(如圖示中箭頭和標(biāo)注的A、B位置所示)，使得膜層2在整個(gè)固化的環(huán)境處于動(dòng)態(tài)加熱的過(guò)程中，而非先前現(xiàn)有技術(shù)中待固化的基板一直處于靜止的狀態(tài)。其中，優(yōu)選的，所述多個(gè)支柱4在所述加熱基臺(tái)3上均勻分布，以實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)待固化的基板I均勻加熱。進(jìn)一步地，所述進(jìn)氣單元5聯(lián)通外部環(huán)境氣體。動(dòng)態(tài)加熱可以使得連通外部環(huán)境氣體的進(jìn)氣單元5在吹拂加熱基臺(tái)3后產(chǎn)生的熱空氣更加均衡的分布在待固化的膜層2表面，最終使得膜層2表面均勻受熱。本實(shí)施例中，如圖4所示，所述支柱4的頂端設(shè)置有滾珠6，所述待固化的基板I放置于所述滾珠6上。進(jìn)一步地，所述支柱4下端在加熱基臺(tái)3上固定，上端設(shè)置與滾珠6相匹配的凹槽，使所述滾珠6嵌入所述支柱4頂端的凹槽中，且在所述支柱4頂端可滾動(dòng)，由此能夠?qū)崿F(xiàn)待固化的基板I在支柱4上方無(wú)阻力地移動(dòng)，并且滾珠6與待固化的基板I之間為球面接觸，接觸面積小，能夠盡可能地減小局部受熱的不均勻。優(yōu)選的，支柱4選用絕熱材料，如絕熱性能好的陶瓷，以避免由加熱基臺(tái)3向待固化的基板I局部導(dǎo)熱；滾珠6選用導(dǎo)熱材料，如導(dǎo)熱性能好、耐磨且不易對(duì)待固化的基板I背面造成劃傷的金屬，以通過(guò)滾珠6實(shí)現(xiàn)待固化的基板I下方熱量的傳導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)待固化的基板I整個(gè)下表面均勻受熱，對(duì)膜層2進(jìn)行均勻加熱固化。與現(xiàn)有技術(shù)中針式支撐物在整個(gè)固化過(guò)程中自始至終與待固化的基板某一固定接觸點(diǎn)接觸不同，上述支柱4和滾珠6的結(jié)構(gòu)處于運(yùn)動(dòng)加熱的狀態(tài)，從而避免了針式支撐物帶來(lái)的接觸點(diǎn)固化不良的問(wèn)題，此外，取消了熱固化前和熱固化后移動(dòng)針式支撐物的使用，減少了過(guò)程停機(jī)時(shí)間和設(shè)備成本，簡(jiǎn)化了制作工藝，提高了產(chǎn)品良率，降低了生產(chǎn)成本，最終提高了產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。下面對(duì)上述可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)加熱熱固化裝置的使用過(guò)程進(jìn)行詳細(xì)的描述:參見(jiàn)圖1至圖3所示:將已形成一層膜層2·的待固化的基板I放置在支柱4上，同時(shí)水平方向移動(dòng)氣動(dòng)夾手7固定住待固化的基板I。此時(shí)待固化的基板位于位置A，加熱基臺(tái)3開(kāi)始加熱，同時(shí)進(jìn)氣單元5開(kāi)啟，給已形成一層膜層2的待固化的基板I加熱。水平方向的驅(qū)動(dòng)單元通過(guò)絲桿8，將氣動(dòng)夾手7固定住的待固化的基板I在鑲嵌有滾珠6的支柱4上以一定速率朝向一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)；當(dāng)待固化的基板I運(yùn)動(dòng)到一定位置例如位置B時(shí)，氣動(dòng)夾手7再帶動(dòng)待固化的基板I向相反方向運(yùn)動(dòng)，如此反復(fù)，直至膜層2固化過(guò)程結(jié)束。由以上實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型形成有膜層的待固化的基板在加熱基臺(tái)上方有規(guī)律的移動(dòng)，能夠使整個(gè)待固化的基板受熱均勻，不會(huì)引起待固化的基板與加熱基臺(tái)接觸部位受熱不均，從而能夠避免基板膜層固化后厚度不均的問(wèn)題；進(jìn)氣單元與加熱承載單元共同作用，能夠?qū)崿F(xiàn)膜層全方位加熱，簡(jiǎn)化制作工藝，提高產(chǎn)品良率，降低生產(chǎn)成本，最終提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，適用于顯示面板制造中對(duì)成膜平坦度要求高的工藝，尤其適用于取向膜預(yù)固化工藝。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種熱固化裝置，包括熱固化腔體，其特征在于，還包括: 加熱承載單元，用于對(duì)所述熱固化腔體加熱，并支撐待固化的基板，所述加熱承載單元可改變所支撐的待固化的基板位置； 進(jìn)氣單元，用于使所述熱固化腔體內(nèi)的氣體流動(dòng)，所述進(jìn)氣單元位于所述加熱承載單元的上方，其進(jìn)氣方向朝向所述加熱承載單元。
2.如權(quán)利要求1所述的熱固化裝置，其特征在于，所述加熱承載單元包括加熱基臺(tái)，所述加熱基臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)支柱，所述支柱用于支撐所述待固化的基板。
3.如權(quán)利要求2所述的熱固化裝置，其特征在于，還包括用于夾持所述待固化的基板的氣動(dòng)夾手，所述氣動(dòng)夾手上安裝有絲杠，所述絲杠連接動(dòng)力驅(qū)動(dòng)單元。
4.如權(quán)利要求2所述的熱固化裝置，其特征在于，所述多個(gè)支柱在所述加熱基臺(tái)上均勻分布。
5.如權(quán)利要求2所述的熱固化裝置，其特征在于，所述支柱的頂端設(shè)置有滾珠，所述待固化的基板放置于所述滾珠上。
6.如權(quán)利要求5所述的熱固化裝置，其特征在于，所述滾珠嵌入所述支柱的頂端，且在所述支柱頂端可滾動(dòng)。
7.如權(quán)利要求5所述的熱固化裝置，其特征在于，所述支柱由絕熱材料制成，所述滾珠由導(dǎo)熱材料制成。
8.如權(quán)利要求1所述的熱固化裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣單元連通外部環(huán)境氣體。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種熱固化裝置，包括熱固化腔體，還包括加熱承載單元，用于對(duì)熱固化腔體加熱，并支撐待固化的基板，加熱承載單元可改變所支撐的待固化的基板位置；進(jìn)氣單元，用于使熱固化腔體內(nèi)的氣體流動(dòng)，所述進(jìn)氣單元位于所述加熱承載單元的上方，其進(jìn)氣方向朝向加熱承載單元。本實(shí)用新型形成有膜層的待固化的基板在加熱基臺(tái)上方有規(guī)律的移動(dòng)，使整個(gè)待固化的基板受熱均勻，能夠避免基板膜層固化后厚度不均的問(wèn)題；進(jìn)氣單元與加熱承載單元共同作用，能夠?qū)崿F(xiàn)膜層全方位加熱，簡(jiǎn)化制作工藝，提高產(chǎn)品良率，降低生產(chǎn)成本，最終提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，適用于顯示面板制造中對(duì)成膜平坦度要求高的工藝，尤其適用于取向膜預(yù)固化工藝。
文檔編號(hào)B05D3/04GK203091237SQ20132010704
公開(kāi)日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2013年3月8日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月8日
發(fā)明者任文明, 栗芳芳, 余峰 申請(qǐng)人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司