連接籽晶桿和旋轉(zhuǎn)軸的聯(lián)軸器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種連接籽晶桿和旋轉(zhuǎn)軸的聯(lián)軸器，尤其是一種用于泡生法藍(lán)寶石單晶爐晶體生長用的籽晶桿聯(lián)軸器，，屬于晶體生長設(shè)備和裝置的技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石單晶爐是LED產(chǎn)業(yè)鏈中重要的晶體生長設(shè)備。目前，世界上用于藍(lán)寶石單晶體生長的主流方法有以下幾種:導(dǎo)模法、提拉法、熱交換法和泡生法。泡生法在引晶、擴(kuò)肩生長后的晶錠直徑較大，有利于生長出大尺寸、低缺陷密度、高品質(zhì)的藍(lán)寶石單晶體，因此具有更大的優(yōu)勢。
[0003]泡生法是將一根受冷的籽晶與三氧化二鋁熔液接觸后熔化。當(dāng)界面的溫度低于凝固點(diǎn)，則籽晶開始生長，為了使籽晶晶體不斷長大，需逐漸降低熔體的溫度，同時(shí)旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)籽晶桿旋轉(zhuǎn)，以改善熔體的溫度分布。當(dāng)晶體生長到一定階段時(shí)，須緩慢上提籽晶裝置，以擴(kuò)大散熱面。所以因工藝的特殊性旋轉(zhuǎn)軸與籽晶桿必須要保證其同軸度，以便旋轉(zhuǎn)時(shí)籽晶在液面不畫圈，使液流平穩(wěn)，有益于長出形狀有規(guī)則的好晶體。由于上提籽晶裝置行程較大，故旋轉(zhuǎn)軸和籽晶桿其本身長度也要很長，這給籽晶的調(diào)心帶來了很大的麻煩。本發(fā)明籽晶聯(lián)軸器可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)軸與籽晶桿的柔性連接，并在通過簡單的螺釘拉緊及螺釘頂出實(shí)現(xiàn)籽晶始終在液面中心，使液流在軸向平穩(wěn)，熔體溫度均勻分布。由于籽晶桿裝置通過藍(lán)寶石單晶爐爐蓋進(jìn)入爐體內(nèi)部溫場環(huán)境，故爐蓋必須給籽晶桿裝置預(yù)留開口。而本發(fā)明實(shí)用新型聯(lián)軸器其外徑較小，故對(duì)爐蓋開口尺寸直徑要求不大，從而大大減少了藍(lán)寶石長晶爐溫場通過爐蓋開口部遺失熱量，溫場保溫性能得到了有效改善和提高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]實(shí)用新型目的:本實(shí)用新型的目的在于使得在泡生發(fā)生長藍(lán)寶石單晶時(shí)，籽晶裝置提升及旋轉(zhuǎn)過程中，實(shí)現(xiàn)籽晶始終在液流中心，使熔體溫度在圓周方向分布均勻。
[0005]技術(shù)方案:本實(shí)用新型所述的連接籽晶桿和旋轉(zhuǎn)軸的聯(lián)軸器，包括旋轉(zhuǎn)軸固接部、籽晶桿固接部、同軸調(diào)節(jié)部、旋轉(zhuǎn)軸固定螺釘、籽晶桿固定螺釘、第一周向調(diào)節(jié)螺釘組和第二周向調(diào)節(jié)螺釘組，其中旋轉(zhuǎn)軸的一端通過旋轉(zhuǎn)軸固接螺釘連接至旋轉(zhuǎn)軸固接部的一端、籽晶桿的一端通過籽晶桿固定螺釘連接至籽晶桿固接部的一端，籽晶桿固接部的另一端與同軸調(diào)節(jié)部的一端相互配合，籽晶桿固接部的一端通過第一周向調(diào)節(jié)螺釘組連接至所述同軸調(diào)節(jié)部的一端，旋轉(zhuǎn)軸固接部的另一端與同軸調(diào)節(jié)部的另一端相互配合，旋轉(zhuǎn)軸固接部的另一端通過第二周向調(diào)節(jié)螺釘組連接至所述同軸調(diào)節(jié)部的另一端，所述第一周向調(diào)節(jié)螺釘組的螺釘指向垂直于第二周向調(diào)節(jié)螺釘組，且第一周向調(diào)節(jié)螺釘組和第二周向調(diào)節(jié)螺釘組的螺釘指向均垂直于聯(lián)軸器的軸向。這樣通過兩組調(diào)節(jié)螺釘組，能夠?qū)崿F(xiàn)在X方向和Y方向螺釘?shù)耐S度調(diào)整。每組調(diào)節(jié)螺釘組也可以只含有一個(gè)調(diào)節(jié)螺釘就能夠?qū)崿F(xiàn)一定的調(diào)節(jié)功能。
[0006]進(jìn)一步地，所述第一周向調(diào)節(jié)螺釘組包括一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向頂緊螺釘和兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向拉緊螺釘，所述第二周向調(diào)節(jié)螺釘組包括兩個(gè)籽晶桿周向拉緊螺釘和一個(gè)籽晶桿周向頂緊螺釘。通過拉緊螺釘和頂緊螺釘雙重作用，能夠更好的調(diào)節(jié)兩者之間的同軸度。
[0007]進(jìn)一步地，所述第一周向調(diào)節(jié)螺釘組包括兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向頂緊螺釘和一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向拉緊螺釘，所述第二周向調(diào)節(jié)螺釘組包括一個(gè)籽晶桿周向拉緊螺釘和兩個(gè)籽晶桿周向頂緊螺釘
[0008]進(jìn)一步地，所述一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向頂緊螺釘和兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向拉緊螺釘之間的連線呈正三角形，且該正三角形的底邊水平，頂點(diǎn)處為旋轉(zhuǎn)軸周向頂緊螺釘，所述兩個(gè)籽晶桿周向拉緊螺釘和一個(gè)籽晶桿周向頂緊螺釘之間的連線呈倒正三角形，兩個(gè)籽晶桿周向拉緊螺釘連線所在的邊水平，該邊對(duì)角處為籽晶桿周向頂緊螺釘。
[0009]進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)軸固定螺釘數(shù)量為兩個(gè)，且兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸固定螺釘指向互相垂直，且兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸固定螺釘?shù)闹赶蚓怪庇诼?lián)軸器的軸向，所述籽晶桿固定螺釘數(shù)量為兩個(gè)，且兩個(gè)籽晶桿固定螺釘指向互相垂直，且兩個(gè)籽晶桿固定螺釘?shù)闹赶蚓怪庇诼?lián)軸器的軸向。
[0010]進(jìn)一步地，所述的聯(lián)軸器為AISI 304、AISI321或AISI316L牌號(hào)耐高溫不銹鋼制聯(lián)軸器。
[0011]進(jìn)一步地，所述籽晶桿固接部的另一端與同軸調(diào)節(jié)部的一端相互配合，其具體的配合關(guān)系為，所述籽晶桿固接部的另一端端面上設(shè)置有突出的半個(gè)柱體，同軸調(diào)節(jié)部的一端端面上設(shè)置有突出的半個(gè)柱體，兩個(gè)半個(gè)柱體相互拼合形成所述配合連接；旋轉(zhuǎn)軸固接部的另一端與同軸調(diào)節(jié)部的另一端相互配合，其具體的配合關(guān)系為，所述旋轉(zhuǎn)軸固接部的另一端端面上設(shè)置有突出的半個(gè)柱體，同軸調(diào)節(jié)部的一端端面上設(shè)置有突出的半個(gè)柱體，兩個(gè)半個(gè)柱體相互拼合形成所述配合連接。
[0012]進(jìn)一步地，所述第一周向調(diào)節(jié)螺釘組包括兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向頂緊螺釘和兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向拉緊螺釘，所述第二周向調(diào)節(jié)螺釘組包括兩個(gè)籽晶桿周向拉緊螺釘和兩個(gè)籽晶桿周向頂緊螺釘，其中所述兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向頂緊螺釘和兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向拉緊螺釘之間的連線呈菱形，且兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向頂緊螺釘分別位于該菱形相對(duì)的兩個(gè)頂點(diǎn)處，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸周向拉緊螺釘分別位于該菱形相對(duì)的另外兩個(gè)頂點(diǎn)處。如此設(shè)置，可以再Χ、γ兩個(gè)方向上，不僅通過調(diào)節(jié)螺釘調(diào)節(jié)聯(lián)軸器的同軸度，還可以通過調(diào)整上下兩個(gè)螺釘?shù)乃删o程度來調(diào)節(jié)上下兩個(gè)軸之間指向的角度差，進(jìn)一步減小旋轉(zhuǎn)過程中的晃動(dòng)。
[0013]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果是:結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)節(jié)方便，外徑較小，傳遞扭矩大，利于藍(lán)寶石長晶爐溫場保溫性能的提高。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明所述的連接籽晶桿和旋轉(zhuǎn)軸的聯(lián)軸器結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本發(fā)明所述的連接籽晶桿和旋轉(zhuǎn)軸的聯(lián)軸器另一種方案結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本發(fā)明所述的連接籽晶桿和旋轉(zhuǎn)軸的聯(lián)軸器另一種方案剖視圖；
[0017]圖4為本發(fā)明所述的連接籽晶桿和旋轉(zhuǎn)軸的聯(lián)軸器另一種方案剖視圖.
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。
[0019]實(shí)施例1:
[0020]為本發(fā)明的連接籽晶桿14和旋轉(zhuǎn)軸13的聯(lián)軸器，材料為耐高溫不銹鋼(牌號(hào)為AISI 304或AISI 321或AISI 316L);因籽晶桿聯(lián)軸器本身選擇材料及加工方法的特殊，其傳遞扭矩比普通相同規(guī)格的其他聯(lián)軸器傳遞扭矩要大。螺釘材料為不銹鋼或表面發(fā)黑材質(zhì)。
[0021]如圖1所示，上方的旋轉(zhuǎn)軸通過兩顆相互垂直的旋轉(zhuǎn)