真空離子鍍膜機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種鍍膜生產(chǎn)裝置，具體地說是一種真空離子鍍膜機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍膜技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于人們的日常生活和工業(yè)各個(gè)領(lǐng)域，現(xiàn)有技術(shù)中制備金黃色的TiN膜、黑色的TiC膜、棕色的TiAlN膜和綠色的ZrO膜過程中，通常都需要采用真空離子鍍膜技術(shù)，現(xiàn)有的真空離子鍍膜設(shè)備一般包括爐體主機(jī)、抽氣系統(tǒng)、電控柜三部分組成，現(xiàn)有的這種結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)效率低，生產(chǎn)過程復(fù)雜，鍍膜質(zhì)量差，設(shè)備成本以及人工成本高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)備成本低，鍍膜質(zhì)量好的真空離子鍍膜機(jī)。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的真空離子鍍膜機(jī)，包括真空鍍膜室，真空鍍膜室內(nèi)設(shè)置有離子發(fā)射源，真空鍍膜室的左右兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)前密封室和一個(gè)后密封室，后密封室后方設(shè)置有保溫室，所述前密封室和后密封室內(nèi)分別設(shè)置有多扇密封門，各個(gè)密封門上均設(shè)置有感應(yīng)開關(guān)，所述感應(yīng)開關(guān)檢測(cè)到板材進(jìn)入進(jìn)出狀況后能夠依次啟閉前密封室或后密封室的各扇密封門使板材進(jìn)入前密封室或送出后密封室；還包括位于前過渡室、前密封室、真空鍍膜室、后密封室、保溫室、后過渡室內(nèi)的輸送裝置，待鍍膜的板材能夠通過輸送裝置一次進(jìn)入到前過渡室、前密封室、真空鍍膜室、后密封室、保溫室、后過渡室內(nèi)；所述真空鍍膜室的一側(cè)設(shè)置有用于抽真空的真空泵。
[0005]所述離子發(fā)射源設(shè)置有5個(gè)以上。
[0006]采用上述的結(jié)構(gòu)后，一方面，通過離子源發(fā)射等離子體加熱膜料，使膜料成為膜料蒸汽，均勻鍍?cè)诓Ａ?，另外一方面，前后密封室?nèi)設(shè)置的多扇密封門起到很好的密封作用，有利于提高鍍膜的質(zhì)量，設(shè)置的保溫室，一方面可以起到加溫作用，進(jìn)一步增強(qiáng)鍍膜強(qiáng)度，更重要的是可以在鍍完膜后出爐過程中使其具有過渡作用，有利于提高鍍膜強(qiáng)度和鍍膜質(zhì)量。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型真空離子鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]下面墊結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的真空離子鍍膜機(jī)作詳盡說明。
[0009]如圖1所示，本實(shí)用新型的真空離子鍍膜機(jī)，包括真空鍍膜室，真空鍍膜室內(nèi)設(shè)置有離子發(fā)射源，真空鍍膜室的左右兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)前密封室和一個(gè)后密封室，后密封室后方設(shè)置有保溫室，所述前密封室和后密封室內(nèi)分別設(shè)置有多扇密封門，各個(gè)密封門上均設(shè)置有感應(yīng)開關(guān)，所述感應(yīng)開關(guān)檢測(cè)到板材進(jìn)入進(jìn)出狀況后能夠依次啟閉前密封室或后密封室的各扇密封門使板材進(jìn)入前密封室或送出后密封室；還包括位于前過渡室、前密封室、真空鍍膜室、后密封室、保溫室、后過渡室內(nèi)的輸送裝置，待鍍膜的板材能夠通過輸送裝置一次進(jìn)入到前過渡室、前密封室、真空鍍膜室、后密封室、保溫室、后過渡室內(nèi)；所述真空鍍膜室的一側(cè)設(shè)置有用于抽真空的真空泵，離子發(fā)射源設(shè)置有5個(gè)以上。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空離子鍍膜機(jī)，其特征在于:包括真空鍍膜室，真空鍍膜室內(nèi)設(shè)置有離子發(fā)射源，真空鍍膜室的左右兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)前密封室和一個(gè)后密封室，后密封室后方設(shè)置有保溫室，所述前密封室和后密封室內(nèi)分別設(shè)置有多扇密封門，各個(gè)密封門上均設(shè)置有感應(yīng)開關(guān)，所述感應(yīng)開關(guān)檢測(cè)到板材進(jìn)入進(jìn)出狀況后能夠依次啟閉前密封室或后密封室的各扇密封門使板材進(jìn)入前密封室或送出后密封室；還包括位于前過渡室、前密封室、真空鍍膜室、后密封室、保溫室、后過渡室內(nèi)的輸送裝置，待鍍膜的板材能夠通過輸送裝置一次進(jìn)入到前過渡室、前密封室、真空鍍膜室、后密封室、保溫室、后過渡室內(nèi)；所述真空鍍膜室的一側(cè)設(shè)置有用于抽真空的真空泵。
2.按照權(quán)利要求1所述的真空離子鍍膜機(jī)，其特征在于:所述離子發(fā)射源設(shè)置有5個(gè)以上。
【專利摘要】本實(shí)用新型是一種真空離子鍍膜機(jī)。包括真空鍍膜室，真空鍍膜室內(nèi)設(shè)置有離子發(fā)射源，真空鍍膜室的左右兩側(cè)分別設(shè)置有前后密封室，后密封室后方設(shè)置有保溫室，前密封室和后密封室內(nèi)分別設(shè)置有多扇密封門，各個(gè)密封門上均設(shè)置有感應(yīng)開關(guān)；還包括位于前過渡室、前密封室、真空鍍膜室、后密封室、保溫室、后過渡室內(nèi)的輸送裝置，待鍍膜的板材能夠通過輸送裝置依次進(jìn)入到各個(gè)室內(nèi)；真空鍍膜室的一側(cè)設(shè)置有用于抽真空的真空泵。采用上述的結(jié)構(gòu)后，使膜料成為膜料蒸汽，均勻鍍?cè)诓Ａ?，起到很好的密封作用，有利于提高鍍膜的質(zhì)量，可以起到加溫作用，增強(qiáng)鍍膜強(qiáng)度，更重要的是可以在鍍完膜后出爐過程中使其具有過渡作用，有利于提高鍍膜強(qiáng)度和鍍膜質(zhì)量。
【IPC分類】C23C14-28, C23C14-56
【公開號(hào)】CN204265829
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420729700
【發(fā)明人】石芳萍
【申請(qǐng)人】深圳市炬宇泰科技有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請(qǐng)日】2014年11月29日