小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括爐臺、上爐室、小爐蓋、托架、觀察窗、鎖緊螺母、旋轉(zhuǎn)托盤、支撐軸、直線軸承和氣缸，爐臺上分別設(shè)置有上爐室、氣缸和支撐軸，上爐室上設(shè)置有小爐蓋，小爐蓋正上方中心位置設(shè)有觀察窗；氣缸移動端板上固定設(shè)置有旋轉(zhuǎn)托盤，旋轉(zhuǎn)托盤上表面通過鎖緊螺母與托架一端固定連接，托架另一端與小爐蓋上表面固定連接；旋轉(zhuǎn)托盤下表面通過氣缸的移動端板與支撐軸相連；支撐軸設(shè)置有直線軸承。本實(shí)用新型的有益效果是：拆裝熱場方便，保證爐體的真空密封性，提升小爐蓋并旋轉(zhuǎn)至相應(yīng)位置，便于后續(xù)工序操作。
【專利說明】
小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種碳化硅單晶生長爐領(lǐng)域內(nèi)的升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，具體的涉及一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件的應(yīng)用方面，隨著碳化硅生產(chǎn)成本的降低，碳化硅由于其優(yōu)良的性能而可能取代硅作芯片，打破硅芯片由于材料本身性能的瓶頸，將給電子業(yè)帶來革命性的變革。目前碳化硅的主要應(yīng)用領(lǐng)域有LED固體照明和高頻率器件，未來手機(jī)和筆記本電腦的背景光市場將給碳化硅提供巨大的需求增長。同時晶體生長設(shè)備-單晶生長爐也隨之得到了飛速的發(fā)展。
[0003]碳化硅單晶生長爐屬于高真空密封裝置，對真空泄漏率的要求很高。由于晶體工藝要求，需要增加小爐蓋上升旋轉(zhuǎn)開啟功能，便于拆裝內(nèi)部熱場件。晶體生長過程，需要小爐蓋與下方爐室密封，目前的技術(shù)關(guān)于小爐蓋旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的創(chuàng)造較少，拆裝復(fù)雜、真空密封效果差。
[0004]為此，如何提供一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，是本實(shí)用新型研究的目的。
[0005]實(shí)用新內(nèi)容
[0006]為克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本實(shí)用新型提供一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，在長晶前裝料和長晶后取晶時，通過升降平臺，提升小爐蓋并旋轉(zhuǎn)至相應(yīng)位置，便于后續(xù)工序操作，同時保證了真空密封的效果。
[0007]為解決現(xiàn)有技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括爐臺、上爐室、小爐蓋、托架、觀察窗、鎖緊螺母、旋轉(zhuǎn)托盤、支撐軸、直線軸承和氣缸，所述的爐臺上分別設(shè)置有上爐室、氣缸和支撐軸，所述的上爐室上設(shè)置有小爐蓋，所述的小爐蓋正上方中心位置設(shè)有觀察窗;所述的氣缸移動端板上固定設(shè)置有旋轉(zhuǎn)托盤，所述的旋轉(zhuǎn)托盤上表面通過鎖緊螺母與托架一端固定連接，所述的托架另一端與小爐蓋上表面固定連接;所述的旋轉(zhuǎn)托盤下表面通過氣缸的移動端板與支撐軸相連;所述的支撐軸設(shè)置有直線軸承。
[0008]進(jìn)一步的，所述的上爐室與小爐蓋通過0型密封圈密封。
[0009]進(jìn)一步的，所述的氣缸初始下限位置高于小爐蓋和上爐室的壓緊位置。
[0010]進(jìn)一步的，所述的支撐軸與旋轉(zhuǎn)托盤的表面做材料硬化處理。
[0011]進(jìn)一步的，所述的氣缸可根據(jù)需要選擇帶導(dǎo)向桿的型號。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果是:拆裝熱場方便，保證爐體的真空密封性，提升小爐蓋并旋轉(zhuǎn)至相應(yīng)位置，便于后續(xù)工序操作。
【附圖說明】

[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)剖面圖。
[0014]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0015]其中:爐臺1、上爐室2、小爐蓋3、托架4、觀察窗5、鎖緊螺母6、旋轉(zhuǎn)托盤7、支撐軸8、直線軸承9、氣缸10、連接桿11。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠更好的理解本實(shí)用新型技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖1-2對本實(shí)用新型做進(jìn)一步分析。
[0017]如圖1所示，一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括爐臺1、上爐室2、小爐蓋3、托架4、觀察窗5、鎖緊螺母6、旋轉(zhuǎn)托盤7、支撐軸8、直線軸承9和氣缸10，上爐室2置于爐臺I上，小爐蓋3位于上爐室2上，通過密封圈實(shí)現(xiàn)密封;小爐蓋3正上方中心留有觀察窗5，可觀察爐內(nèi)生長情況;氣缸10緊固于爐臺上，升降行程根據(jù)預(yù)定升起高度選定;氣缸10的初始下限位置可略高于小爐蓋3和上爐室2的壓緊位置，保證密封圈被充分壓縮，真空可靠。如圖2所示，旋轉(zhuǎn)托盤7下表面固定在氣缸10的移動端板11上，其上表面與托架4一端通過鎖緊螺母6緊固，托架另一端與小爐蓋上表面固定連接;移動端板11與支撐軸8相連，支撐軸8設(shè)置有直線軸承9。上爐室2與爐體真空部分貫通。
[0018]氣缸10下限位位于小爐蓋3壓緊狀態(tài)，隨著行程上升，可抬起小爐蓋3，受氣缸10行程限制，可自動止于最高位置。氣缸10可選帶導(dǎo)向桿的型式，保證垂直升降。旋轉(zhuǎn)托盤7可實(shí)現(xiàn)最高時旋轉(zhuǎn)功能，讓出爐口位置，便于后續(xù)操作。支撐軸8與旋轉(zhuǎn)托盤7的表面需做材料硬化處理。
[0019]本實(shí)用新型工作中，隨著氣缸10頂升，小爐蓋3被逐漸抬高，由于小爐蓋3中心與氣缸10中心偏移，產(chǎn)生的軸向力矩被固定在爐臺I上的支撐軸8及直線軸承9通過旋轉(zhuǎn)托盤7抵消。直線軸承9與支撐軸8沿軸向相對位移。隨著小爐蓋3升至最高位，可手動將小爐蓋3旋轉(zhuǎn)出爐口位置，讓出操作空間。正常工序操作完成后，過程逆向操作，將小爐蓋3旋回中心，并下降到初始位置。
[0020]本實(shí)用新型所述的機(jī)構(gòu)整個過程無需繁雜人工操作，僅控制氣缸10啟動時間，上升到預(yù)定高度后，人為實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，其余自動完成。
[0021]以上對本申請所提供的技術(shù)方案進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了實(shí)施例對本申請的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本申請的方法及其核心思想；同時，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本申請的思想，在【具體實(shí)施方式】及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本申請的限制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于:包括爐臺、上爐室、小爐蓋、托架、觀察窗、鎖緊螺母、旋轉(zhuǎn)托盤、支撐軸、直線軸承和氣缸，所述的爐臺上分別設(shè)置有上爐室、氣缸和支撐軸，所述的上爐室上設(shè)置有小爐蓋，所述的小爐蓋正上方中心位置設(shè)有觀察窗;所述的氣缸移動端板上固定設(shè)置有旋轉(zhuǎn)托盤，所述的旋轉(zhuǎn)托盤上表面通過鎖緊螺母與托架一端固定連接，所述的托架另一端與小爐蓋上表面固定連接;所述的旋轉(zhuǎn)托盤下表面通過氣缸的移動端板與支撐軸相連;所述的支撐軸設(shè)置有直線軸承。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的上爐室與小爐蓋通過ο型密封圈密封。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的氣缸初始下限位置高于小爐蓋和上爐室的壓緊位置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的支撐軸與旋轉(zhuǎn)托盤的表面做材料硬化處理。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小爐蓋升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的氣缸可根據(jù)需要選擇帶導(dǎo)向桿的型號。
【文檔編號】C30B29/36GK205711046SQ201620568410
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月14日
【發(fā)明人】鄭清超, 趙玉梅, 楊坤, 高宇
【申請人】河北同光晶體有限公司