一種噴硼源支架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種液體噴吹支架技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及噴硼源支架領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在電子生產(chǎn)中，進(jìn)行硼擴(kuò)散大多用的是勻膠機(jī)，雖然過程中感覺很均勻，可出爐后得到的結(jié)果顯示卻是不均勻的，因此參數(shù)的一致性并不是很好，并且物料耗用較多，操作繁復(fù)不簡便，基于這些原因，我們考慮通過噴硼的方式來解決現(xiàn)有硼源不均勻的問題。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)對噴硼方式的研究主要是噴硼是否均勻等方面，例如CN204295523U —種硼砂噴吹裝置，包括底座，底座上開有固定孔并固定安裝有噴射桶，噴射桶的內(nèi)部設(shè)有喇叭狀的分流器、并且分流器的內(nèi)壁上焊接有若干導(dǎo)向葉片，分流器的闊端位于噴射桶的端面上、窄端開口并連通至噴射桶的另一端；噴射桶的另一端固定安裝有導(dǎo)氣管，導(dǎo)氣管的一端穿過噴射桶導(dǎo)入分流器、另一端固定并連通分氣罩，分流器的窄端開口連通至噴射桶并設(shè)有進(jìn)氣口，分氣罩的端部設(shè)有進(jìn)氣口。該專利以直射的方式解決了無縫鋼管生產(chǎn)領(lǐng)域噴吹的硼砂沒有擴(kuò)散角以及隨毛管管徑變化時更換噴吹裝置，一定程度上節(jié)約了物料，同時提高了先前噴硼均勻的程度。但該實用新型為固體粉末噴吹裝置，不適用于電子生產(chǎn)領(lǐng)域中的半導(dǎo)體中硼擴(kuò)涂源，其次硼和氮氣不能完全分離開來，其混合物對產(chǎn)品的參數(shù)一致性也有一定的影響，并且在操作時不能夠靈活調(diào)節(jié)硼源和氮氣噴射口，使其既準(zhǔn)確又簡便的對準(zhǔn)產(chǎn)品。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是提供一種噴硼源支架，解決現(xiàn)有電子生產(chǎn)領(lǐng)域中的硼擴(kuò)散問題，本實用新型對噴硼源的支架進(jìn)行設(shè)計，使之在操作時可靈活調(diào)節(jié)硼源和氮氣噴射口，使其既準(zhǔn)確又簡便的對準(zhǔn)產(chǎn)品，既節(jié)約材料又噴灑硼源均勻，最終使參數(shù)的一致性得到很大提尚。
[0005]本實用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:
[0006]—種噴硼源支架，其特征在于，包括支撐板、支撐桿、氮氣噴頭、硼源管和燒杯支架，所述支撐板上垂直連接有所述支撐桿，所述支撐桿上依次安裝有所述氮氣噴頭和所述燒杯支架，所述硼源管一端與所述氮氣噴頭端部形成負(fù)壓區(qū)，另一端伸入所述燒杯支架上的燒杯內(nèi)。
[0007]本實用新型支架結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，可靈活調(diào)節(jié)，從而達(dá)到嚴(yán)格控制每片半導(dǎo)體上硼源的噴量，達(dá)到提高產(chǎn)品參數(shù)一致性的目的。
[0008]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還可以做如下改進(jìn):
[0009]進(jìn)一步，所述支撐板上設(shè)置有滑動裝置，所述滑動裝置包括滑塊和軌道，所述軌道設(shè)置在所述支撐板上，所述軌道上安裝有滑塊，所述支撐桿垂直安裝在所述滑塊上，采用本步的有益效果是在支撐板上設(shè)有軌道和滑塊，滑塊可在軌道上上下滑動，從而帶動支撐桿上下進(jìn)行位置調(diào)節(jié)；
[0010]進(jìn)一步，所述氮氣噴頭與所述支撐桿之間連接有氮氣噴頭夾持塊，所述燒杯支架與所述支撐桿之間連接有燒杯夾持塊，采用本步的有益效果是氮氣噴頭夾持塊和燒杯夾持塊可在支撐桿上來回移動，從而可調(diào)整氮氣噴頭和燒杯支架之間的位置距離；
[0011]進(jìn)一步，所述硼源管形成負(fù)壓區(qū)的一端為尖嘴噴頭，采用本步的有益效果是尖嘴噴頭的設(shè)計有利于控制硼源管出口的硼源噴出量，尖嘴噴頭與氮氣噴頭貼近有利于通過氮氣氣流將硼源噴灑均勻；
[0012]進(jìn)一步，所述氮氣噴頭與所述硼源管之間固定連接有L型實心管，采用本步的有益效果是通過實心管固定氮氣噴頭和硼源管之間的位置，讓它們始終不會分離過遠(yuǎn)，防止操作時硼源管發(fā)生滑動松開或抖動，更加有利于通過控制氮氣壓力大小進(jìn)而控制硼源噴灑面積；
[0013]進(jìn)一步，所述氮氣噴頭與所述硼源管為石英材質(zhì)，采用本步的有益效果是因為石英材質(zhì)耐酸耐高溫，遇化學(xué)制劑不易腐蝕的特點；
[0014]進(jìn)一步，所述燒杯支架包括燒杯調(diào)節(jié)桿、底盤和燒杯圈，所述燒杯調(diào)節(jié)桿與所述燒杯夾持塊螺紋連接，且燒杯調(diào)節(jié)桿下方依次安裝有所述燒杯圈、底盤，所述燒杯圈位于底盤上方，采用本步的有益效果是燒杯調(diào)節(jié)桿上部與燒杯夾持塊連接部分設(shè)有螺紋，有利于調(diào)節(jié)燒杯支架的高度，使燒杯可以靈活適應(yīng)硼源管的高度；
[0015]進(jìn)一步，所述氮氣噴頭夾持塊和燒杯夾持塊上均分別設(shè)有橫向調(diào)節(jié)槽和縱向調(diào)節(jié)槽，并分別配有用于緊固的螺栓，采用本步的有益效果是橫向調(diào)節(jié)槽用于調(diào)節(jié)氮氣噴頭夾持塊和燒杯夾持塊在支撐桿上面前后移動，氮氣噴頭夾持塊上的縱向調(diào)節(jié)槽和螺栓用于調(diào)節(jié)氮氣噴頭的高度和確定位置后的緊固作用，燒杯夾持塊上的縱向調(diào)節(jié)槽和螺栓用于調(diào)節(jié)燒杯支架的高度和確定為之后的緊固作用；
[0016]進(jìn)一步，所述氮氣噴頭上方連接有空心管，所述空心管與氮氣壓力調(diào)節(jié)裝置連接，采用本步的有益效果是通過氮氣壓力調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)氮氣壓力大小，進(jìn)而控制硼源管的硼源量和硼源噴灑面積。
[0017]本實用新型工作原理:
[0018]本實用新型在使用時，通過虹吸原理，氮氣通過壓力調(diào)節(jié)裝置經(jīng)過空心管吹進(jìn)氮氣噴嘴內(nèi)，抵達(dá)硼源管尖嘴噴頭位置形成負(fù)壓，由于壓力差的存在，硼源液體從燒杯中通過硼源管吸入上升再從尖嘴噴頭位置噴灑而出，同時在氮氣影響下，硼源在一定范圍內(nèi)噴灑均勻，這樣既解決了噴吹不勻的問題，也減少了物料的耗用，提高了加工效率。
[0019]本實用新型的有益效果是:
[0020]1.本實用新型支架結(jié)構(gòu)簡單，在支撐板上設(shè)有軌道和滑塊，滑塊可在軌道內(nèi)上下滑動，從而帶動支撐桿上的氮氣噴頭夾持塊和燒杯夾持塊上下移動進(jìn)行調(diào)整，尖嘴噴頭的設(shè)計有利于控制硼源管出口的硼源噴出量，尖嘴噴頭與氮氣噴頭貼近更加有利于充分利用氮氣氣流將硼源噴灑均勻。
[0021]2.本實用新型在氮氣噴頭和硼源管之間固定有實心管，使氮氣噴頭和尖嘴噴頭始終不會分離過遠(yuǎn)，以防止操作時硼源管發(fā)生滑動松開或抖動，硼源噴灑面積不均勻或者失控。
[0022]3.本實用新型的氮氣噴頭和硼源管采用石英材質(zhì)，是因為石英材質(zhì)耐酸耐高溫，遇化學(xué)制劑不易腐蝕的特點，可延長支架的使用壽命。
[0023]4.本實用新型設(shè)有用于調(diào)節(jié)氮氣噴頭夾持塊和燒杯夾持塊在支撐桿上面前后移動的橫向調(diào)節(jié)槽，和用于調(diào)節(jié)氮氣噴頭的高度和確定位置后的緊固作用的氮氣噴頭夾持塊上的縱向調(diào)節(jié)槽和螺栓，在靈活調(diào)節(jié)支架零件的同時確保了穩(wěn)固性。
[0024]5.本實用新型通過氮氣壓力調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)氮氣壓力大小，進(jìn)而控制硼源管的硼源量和硼源噴灑面積。
【附圖說明】
[0025]圖1為本實用新型具體實施例所述的一種噴硼源支架的正視圖；
[0026]圖2為本實用新型具體實施例所述的一種噴硼源支架的側(cè)視圖；
[0027]圖3為本實用新型具體實施例所述的一種噴硼源支架的俯視圖；
[0028]附圖中，各標(biāo)號所代表的部件列表如下:
[0029]1.支撐板，
[0030]2.軌道，
[0031]3.滑塊，
[0032]4.支撐桿，
[0033]5.氮氣噴頭夾持塊，
[0034]6.燒杯夾持塊，
[0035]7.氮氣噴頭，
[0036]8.硼源管，
[0037]9.尖嘴噴頭，
[0038]10.燒杯支架，
[0039]11.實心管，
[0040]12.燒杯調(diào)節(jié)桿，
[0041]13.燒杯，
[0042]14.燒杯圈，
[0043]15.底盤，
[0044]16.螺栓，
[0045]17.橫向調(diào)節(jié)槽，
[0046]18.豎向調(diào)節(jié)槽，
[0047]19.螺紋，
[0048]20.空心管，
[0049]21.氮氣壓力調(diào)節(jié)裝置。
【具體實施方式】
[0050]以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0051]本實用新型為一種噴硼源支架，包括支撐板、支撐桿、氮氣噴頭、硼源