專利名稱：殘液洗滌塔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種多晶硅生產(chǎn)過程中用于殘液處理的殘液洗滌塔。
背景技術(shù)：
用于多晶硅生產(chǎn)過程殘液處理的洗滌塔，在工藝設(shè)置上一般是兩套系統(tǒng)，一開一備、倒換檢修，其進(jìn)氣控制方式一般是采用自動切斷閥。因長期使用，管道內(nèi)壁附帶水解物， 造成閥板軟密封損壞，許多氣動切斷閥門存在內(nèi)漏現(xiàn)象。在設(shè)備需要進(jìn)行檢修時，就無法將待檢修設(shè)備與生產(chǎn)系統(tǒng)完全斷開，大量的氯硅烷氣體漏入檢修塔，存在爆炸的危險；為了避免爆炸，就只有整個系統(tǒng)停止生產(chǎn)，停止排放殘液，洗滌塔才能進(jìn)行檢修。這樣不僅備用洗滌塔就無法發(fā)揮備用的作用，同時對整個多晶硅生產(chǎn)也會造成較大損失。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是針對上述情況，提供一種檢修時保證多晶硅生產(chǎn)正常進(jìn)行的殘液洗滌塔。本實用新型的目的通過下述技術(shù)方案來實現(xiàn)一種殘液洗滌塔，在殘液洗滌塔的進(jìn)氣口處設(shè)有控制閥，所述控制閥平時處于常開狀態(tài)，待檢修時，控制閥與自動切斷閥一并關(guān)閉。作為優(yōu)選方式，所述的控制閥為渦輪對夾式蝶閥。本實用新型的有益效果在設(shè)備需要進(jìn)行檢修時，可將待檢修設(shè)備與生產(chǎn)系統(tǒng)完全斷開，避免了爆炸的危險；同時備用洗滌塔也可發(fā)揮備用，保證多晶硅生產(chǎn)正常進(jìn)行。

圖1是本實用新型的示意圖。圖中，1為控制閥，2為殘液洗滌塔，3為排放尾氣管線。
具體實施方式
下面結(jié)合具體實施例和附圖對本實用新型作進(jìn)一步的說明。如圖1所示，一種殘液洗滌塔，在殘液洗滌塔2的進(jìn)氣口處設(shè)有控制閥1，所述的控制閥1為渦輪對夾式蝶閥，所述控制閥1平時處于常開狀態(tài)，待檢修時，控制閥與自動切斷閥一并關(guān)閉。本實用新型的有益效果在設(shè)備需要進(jìn)行檢修時，可將待檢修設(shè)備與生產(chǎn)系統(tǒng)完全斷開，避免了爆炸的危險；同時備用洗滌塔也可發(fā)揮備用，保證多晶硅生產(chǎn)正常進(jìn)行。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種殘液洗滌塔，其特征在于在殘液洗滌塔(2)的進(jìn)氣口處設(shè)有控制閥(1)，所述控制閥平時處于常開狀態(tài)，待檢修時，控制閥與自動切斷閥一并關(guān)閉。
2.如權(quán)利要求1所述的殘液洗滌塔，其特征在于所述的控制閥(1)為渦輪對夾式蝶閥。
專利摘要本實用新型公開了一種殘液洗滌塔，在殘液洗滌塔的進(jìn)氣口處設(shè)有控制閥，所述控制閥平時處于常開狀態(tài)，待檢修時，控制閥與自動切斷閥一并關(guān)閉；本實用新型的有益效果在設(shè)備需要進(jìn)行檢修時，可將待檢修設(shè)備與生產(chǎn)系統(tǒng)完全斷開，避免了爆炸的危險；同時備用洗滌塔也可發(fā)揮備用，保證多晶硅生產(chǎn)正常進(jìn)行。
文檔編號C01B33/037GK202144454SQ20112020183
公開日2012年2月15日 申請日期2011年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月16日
發(fā)明者曾勇強, 曾維華 申請人:四川瑞能硅材料有限公司