一種吸附提純六氟化鎢的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及一種提純的方法，特別是一種吸附提純六氣化鶴的方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 在鶴的氣化物中，WFs是唯一穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種。它的主要用途是在電子 工業(yè)中作為金屬鶴化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料，特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī) 模集成電路化SI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鶴和鍊的復(fù)合涂層，可用于X 一射線的發(fā)射電極和太陽(yáng)能吸收器的制造。此外，WFs在電子行業(yè)中還主要用作半導(dǎo)體電極 和導(dǎo)電漿糊等的原材料。
[0003] WFs還有許多非電子方面的應(yīng)用，例如通過CVD技術(shù)使鶴在鋼的表面上生成堅(jiān)硬的 碳化鶴可用來(lái)改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鶴制部件，如鶴管和相蝸等。此外， WFs還被廣泛用作氣化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。
[0004] CN104973629A公開了一種六氣化鶴氣體的提純方法，設(shè)及鶴的氣化物。設(shè)備除油， 用氮?dú)獬鋲?，抽真空至極限，開啟氮?dú)饧訜崞?，氮?dú)饧訜岷笸ㄈ胂到y(tǒng)中，抽真空至極限;對(duì)除 氣化氨塔充氮?dú)猓瑢⒘然Q裝入除氣化氨塔，高純六氣化鶴通入成品收集罐，并和罐壁上 附著水汽反應(yīng)生成氣化氨，置換后成品收集罐內(nèi)的不純六氣化鶴倒吸至精饋蓋低溫固化， 檢測(cè)雜質(zhì)氣體含量，合格后停止高純六氣化鶴置換;將初級(jí)六氣化鶴加熱后低溫固化，對(duì)精 饋蓋抽真空，尾氣至堿式噴淋塔吸收，熱水解凍，壓力穩(wěn)定時(shí)檢測(cè)后精饋;蒸發(fā)的六氣化鶴 氣體在精饋塔內(nèi)冷凝回流，除雜后，精饋初期的六氣化鶴氣體收集，檢測(cè)后切換至成品收集 罐收集，再通過取液態(tài)樣，檢測(cè)六氣化鶴中的金屬雜質(zhì)。
[0005] CN101070190公開了一種六氣化鶴氣體的純化方法，首先將粗品儲(chǔ)罐內(nèi)的不純的 六氣化鶴氣體通入內(nèi)部裝填有多孔球狀的氣化鋼或氣化鐘填料的吸附塔的底部，在l〇°C~ 8(TC下除去其中的絕大部分氣化氨雜質(zhì)，再經(jīng)管道進(jìn)入精饋塔中液化，液化5KG~50KG后停 止通入六氣化鶴氣體，在：3 °C~20°C下，在六氣化鶴液體的底部通入高純氮?dú)馐挂后w保持沸 騰，蒸發(fā)的氣體進(jìn)入精饋柱并上升，在上升的過程中逐漸冷凝回流，進(jìn)一步精饋除去雜質(zhì)， 用氣相色譜分析檢測(cè)，當(dāng)塔頂排除氣體中各類沸點(diǎn)高于六氣化鶴氣體沸點(diǎn)的雜質(zhì)濃度降低 到要求指標(biāo)時(shí)，停止通入高純氮?dú)?，?dāng)?shù)獨(dú)庵笜?biāo)達(dá)到要求后，將高純六氣化鶴氣體收集到精 品儲(chǔ)値。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)中的六氣化鶴氣體提純方法，MoFs的烙點(diǎn)與WFs的沸點(diǎn)接近，且它在烙點(diǎn) 附近有較高的蒸汽壓，因此較難分離，吸附效果難W達(dá)到六氣化鶴氣體體積含量99.99 % W 上的水平。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題，提供一種吸附提純六氣化 鶴的方法。
[000引本發(fā)明所述的一種吸附提純六氣化鶴的方法，通過W下步驟制備：
[0009] 步驟I.負(fù)載操作：
[0010] 將氣化碳纖維，占?xì)饣祭w維質(zhì)量0.5-2%的氯化儀，占?xì)饣祭w維質(zhì)量200-500%的N，N-二甲基甲酯胺，占?xì)饣祭w維質(zhì)量0.5-2%的1-乙締基-3-乙基咪挫六氣憐酸 鹽，50-80°C反應(yīng)10-2地，靜置20-60h;然后加入占?xì)饣祭w維質(zhì)量0.5%-2 %的5，10，15， 20-四（4-化晚基)化嘟，40-80°C反應(yīng)10-2化，產(chǎn)物經(jīng)分離、烘干，得到所述的吸附劑；
[0011] 步驟2.吸附提純六氣化鶴：
[0012] 在10~70°C，0.2-lMPa條件下，工業(yè)級(jí)六氣化鶴經(jīng)過裝有吸附劑的層析柱中進(jìn)行 吸附，流速1-5BVA，得到六氣化鶴產(chǎn)品。
[OOU]本發(fā)明中所使用的N，N-二甲基甲酯胺為市售產(chǎn)品，如濟(jì)南世紀(jì)通達(dá)化工有限公司 生產(chǎn)的產(chǎn)品，1-乙締基-3-乙基咪挫六氣憐酸鹽為市售產(chǎn)品，如上海甄準(zhǔn)生物科技有限公司 生產(chǎn)的產(chǎn)品，5，10，15，20-四（4-化晚基)化嘟為市售產(chǎn)品，如海創(chuàng)賽科學(xué)儀器有限公司生產(chǎn) 的產(chǎn)品，所述氣化碳纖維為市售產(chǎn)品，如連云港希曼尼氣材料有限公司的產(chǎn)品，所述工業(yè)級(jí) 六氣化鶴為市售產(chǎn)品，如武漢鴻眷康試劑有限公司生產(chǎn)的產(chǎn)品。
[0014] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的催化劑及其制備方法，具有W下有益效果：
[0015] 氣化碳纖維經(jīng)過負(fù)載引入儀，1-乙締基-3-乙基咪挫六氣憐酸鹽.5，10，15，20-四 (4-化晚基)化嘟，可提高吸附氣體雜質(zhì)的能力，六氣化鶴氣體體積含量大于99.99%。
【具體實(shí)施方式】
[0016] W下實(shí)例僅僅是進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明，并不是限制本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0017]實(shí)施例1:
[001引步驟1.負(fù)載操作：
[0019] 在1000 L反應(yīng)蓋中，加入IOOKg氣化碳纖維，IKg氯化儀，400KgN，N-二甲基甲酯胺， 化gl-乙締基-3-乙基咪挫六氣憐酸鹽，在60°C條件下反應(yīng)15h，靜置40h，然后加入化巧，10， 15,20-四（4-化晚基)化嘟，在60°C條件下反應(yīng)15h，產(chǎn)物經(jīng)分離、烘干，得到所述的吸附劑。
[0020] 步驟2.吸附提純六氣化鶴：
[0021] 在40°C，0.5MPa條件下，工業(yè)級(jí)六氣化鶴經(jīng)過裝有吸附劑的層析柱中進(jìn)行吸附，流 速3BVA，得到六氣化鶴產(chǎn)品。六氣化鶴純度見表1，編號(hào)為M-I。
[0022] 實(shí)施例2:
[0023] 步驟1.負(fù)載操作：
[0024] 在1000 L反應(yīng)蓋中，加入IOOKg氣化碳纖維，0.5Kg氯化儀，200KgN，N-二甲基甲酯 胺，0.5Kgl-乙締基-3-乙基咪挫六氣憐酸鹽，在50°C條件下反應(yīng)lOh，靜置20h，然后加入 0.5蛇5，10，15，20-四（4-化晚基）化嘟，在40°C條件下反應(yīng)IOh，產(chǎn)物經(jīng)分離、烘干，得到所述 的吸附劑。
[0025] 步驟2.吸附提純六氣化鶴：
[00%]在10°C，0.2MPa條件下，工業(yè)級(jí)六氣化鶴經(jīng)過裝有吸附劑的層析柱中進(jìn)行吸附，流 速IBVA，得到六氣化鶴產(chǎn)品。六氣化鶴純度見表1，編號(hào)為M-2。
[0027]實(shí)施例3
[002引步驟1.負(fù)載操作：
[00巧]在1000 L反應(yīng)蓋中，加入IOOKg氣化碳纖維，2Kg氯化儀，SOOKgN，N-二甲基甲酯胺， 2Kgl-乙締基-3-乙基咪挫六氣憐酸鹽，在80°C條件下反應(yīng)24h，靜置60h，然后加入2蛇5，10， 15,20-四（4-化晚基)化嘟，在80°C條件下反應(yīng)20h，產(chǎn)物經(jīng)分離、烘干，得到所述的吸附劑。
[0030]步驟2.吸附提純六氣化鶴：
[0031 ]在70°C，IM化條件下，工業(yè)級(jí)六氣化鶴經(jīng)過裝有吸附劑的層析柱中進(jìn)行吸附，流速 5BVA，得到六氣化鶴產(chǎn)品。編號(hào)為M-3。
[0032] 對(duì)比例1
[0033] 不加入氯化儀，其它同實(shí)施例1。六氣化鶴純度見表1，編號(hào)為M-4。
[0034] 對(duì)比例2
[0035] 不加入1-乙締基-3-乙基咪挫六氣憐酸鹽，其它同實(shí)施例1。六氣化鶴純度見表1， 編號(hào)為M-5。
[0036] 對(duì)比例3
[0037] 不加入5,10,15,20-四（4-化晚基）化嘟，其它同實(shí)施例1。六氣化鶴純度見表1，編 號(hào)為M-6。
[0038] 經(jīng)過氣相色譜檢測(cè)，實(shí)施例1-3W及對(duì)比例1-4吸附后六氣化鶴氣體純度的比較見 表1:
[0039] 表1:不同工藝做出的試驗(yàn)樣品吸附后六氣化鶴氣體純度的比較
[0040]
LUUii」 1^>\丄'|乂/。/+、乂"刀 口。巧'|平乂"化'口。,'|一/+、乂"刀 口。]乂/|\千了]止升/|、/。|外>< J 14_1〇'|工'鬥 liA/+、/X_ 明為基礎(chǔ)，為解決基本相同的技術(shù)問題，實(shí)現(xiàn)基本相同的技術(shù)效果，所作出的簡(jiǎn)單變化、等 同替換或者修飾等，皆涵蓋于本發(fā)明的保護(hù)范圍之中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種吸附提純六氟化鎢的方法，其特征包括在于以下步驟： 步驟1.負(fù)載操作： 將氟化碳纖維，占氟化碳纖維質(zhì)量0.5-2 %的氯化鎳，占氟化碳纖維質(zhì)量200-500 %的 N，N-二甲基甲酰胺，占氟化碳纖維質(zhì)量0.5-2%的1-乙烯基-3-乙基咪唑六氟磷酸鹽，50-80 。(:反應(yīng)10_24h，靜置20-60h;然后加入占氟化碳纖維質(zhì)量0.5%-2%的5，10，15,20_四（4-吡 啶基)卟啉，40-80 °C反應(yīng)10_20h，產(chǎn)物經(jīng)分離、烘干，得到所述的吸附劑； 步驟2.吸附提純六氟化鎢： 在10~70°C，0.2-lMPa條件下，工業(yè)級(jí)六氟化鎢經(jīng)過裝有吸附劑的層析柱中進(jìn)行吸附， 流速l-5BV/h，得到六氟化鎢產(chǎn)品。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種吸附提純六氟化鎢的方法：在反應(yīng)釜中加入氟化碳纖維負(fù)載操作，得到所述的吸附劑，工業(yè)級(jí)六氟化鎢經(jīng)過裝有吸附劑的層析柱中進(jìn)行吸附，得到六氟化鎢產(chǎn)品。
【IPC分類】C01G41/04
【公開號(hào)】CN105668639
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610223776
【發(fā)明人】王琪宇, 王新
【申請(qǐng)人】張玲
【公開日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2016年4月5日