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一種生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片及引晶方法與流程

文檔序號:12545527閱讀:874來源:國知局

本發(fā)明涉及一種多晶硅的引晶方法,尤其涉及一種生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片及引晶方法,屬于太陽電池晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

晶體硅的鑄錠生長過程是晶體硅太陽能電池生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié)。晶體硅的晶體質(zhì)量從根本上決定了硅晶體太陽能電池的性能。高效多晶硅憑借其較高的性價(jià)比優(yōu)勢成為了目前主流的太陽能電池材料。高效多晶硅鑄錠通過生長柱狀晶粒,以增加晶體內(nèi)部垂直或近似垂直于電池PN結(jié)界面的晶界體積作為代價(jià),利用細(xì)化的初期晶粒降低晶粒內(nèi)部的初始位錯(cuò)密度,利用豐富的晶界吸收晶粒生長、退火、降溫及后期熱處理過程中產(chǎn)生的應(yīng)力,從而大幅度降低晶體內(nèi)部的位錯(cuò)比例。

目前,產(chǎn)生柱狀晶粒的方法主要有兩種:一種是利用鋪設(shè)于坩堝底部的多晶硅料(碎料:顆粒、粉末或碎片等)作為籽晶生長高效多晶;另一種是利用底部具有引晶功能的坩堝生長高效多晶。前者由于底部必須保留籽晶,導(dǎo)致硅錠底部紅區(qū)(低少子壽命區(qū))較高,鑄錠得率較低,鑄錠成本較高,同時(shí)操作也更復(fù)雜;后者無需保留籽晶,鑄錠得率較高,操作更簡單,但目前的引晶坩堝的都存在導(dǎo)致粘堝的風(fēng)險(xiǎn)。另外,目前的高效坩堝的引晶穩(wěn)定性較差,同時(shí)底部紅區(qū)高度一般在30-45mm,仍然在很大程度上影響著鑄錠收益。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中,多晶硅錠生產(chǎn)過程中,鑄錠成本較高、操作復(fù)雜的技術(shù)問題,提供一種生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片,減少硅錠底部紅區(qū),提高鑄錠收益。

本發(fā)明的另一方面,提供一種利用所述引晶片生產(chǎn)高效多晶硅的引晶方法。

為此,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:

一種生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片,其特征在于:包括陶瓷基片,和粘附在陶瓷基片表面的引晶顆粒,在引晶顆粒及陶瓷基片的表面噴涂或涂刷有一層氮化硅涂層,所述引晶顆粒為石英顆粒、硅顆粒及碳化硅顆粒中的一種或幾種的混合物,引晶顆粒的粒徑大小為80-800μm,引晶顆粒的密度為150-16000個(gè)/cm2。

進(jìn)一步地,所述陶瓷基片采用石英、氮化硅、碳化硅和石墨的一種或幾種的混合材料制作而成,陶瓷基片的厚度為50-300μm。

進(jìn)一步地,所述陶瓷基片為由二氧化硅、碳化硅、石墨和氮化硅的一種或幾種的混合材料制作而成。

一種利用所述引晶片生產(chǎn)高效多晶硅的引晶方法,包括如下步驟:

S1:在坩堝內(nèi)壁噴涂上厚度80-120μm的氮化硅涂層;

S2:將引晶片緊湊拼接鋪設(shè)坩堝底部,鋪設(shè)成單層或多層;

S3:將硅料裝入鋪設(shè)好引晶片的坩堝內(nèi),將坩堝放入鑄錠爐中,進(jìn)行高效多晶硅的生產(chǎn)。

本發(fā)明具有如下有益效果:

本發(fā)明通過采用石英、氮化硅、碳化硅和石墨材質(zhì)的一種或幾種的混合材質(zhì)的制作陶瓷基片,在陶瓷基片表面粘附石英顆粒、硅顆粒及碳化硅顆粒中的一種或幾種的混合,然后在陶瓷基片表面噴涂或刷涂氮化硅涂層,制作成引晶片,將引晶片緊湊地鋪設(shè)于預(yù)先噴涂好氮化硅涂層的坩堝底部,然后裝料入爐。利用引晶片自身的高純度和致密性達(dá)到阻擋坩堝本體中雜質(zhì)進(jìn)入晶體硅中的目的,以此降低硅錠底部紅區(qū)提升鑄錠收益;利用引晶片的高溫易碎性,解決硅錠內(nèi)部應(yīng)力集聚的問題,避免鑄錠粘堝風(fēng)險(xiǎn);由于引晶片尺寸遠(yuǎn)小于坩堝內(nèi)徑,因而更有利于制作均勻穩(wěn)定的引晶層。

經(jīng)測試,本發(fā)明可有效提高引晶穩(wěn)定性,可顯著去除硅錠底部紅區(qū),底部紅區(qū)的高度在8-20mm之間,大幅度提高鑄錠收益,同時(shí)從根本上解決粘堝問題,從而降低鑄錠成本,提高鑄錠收益。

附圖說明

圖1為本發(fā)明引晶片的結(jié)構(gòu)示意圖;

其中:1為氮化硅涂層,2為引晶顆粒,3為陶瓷基片。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步以詳細(xì)描述。

實(shí)施例1:

如圖1所示,本發(fā)明的生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片,包括陶瓷基片3,和粘附在陶瓷基片表面的引晶顆粒2,在引晶顆粒2及陶瓷基片3的表面噴涂或涂刷有一層氮化硅涂層1。引晶顆粒2為石英顆粒、硅顆粒及碳化硅顆粒中的一種或幾種的混合物,引晶顆粒的粒徑大小為80-800μm,引晶顆粒的密度為150-16000個(gè)/cm2。

陶瓷基片3采用石英、氮化硅、碳化硅和石墨的一種或幾種的混合材料制作而成,陶瓷基片的厚度為50-300μm。

優(yōu)選地,所述陶瓷基片由質(zhì)量百分比的下述材料制作而成:二氧化硅60-90%、碳化硅0-40%、石墨0-5%,氮化硅0.1-5%。

實(shí)施例2:

本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于:所述陶瓷基片由質(zhì)量百分比的下述材料制作而成:二氧化硅1-5%,碳化硅70-90%,石墨0.1-5%,氮化硅0-0.5%。

實(shí)施例3:

本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于:所述陶瓷基片由質(zhì)量百分比的下述材料制作而成:二氧化硅70-95%,碳化硅0-5%,石墨0.1-5%,氮化硅0-0.5%。

實(shí)施例4:

本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于:所述陶瓷基片由質(zhì)量百分比的下述材料制作而成:二氧化硅0-5%,碳化硅0-5%,石墨90-100%,氮化硅0-5%。

實(shí)施例5:

本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于:所述陶瓷基片由質(zhì)量百分比的下述材料制作而成:二氧化硅0-5%,碳化硅0-5%,石墨0-5%,氮化硅95-100%。

實(shí)施例6

本發(fā)明的另一方面,還提供一種利用所述引晶片生產(chǎn)高效多晶硅的引晶方法,包括如下步驟:

S1:在坩堝內(nèi)壁噴涂上厚度80-120μm的氮化硅涂層;

S2:將引晶片緊湊拼接鋪設(shè)坩堝底部,鋪設(shè)為單層

S3:將硅料裝入鋪設(shè)好引晶片的坩堝內(nèi),將坩堝放入鑄錠爐中,進(jìn)行高效多晶硅的生產(chǎn)。

經(jīng)測試,采用本發(fā)明的引晶片,進(jìn)行晶硅鑄錠,可顯著提高少子壽命,減少晶硅鑄錠頭部低少子壽命區(qū)域的寬度,鑄錠完成后,坩堝底部不粘堝。將實(shí)施例1-5的引晶片用于生產(chǎn)高效多晶硅,結(jié)果如表1:

表1

以上所述的具體實(shí)施例,對本發(fā)明解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明,所應(yīng)理解的是,以上所述僅為本專利的具體實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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