、220g改性環(huán)氧丙烯酸脂倒入攪拌器內(nèi),然后倒入50g粒徑3.5 μπι的CeO2磨料,攪拌均勻,再倒入活性稀釋劑、光引發(fā)劑、促進劑、表面性能調(diào)節(jié)劑、填料、輔助劑、顏料,充分攪拌混合均勻,成為含磨粒的混合物;
(6)將步驟(5)制成的混合物倒入步驟(3)所安裝好的剛性層光固化模具(見圖2)內(nèi),并充分充滿模具內(nèi)表面與彈性層之間的空隙;
(7)將步驟(6)的模具及拋光輥一起安裝到固結(jié)磨料光固化機上;
(8)開機進行光固化;
(9)待光固化機停止運行后,等待5分鐘,取出光固化好的拋光輥剛性層,即可使用; 實例5:設(shè)計制造一種Roll-to-Roll化學機械拋光機用固結(jié)磨料拋光輥的剛性層,用于精拋工序,剛性層厚度1.5mm ;該固結(jié)磨料拋光輥直徑300mm,寬度為600mm,如圖1所示。
[0042]擬配制100g的混合物:
(1)準備若干玻璃器皿及攪拌器,
(2)分別稱量40g粒徑0.5 μπι的碳化硅磨料,240g官能度為4的聚酯丙烯酸酯、200g改性環(huán)氧丙烯酸脂,200g 二季戊四醇六丙烯酸酯、180g 二縮三羥甲基丙烷四丙烯酸酯,60g2-羥基-2-甲基-1-苯基丙酮,1g聚二甲基硅油、20g改性聚硅氧烷,5g硬脂酸鋁、5g桐油,15g 2,6-二叔丁基對甲苯酸,15g滑石粉、8g娃藻土,2g永固橙G (P013)。
[0043](3 )將剛性層光固化模具(見圖2 )安裝在已光固化好彈性層(3 )的拋光輥上(見圖1);
(4)調(diào)整光固化機的固化參數(shù):調(diào)整拋光輥軸驅(qū)動電機轉(zhuǎn)速為50r/min、模具上表面距光源20mm、回轉(zhuǎn)工作臺電機轉(zhuǎn)速為50r/min、定時器設(shè)置5分鐘;
(5)將稱量好的240g官能度為4的聚酯丙烯酸酯、200g改性環(huán)氧丙烯酸脂倒入攪拌器內(nèi),然后倒入40g粒徑0.5 μ m的碳化硅磨料,攪拌均勻,再倒入活性稀釋劑、光引發(fā)劑、促進劑、表面性能調(diào)節(jié)劑、填料、輔助劑、顏料,充分攪拌混合均勻,成為含磨粒的混合物;
(6)將步驟(5)制成的混合物倒入步驟(3)所安裝好的剛性層光固化模具(見圖2)內(nèi),并充分充滿模具內(nèi)表面與彈性層之間的空隙;
(7)將步驟(6)的模具及拋光輥一起安裝到固結(jié)磨料光固化機上;
(8)開機進行光固化;
(9)待光固化機停止運行后,等待5分鐘,取出光固化好的拋光輥剛性層,即可使用; 實例6:設(shè)計制造一種Roll-to-Roll化學機械拋光機用固結(jié)磨料拋光輥的剛性層,用于精拋工序,剛性層厚度1.5mm ;該固結(jié)磨料拋光輥直徑300mm,寬度為600mm,如圖1所示。
[0044]擬配制100g的混合物:
(1)準備若干玻璃器皿及攪拌器,
(2)分別稱量5g粒徑0.05 μπι的金剛石磨料,410g改性環(huán)氧丙稀酸脂,210g 二季戊四醇六丙烯酸酯、200g 二季戊四醇五丙烯酸酯,50g 2-羥基-2-甲基-1-苯基丙酮、20g2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦,20g聚二甲基硅油、20g改性聚硅氧烷,5g聚丙烯蠟,25g 2,6-二叔丁基對甲苯酚,15g滑石粉、18g白炭黑,2g永固紫RL (PV23)。
[0045](3 )將剛性層光固化模具(見圖2 )安裝在已光固化好彈性層(3 )的拋光輥上(見圖1);
(4)調(diào)整光固化機的固化參數(shù):調(diào)整拋光輥軸驅(qū)動電機轉(zhuǎn)速為50r/min、模具上表面距光源20mm、回轉(zhuǎn)工作臺電機轉(zhuǎn)速為50r/min、定時器設(shè)置5分鐘;
(5)將稱量好的410g改性環(huán)氧丙烯酸脂倒入攪拌器內(nèi),然后倒入5g粒徑0.05 μ m的金剛石磨料,攪拌均勻,再倒入活性稀釋劑、光引發(fā)劑、促進劑、表面性能調(diào)節(jié)劑、填料、輔助劑、顏料,充分攪拌混合均勻,成為含磨粒的混合物;
(6)將步驟(5)制成的混合物倒入步驟(3)所安裝好的剛性層光固化模具(見圖2)內(nèi),并充分充滿模具內(nèi)表面與彈性層之間的空隙;
(7)將步驟(6)的模具及拋光輥一起安裝到固結(jié)磨料光固化機上;
(8)開機進行光固化;
(9)待光固化機停止運行后,等待5分鐘,取出光固化好的拋光輥剛性層,即可使用; 實例7:設(shè)計制造一種Roll-to-Roll化學機械拋光機用固結(jié)磨料拋光輥的剛性層,用于粗拋工序,剛性層厚度1.5mm ;該固結(jié)磨料拋光棍直徑300_,寬度為600_,如圖1所示。
[0046]擬配制100g的混合物:
(1)準備若干玻璃器皿及攪拌器,
(2)分別稱量50g粒徑36μ m的白剛玉磨料、50g粒徑36 μ m的二氧化鈰磨料,200g官能度為6的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)、200g官能度為6的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族),200g季戊四醇三丙烯酸酯、150g 二縮三羥甲基丙烷四丙烯酸酯,40g 2-羥基-2-甲基-1-苯基丙酮,20g改性聚硅氧烷,15g硬脂酸鋁、15g聚丙烯蠟,40g 2,6-二叔丁基對甲苯酚,8g白炭黑、1g娃藻土,2g氧化鐵紅。
[0047](3 )將剛性層光固化模具(見圖2 )安裝在已光固化好彈性層(3 )的拋光輥上(見圖I);
(4)調(diào)整光固化機的固化參數(shù):調(diào)整拋光輥軸驅(qū)動電機轉(zhuǎn)速為50r/min、模具上表面距光源20mm、回轉(zhuǎn)工作臺電機轉(zhuǎn)速為50r/min、定時器設(shè)置5分鐘;
(5)將稱量好的200g官能度為6的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)、200g官能度為6的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)倒入攪拌器內(nèi),然后倒入50g粒徑36 μπι的白剛玉磨料和50g粒徑36 μπι的二氧化鈰磨料,攪拌均勻,再倒入活性稀釋劑、光引發(fā)劑、促進劑、表面性能調(diào)節(jié)劑、填料、輔助劑、顏料,充分攪拌混合均勻,成為含磨粒的混合物;
(6)將步驟(5)制成的混合物倒入步驟(3)所安裝好的剛性層光固化模具(見圖2)內(nèi),并充分充滿模具內(nèi)表面與彈性層之間的空隙;
(7)將步驟(6)的模具及拋光輥一起安裝到固結(jié)磨料光固化機上;
(8)開機進行光固化;
(9)待光固化機停止運行后,等待5分鐘,取出光固化好的拋光輥剛性層,即可使用; 實例8:設(shè)計制造一種Roll-to-Roll化學機械拋光機用固結(jié)磨料拋光輥的剛性層,用于粗拋工序,剛性層厚度1.5mm ;該固結(jié)磨料拋光棍直徑300_,寬度為600_,如圖1所示。
[0048]擬配制100g的混合物:
(1)準備若干玻璃器皿及攪拌器,
(2)分別稱量35g粒徑14μπι的白剛玉磨料、35g粒徑14 μπι的碳化娃磨料,420g官能度為4的聚酯丙烯酸酯,200g季戊四醇三丙烯酸酯、160g二季戊四醇五丙烯酸酯,40g 2-羥基-2-甲基_卜苯基丙酮、1g 2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦,5g聚二甲基硅油、20g改性聚娃氧燒,15g桐油、1g聚乙稀錯,30g 2, 6- 二叔丁基對甲苯酸,1g白炭黑、8g高嶺土,2g顏料黃(PY129)。
[0049](3 )將剛性層光固化模具(見圖2 )安裝在已光固化好彈性層(3 )的拋光輥上(見圖1);
(4)調(diào)整光固化機的固化參數(shù):調(diào)整拋光輥軸驅(qū)動電機轉(zhuǎn)速為50r/min、模具上表面距光源20mm、回轉(zhuǎn)工作臺電機轉(zhuǎn)速為50r/min、定時器設(shè)置5分鐘;
(5)將稱量好的150g官能度為4的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)、150g官能度為4的聚氨酯丙烯酸酯(芳香族)、120g官能度為4的聚酯丙烯酸酯倒入攪拌器內(nèi),然后倒入35g粒徑14 μ m的白剛玉磨料、35g粒徑14 μ m的碳化硅磨料,攪拌均勻,再倒入活性稀釋劑、光引發(fā)劑、促進劑、表面性能調(diào)節(jié)劑、填料、輔助劑、顏料,充分攪拌混合均勾,成為含磨粒的混合物;
(6)將步驟(5)制成的混合物倒入步驟(3)所安裝好的剛性層光固化模具(見圖2)內(nèi),并充分充滿模具內(nèi)表面與彈性層之間的空隙;
(7)將步驟(6)的模具及拋光輥一起安裝到固結(jié)磨料光固化機上;
(8)開機進行光固化;
(9)待光固化機停止運行后,等待5分鐘,取出光固化好的拋光輥剛性層,即可使用; 實例9:設(shè)計制造一種Roll-to-Roll化學機械拋光機用固結(jié)磨料拋光輥的剛性層,用于粗拋工序,剛性層厚度1.5mm ;該固結(jié)磨料拋光棍直徑300_,寬度為600_,如圖1所示。
[0050]擬配制100g的混合物:
(I)準備若干玻璃器皿及攪拌器, (2)分別稱量50g粒徑7 μπι的白剛玉磨料、1g粒徑7 μπι的金剛石磨料,150g官能度為4的聚氨酯丙烯酸酯(脂肪族)、150g官能度為4