一種用于制備cigs太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽(yáng)電池真空制備設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源。
【背景技術(shù)】
[0002]在真空腔室中用共蒸發(fā)的方法蒸鍍CIGS太陽(yáng)電池吸收層的實(shí)驗(yàn)中，蒸發(fā)源的方向角度的變化對(duì)于蒸發(fā)結(jié)果有非常大的影響，即使是完全相同的蒸發(fā)源，在不同的方向角度條件下蒸鍍出的薄膜性能也存在相當(dāng)大的差異，而現(xiàn)有專(zhuān)利中與束流蒸發(fā)源的方向角度調(diào)整機(jī)構(gòu)等方面相關(guān)的專(zhuān)利非常少，僅有的相關(guān)專(zhuān)利中給出的束流蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)在CIGS太陽(yáng)電池吸收層制備中也并不適用，如何利用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)便捷的蒸發(fā)源調(diào)整是關(guān)鍵所在。
[0003]發(fā)明專(zhuān)利200610083452.6(申請(qǐng)?zhí)?公開(kāi)了一種真空系統(tǒng)中可移動(dòng)、萬(wàn)向蒸發(fā)源裝置，其更加適用于分子束外延，由于裝置本身特點(diǎn)，并不十分適用于真空蒸發(fā)腔室。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是:提供一種用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源。該用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源能夠?qū)崿F(xiàn)束流蒸發(fā)源角度多方向調(diào)整。
[0005]本發(fā)明為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題所采取的技術(shù)方案是:
[0006]—種用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源，至少包括:
[0007]—真空腔室底盤(pán)(10);在所述真空腔室底盤(pán)(10)上安裝有縱向?qū)U(8);在所述縱向?qū)U(8)上安裝有縱向滑動(dòng)塊(9);在所述縱向滑動(dòng)塊(9)上固定有橫向?qū)U(5);在所述橫向?qū)U(5)上安裝有橫向滑動(dòng)塊(7);在所述橫向滑動(dòng)塊(7)上安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)連接片(6);所述轉(zhuǎn)動(dòng)連接片(6)由上連接片(6-1)和下連接片(6-2)組成;其中:所述下連接片(6-2)的底部與橫向滑動(dòng)塊(7)固定于橫向滑動(dòng)塊(7)的頂部;所述下連接片(6-2)的頂部與上連接片(6-1)的設(shè)置有連接用的圓孔;在所述圓孔內(nèi)插入螺栓將上連接片(6-1)和下連接片(6-2)連接;所述上連接片(6-1)的頂部連接有下束流源懸掛件(4)，所述下束流源懸掛件(4)包括圓盤(pán)形狀的下懸掛件本體(4-1);在所述下懸掛件本體(4-1)的軸心上開(kāi)設(shè)有中心連接孔(4-2);在所述下懸掛件本體(4-1)上還開(kāi)設(shè)有兩個(gè)固定孔(4-3);在所述下束流源懸掛件
(4)上設(shè)置有上束流源懸掛件(3);所述上束流源懸掛件(3)包括圓盤(pán)形狀的上懸掛件本體(3-1);在所述上懸掛件本體(3-1)上設(shè)置有兩個(gè)上支腿(3-2)，在每個(gè)上支腿(3-2)上開(kāi)設(shè)有上連接孔(3-3);所述上懸掛件本體(3-1)和下懸掛件本體(4-1)之間固定連接;在所述上支腿(3-2)上安裝有束流源底盤(pán)(2);所述束流源底盤(pán)(2)包括圓盤(pán)形狀的底盤(pán)本體(2-4);在所述底盤(pán)本體(2-4)上設(shè)置有熱耦導(dǎo)出孔(2-1)和兩個(gè)下支腿(2-2);在每個(gè)下支腿(2-2)上開(kāi)設(shè)有下連接孔(2-3);在所述束流源底盤(pán)(2)上安裝有束流源(I)。
[0008]進(jìn)一步:在所述橫向滑動(dòng)塊(7)上設(shè)置有頂絲孔(7-1)。
[0009 ]更進(jìn)一步:在所述縱向滑動(dòng)塊(9)上設(shè)置有頂絲孔。3
[0010]更進(jìn)一步:所述束流蒸發(fā)源由不銹鋼材料制成。[0011 ]本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:
[0012]1.通過(guò)采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)蒸發(fā)源角度的任意調(diào)節(jié)；
[0013]2.由于所以部件的連接均采用機(jī)械螺栓、螺母、滑竿連接;因此不需要復(fù)雜的電控技術(shù);故障率比較低;且易于維修；
[0014]3.由于采用不銹鋼材料制成，因此具有耐腐蝕、耐氧化、耐高溫且放氣量小的特點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
:
[0015]圖1為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖；
[0016]圖2為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中束流源底盤(pán)的三視圖，其中:圖2a為主視圖；圖21^為側(cè)視圖；圖2c為俯視圖；
[0017]圖3為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中上束流源懸掛件的三視圖，其中:圖3a為主視圖；圖3b為側(cè)視圖；圖3c為俯視圖；
[0018]圖4為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中下束流源懸掛件的三視圖，其中:圖4a為主視圖；圖4b為側(cè)視圖；圖4c為俯視圖；
[0019]圖5為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中轉(zhuǎn)動(dòng)連接片的主視圖；
[0020]圖6為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中橫向滑動(dòng)塊的主視圖；
[0021 ]圖7為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中縱向滑動(dòng)塊的俯視圖；
[0022]圖8為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中縱向滑動(dòng)塊的側(cè)視圖。
[0023]其中:1、束流源;2、束流源底盤(pán);2-1、熱耦導(dǎo)出孔;2-2、下支腿;2_3、下連接孔;2_
4、底盤(pán)本體;3、上束流源懸掛件;3-1、上懸掛件本體;3-2、上支腿;3-3、上連接孔;4、下束流源懸掛件;4-1、下懸掛件本體;4-2、中心連接孔;4-3、固定孔;5、橫向?qū)U;6、轉(zhuǎn)動(dòng)連接片；
6-1、上連接片;6-2、下連接片;6-3、連接孔;6-4、上安裝孔;6_5、下安裝孔;7、橫向滑動(dòng)塊；
7-1、頂絲孔;7-2、頂空;8、縱向?qū)U;9、縱向滑動(dòng)塊;1、真空腔室底盤(pán)；
【具體實(shí)施方式】
[0024]為能進(jìn)一步了解本發(fā)明的
【發(fā)明內(nèi)容】
、特點(diǎn)及功效，茲例舉以下實(shí)施例，并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如下:
[0025]請(qǐng)參閱圖1至圖8，一種用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源，包括:束流源1、束流源底盤(pán)2、上束流源懸掛件3、下束流源懸掛件4、橫向?qū)U5、轉(zhuǎn)動(dòng)連接片6、橫向滑動(dòng)塊7、縱向?qū)U8、縱向滑動(dòng)塊9、以及真空腔室底盤(pán)10。上述真空腔室底盤(pán)位于束流蒸發(fā)源10的底部，真空腔室底盤(pán)10上設(shè)置有縱向?qū)U8，縱向?qū)U8上設(shè)置縱向滑動(dòng)塊9，在所述縱向滑動(dòng)塊9上安裝有橫向?qū)U5，橫向?qū)U5上設(shè)置有橫向滑動(dòng)塊7，橫向滑動(dòng)塊7上安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)連接片6，在轉(zhuǎn)動(dòng)連接片6上安裝有下束流源懸掛件4，在下束流源懸掛件4上安裝有上束流源懸掛件3，上束流源懸掛件3上安裝有束流源底盤(pán)2，束流源底盤(pán)2上安裝有束流源I;請(qǐng)參閱圖2，所述束流源底盤(pán)2包括圓盤(pán)形狀的底盤(pán)本體2-4;在所述底盤(pán)本體2-4上設(shè)置有熱耦導(dǎo)出孔2-1和兩個(gè)下支腿2-2;在每個(gè)下支腿2-2上開(kāi)設(shè)有下連接孔2-3;請(qǐng)參閱圖3，所述上束流源懸掛件3包括圓盤(pán)形狀的上懸掛件本體3-1;在所述上懸掛件本體3-1上設(shè)置有兩個(gè)上支腿3-2，在每個(gè)上支腿3-2上開(kāi)設(shè)有上連接孔3-3;將下連接孔2-3和上連接孔3-3對(duì)準(zhǔn)后，插入螺栓，這樣就能夠?qū)崿F(xiàn)束流源底盤(pán)2和上束流源懸掛件3的固定連接4;在實(shí)際使用過(guò)程中，旋松連接孔2-3和上連接孔3-3內(nèi)的螺栓，然后通過(guò)旋轉(zhuǎn)進(jìn)而實(shí)現(xiàn)束流源底盤(pán)2和上束流源懸掛件3之間的角度，當(dāng)束流源底盤(pán)2和上束流源懸掛件3之間的角度達(dá)到需要角度時(shí)，緊固上述螺栓，即上述過(guò)程實(shí)現(xiàn)了束流源在YOZ平面上的角度調(diào)整。
[0026]請(qǐng)參閱圖4，所述下束流源懸掛件4包括圓盤(pán)形狀的下懸掛件本體4-1;在所述下懸掛件本體4-1的軸心上開(kāi)設(shè)有中心連接孔4-2;在所述下懸掛件本體4-1上還開(kāi)設(shè)有兩個(gè)固定孔4-3;將連接孔3-3和固定孔4-3對(duì)齊后，插入螺栓進(jìn)行緊固，這樣就可以實(shí)現(xiàn):上懸掛件本體3-1和下懸掛件本體4-1之間的固定連接;請(qǐng)參閱圖5，轉(zhuǎn)動(dòng)連接片6由上連接片6-1和下連接片6-2組成;上連接片6-1和下連接片6-2的連接端分別開(kāi)設(shè)有連接用的連接孔6-3，將螺栓插入連接孔6-3后將上連接片6-1和下連接片6-2連接起來(lái)，使用時(shí)，旋松上述螺栓，調(diào)整上連接片6-1和下連接片6-2之間的角度，即可實(shí)現(xiàn)YOX平面內(nèi)的任意角調(diào)節(jié);請(qǐng)參閱圖6，在所述橫向滑動(dòng)塊7上設(shè)置有若干個(gè)頂絲孔7-1;使用時(shí)，橫向滑動(dòng)塊7能夠順著橫向?qū)U5移動(dòng)，當(dāng)?shù)竭_(dá)所需位置時(shí)，通過(guò)頂絲孔7-1實(shí)現(xiàn)橫向滑動(dòng)塊7在橫向?qū)U5上的固定；同理，請(qǐng)參閱圖7和圖8，在所述縱向滑動(dòng)塊9上設(shè)置有頂絲孔;使用時(shí)，縱向滑動(dòng)塊9能夠順著縱向?qū)U8移動(dòng)，當(dāng)?shù)竭_(dá)所需位置時(shí)，通過(guò)頂絲孔實(shí)現(xiàn)縱向滑動(dòng)塊9在縱向?qū)U8上的固定。
[0027]本發(fā)明用于CIGS電池吸收層共蒸發(fā)制備的真空設(shè)備中，由于Se氣體具有強(qiáng)氧化性，同時(shí)設(shè)備需要在高真空下加熱至300?1500 °C，所以該設(shè)備料采用耐腐蝕、耐氧化、耐高溫且放氣量小的材料。高鉻含量的鐵素體不銹鋼因其含鉻量高致使其具有很強(qiáng)的耐腐蝕性能與抗氧化性能的同時(shí)還具有高溫抗氧化性能好、熱膨脹系數(shù)小等特點(diǎn)。本優(yōu)選實(shí)施例中的所有零部件及連接各部件所用螺絲、螺栓、頂絲均采用拋光不銹鋼材料制備。
[0028]以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明的專(zhuān)利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源，其特征在于:至少包括: 一真空腔室底盤(pán)(10);在所述真空腔室底盤(pán)(10)上安裝有縱向?qū)U(8);在所述縱向?qū)U(8)上安裝有縱向滑動(dòng)塊(9);在所述縱向滑動(dòng)塊(9)上固定有橫向?qū)U(5);在所述橫向?qū)U(5)上安裝有橫向滑動(dòng)塊(7);在所述橫向滑動(dòng)塊(7)上安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)連接片(6);所述轉(zhuǎn)動(dòng)連接片(6)由上連接片(6-1)和下連接片(6-2)組成;其中:所述下連接片(6-2)的底部與橫向滑動(dòng)塊(7)固定于橫向滑動(dòng)塊(7)的頂部;所述下連接片(6-2)的頂部與上連接片(6-1)的設(shè)置有連接用的圓孔;在所述圓孔內(nèi)插入螺栓將上連接片(6-1)和下連接片(6-2)連接；所述上連接片(6-1)的頂部連接有下束流源懸掛件(4)，所述下束流源懸掛件(4)包括圓盤(pán)形狀的下懸掛件本體(4-1);在所述下懸掛件本體(4-1)的軸心上開(kāi)設(shè)有中心連接孔(4-2);在所述下懸掛件本體(4-1)上還開(kāi)設(shè)有兩個(gè)固定孔(4-3);在所述下束流源懸掛件(4)上設(shè)置有上束流源懸掛件(3);所述上束流源懸掛件(3)包括圓盤(pán)形狀的上懸掛件本體(3-1);在所述上懸掛件本體(3-1)上設(shè)置有兩個(gè)上支腿(3-2)，在每個(gè)上支腿(3-2)上開(kāi)設(shè)有上連接孔(3-3);所述上懸掛件本體(3-1)和下懸掛件本體(4-1)之間固定連接;在所述上支腿(3-2)上安裝有束流源底盤(pán)(2);所述束流源底盤(pán)(2)包括圓盤(pán)形狀的底盤(pán)本體(2-4);在所述底盤(pán)本體(2-4)上設(shè)置有熱耦導(dǎo)出孔(2-1)和兩個(gè)下支腿(2-2);在每個(gè)下支腿(2-2)上開(kāi)設(shè)有下連接孔(2-3);在所述束流源底盤(pán)(2)上安裝有束流源(I)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源，其特征在于:在所述橫向滑動(dòng)塊(7)上設(shè)置有頂絲孔(7-1)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源，其特征在于:在所述縱向滑動(dòng)塊(9)上設(shè)置有頂絲孔。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源，其特征在于:所述束流蒸發(fā)源由不銹鋼材料制成。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源，包括：束流源、束流源底盤(pán)、上束流源懸掛件、下束流源懸掛件、橫向?qū)U、轉(zhuǎn)動(dòng)連接片、橫向滑動(dòng)塊、縱向?qū)U、縱向滑動(dòng)塊、以及真空腔室底盤(pán)。上述真空腔室底盤(pán)位于束流蒸發(fā)源的底部，真空腔室底盤(pán)上設(shè)置有縱向?qū)U，縱向?qū)U上設(shè)置縱向滑動(dòng)塊，在所述縱向滑動(dòng)塊上安裝有橫向?qū)U，橫向?qū)U上設(shè)置有橫向滑動(dòng)塊，橫向滑動(dòng)塊上安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)連接片，在轉(zhuǎn)動(dòng)連接片上安裝有下束流源懸掛件，在下束流源懸掛件上安裝有上束流源懸掛件，上束流源懸掛件上安裝有束流源底盤(pán)，束流源底盤(pán)上安裝有束流源。該用于制備CIGS太陽(yáng)電池吸收層的束流蒸發(fā)源能夠?qū)崿F(xiàn)束流蒸發(fā)源角度多方向調(diào)整。
【IPC分類(lèi)】H01L31/18, C23C14/24
【公開(kāi)號(hào)】CN105586569
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201511024282
【發(fā)明人】賴(lài)運(yùn)子, 趙岳, 申緒男, 王勝利, 劉帥奇, 喬在祥, 趙彥民
【申請(qǐng)人】中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十八研究所
【公開(kāi)日】2016年5月18日
【申請(qǐng)日】2015年12月29日