單晶爐石墨托盤拆裝工具的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及單晶硅加工領域，具體地涉及一種單晶爐石墨托盤拆裝工具。
【背景技術】
[0002]在單晶拉制工藝中，在單晶拉制前，需要打開單晶爐，放入石墨托盤；當晶棒拉制完畢后，需要打開單晶爐，取出石墨托盤。石墨托盤與加熱器之間的縫隙很小，石墨托盤的拆裝難度大。傳統(tǒng)的拆裝石墨托盤的方法是在石墨托盤上打孔，攻絲，擰上螺栓，工人手帶著隔熱手套抓住螺栓放入或取出，其不足之處是在反復旋擰螺栓的過程中，螺栓孔容易損壞，導致石墨托盤開裂，且不可修復，增加生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型要解決的技術問題是針對現(xiàn)有技術存在的不足之處，提供一種人工將石墨托盤放入單晶爐或從單晶爐取出且不會破壞石墨托盤的單晶爐石墨托盤拆裝工具。
[0004]為了解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案:
[0005]單晶爐石墨托盤拆裝工具，包括手柄和L型托盤掛鉤，所述手柄與L托盤掛鉤連接；所述L型托盤掛鉤底部呈弧形，所述弧形與石墨托盤的弧形配合。
[0006]本實用新型單晶爐石墨托盤拆裝工具與現(xiàn)有技術相比有如下有益效果:本實用新型把托盤掛鉤底部設計成弧狀，與石墨托盤的弧形配合，方便通過石墨托盤與加熱器之間的縫隙；在放入和取出的過程中L型托盤掛鉤托住石墨托盤，不會破壞石墨托盤，延長了石墨托盤的使用壽命，節(jié)約資源，降低生產(chǎn)成本；采用本實用新型，可以縮短單晶爐冷卻時間，及時將石墨托盤取出，提高了生產(chǎn)效率，同時增強了員工的操作安全性。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實用新型單晶爐石墨托盤拆裝工具結(jié)構示意圖。
[0008]其中:1、手柄；2、L型托盤掛鉤。
【具體實施方式】
[0009]下面對本實用新型作進一步說明。
[0010]如附圖1所示，單晶爐石墨托盤拆裝工具，包括手柄和L型托盤掛鉤，手柄與L托盤掛鉤連接山型托盤掛鉤底部呈弧形，弧形與石墨托盤的弧形配合。
[0011]本實用新型單晶爐石墨托盤拆裝工具使用時，每爐單晶硅棒生產(chǎn)完成后，取出石墨托盤，進行清潔工作。具體步驟如下:
[0012]1、兩個工人分別用兩個L型托盤掛鉤先沿著石墨托盤與加熱器之間的縫隙到達石墨托盤底部；
[0013]2、旋轉(zhuǎn)手柄使L型托盤掛鉤勾住石墨托盤底部凹槽，即可將石墨托盤從單晶爐內(nèi)抬出。
[0014]本實用新型單晶爐石墨托盤拆裝工具使用時，單晶硅棒生產(chǎn)前，放入石墨托盤，組裝晶體生長熱場。具體步驟如下:
[0015]1、兩個工人分別用兩個L型托盤掛鉤勾住石墨托盤底部凹槽，將石墨托盤抬起放入單晶爐內(nèi)；
[0016]2、旋轉(zhuǎn)手柄使L型托盤掛鉤位于石墨托盤與加熱器之間的縫隙中，抽出掛鉤即可。
【主權項】
1.單晶爐石墨托盤拆裝工具，包括手柄和L型托盤掛鉤，其特征在于:所述手柄與L托盤掛鉤連接；所述L型托盤掛鉤底部呈弧形，所述弧形與石墨托盤的弧形配合。
【專利摘要】本實用新型涉及單晶硅加工領域，具體地涉及一種單晶爐石墨托盤拆裝工具，包括手柄和L型托盤掛鉤，其特征在于：所述手柄與L托盤掛鉤連接；所述L型托盤掛鉤底部呈弧形，所述弧形與石墨托盤的弧形配合。本實用新型與現(xiàn)有技術相比有如下有益效果：本實用新型把托盤掛鉤底部設計成弧狀，與石墨托盤的弧形配合，方便通過石墨托盤與加熱器之間的縫隙；在放入和取出的過程中L型托盤掛鉤托住石墨托盤，不會破壞石墨托盤，延長了石墨托盤的使用壽命，節(jié)約資源，降低生產(chǎn)成本；采用本實用新型，可以縮短單晶爐冷卻時間，及時將石墨托盤取出，提高了生產(chǎn)效率，同時增強了員工的操作安全性。
【IPC分類】C30B15/00
【公開號】CN204752895
【申請?zhí)枴緾N201520357143
【發(fā)明人】師小榮
【申請人】河南協(xié)鑫光伏科技有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年5月29日