一種帶有抽氣系統(tǒng)的pecvd工藝設(shè)備腔室的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及PECVD技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室。
【背景技術(shù)】
[0002]PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n)即等離子體增強化學(xué)氣相沉積，它是借助微波或射頻使含有薄膜組成原子的氣體發(fā)生電離，在局部形成等離子體，借助等離子體活潑易反應(yīng)的化學(xué)特性，在基片上沉積出所期望的薄膜。該技術(shù)被廣泛應(yīng)用于晶體硅太陽能電池的生產(chǎn)中。
[0003]晶體硅太陽能電池的主要生產(chǎn)流程為制絨、擴散、濕法刻蝕、減反射膜的沉積、絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)等工序，PECVD工藝正是應(yīng)用在減反射膜的沉積工序上。
[0004]太陽能行業(yè)所用的PECVD —般分為管式和鏈?zhǔn)絻煞N，鏈?zhǔn)絇ECVD采用真空腔室作為反應(yīng)室，因此在工藝過程中需要用真空栗不停地對設(shè)備腔室進(jìn)行抽真空。
[0005]但是，由于PECVD工藝過程中會有氮化硅產(chǎn)生，真空栗會將氮化硅抽到栗體內(nèi)，而氮化硅長時間在栗體內(nèi)沉積會造成真空栗的卡死，從而導(dǎo)致工藝的被迫中斷，給減反射膜沉積工序帶來麻煩，甚至影響整個生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型要解決的技術(shù)問題是:針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室，該裝置在抽氣管道上設(shè)置有過濾器，能夠?qū)Ω鞣N渣粒粉塵進(jìn)行充分?jǐn)r截，保護真空栗免受傷害，從而防止真空栗卡死，延長了真空栗的使用壽命，并保證了減反射膜沉積工序的正常運行，提高了生產(chǎn)效率。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0008]一種帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室，其包括真空栗和設(shè)備腔室，真空栗和設(shè)備腔室通過抽氣管道連接，抽氣管道上設(shè)有過濾器，過濾器將抽氣管道分為兩段，與設(shè)備腔室連接的一段為第一抽氣管道，與真空栗連接的一段為第二抽氣管道。
[0009]具體地，過濾器與抽氣管道通過法蘭連接，過濾器與抽氣管道之間設(shè)有密封圈，過濾器的兩端設(shè)有攔網(wǎng)，過濾器內(nèi)裝有吸附劑，吸附劑可以采用活性炭；攔網(wǎng)不僅起到約束吸附劑的作用，還能攔截第一抽氣管道處的較大顆粒；法蘭連接方式不僅緊密，而且易于拆卸，可以在必要的時候?qū)^濾器進(jìn)行更換，非常方便。
[0010]具體地，第一抽氣管道上靠近過濾器的位置處設(shè)有清理開口，清理開口上設(shè)有密封蓋，密封蓋和清理開口可以采用螺紋連接方式連接，從而便于裝卸，這樣能夠隨時對過濾器前積攢的殘渣進(jìn)行清理。
[0011]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實用新型在抽氣管道上設(shè)置有過濾器，能夠?qū)Ω鞣N渣粒粉塵進(jìn)行充分?jǐn)r截，保護真空栗免受傷害，從而防止真空栗卡死，延長了真空栗的使用壽命，并保證了減反射膜沉積工序的正常運行，提高了生產(chǎn)效率。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其在結(jié)構(gòu)上的改動不大，但設(shè)計合理，使用效果良好，非常實用。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是圖1中過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中:1、設(shè)備腔室；2、真空栗；31、第一抽氣管道；310、清理開口 ；32、第二抽氣管道；4、過濾器；41、連接法蘭；42、密封圈；43、攔網(wǎng)；44、吸附劑。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0016]如圖1和2所示，一種帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室，其包括真空栗2和設(shè)備腔室I，真空栗2和設(shè)備腔室I通過抽氣管道連接，抽氣管道上設(shè)有過濾器4，過濾器4將抽氣管道分為兩段，與設(shè)備腔室I連接的一段為第一抽氣管道31，與真空栗2連接的一段為第二抽氣管道32 ;過濾器4與抽氣管道通過法蘭連接，過濾器4與抽氣管道之間設(shè)有密封圈42，過濾器4的兩端設(shè)有攔網(wǎng)43，過濾器4內(nèi)裝有吸附劑44，吸附劑44可以采用活性炭；第一抽氣管道31上靠近過濾器4的位置處設(shè)有清理開口 310，清理開口 310上設(shè)有密封蓋，密封蓋和清理開口 310可以采用螺紋連接方式連接。
[0017]使用時只要開動真空栗2即可對設(shè)備腔室I進(jìn)行抽真空，從而使設(shè)備腔室I維持必要的工作條件，設(shè)備腔室I中的各種渣粒隨氣流向真空栗2方向流動；在第一抽氣管道31與過濾器4的連接處，較大地渣粒被攔網(wǎng)43攔截，滯留在清理開口 310處，較小的渣粒進(jìn)入過濾器4，被吸附劑44吸附，最終進(jìn)入第二抽氣管道32的氣體其含塵量已極大降低，大大減少了對真空栗2的傷害；當(dāng)本裝置運行一段時間后，第一抽氣管道31內(nèi)將沉積較多渣粒，此時可以打開密封蓋，通過清理開口 310對第一抽氣管道31內(nèi)的渣粒進(jìn)行清理。
[0018]本實用新型在抽氣管道上設(shè)置有過濾器，能夠?qū)Ω鞣N渣粒粉塵進(jìn)行充分?jǐn)r截，保護真空栗免受傷害，從而防止真空栗卡死，延長了真空栗的使用壽命，并保證了減反射膜沉積工序的正常運行，提高了生產(chǎn)效率。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其在結(jié)構(gòu)上的改動不大，但設(shè)計合理，使用效果良好，非常實用。
[0019]需要指出的是，以上【具體實施方式】只是本專利實現(xiàn)方案的具體個例，沒有也不可能覆蓋本專利的所有實現(xiàn)方式，因此不能視作對本專利保護范圍的限定；凡是與以上案例屬于相同構(gòu)思的實現(xiàn)方案，均在本專利的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室，其包括真空栗(2)和設(shè)備腔室(I )，真空栗(2 )和設(shè)備腔室(I)通過抽氣管道連接，其特征在于:抽氣管道上設(shè)有過濾器(4)，過濾器(4)將抽氣管道分為兩段，與設(shè)備腔室(I)連接的一段為第一抽氣管道(31)，與真空栗(2)連接的一段為第二抽氣管道(32 )。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室，其特征在于:所述過濾器(4)與抽氣管道通過法蘭連接，過濾器(4)與抽氣管道之間設(shè)有密封圈(42)，過濾器(4)的兩端設(shè)有攔網(wǎng)(43)，過濾器(4)內(nèi)裝有吸附劑(44)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室，其特征在于:所述吸附劑(44)為活性炭。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室，其特征在于:所述第一抽氣管道(31)上靠近過濾器(4)的位置處設(shè)有清理開口(310)，清理開口(310)上設(shè)有密封蓋。
【專利摘要】本實用新型公開了一種帶有抽氣系統(tǒng)的PECVD工藝設(shè)備腔室，涉及PECVD技術(shù)領(lǐng)域，其包括真空泵和設(shè)備腔室，真空泵和設(shè)備腔室通過抽氣管道連接，抽氣管道上設(shè)有過濾器，過濾器將抽氣管道分為兩段，與設(shè)備腔室連接的一段為第一抽氣管道，與真空泵連接的一段為第二抽氣管道。本裝置通過過濾器對進(jìn)入真空泵的氣體進(jìn)行過濾，能夠?qū)Ω鞣N渣粒粉塵進(jìn)行充分?jǐn)r截，保護真空泵免受傷害，從而防止真空泵卡死，延長了真空泵的使用壽命，并保證了減反射膜沉積工序的正常運行，提高了生產(chǎn)效率。
【IPC分類】H01L31/18, C23C16/513, H01L31/0216
【公開號】CN204898067
【申請?zhí)枴緾N201520666090
【發(fā)明人】曹錦鵬, 楊川, 張自成
【申請人】英利能源（中國）有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請日】2015年8月31日