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一種用于多晶硅還原爐用石墨組件的石墨護罩的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10401004

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多晶硅是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體和太陽能光伏產(chǎn)品的主要原料,目前用于生產(chǎn)多晶硅的主要方法有改良西門子法、硅烷法、硫化床法等方法,其中改良西門子法和硅烷法在還原過程中都需要沉積載體,目前廣泛使用的為硅芯,包括方形硅芯、圓形硅芯等等,硅芯與電極之間通過石墨組件來連接和卡緊。由于我國的多晶硅規(guī)模化生產(chǎn)起步較晚,相關(guān)的生產(chǎn)技術(shù)主要掌握在歐美、日本等少數(shù)發(fā)達國家手中,產(chǎn)業(yè)整體技術(shù)薄弱,無論在規(guī)模、產(chǎn)品質(zhì)量還是在生產(chǎn)成本控制方面,在整個國際競爭中均處于劣勢。所以提升現(xiàn)有技術(shù),降...
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