一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)，包括坩堝、稱重傳感器、導(dǎo)向筒、平移機構(gòu)和升降機構(gòu)，所述的稱重傳感器安裝在導(dǎo)向筒內(nèi)，所述坩堝的兩側(cè)各設(shè)置有一個連接耳座，所述的連接耳座上開設(shè)有通孔，所述坩堝的兩側(cè)各設(shè)置有一個升降機構(gòu)，所述的升降機構(gòu)與連接耳座相連，所述的平移機構(gòu)與升降機構(gòu)相連。本設(shè)計通過一個稱重傳感器測量石英坩內(nèi)的重量，從而測量出剩余硅料量，起到了節(jié)約硅料的作用。
【專利說明】
一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及單晶爐領(lǐng)域，特別是一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。
[0003]在硅單晶拉制過程中，需要測量晶棒的重量，便于計算石英鍋內(nèi)剩余硅料的質(zhì)量，所以需要一套單晶爐稱重裝置?，F(xiàn)有的稱重裝置，都是采用復(fù)雜的機械動作來實現(xiàn)，比較費力，而且測量的精度不尚，易造成娃料的浪費等現(xiàn)象。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)，該稱重裝置通過一個稱重傳感器測量石英坩內(nèi)的重量，從而測量出剩余硅料量，起到了節(jié)約硅料的作用。
[0005]為解決上述的技術(shù)問題，本實用新型的結(jié)構(gòu)包括坩禍、稱重傳感器、導(dǎo)向筒、平移機構(gòu)和升降機構(gòu)，所述的稱重傳感器安裝在導(dǎo)向筒內(nèi)，所述坩禍的兩側(cè)各設(shè)置有一個連接耳座，所述的連接耳座上開設(shè)有通孔，所述坩禍的兩側(cè)各設(shè)置有一個升降機構(gòu)，所述的升降機構(gòu)與連接耳座相連，所述的平移機構(gòu)與升降機構(gòu)相連。
[0006]進一步:所述的平移機構(gòu)包括氣缸、U型推板、兩條水平軌道和兩個滑塊，所述的兩個滑塊分別活動連接在兩條水平軌道上，所述的氣缸與U型推板相連，所述U型推板的兩端分別連接在兩個滑塊上，所述的升降機構(gòu)連接在滑塊上。
[0007]又進一步:所述的升降機構(gòu)包括設(shè)置在滑塊上的豎直軌道、升降小車、升降板和定位柱，所述定位柱的尺寸與連接耳座上通孔的尺寸相匹配，所述的升降小車滑動連接在豎直軌道上，所述的升降板水平固定連接在升降小車上，所述的定位柱安裝在升降板上。
[0008]采用上述結(jié)構(gòu)后，本實用新型通過一個稱重傳感器測量石英坩內(nèi)的重量，從而測量出剩余硅料量，起到了節(jié)約硅料的作用;而且本設(shè)計還具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實用高效的優(yōu)點。
【附圖說明】
[0009]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0010]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011 ]圖2為升降機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0012]如圖1所示的一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)，包括坩禍3、稱重傳感器10、導(dǎo)向筒9、平移機構(gòu)和升降機構(gòu)，所述的稱重傳感器10安裝在導(dǎo)向筒9內(nèi)，所述坩禍3的兩側(cè)各設(shè)置有一個連接耳座6，所述的連接耳座6上開設(shè)有通孔，所述坩禍3的兩側(cè)各設(shè)置有一個升降機構(gòu)，所述的升降機構(gòu)與連接耳座6相連，所述的平移機構(gòu)與升降機構(gòu)相連。工作時，當(dāng)一批晶棒制備完成后，啟動平移機構(gòu)把坩禍3運送到導(dǎo)向筒9內(nèi)稱重傳感器10的正上方，然后啟動升降機構(gòu)使其帶著坩禍3向下降，使坩禍3沿著導(dǎo)向筒9掉落在稱重傳感器10上，當(dāng)坩禍3掉落在稱重傳感器10上后，繼續(xù)啟動升降機構(gòu)使升降機構(gòu)與坩禍3進行分離，此時通過稱重傳感器10測量出坩禍3內(nèi)的剩余硅料量。當(dāng)測量完畢后反向啟動升降機構(gòu)使坩禍3從導(dǎo)向筒9升出，最后啟動平移機構(gòu)把坩禍3輸送回原位。
[0013]如圖1所示的平移機構(gòu)包括氣缸6、U型推板4、兩條水平軌道I和兩個滑塊2，所述的兩個滑塊2分別活動連接在兩條水平軌道I上，所述的氣缸6與U型推板4相連，所述U型推板4的兩端分別連接在兩個滑塊2上，所述的升降機構(gòu)連接在滑塊2上。工作時，啟動氣缸6使其6推著U型推板4進行水平移動，兩個滑塊2在U型推板4的作用下會帶著坩禍3沿著兩條水平軌道進行水平移動，從而把坩禍3輸送到稱重傳感器10的正上方。本設(shè)計具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實用尚效的優(yōu)點。
[0014]如圖2所示的升降機構(gòu)包括設(shè)置在滑塊2上的豎直軌道13、升降小車13、升降板15和定位柱8，所述定位柱8的尺寸與連接耳座6上通孔的尺寸相匹配，所述的升降小車13滑動連接在豎直軌道13上，所述的升降板15水平固定連接在升降小車I上，所述的定位柱8安裝在升降板15上。當(dāng)坩禍運送到稱重傳感器10的正上方時，啟動升降小車13使其通過升降板15帶著坩禍3向下運動，把坩禍3運送到稱重傳感器10上，然后繼續(xù)啟動升降小車13使與連接耳座6相分離，此時利用稱重傳感器10來測量坩禍3內(nèi)剩余的硅料量。當(dāng)測量完畢后方向啟動升降小車I使升降板15與連接耳座6相接觸，從而利用升降板15把坩禍3從導(dǎo)向筒9升出。本設(shè)計通過定位柱8和連接耳座6上通孔的設(shè)計來防止坩禍3在運輸?shù)倪^程中發(fā)生掉落，從而起到了減少不必要損失的作用。
【主權(quán)項】
1.一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)，其特征在于:包括坩禍(3)、稱重傳感器(10)、導(dǎo)向筒(9)、平移機構(gòu)和升降機構(gòu)，所述的稱重傳感器(10)安裝在導(dǎo)向筒(9)內(nèi)，所述坩禍(3)的兩側(cè)各設(shè)置有一個連接耳座(6)，所述的連接耳座(6)上開設(shè)有通孔，所述坩禍(3)的兩側(cè)各設(shè)置有一個升降機構(gòu)，所述的升降機構(gòu)與連接耳座(6)相連，所述的平移機構(gòu)與升降機構(gòu)相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)，其特征在于:所述的平移機構(gòu)包括氣缸(6)、U型推板(4)、兩條水平軌道(I)和兩個滑塊(2)，所述的兩個滑塊分別活動連接在兩條水平軌道(I)上，所述的氣缸(6)與U型推板(4)相連，所述U型推板(4)的兩端分別連接在兩個滑塊(2)上，所述的升降機構(gòu)連接在滑塊(2)上。3.根據(jù)權(quán)利要求2述的一種用于單晶爐的稱重系統(tǒng)，其特征在于:所述的升降機構(gòu)包括設(shè)置在滑塊(2)上的豎直軌道(13)、升降小車(13)、升降板(15)和定位柱(8)，所述定位柱(8)的尺寸與連接耳座(6)上通孔的尺寸相匹配，所述的升降小車(13)滑動連接在豎直軌道(13)上，所述的升降板(15)水平固定連接在升降小車(I)上，所述的定位柱(8)安裝在升降板(15)上。
【文檔編號】C30B15/28GK205556849SQ201520789814
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2015年10月13日
【發(fā)明人】潘清躍, 王平
【申請人】江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司