一種ito靶材磨邊倒角機的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種ITO靶材磨邊倒角機，包括電機機架、三個磨頭電機、三個金剛石砂輪、平臺機架、調速電機、絲桿、工作平臺和直線導軌，三個磨頭電機分別通過滑動組件安裝在電機機架上，三個金剛石砂輪分別安裝在三個磨頭電機上，直線導軌安裝在平臺機架上，工作平臺通過滑塊安裝在直線導軌上，絲桿與調速電機連接，工作平臺的底端與絲桿通過螺紋連接；三個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面的位置關系分別為：呈向上30～60度角、平行、呈向下30～60度角。本實用新型的磨邊倒角尺寸精度可控制在±0.1mm以內，可以同時完成倒上棱角、磨邊和倒下棱角的工作，能夠提高ITO靶材磨邊倒角工序的工作效率和工作質量。
【專利說明】
一種ITO靶材磨邊倒角機
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及一種磨邊倒角機，特別涉及一種ITO靶材磨邊倒角機。
【背景技術】
[0002]ITO靶材燒結完成后會有一定程度的變形，所以需要對其進行切割和平面研磨以達到客戶要求的尺寸，尺寸精度一般在±0.1mm。完成切割后的靶材，側面會有切割痕，不僅影響美觀，還容易在使用過程中引起微裂紋，影響后續(xù)使用。ITO靶材為陶瓷靶材，屬脆硬材料，切割加工后，必須進行倒角處理，否則在后續(xù)操作過程中極易發(fā)生崩邊。手工對靶材進行磨邊倒角，工作效率低，勞動強度大，質量也不穩(wěn)定。市售的可用于磨削大尺寸陶瓷板材的磨邊倒角機，尺寸精度很難控制在± 0.1mm。

【發(fā)明內容】

[0003]本實用新型要解決的技術問題是:提供一種ITO靶材磨邊倒角機，該磨邊倒角機的磨邊倒角尺寸精度可控制在±0.1mm以內，可提高ITO靶材磨邊倒角工序的工作效率和工作質量。
[0004]解決上述技術問題的技術方案是:一種ITO靶材磨邊倒角機，包括電機機架、三個磨頭電機、三個金剛石砂輪、平臺機架、調速電機、絲桿、工作平臺和直線導軌，所述的三個磨頭電機分別通過滑動組件安裝在電機機架上，三個金剛石砂輪分別安裝在三個磨頭電機上，所述的直線導軌安裝在平臺機架上，工作平臺通過滑塊安裝在直線導軌上，絲桿與調速電機連接，工作平臺的底端與絲桿通過螺紋連接;三個磨頭電機中，其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面呈向上30?60度角，其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面平行，其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面呈向下30?60度角。
[0005]所述的滑動組件包括滑道、轉軸和與滑道配合滑動一字拖板，所述的滑道安裝在電機機架上，一字拖板安裝在滑道上，一字拖板與轉軸通過螺紋連接，磨頭電機安裝在一字拖板上。
[0006]所述的絲桿兩端通過安裝座安裝在平臺機架上。
[0007]所述的調速電機安裝在平臺機架上。
[0008]所述的直線導軌的精度級數為精密級。
[0009]所述的磨頭電機為精密磨頭電機。
[0010]本實用新型的磨邊倒角尺寸精度可控制在±0.1mm以內，且通過設置三個不同角度的磨頭電機，可以同時完成倒上棱角、磨邊和倒下棱角的工作，與手工磨邊倒角相比，能夠大大提高ITO靶材磨邊倒角工序的工作效率，降低工人的勞動強度，還能有效的保證工作質量。
[0011]下面，結合附圖和實施例對本實用新型之一種ITO靶材磨邊倒角機的技術特征作進一步的說明。
【附圖說明】
[0012]圖1:本實用新型之一種ITO靶材磨邊倒角機立體圖。
[0013]圖2:本實用新型之一種ITO靶材磨邊倒角機主視圖。
[0014]圖3:本實用新型之一種ITO靶材磨邊倒角機左視圖。
[0015]圖4:本實用新型之一種ITO靶材磨邊倒角機俯視圖。
[0016]圖中:1-平臺機架，2-直線導軌，3-電機機架，4-滑道，5-—字拖板，6_轉軸，7_磨頭電機，8-金剛石砂輪，9-工作平臺，10-絲桿，11-調速電機，12-安裝座，13-滑塊。
【具體實施方式】
[0017]實施例1:一種ITO靶材磨邊倒角機，如圖1-圖4所示，包括電機機架3、三個磨頭電機7、三個金剛石砂輪8、平臺機架1、調速電機11、絲桿10、工作平臺9和直線導軌2，所述的直線導軌的精度級數為精密級，所述的磨頭電機為精密磨頭電機，所述的三個磨頭電機7分別通過滑動組件安裝在電機機架3上，三個金剛石砂輪8分別安裝在三個磨頭電機上，所述的直線導軌2安裝在平臺機架I上，工作平臺9通過滑塊13安裝在直線導軌2上，絲桿10與調速電機11連接，工作平臺的底端與絲桿通過螺紋連接，通過絲桿的正反轉可以實現工作平臺的左右移動，絲桿兩端通過安裝座12安裝在平臺機架上，調速電機安裝在平臺機架上。三個磨頭電機中，其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面呈向上45度角，用于倒下棱角;其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面平行，用于磨邊;其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面呈向下45度角，用于倒上棱角。
[0018]本實施例中，所述的滑動組件包括滑道4、轉軸6和與滑道配合滑動一字拖板5，所述的滑道安裝在電機機架上，一字拖板安裝在滑道上，一字拖板與轉軸通過螺紋連接，磨頭電機7安裝在一字拖板5上，通過轉動轉軸6可以實現一字拖板5在滑道4上的前進和后退。作為一種變換，也可以采用其他結構便于磨頭電機前進和后退的滑動組件。
[0019]作為本實施例的一種變換，所述的用于倒上棱角和用于倒下棱角的磨頭電機的中軸線與工作平臺平面之間的角度還可以根據實際情況進行調整，一般為呈向上30?60度角和呈向下30?60度角。
[0020]采用本實用新型進行磨邊倒角的過程是:將ITO靶材放置在工作平臺9上，需要加工的一邊露出工作臺5-30mm，并調整好位置使待加工邊與直線導軌2平行，用夾具固定住。通過旋轉一字拖板5上的轉軸6，使一字拖板帶動磨頭電機7前進或后退。啟動調速電機11，帶動絲桿10轉動，使工作平臺9沿直線導軌2做直線運動，使固定在其上的ITO靶材依次經過三個金剛石砂輪8，實現磨邊和對上下棱邊進行倒角。
【主權項】
1.一種ITO靶材磨邊倒角機，其特征在于:包括電機機架(3)、三個磨頭電機(7)、三個金剛石砂輪(8)、平臺機架(1)、調速電機(11)、絲桿(10)、工作平臺(9)和直線導軌(2)，所述的三個磨頭電機(7)分別通過滑動組件安裝在電機機架(3)上，三個金剛石砂輪(8)分別安裝在三個磨頭電機上，所述的直線導軌(2)安裝在平臺機架(I)上，工作平臺(9)通過滑塊(13)安裝在直線導軌(2)上，絲桿(10)與調速電機(11)連接，工作平臺的底端與絲桿通過螺紋連接;三個磨頭電機中，其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面呈向上30?60度角，其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面平行，其中一個磨頭電機的中軸線與工作平臺平面呈向下30?60度角。2.根據權利要求1所述的一種ITO靶材磨邊倒角機，其特征在于:所述的滑動組件包括滑道(4)、轉軸(6)和與滑道配合滑動一字拖板(5)，所述的滑道安裝在電機機架上，一字拖板安裝在滑道上，一字拖板與轉軸通過螺紋連接，磨頭電機(7)安裝在一字拖板(5)上。3.根據權利要求1或2所述的一種ITO靶材磨邊倒角機，其特征在于:所述的絲桿兩端通過安裝座(12)安裝在平臺機架上。4.根據權利要求1或2所述的一種ITO靶材磨邊倒角機，其特征在于:所述的調速電機安裝在平臺機架上。5.根據權利要求1或2所述的一種ITO靶材磨邊倒角機，其特征在于:所述的直線導軌的精度級數為精密級。6.根據權利要求1或2所述的一種ITO靶材磨邊倒角機，其特征在于:所述的磨頭電機為精密磨頭電機。
【文檔編號】B24B41/02GK205520820SQ201620223241
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月22日
【發(fā)明人】武建良, 陸映東, 農浩, 黃作, 黃誓成
【申請人】廣西晶聯光電材料有限責任公司