專利名稱：放電表面處理用電極及其制造方法和放電表面處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在被處理材料表面上形成由電極材料構(gòu)成的硬質(zhì)被膜或形成由放電能量反應(yīng)后的物質(zhì)構(gòu)成的硬質(zhì)被膜的放電表面處理的改進(jìn)的放電表面處理用電極及其制造方法和放電表面處理方法。
但根據(jù)我們的研究了解到，將形成Ti(鈦)等硬質(zhì)碳化物的材料作為放電表面處理用電極，與作為被處理材料的金屬材料之間一旦產(chǎn)生放電，便能在沒(méi)有再熔融過(guò)程的情況下將牢固硬質(zhì)被膜形成于被處理材料的金屬表面。這是由于放電所消耗的電極材料和加工液中的成分碳反應(yīng)生成TiC(碳化鈦)的緣故。而且了解到，利用由TiH2(氫化鈦)等金屬氫化物構(gòu)成的放電表面處理用電極這種壓粉體電極，與作為被處理材料的金屬材料之間一旦產(chǎn)生放電，與用Ti等材料相比能迅速形成密接性高的硬質(zhì)被膜。此外還了解到，利用在TiH2等氫化物中混合其他金屬和陶瓷的放電表面處理用電極這種壓粉體電極，與作為被處理材料的金屬材料之間一旦產(chǎn)生放電，便能快速形成具有硬度、耐磨損性等各種性質(zhì)的硬質(zhì)被膜。
對(duì)于這類方法，在例如日本特開(kāi)平9-192937號(hào)公報(bào)中有所披露，用

圖10說(shuō)明用于這種放電表面處理的裝置構(gòu)成例。圖中，1是作為通過(guò)將TiH2粉末壓縮成型而成的放電表面處理用電極的壓粉體電極，2是被處理材料，3是加工槽，4是加工液，5是對(duì)壓粉體電極1和被處理材料2所加電壓和電流進(jìn)行開(kāi)關(guān)的開(kāi)關(guān)元件，6是控制開(kāi)關(guān)元件5通斷的控制電路，7是電源，8是電阻、9是所形成的硬質(zhì)被膜。可用這種構(gòu)成在壓粉體電極1與被處理材料2之間產(chǎn)生放電，利用其放電能量在鋼鐵、超硬合金等構(gòu)成的被處理材料2的表面形成硬質(zhì)被膜9。
這種現(xiàn)有放電表面處理方法，通過(guò)放電表面處理用電極其材質(zhì)與加工液中的成分靠放電產(chǎn)生的熱所分解出的碳反應(yīng)，在被處理材料上形成硬質(zhì)碳化物構(gòu)成的被膜。
作為放電表面處理用電極，如上面所述披露有種種電極。但由這些電極在被處理材料上形成的硬質(zhì)被膜是以碳化物為主要成分的被膜，如圖11所示碳化物在高溫環(huán)境下硬度急劇下降，因而在高溫環(huán)境下所用的切削工具等形成以碳化物為主要成分的被膜的情況下，存在無(wú)法對(duì)切削工具等提供所期望的耐腐蝕性、耐磨損性等性質(zhì)這種問(wèn)題。
本發(fā)明的放電表面處理用電極，為一種用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理的放電表面處理用電極，作為所述放電表面處理用電極材料，至少包含電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)和導(dǎo)電性物質(zhì)各一種。
而所述硬質(zhì)物質(zhì)至少是cBN(立方晶氮化硼)、金剛石、B4C(碳化硼)、Al2O3(氧化鋁)、Si3N4(氮化硅)和SiC(碳化硅)其中之一。
而所述導(dǎo)電性物質(zhì)至少是Ti、W、Mo(鉬)、Zr(鋯)、Ta(鉭)、Cr(鉻)等形成硬質(zhì)碳化物的金屬其中之一或至少是Co、Ni(鎳)、Fe(鐵)等鐵族金屬其中之一。
本發(fā)明的放電表面處理用電極制造方法，為一種用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理的放電表面處理用電極制造方法，將電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的粉末與導(dǎo)電性物質(zhì)的粉末混合，通過(guò)壓縮成型來(lái)形成所述放電表面處理用電極。
而且，為一種用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理的放電表面處理用電極制造方法，將電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的粉末與導(dǎo)電性物質(zhì)的粉末混合、壓縮成型后，進(jìn)行加熱處理，形成所述放電表面處理用電極。
另外，在所述放電表面處理用電極材料中加石蠟后壓縮成型，按所述石蠟熔融溫度以上、所述石蠟分解產(chǎn)生煤灰溫度以下溫度進(jìn)行加熱，通過(guò)蒸發(fā)除去所述石蠟來(lái)形成所述放電表面處理用電極。
而且，為一種用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理的放電表面處理用電極制造方法，通過(guò)將電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的粉末用導(dǎo)電性物質(zhì)所覆蓋的粉末或該粉末中加入其他粉末材料得到的粉末壓縮成型，來(lái)形成所述放電表面處理用電極。
另外，為一種用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理的放電表面處理用電極制造方法，將電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的粉末用導(dǎo)電性物質(zhì)所覆蓋的粉末或在該粉末中加入其他粉末材料得到的粉末壓縮成型后，進(jìn)行加熱處理，形成所述放電表面處理用電極。
此外，在所述放電表面處理用電極材料中加石蠟后壓縮成型，按所述石蠟熔融溫度以上、所述石蠟分解產(chǎn)生煤灰溫度以下溫度進(jìn)行加熱，通過(guò)蒸發(fā)除去所述石蠟來(lái)形成所述放電表面處理用電極。
本發(fā)明的放電表面處理方法，為一種在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電，利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理方法，用至少包含電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)和導(dǎo)電性物質(zhì)各一種的放電表面處理用電極。
而所述硬質(zhì)物質(zhì)至少是cBN、金剛石、B4C、Al2O3、Si3N4和SiC其中之一。
而所述導(dǎo)電性物質(zhì)至少是Ti、W、Mo、Zr、Ta、Cr等形成硬質(zhì)碳化物的金屬其中之一或至少是Co、Ni、Fe等鐵族金屬其中之一。
本發(fā)明如上面所述構(gòu)成，因而可在被處理材料上形成即便高溫環(huán)境下也硬度高的硬質(zhì)被膜，故具有可適合于高溫環(huán)境下所用的切削工具等的表面處理、對(duì)于高溫環(huán)境下所用的切削工具等提供所期望的耐腐蝕性、耐磨損性等性質(zhì)這種效果。
圖2是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1放電表面處理方法的構(gòu)成圖。
圖3是表示利用本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1放電表面處理方法在被處理材料上形成被膜狀態(tài)的說(shuō)明圖。
圖4示出的是cBN其硬度相對(duì)于溫度的變化。
圖5是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2放電表面處理用電極制造方法概念的剖面圖。
圖6示出的是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2放電表面處理用電極壓縮成型時(shí)與表面處理用電極材料混合的石蠟的蒸氣壓曲線例。
圖7是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3放電表面處理用電極及其制造方法概念的剖面圖。
圖8是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4放電表面處理用電極制造方法的剖面圖。
圖9是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5放電表面處理方法的構(gòu)成圖。
圖10是表示現(xiàn)有放電表面處理用電極和裝置例的構(gòu)成圖。
圖11示出的是碳化物其硬度相對(duì)于溫度的變化。
下面說(shuō)明放電表面處理用電極10的制造方法。在利用放電表理處理在被處理材料上欲形成含cBN的被膜的場(chǎng)合，需要用cBN作為電極材料。但cBN為電氣絕緣性，因而單體無(wú)法用作電極材料。而且，cBN為硬質(zhì)，因而無(wú)法利用沖壓的壓縮成型使粉末堅(jiān)固。這樣，就無(wú)法僅用cBN單體用作放電表面處理用電極，因而將cBN用作放電表面處理用電極的場(chǎng)合，需要在cBN粉末中混合導(dǎo)電性金屬等作為粘接劑。也就是說(shuō)，將cBN粉末與粘接劑粉末混合，放入沖壓模具，進(jìn)行壓縮成型，制作放電表面處理用電極。
而且，cBN為電氣絕緣性，因而靠沖壓進(jìn)行壓縮成型時(shí)，需要使導(dǎo)電性粘接劑的份量較多。這是由于利用放電產(chǎn)生的熱量形成cBN被膜，但放電表面處理用電極一側(cè)實(shí)際產(chǎn)生放電的是導(dǎo)電性粘接劑部分，而電氣絕緣性的cBN不產(chǎn)生放電的緣故。尤其是僅通過(guò)壓縮成型來(lái)形成放電表面處理用電極的場(chǎng)合，所有的粘接劑粒子難以電氣連接，所以需要增加粘接劑的份量，例如最好將粘接劑份量按重量比取為50％左右。
圖2是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1放電表面處理方法的構(gòu)成圖，圖3示出的是利用本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1放電表面處理方法在被處理材料上形成硬質(zhì)被膜的狀態(tài)。圖中，3是加工槽，4是加工液，10是cBN和Co系合金構(gòu)成的放電表面處理用電極，16是被處理材料，17是由直流電源、開(kāi)關(guān)元件和控制電路等構(gòu)成的放電表面處理用電源裝置，18是放電的電弧柱，19是由放電的熱量熔融移動(dòng)至被處理材料一側(cè)的放電表面處理用電極成分，20是由cBN和Co系合金構(gòu)成的硬質(zhì)被膜。利用圖2的放電表面處理用電源裝置17在放電表面處理用電極10和被處理材料16之間產(chǎn)生放電。放電產(chǎn)生于作為放電表面處理用電極10的導(dǎo)電性粘接劑的Co系合金部分和被處理材料16之間。如圖3(a)所示，放電表面處理用電極10靠放電熱量熔融，并釋放至極間，通過(guò)放電熱量熔融并向被處理材料一側(cè)移動(dòng)的放電表面處理用電極成分19便附著于被處理材料16，如圖3(b)所示，在被處理材料16上形成由cBN和Co系合金構(gòu)成的硬質(zhì)被膜20。
cBN具有接近金剛石的硬度，可以說(shuō)該被膜形成于被處理材料上時(shí)優(yōu)點(diǎn)非常大。尤其是考慮被處理材料為工具這種情況，施加金剛石被膜的工具，由于無(wú)法用于被加工物為鐵族材料的場(chǎng)合，因而主要用于被加工物為非鐵金屬的場(chǎng)合。但施加cBN被膜的工具，適用于市場(chǎng)規(guī)模占較大優(yōu)勢(shì)、被加工物為鐵族材料的場(chǎng)合。這樣，使用施加cBN被膜的工具的價(jià)值極高。但對(duì)cBN薄膜化方法的開(kāi)發(fā)緩慢，故利用本發(fā)明的放電表面處理方法的意義極大。圖4示出的是cBN其硬度相對(duì)于溫度的變化，與圖11所示的碳化物相比可知，即便高溫環(huán)境下也硬度較高。
實(shí)施形態(tài)2實(shí)施形態(tài)1的放電表面處理用電極，是將為電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的cBN粉末與用作導(dǎo)電性物質(zhì)這種粘接劑的Co系合金粉末混合放入沖壓模具，進(jìn)行壓縮成型形成的，但也可根據(jù)需要通過(guò)進(jìn)行加熱處理讓放電表面處理用電極在一定范圍內(nèi)具有所需強(qiáng)度。
cBN為電氣絕緣性，但需要混入導(dǎo)電性粘接劑，但進(jìn)行加熱處理的場(chǎng)合，粘接劑成分熔融致使電氣傳導(dǎo)改善，因而粘接劑的份量可相對(duì)較少。如實(shí)施形態(tài)1所示，僅靠壓縮成型形成放電表面處理用電極的場(chǎng)合，最好將粘接劑的份量按重量比取為50％左右，而壓縮成型后進(jìn)行加熱處理的場(chǎng)合，粘接劑的份量按重量比取為百分之幾至百分之幾十也能獲得可用作放電表面處理電極的電氣傳導(dǎo)。
另外，僅進(jìn)行壓縮成型的場(chǎng)合，在為電極材料這種粉末中混合的材料仍然為電極成分，因而不希望混合不需要的成分，但進(jìn)行加熱處理的場(chǎng)合，可通過(guò)添加加熱蒸發(fā)的材料來(lái)實(shí)現(xiàn)成型特性的改善。例如，可通過(guò)將石蠟混合到為電極材料的粉末中，來(lái)顯著提高沖壓壓縮成型時(shí)的成形特性。
圖5示出的是通過(guò)將石蠟與電極材料混合來(lái)制造放電表面處理用電極的方法，圖中，10是放電表面處理用電極，11是cBN粉末，12是Co系合金粉末，23是鏈烷烴等石蠟，24是真空爐，25是高頻線圈，26是真空環(huán)境?？赏ㄟ^(guò)將石蠟23混合到cBN粉末11和Co系合金粉末12的混合粉末中，經(jīng)壓縮成型形成壓粉體電極，來(lái)顯著提高成形特性。但石蠟23為電氣絕緣性，因而一旦大量殘留于電極中，電極的電阻便變大，所以放電性變差。因此，需要除去石蠟23。圖5(a)示出將混合有石蠟23的壓粉體電極放入真空爐24中加熱的狀態(tài)，在真空環(huán)境26內(nèi)進(jìn)行加熱，但也可在氫氣、氬氣等氣體中加熱。利用設(shè)置在真空爐24周圍的高頻線圈25對(duì)真空爐24中的壓粉體電極進(jìn)行高頻加熱。這時(shí)，若加熱溫度過(guò)低不能除去石蠟23，而溫度過(guò)高石蠟23就會(huì)成為煤灰，電極純度變差，因而需要確保石蠟23在熔融溫度以上、石蠟23分解成煤灰溫度以下。圖6中作為例子給出具有250℃沸點(diǎn)的石蠟其蒸氣壓曲線。一旦將真空爐24的氣壓確保為石蠟23蒸氣壓以下，便如圖5(b)所示可蒸發(fā)除去石蠟23，獲得由cBN和Co構(gòu)成的放電表面處理用電極10。不用石蠟場(chǎng)合需要將粘接劑材料取為硬度較低材料，而使用石蠟場(chǎng)合則可將TiN(氮化鈦)、TiC、HfC(碳化鉿)、TiCN(碳化氮化鈦)等硬質(zhì)材料作為粘接劑，可使被膜硬度進(jìn)一步提高。
實(shí)施形態(tài)3圖7是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)3放電表面處理用電極及其制造方法概念的剖面圖，圖中，11是為電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的cBN粉末，12a是為導(dǎo)電性物質(zhì)的Co被膜，13是模具的上沖頭，14是模具的下沖頭，15是模具的陰模，27是放電表面處理用電極。cBN粉末11由Co被膜12a所覆蓋，這種覆蓋可利用蒸鍍等很方便地進(jìn)行。
一旦將這樣由Co被膜12a所覆蓋的cBN粉末11放入沖壓模具進(jìn)行壓縮成型，便通過(guò)沖壓壓力使得Co被膜12a變形壓接，來(lái)一體化為放電表面處理用電極。
用這種方法形成的放電表面處理用電極27，與實(shí)施形態(tài)1和2中放電表面處理用電極10相比，可減少作為粘接劑的材料量。所以，若利用采用放電表面處理用電極27的放電表面處理，可提高被處理材料所形成的硬質(zhì)被膜中cBN的比例，形成硬度更高的硬質(zhì)被膜。
利用由cBN和Co構(gòu)成的放電表面處理用電極的放電表面處理中，cBN為電氣絕緣性，因而放電不會(huì)直接產(chǎn)生于cBN，放電產(chǎn)生于為導(dǎo)電性粘接劑的Co，利用該放電熱能cBN與為粘接劑的Co一起移至被處理材料一側(cè)，形成被處理材料的硬質(zhì)被膜。用本發(fā)明放電表面處理用電極27的放電表面處理中，為放電表面處理用電極27電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的cBN粉末11由為導(dǎo)電性物質(zhì)的Co被膜12a所覆蓋，因而放電表面處理用電極27的表面為完全導(dǎo)電性，可產(chǎn)生穩(wěn)定的放電。
另外，被Co被膜12a所覆蓋的cBN粉末11其粒徑，需要比放電表面處理時(shí)放電表面處理用電極27和被處理材料間的極間距離小，因而最好為10μm以下量級(jí)。所以，cBN需要為比其更小的粒徑。另外，該Co被膜其厚度最好為1～2μm量級(jí)以下。這是由于當(dāng)Co被膜變厚時(shí)粘接劑比例變大的緣故。但當(dāng)Co被膜其厚度極其薄時(shí)，起不到作為粘接劑的作用，因而需要為某種程度以上的厚度。例如cBN粉末其粒徑為5μm場(chǎng)合，Co被膜其厚度最好為1μm左右。
實(shí)施形態(tài)4圖8是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)4放電表面處理用電極制造方法的剖面圖。圖8中(a)是用實(shí)施形態(tài)3所示方法被Co被膜12a所覆蓋的cBN粉末11經(jīng)過(guò)壓縮成型的放電表面處理用電極27。而圖8(b)表示將圖8(a)的放電表面處理用電極27放入真空爐24中用高頻線圈25進(jìn)行高頻加熱的狀態(tài)，圖8(c)表示加熱處理后放電表面處理用電極27a的構(gòu)成。其中，12b是經(jīng)過(guò)熱處理的Co，28是氣泡。
只將被Co被膜12a所覆蓋的cBN粉末11進(jìn)行壓縮成型，所成型的放電表面處理用電極27也有導(dǎo)電性，但Co被膜12a只是變形壓接，因而強(qiáng)度較弱，在放電表面處理用電極27使用方面往往存在放電表面處理用電極損傷等問(wèn)題。這種場(chǎng)合，通過(guò)對(duì)壓縮成型的放電表面處理用電極進(jìn)行加熱處理來(lái)增加強(qiáng)度，而且還可提高導(dǎo)電性。如實(shí)施形態(tài)2所示，通過(guò)對(duì)cBN粉末和Co系合金粉末混合的粉末壓縮成型后進(jìn)行加熱處理，也能獲得同樣效果，但電氣絕緣性和導(dǎo)電性物質(zhì)混合，因而為了增加電極強(qiáng)度需要達(dá)到1300℃以上高溫。而cBN從1500℃左右晶體結(jié)果開(kāi)始變化為hBN(六方晶氮化硼)，因而無(wú)法獲得對(duì)cBN來(lái)說(shuō)所需的性質(zhì)。所以，對(duì)實(shí)施形態(tài)2這種cBN粉末和Co系合金粉末混合的粉末壓縮成型后進(jìn)行加熱處理的方法中，很可能產(chǎn)生無(wú)法獲得對(duì)于cBN來(lái)說(shuō)所需性質(zhì)這種問(wèn)題。反之，本實(shí)施形態(tài)4方法即對(duì)被Co被膜12a所覆蓋的cBN粉末壓縮成型后進(jìn)行加熱處理的方法中，各粉末互相用為覆蓋材料的金屬材料連接，因而利用該金屬材料部分的熱傳導(dǎo)通過(guò)例如1200℃以下相對(duì)較低溫度的加熱處理可增加電極強(qiáng)度。所以，不會(huì)產(chǎn)生上面所述無(wú)法獲得對(duì)cBN來(lái)說(shuō)所需性質(zhì)這種問(wèn)題。
而且，上面說(shuō)明中給出的是對(duì)被Co被膜12a所覆蓋的cBN粉末11壓縮成型后進(jìn)行加熱處理的方法，但為了提高壓縮成型時(shí)的成型性，預(yù)先采用實(shí)施形態(tài)2與圖5相同方法，將鏈烷烴等石蠟混合到被Co被膜12a所覆蓋的cBN粉末11中，在加熱處理時(shí)將石蠟蒸發(fā)除去的話，電極成型就更為方便。該方法尤其對(duì)于復(fù)雜形狀或大型電極的制作效果明顯。
實(shí)施形態(tài)5圖9是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)5放電表面處理方法的構(gòu)成圖，圖中，3是加工槽，4是加工液，11是cBN粉末，16是被處理材料，17是由直流電源、開(kāi)關(guān)元件和控制電路等構(gòu)成的放電表面處理用電源裝置，18是放電電弧柱，28是氣泡，29是Ti，30是放電表面處理用電極。放電表面處理用電極30，是利用實(shí)施形態(tài)4所示方法對(duì)被Ti被膜所覆蓋的cBN粉末壓縮成型后進(jìn)行加熱處理所形成的電極。
用放電表面處理用電源裝置17在放電表面處理用電極30和被處理材料16之間施加電壓，產(chǎn)生脈沖狀放電。cBN為電氣絕緣性，因而放電產(chǎn)生于放電表面處理用電極30中Ti29部分，利用該放電產(chǎn)生的熱能，電極材料一部分處于熔融狀態(tài)，并由放電產(chǎn)生的爆發(fā)力移至被處理材料16一側(cè)，被處理材料16上形成包含cBN和Ti的被膜。加工液4為油場(chǎng)合，粘接劑Ti與為加工液4構(gòu)成元素的碳反應(yīng)形成為TiC，被處理材料16上形成的被膜便成為由cBN和TiC構(gòu)成的極為硬質(zhì)的被膜。
另外，上述說(shuō)明中，作為電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)給出的是cBN例，但不限于cBN，也可用金剛石、B4C、Al2O3、Si3N4、SiC等。
而且，上述說(shuō)明中，作為混合到電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)中或覆蓋電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的導(dǎo)電性物質(zhì)給出Co、Ti例，但不限于此，也可W、Mo、Zr、Ta、Cr等形成硬質(zhì)碳化物的金屬或Ni、Fe等鐵族金屬。
產(chǎn)業(yè)實(shí)用性綜上所述，本發(fā)明放電表面處理用電極及其制造方法和放電表面處理方法，適合應(yīng)用于被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的表面處理相關(guān)產(chǎn)業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種放電表面處理用電極，用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理，其特征在于，作為所述放電表面處理用電極材料，至少包含電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)和導(dǎo)電性物質(zhì)各一種。
2.如權(quán)利要求1所述的放電表面處理用電極，其特征在于，所述硬質(zhì)物質(zhì)至少是cBN、金剛石、B4C、Al2O3、Si3N4和SiC其中之一。
3.如權(quán)利要求1所述的放電表面處理用電極，其特征在于，所述導(dǎo)電性物質(zhì)至少是Ti、W、Mo、Zr、Ta、Cr等形成硬質(zhì)碳化物的金屬其中之一或至少是Co、Ni、Fe等鐵族金屬其中之一。
4.一種放電表面處理用電極制造方法，該電極用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理，其特征在于，將電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的粉末與導(dǎo)電性物質(zhì)的粉末混合，通過(guò)壓縮成型來(lái)形成所述放電表面處理用電極。
5.一種放電表面處理用電極制造方法，該電極用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理，其特征在于，將電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的粉末與導(dǎo)電性物質(zhì)的粉末混合、壓縮成型后，進(jìn)行加熱處理，形成所述放電表面處理用電極。
6.如權(quán)利要求5所述的放電表面處理用電極制造方法，其特征在于，在所述放電表面處理用電極材料中加石蠟后壓縮成型，按所述石蠟熔融溫度以上、所述石蠟分解產(chǎn)生煤灰溫度以下溫度進(jìn)行加熱，通過(guò)蒸發(fā)除去所述石蠟來(lái)形成所述放電表面處理用電極。
7.一種放電表面處理用電極制造方法，該電極用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理，其特征在于，通過(guò)將電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的粉末用導(dǎo)電性物質(zhì)所覆蓋的粉末或該粉末中加入其他粉末材料得到的粉末壓縮成型，來(lái)形成所述放電表面處理用電極。
8.一種放電表面處理用電極制造方法，該電極用于在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電、利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜的放電表面處理，其特征在于，將電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的粉末用導(dǎo)電性物質(zhì)所覆蓋的粉末或在該粉末中加入其他粉末材料得到的粉末壓縮成型后，進(jìn)行加熱處理，形成所述放電表面處理用電極。
9.如權(quán)利要求8所述的放電表面處理用電極制造方法，其特征在于，在所述放電表面處理用電極材料中加石蠟后壓縮成型，按所述石蠟熔融溫度以上、所述石蠟分解產(chǎn)生煤灰溫度以下溫度進(jìn)行加熱，通過(guò)蒸發(fā)除去所述石蠟來(lái)形成所述放電表面處理用電極。
10.一種放電表面處理方法，在電極與被處理材料之間產(chǎn)生放電，利用其能量在所述被處理材料表面形成硬質(zhì)被膜，其特征在于，用至少包含電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)和導(dǎo)電性物質(zhì)各一種的放電表面處理用電極。
11.如權(quán)利要求10所述的放電表面處理方法，其特征在于，所述硬質(zhì)物質(zhì)至少是cBN、金剛石、B4C、Al2O3、Si3N4和SiC其中之一。
12.如權(quán)利要求10所述的放電表面處理方法，其特征在于，所述導(dǎo)電性物質(zhì)至少是Ti、W、Mo、Zr、Ta、Cr等形成硬質(zhì)碳化物的金屬其中之一或至少是Co、Ni、Fe等鐵族金屬其中之一。
全文摘要
將為電氣絕緣性硬質(zhì)物質(zhì)的cBN粉末(11)和為導(dǎo)電性物質(zhì)的Co系合金粉末(12)混合放入沖壓模具,通過(guò)壓縮成型來(lái)形成放電表面處理用電極(10),利用放電表面處理用電源裝置(17)在放電表面處理用電極(10)與被處理材料(16)之間產(chǎn)生放電,在被處理材料(16)上形成即便高溫環(huán)境下也硬度高的cBN和Co系合金所構(gòu)成的硬質(zhì)被膜(20)。
文檔編號(hào)C22C29/00GK1367726SQ99816916
公開(kāi)日2002年9月4日 申請(qǐng)日期1999年11月29日 優(yōu)先權(quán)日1999年9月30日
發(fā)明者后藤昭弘, 毛呂俊夫 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社