本實(shí)用新型涉及一種單晶爐，具體是一種新型電控一體化單晶爐。

背景技術(shù)：

單晶硅為一種半導(dǎo)體材料，一般用于制造集成電路和其他電子元件，單晶硅生長(zhǎng)技術(shù)有兩種 ：一種是區(qū)熔法，另一種是直拉法，其中直拉法使目前普遍采用的方法。直拉法生長(zhǎng)單晶硅的方法如下 ：將高純度的多晶硅原料放入直拉法單晶爐的石英坩堝內(nèi)，然后在低真空有流動(dòng)惰性氣體的保護(hù)下加熱熔化，把一支有著特定生長(zhǎng)方向的單晶硅 ( 也叫做籽晶 ) 裝入籽晶夾持裝置中，并使籽晶與硅溶液接觸，調(diào)整熔融硅溶液的溫度，使其接近熔點(diǎn)溫度，然后驅(qū)動(dòng)籽晶自上而下伸入熔融的硅溶液中并旋轉(zhuǎn)，然后緩緩上提籽晶，此時(shí)，單晶硅進(jìn)入錐體部分的生長(zhǎng)，當(dāng)錐體的直徑接近目標(biāo)直徑時(shí)，提高籽晶的提升速度，使單晶硅體直徑不再增大而進(jìn)入晶體的中部生長(zhǎng)階段，在單晶硅體生長(zhǎng)接近結(jié)束時(shí)，再提高籽晶的提升速度，單晶硅體逐漸脫離熔融硅，形成下錐體而結(jié)束生長(zhǎng)。用這種方法生長(zhǎng)出來(lái)的單晶硅，其形狀為兩段呈錐形的圓柱體，將該圓柱體切片，即得到單晶硅半導(dǎo)體原料，這種圓形單晶硅片就可以作為集成電路或太陽(yáng)能的材料。單晶硅拉制一般在直拉法單晶爐中進(jìn)行。目前市面上單晶爐的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，無(wú)法準(zhǔn)確的把握單晶硅的生產(chǎn)狀態(tài)，生產(chǎn)效率低下，控制方式分散且單一，無(wú)法集中控制管理，效率低下。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種新型電控一體化單晶爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種新型電控一體化單晶爐，包括單晶爐主體，所述單晶爐主體設(shè)置在底架上，所述單晶爐主體內(nèi)設(shè)有坩堝，所述坩堝設(shè)置在坩堝底座上，坩堝底座下端設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸連接坩堝上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述坩堝設(shè)置在加熱裝置內(nèi)，所述加熱裝置外部設(shè)有絕緣層，所述單晶爐主體上端設(shè)有卡座，所述卡座連接卡槽，所述卡槽設(shè)置在上爐腔的下端，所述上爐腔上端一側(cè)設(shè)有惰性氣體接口，所述上爐腔中設(shè)有提拉桿，所述提拉桿與上爐腔頂部的上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，所述上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在轉(zhuǎn)料液壓缸前端，所述轉(zhuǎn)料液壓缸水平設(shè)置在上基座中，所述上基座中還設(shè)有裝料液壓缸，所述裝料液壓缸前端設(shè)有裝料桶，所述裝料桶下端通過(guò)出料控制閥連接出料嘴，所述上基座設(shè)置在升降液壓缸上端，所述升降液壓缸設(shè)置下端設(shè)置旋轉(zhuǎn)底座中，所述旋轉(zhuǎn)底座通過(guò)止推軸承設(shè)置在底座內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)底座下端設(shè)有從動(dòng)齒輪，所述從動(dòng)齒輪嚙合連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置上裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述單晶爐主體上端一側(cè)設(shè)有直徑控制傳感器，所述單晶爐主體一側(cè)設(shè)有控制箱和配電箱，所述控制箱連接直徑控制傳感器、坩堝上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、出料控制閥、上基座、升降液壓缸、驅(qū)動(dòng)電機(jī)和配電箱，所述單晶爐主體下端一側(cè)設(shè)有抽氣泵接口，所述抽氣泵接口與底架上的抽氣泵連接。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述坩堝底座上設(shè)有與坩堝相匹配的坩堝槽。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述單晶爐主體下端設(shè)有轉(zhuǎn)軸通道。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述加熱裝置為電熱裝置，所述加熱裝置安裝在下端的電極上，所述電極連接配電箱。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述控制箱上設(shè)有控制面板，所述控制面板上設(shè)有控制按鈕。

作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案：

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)新穎，轉(zhuǎn)料、卸料和裝料方便快捷，能夠?qū)崿F(xiàn)集中化控制管理，用電安全，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，提高了產(chǎn)品質(zhì)量，也進(jìn)一步提高了生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為新型電控一體化單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-底架、2-抽氣鋼管、3-絕緣層、4-坩堝、5-單晶硅、6-直徑控制傳感器、7-惰性氣體接口、8-上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、9-上爐腔、10-提拉桿、11-隔離閥、12-籽晶、13-單晶爐主體、14-加熱裝置、15-抽氣泵接口、16-坩堝底座、17-轉(zhuǎn)軸、18-轉(zhuǎn)軸通道、19-密封裝置、20-抽氣泵、21-坩堝上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、22-卡座、23-卡槽、24-混凝土地面、25-出料嘴、26-出料控制閥、27-裝料桶、28-裝料液壓缸、29-支撐架、30-上基座、31-轉(zhuǎn)料液壓缸、32-升降液壓缸、33-機(jī)架、34-底座、35-驅(qū)動(dòng)電機(jī)、36-旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置、37-止推軸承、38-從動(dòng)齒輪、39-旋轉(zhuǎn)底座、40-控制箱、41-配電箱。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖，本實(shí)用新型實(shí)施例中，包括單晶爐主體13，單晶爐主體13設(shè)置在底架1上，單晶爐主體13內(nèi)設(shè)有坩堝4，坩堝4設(shè)置在坩堝底座16上，坩堝底座16下端設(shè)有轉(zhuǎn)軸17，轉(zhuǎn)軸17連接坩堝上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)21，坩堝4設(shè)置在加熱裝置14內(nèi)，加熱裝置14外部設(shè)有絕緣層3，單晶爐主體13上端設(shè)有卡座22，卡座22連接卡槽23，卡槽23設(shè)置在上爐腔9的下端，上爐腔9上端一側(cè)設(shè)有惰性氣體接口7，上爐腔9中設(shè)有提拉桿10，提拉桿10與上爐腔9頂部的上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8連接，上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8設(shè)置在轉(zhuǎn)料液壓缸31前端，轉(zhuǎn)料液壓缸31水平設(shè)置在上基座30中，上基座30中還設(shè)有裝料液壓缸28，裝料液壓缸28前端設(shè)有裝料桶27，裝料桶27下端通過(guò)出料控制閥26連接出料嘴25，上基座30設(shè)置在升降液壓缸32上端，升降液壓缸32設(shè)置下端設(shè)置旋轉(zhuǎn)底座39中，旋轉(zhuǎn)底座39通過(guò)止推軸承37設(shè)置在底座34內(nèi)，旋轉(zhuǎn)底座39下端設(shè)有從動(dòng)齒輪38，從動(dòng)齒輪38嚙合連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置36，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置36上裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)35，單晶爐主體13上端一側(cè)設(shè)有直徑控制傳感器6，單晶爐主體13一側(cè)設(shè)有控制箱40和配電箱41，控制箱40連接直徑控制傳感器6、坩堝上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)21、上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8、出料控制閥26、上基座30、升降液壓缸32、驅(qū)動(dòng)電機(jī)35和配電箱41，單晶爐主體13下端一側(cè)設(shè)有抽氣泵接口15，抽氣泵接口15與底架1上的抽氣泵20連接，坩堝底座16上設(shè)有與坩堝4相匹配的坩堝槽，單晶爐主體13下端設(shè)有轉(zhuǎn)軸通道18，加熱裝置14為電熱裝置，加熱裝置14安裝在下端的電極上，電極連接配電箱23，控制箱2上設(shè)有控制面板，控制面板上設(shè)有控制按鈕。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)新穎，通過(guò)控制箱和配電箱的設(shè)置，實(shí)現(xiàn)集中化控制管理，用電安全，，方便快捷，通過(guò)隔離閥的設(shè)置，極大提高了產(chǎn)品的質(zhì)量，通過(guò)惰性氣體接口和抽氣泵接口以及抽氣泵的設(shè)置，使?fàn)t內(nèi)時(shí)刻充滿惰性氣體，滿足了生產(chǎn)條件，提高了生產(chǎn)效率，通過(guò)設(shè)置的直徑控制傳感器能夠準(zhǔn)確的把握單晶硅的生長(zhǎng)狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，提高了產(chǎn)品質(zhì)量，通過(guò)升降液壓缸的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)上基座的升降功能，通過(guò)轉(zhuǎn)料液壓缸的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)功能，再通過(guò)旋轉(zhuǎn)底座、從動(dòng)齒輪和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)上爐腔的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)工作，使得卸料和轉(zhuǎn)料快捷方便，再通過(guò)裝料液壓缸和裝料桶的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)在轉(zhuǎn)料或卸料的同時(shí)實(shí)現(xiàn)裝料功能，也進(jìn)一步提高了生產(chǎn)效率。

對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說(shuō)明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說(shuō)明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見(jiàn)，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。