一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在整個(gè)四氯化硅制備工藝中，獲得四氯化硅的質(zhì)量好與壞的因素有很多，其中每一道工序是完整、每一種原料是否達(dá)標(biāo)、每一座設(shè)備是否正常等都決定著最終產(chǎn)品的好與壞，尤其在開始階段的原料處理過程中穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性以及成本控制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型目的是針對(duì)上述不足之處，針對(duì)現(xiàn)有四氯化硅制備工藝中原料(如氮?dú)鈮毫?處理成本高、不穩(wěn)定等諸多現(xiàn)象，提供一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置。
[0004]本實(shí)用新型一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置是采取以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0005]提供一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置，包括原料儲(chǔ)罐、2個(gè)隔膜栗和蒸氣夾套管，其特征在于，所述2個(gè)隔膜栗相互并聯(lián)后與原料儲(chǔ)罐的出口相連接;其中:原料儲(chǔ)罐與兩個(gè)隔膜栗之間相連的兩條進(jìn)口管道上均設(shè)置有電磁閥，所述原料儲(chǔ)罐的進(jìn)口設(shè)置在該原料儲(chǔ)罐的頂端上;兩個(gè)隔膜栗的出口分別通過出口管道與蒸氣夾套管相連通。
[0006]作為優(yōu)選，所述原料儲(chǔ)罐上設(shè)置有若干個(gè)傳感器接頭，這些傳感器接頭用于與溫度傳感器、濕度傳感器或壓強(qiáng)傳感器相連。
[0007]作為優(yōu)選，出口管道上也設(shè)置有電磁閥。
[0008]作為優(yōu)選，出口管道上的電磁閥、進(jìn)口管道上的電磁閥以及傳感器接頭分別與控制器相連。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果:
[0010]本實(shí)用新型是一種應(yīng)用于四氯化硅制備工藝中原料(包括氮?dú)鈮毫?處理裝置，由于現(xiàn)有的四氯化硅制備原料如氮?dú)鈮毫咸幚沓杀靖?、不穩(wěn)定，增加一對(duì)隔膜栗能夠有效地節(jié)約成本，保證物料輸送穩(wěn)定性。同時(shí)在各個(gè)管道(如出口管道和進(jìn)口管道)上增設(shè)與控制器相連的電磁閥，通過出口管道上的電磁閥、進(jìn)口管道上的電磁閥以及傳感器接頭分別與控制器相連，及時(shí)采集各個(gè)管道上的相關(guān)數(shù)據(jù)，便于直接控制整個(gè)原料處理裝置，降低成本、增加工藝穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型中功能結(jié)構(gòu)示意圖，
[0012]附圖標(biāo)記:原料儲(chǔ)罐Vl，隔膜栗Pl，蒸氣夾套管I。
【具體實(shí)施方式】
[0013]本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】描述如下:
[0014]如圖1所示，本實(shí)用新型提供一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置的具體實(shí)施例，提供一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置，包括原料儲(chǔ)罐Vl、2個(gè)隔膜栗Pl和蒸氣夾套管I，所述2個(gè)隔膜栗Pl相互并聯(lián)后與原料儲(chǔ)罐Vl的出口相連接;其中:原料儲(chǔ)罐Vl與兩個(gè)隔膜栗Pl之間相連的兩條進(jìn)口管道上均設(shè)置有電磁閥，所述原料儲(chǔ)罐Vl的進(jìn)口設(shè)置在該原料儲(chǔ)罐Vl的頂端上;兩個(gè)隔膜栗Pl的出口分別通過出口管道與蒸氣夾套管I相連通。
[0015]其中，所述原料儲(chǔ)罐Vl上設(shè)置有若干個(gè)傳感器接頭，這些傳感器接頭用于與溫度傳感器、濕度傳感器或壓強(qiáng)傳感器相連，出口管道上也設(shè)置有電磁閥，出口管道上的電磁閥、進(jìn)口管道上的電磁閥以及傳感器接頭分別與控制器相連。
[0016]本實(shí)用新型實(shí)施例中的一種應(yīng)用于四氯化硅制備工藝中原料(包括氮?dú)鈮毫?處理裝置，由于現(xiàn)有的四氯化硅制備原料如氮?dú)鈮毫咸幚沓杀靖摺⒉环€(wěn)定，增加一對(duì)隔膜栗Pl能夠有效地節(jié)約成本，保證物料輸送穩(wěn)定性。同時(shí)在各個(gè)管道(如出口管道和進(jìn)口管道)上增設(shè)與控制器相連的電磁閥，通過出口管道上的電磁閥、進(jìn)口管道上的電磁閥以及傳感器接頭分別與控制器相連，及時(shí)采集各個(gè)管道上的相關(guān)數(shù)據(jù)，便于直接控制整個(gè)原料處理裝置，降低成本、增加工藝穩(wěn)定性。
[0017]上述實(shí)施例是對(duì)本實(shí)用新型的說明，不是對(duì)本實(shí)用新型的限定，任何對(duì)本實(shí)用新型簡(jiǎn)單變換后的方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置，包括原料儲(chǔ)罐、2個(gè)隔膜栗和蒸氣夾套管，其特征在于，所述2個(gè)隔膜栗相互并聯(lián)后與原料儲(chǔ)罐的出口相連接;其中:原料儲(chǔ)罐與兩個(gè)隔膜栗之間相連的兩條進(jìn)口管道上均設(shè)置有電磁閥，所述原料儲(chǔ)罐的進(jìn)口設(shè)置在該原料儲(chǔ)罐的頂端上;兩個(gè)隔膜栗的出口分別通過出口管道與蒸氣夾套管相連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的原料處理裝置，其特征在于，所述原料儲(chǔ)罐上設(shè)置有若干個(gè)傳感器接頭，這些傳感器接頭用于與溫度傳感器、濕度傳感器或壓強(qiáng)傳感器相連。3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的原料處理裝置，其特征在于，出口管道上也設(shè)置有電磁閥。4.根據(jù)權(quán)利要求3中所述的原料處理裝置，其特征在于，出口管道上的電磁閥、進(jìn)口管道上的電磁閥以及傳感器接頭分別與控制器相連。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種用于四氯化硅制備工藝中的原料處理裝置，包括原料儲(chǔ)罐、2個(gè)隔膜泵和蒸氣夾套管，2個(gè)隔膜泵相互并聯(lián)后與原料儲(chǔ)罐的出口相連接；其中：原料儲(chǔ)罐與兩個(gè)隔膜泵之間相連的兩條進(jìn)口管道上均設(shè)置有電磁閥，原料儲(chǔ)罐的進(jìn)口設(shè)置在該原料儲(chǔ)罐的頂端上；兩個(gè)隔膜泵的出口分別通過出口管道與蒸氣夾套管相連通?，F(xiàn)有的四氯化硅制備原料如氮?dú)鈮毫咸幚沓杀靖摺⒉环€(wěn)定，增加一對(duì)隔膜泵能夠有效地節(jié)約成本，保證物料輸送穩(wěn)定性。在各個(gè)管道上增設(shè)與控制器相連的電磁閥，通過出口管道上的電磁閥、進(jìn)口管道上的電磁閥以及傳感器接頭分別與控制器相連，及時(shí)采集各個(gè)管道上的相關(guān)數(shù)據(jù)，便于控制整個(gè)原料處理裝置，降低成本、增加工藝穩(wěn)定性。
【IPC分類】C01B33/107
【公開號(hào)】CN205187883
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520945471
【發(fā)明人】周駿
【申請(qǐng)人】杭州富通翔駿新材料有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請(qǐng)日】2015年11月24日