一種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于多晶硅還原爐用石墨組件防護(hù)方式，具體的說(shuō)是一種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，屬于多晶硅還原爐用石墨組件技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體和太陽(yáng)能光伏產(chǎn)品的主要原料，目前用于生產(chǎn)多晶硅的主要方法有改良西門(mén)子法、硅烷法、硫化床法等方法，其中改良西門(mén)子法和硅烷法在還原過(guò)程中都需要沉積載體，目前廣泛使用的為硅芯，包括方形硅芯、圓形硅芯等等，硅芯與電極之間通過(guò)石墨組件來(lái)連接和卡緊。
[0003]由于我國(guó)的多晶硅規(guī)?；a(chǎn)起步較晚，相關(guān)的生產(chǎn)技術(shù)主要掌握在歐美、日本等少數(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家手中，產(chǎn)業(yè)整體技術(shù)薄弱，無(wú)論在規(guī)模、產(chǎn)品質(zhì)量還是在生產(chǎn)成本控制方面，在整個(gè)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中均處于劣勢(shì)。所以提升現(xiàn)有技術(shù)，降低生產(chǎn)成本成為眾多廠(chǎng)商的當(dāng)務(wù)之急。本專(zhuān)利就是為了降低多晶硅的還原環(huán)節(jié)的生產(chǎn)成本，提供一種即廉價(jià)又方便操作的多晶硅還原爐用石墨組件，可以大幅降低石墨的用量，并且石墨底座可以做到重復(fù)利用，同時(shí)能夠達(dá)到卡緊硅芯的目的，可以大幅降低多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的生產(chǎn)成本。
[0004]傳統(tǒng)的多晶硅還原爐用石墨組件主要為兩種方式:
[0005]—種方式為三件套式，包括石墨底座、石墨螺帽和石墨卡瓣三部分。石墨底座上端有螺紋，可與石墨螺帽旋擰在一起，石墨螺帽中心為孔洞，用于石墨卡瓣部分通過(guò)，卡瓣放置于石墨底座上方，石墨螺帽與石墨底座連接并旋緊后，達(dá)到固定石墨卡瓣并卡緊硅芯的目的。這種結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，可以較好的達(dá)到卡緊硅芯的目的，但使用石墨量較大，成本較高，安裝較為繁瑣和不便。
[0006]另一種方式為一體式，即在整塊石墨上端加工成方形或圓錐形的孔洞，硅芯直接插放在孔洞內(nèi)，這種方式安裝方便，但存在硅芯難以卡緊、整個(gè)石墨組件只能使用一次、硅芯尺寸誤差較大時(shí)無(wú)法使用等缺陷問(wèn)題，成本也較高。
[0007]另一種方式為我公司實(shí)用新型兩件套式，包括石墨底座、石墨卡瓣兩部分。石墨底座和石墨卡瓣為承插式結(jié)構(gòu)，石墨底座上端有錐孔，石墨卡瓣兩頭均為錐形，卡瓣上的錐形與石墨底座上的錐孔配合，通過(guò)壓緊卡瓣從而夾緊硅芯的同時(shí)石墨底座錐孔也夾緊卡瓣。
[0008]對(duì)于三件套式石墨組件或兩件套式組件，多晶硅在還原爐中生長(zhǎng)(沉積)，硅會(huì)不斷的沉積到硅芯和石墨組件上，將硅芯包裹在其中，同時(shí)會(huì)把石墨卡瓣包裹住，由于工藝不同，有的企業(yè)甚至硅會(huì)沉積到石墨底座上，把石墨底座也包裹其中，這樣就造成整個(gè)石墨組件只能一次性使用，增加了生產(chǎn)成本，同時(shí)也造成晶棒的清理困難。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0009]本實(shí)用新型目的在于克服上述傳統(tǒng)的石墨組件不足之處，從而提供一種性能可靠，操作方便，成本較低的多晶硅還原爐用石墨組件護(hù)罩，用于多晶硅還原爐用石墨組件，有利于增加石墨組件的重復(fù)使用次數(shù)，也有助于減少晶棒的后道清理工作量，從而節(jié)約生產(chǎn)成本。
[0010]本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:
[0011]—種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，所述石墨組件用于固定硅芯，其特征在于:所述石墨護(hù)罩為隔離部件，用于隔離石墨組件和硅芯位于石墨組件外部部分。
[0012]其進(jìn)一步特征在于:所述隔離部件形狀與所述石墨組件外形相適應(yīng)。
[0013]進(jìn)一步的:所述隔離部件為錐臺(tái)形罩體。
[0014]所述錐臺(tái)形罩體為棱形臺(tái)或圓臺(tái)。
[0015]所述錐臺(tái)形罩體為扇形石墨紙片卷起后，側(cè)邊連接而成。
[0016]優(yōu)選的:所述扇形石墨紙片側(cè)邊設(shè)置有插接槽。
[0017]本實(shí)用新型適用于多種形式的石墨組件:所述石墨組件為石墨底座、石墨螺帽和石墨卡瓣三部分組成的三件套式石墨組件；或所述石墨組件為石墨底座、石墨卡瓣兩部分組成的承插焊式石墨組件;或所述石墨組件為一體式結(jié)構(gòu)。
[0018]本實(shí)用新型與已有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊、合理，使用安裝方便，大幅降低石墨的用量，同時(shí)完全可以達(dá)到防止硅沉積到石墨組件上的目的，便于石墨組件和硅芯的分離，也利于分體式石墨組件的重復(fù)利用。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型與一體式石墨組件配合形式示意圖。
[0020]圖2為本實(shí)用新型與三件套式石墨組件配合形式示意圖。
[0021]圖3-5為本實(shí)用新型與二件套式石墨組件配合的三種形式示意圖。
[0022]圖6為扇形石墨紙示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]如圖1所示一種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩3，為圓環(huán)形，覆蓋在一體式石墨組件上表面，硅芯2固定在石墨底座I內(nèi)。圓環(huán)中心套在硅芯2上。
[0024]如圖2所示一種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩3，為圓臺(tái)形，覆蓋在三件套式石墨組件上，硅芯2固定在石墨組件的石墨卡瓣4內(nèi)，石墨卡瓣4通過(guò)石墨螺帽5固定在石墨底座I上。圓臺(tái)中心套在硅芯2上。
[0025]如圖3-5所示一種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，所述石墨組件包括石墨底座I和石墨卡瓣4，所述石墨底座I和石墨卡瓣4為承插式結(jié)構(gòu)，所述石墨卡瓣4插入所述石墨底座I內(nèi)；所述石墨護(hù)罩3套在石墨卡瓣4上，隔離石墨組件和硅芯2位于石墨組件外部部分。通過(guò)承插式結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)石墨卡瓣4的快速裝夾，以及石墨底座I的重復(fù)利用。通過(guò)石墨護(hù)罩3使得多晶硅生長(zhǎng)過(guò)程中，硅不會(huì)沉積到石墨組件上。
[0026]如圖3所示的一種形式:所述石墨護(hù)罩3外形與石墨組件外形相適應(yīng)，貼合在石墨組件上，罩住石墨組件。
[0027]如圖4所示的一種形式:所述石墨護(hù)罩3為圓臺(tái)形，圓臺(tái)的角度與石墨卡瓣4一端的錐度相吻合，上口罩住石墨卡瓣4，下口蓋住與石墨卡瓣4和石墨底座I配合處。
[0028]如圖5所示的另一種形式:所述石墨護(hù)罩3上口與石墨卡瓣4上端大小一樣，下口將整個(gè)石墨底座I上端面罩住。
[0029]所述石墨護(hù)罩3由一片或多片石墨紙組成瓣構(gòu)成，針對(duì)不同的形狀的卡瓣均可達(dá)到防護(hù)的目的。
[0030]如圖6所示，優(yōu)選的:所述石墨護(hù)罩3為一片扇形石墨紙片，扇形石墨紙片側(cè)邊帶插接槽31，相互卡住防止掉落。
[0031]同樣的石墨護(hù)罩3也可以為石墨紙片組成的棱臺(tái)形、方形或者三角形護(hù)罩。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，所述石墨組件用于固定硅芯，其特征在于:所述石墨護(hù)罩為隔離部件，用于隔離石墨組件和硅芯位于石墨組件外部部分。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，其特征在于:所述隔離部件形狀與所述石墨組件外形相適應(yīng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，其特征在于:所述隔離部件為錐臺(tái)形罩體。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，其特征在于:所述錐臺(tái)形罩體為棱形臺(tái)或圓臺(tái)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，其特征在于:所述錐臺(tái)形罩體為扇形石墨紙片卷起后，側(cè)邊連接而成。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，其特征在于:所述扇形石墨紙片側(cè)邊設(shè)置有插接槽。7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，其特征在于:所述石墨組件為石墨底座、石墨螺帽和石墨卡瓣三部分組成的三件套式石墨組件;或所述石墨組件為石墨底座、石墨卡瓣兩部分組成的承插焊式石墨組件；或所述石墨組件為一體式結(jié)構(gòu)。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公布了一種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護(hù)罩，所述石墨組件用于固定硅芯，其特征在于：所述石墨護(hù)罩為隔離部件，用于隔離石墨組件和硅芯位于石墨組件外部部分。本實(shí)用新型與已有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊、合理，使用安裝方便，大幅降低石墨的用量，同時(shí)完全可以達(dá)到防止硅沉積到石墨組件上的目的，便于石墨組件和硅芯的分離，也利于分體式石墨組件的重復(fù)利用。
【IPC分類(lèi)】C01B33/035
【公開(kāi)號(hào)】CN205313108
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520947853
【發(fā)明人】陳晶
【申請(qǐng)人】無(wú)錫中硅新材料股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2015年11月25日