本發(fā)明涉及蒸鍍設(shè)備領(lǐng)域，具體是用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置及方法。

背景技術(shù)：

1、電容器在生產(chǎn)過程中，通過蒸鍍技術(shù)可以在塑膠薄膜上沉積一層金屬膜，以此可以縮小電容器的體積、提高容量。

2、現(xiàn)有公開號為cn220597617u的中國實(shí)用新型專利公開了一種蒸發(fā)鍍膜裝置，包括蒸發(fā)鍍膜裝置本體，所述蒸發(fā)鍍膜裝置本體的多側(cè)均開設(shè)有連通的空腔，空腔內(nèi)填充有冷卻液，所述空腔內(nèi)設(shè)有多個(gè)通管，且通管延伸出蒸發(fā)鍍膜裝置本體，所述蒸發(fā)鍍膜裝置本體內(nèi)設(shè)有多個(gè)導(dǎo)熱桿，且導(dǎo)熱桿的兩端均延伸進(jìn)空腔內(nèi)，所述蒸發(fā)鍍膜裝置本體的一側(cè)設(shè)有與空腔相連通的進(jìn)水管和出水管，所述進(jìn)水管和出水管的外側(cè)均設(shè)有閥門。上述結(jié)構(gòu)不僅能夠避免蒸發(fā)鍍膜裝置因溫度過高而出現(xiàn)損壞，提高了蒸發(fā)鍍膜裝置的散熱效果，而且能夠?qū)鋮s液進(jìn)行降溫，不需要經(jīng)常更換冷卻液，大大節(jié)省了成本。

3、目前現(xiàn)有技術(shù)中，蒸鍍裝置主要由底部的機(jī)座、反應(yīng)罩、頂蓋、真空泵、坩堝和加熱件構(gòu)成，反應(yīng)罩和頂蓋形成一個(gè)密封的空間，載樣臺(tái)用于承載和固定待沉積的薄膜，真空泵用于將反應(yīng)罩內(nèi)部抽真空，以此來避免空氣雜質(zhì)在薄膜上沉積，坩堝盛放蒸鍍材料，依靠加熱件的加熱使坩堝內(nèi)的蒸鍍材料氣化，之后沉積在坩堝正上方載樣臺(tái)的薄膜上，以此來完成蒸鍍工藝。

4、但是在使用時(shí)，氣化的蒸鍍材料自然沉積到載樣臺(tái)上的薄膜表面，其沉積的均勻性較差，進(jìn)而會(huì)影響制備的薄膜性能；因此，針對上述問題提出用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置及方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決氣化的蒸鍍材料自然沉積到載樣臺(tái)上的薄膜表面，其沉積的均勻性較差，進(jìn)而會(huì)影響制備的薄膜性能的問題，本發(fā)明提出用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置及方法。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：本發(fā)明所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，包括蒸鍍機(jī)本體，所述蒸鍍機(jī)本體的頂部固接有反應(yīng)罩和加熱件，所述加熱件的頂部安裝有坩堝，所述反應(yīng)罩的頂部安裝有用于密封反應(yīng)罩頂部的頂蓋，所述頂蓋上設(shè)有載樣臺(tái)，所述載樣臺(tái)貫穿頂蓋的中部并與其密封轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述載樣臺(tái)的底部插入到反應(yīng)罩的內(nèi)部，所述載樣臺(tái)的頂部固接有齒環(huán)，所述頂蓋上固接有第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的輸出端固接有齒輪，所述齒輪和齒環(huán)互相嚙合，依靠載樣臺(tái)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)待蒸鍍處理的薄膜進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以此可以提高蒸鍍的均勻度，進(jìn)而降低對薄膜性能造成的影響。

3、優(yōu)選的，所述載樣臺(tái)的內(nèi)部開設(shè)有空腔，所述空腔的頂部開設(shè)有開口，所述載樣臺(tái)的頂部螺紋連接有密封開口的密封蓋，所述空腔的底部設(shè)有通槽，所述空腔的底側(cè)且位于通槽的兩側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有托輥，所述空腔兩側(cè)的內(nèi)側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有導(dǎo)輥，所述空腔的側(cè)壁上固接有一對第二電機(jī)，兩個(gè)所述第二電機(jī)的輸出端均固接有套筒，依靠兩個(gè)電機(jī)分別控制，一個(gè)收卷、一個(gè)放卷，以此來進(jìn)行連續(xù)的蒸鍍處理，以此可以方便工作人員薄膜的蒸鍍處理工藝。

4、優(yōu)選的，所述套筒的內(nèi)部開設(shè)有調(diào)節(jié)槽，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿，所述螺桿上螺紋連接有螺套，所述螺套上固接有多個(gè)梯形凸塊，所述調(diào)節(jié)槽的側(cè)面呈環(huán)形開設(shè)有多個(gè)滑槽，所述滑槽內(nèi)滑動(dòng)連接有頂塊，所述頂塊靠近螺套的一側(cè)固接有梯形塊，依靠旋轉(zhuǎn)螺桿，以此驅(qū)動(dòng)梯形凸塊進(jìn)行擠壓梯形塊，使得頂塊從滑槽內(nèi)向外進(jìn)行頂出，從而來進(jìn)行固定卷繞有待蒸鍍薄膜的卷筒，以此可以方便工作人員進(jìn)行安裝和拆卸。

5、優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)槽和頂塊之間固接有第一彈簧，所述梯形凸塊插入到滑槽內(nèi)且與滑槽滑動(dòng)連接。

6、優(yōu)選的，所述蒸鍍機(jī)本體上固接有內(nèi)罩，所述內(nèi)罩上滑動(dòng)連接有支撐座，所述坩堝位于內(nèi)罩的內(nèi)部，所述支撐座與載樣臺(tái)的底部密封轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述通槽的上方設(shè)有輥?zhàn)鲚佔(zhàn)限D(zhuǎn)動(dòng)連接有多個(gè)壓輥，多個(gè)所述壓輥上套設(shè)有橡膠皮帶，橡膠皮帶覆蓋在通槽的上方，且與通槽上方的側(cè)壁貼合，依靠上述設(shè)置，橡膠皮帶可以從上側(cè)貼合待蒸鍍薄膜、托輥、通槽的頂側(cè)，其起到支撐和固定蒸鍍薄膜的作用，并且起到密封的作用，以此來減少氣化蒸鍍材料進(jìn)入空氣內(nèi)對待蒸鍍薄膜造成污染。

7、優(yōu)選的，所述橡膠皮帶為磁性材料制成的皮帶，所述通槽的頂部兩側(cè)固接有磁性橡膠條，磁性橡膠條可吸附橡膠皮帶，使橡膠皮帶的表面與磁性橡膠條和通槽的頂部貼合，依靠上述設(shè)置，磁性橡膠條可吸附橡膠皮帶，使橡膠皮帶的兩側(cè)且位于磁性橡膠條的位置處下凹變形，提高與磁性橡膠條和通槽的頂部貼合度，從而提高密封性。

8、優(yōu)選的，所述輥?zhàn)囊粋?cè)與空腔的底側(cè)鉸接，所述輥?zhàn)牧硪粋?cè)設(shè)有螺栓，所述空腔的底側(cè)與螺栓對應(yīng)位置處開設(shè)有螺紋孔，輥?zhàn)上蛏闲D(zhuǎn)抬起，需要固定時(shí)，輥?zhàn)赏ㄟ^螺栓固定在通槽的上方。

9、優(yōu)選的，所述蒸鍍機(jī)本體上固接有電推桿，所述電推桿的輸出端與頂蓋固接，所述蒸鍍機(jī)本體上固接有導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿貫穿頂蓋并與其滑動(dòng)連接，電推桿可推動(dòng)頂蓋上移，將載樣臺(tái)從反應(yīng)罩的內(nèi)部取出。

10、優(yōu)選的，所述頂蓋的底側(cè)固接有伸縮環(huán)，所述伸縮環(huán)上密封滑動(dòng)連接有延長環(huán)，所述伸縮環(huán)和延長環(huán)之間固接有第二彈簧，所述延長環(huán)的底側(cè)固接有橡膠墊。

11、用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍方法，該蒸鍍方法適用于上述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，該蒸鍍方法包括以下步驟；

12、s1：將待蒸鍍薄膜卷繞在卷筒上，然后將卷繞有待蒸鍍薄膜的卷筒安裝固定在載樣臺(tái)內(nèi)部的套筒上，并使待蒸鍍薄膜穿過導(dǎo)輥和兩側(cè)的托輥，使待蒸鍍薄膜置于通槽的上方；

13、s2：稱重所需的蒸鍍材料并倒入坩堝內(nèi)，調(diào)整加熱件的加熱溫度，控制蒸鍍材料氣化速率；

14、s3：旋轉(zhuǎn)密封蓋將載樣臺(tái)頂部的開口密封，并將頂蓋密封在反應(yīng)罩的上方；

15、s4：啟動(dòng)真空泵將反應(yīng)罩內(nèi)部抽真空；

16、s5：啟動(dòng)加熱件，使蒸鍍材料氣化；

17、s6：啟動(dòng)兩個(gè)第二電機(jī)，兩個(gè)第二電機(jī)中的一個(gè)收卷待蒸鍍薄膜、一個(gè)放卷待蒸鍍薄膜；

18、s7：啟動(dòng)第一電機(jī)，第一電機(jī)通過齒輪齒環(huán)傳動(dòng)使載樣臺(tái)旋轉(zhuǎn)。

19、本發(fā)明的有益之處在于：

20、1.本發(fā)明通過設(shè)置齒環(huán)、齒輪、第一電機(jī)、載樣臺(tái)和頂蓋，在使用時(shí)，依靠第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，其會(huì)帶動(dòng)載樣臺(tái)頂部的齒環(huán)旋轉(zhuǎn)，從而驅(qū)使載樣臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，依靠載樣臺(tái)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)待蒸鍍處理的薄膜進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以此可以提高蒸鍍的均勻度，進(jìn)而降低對薄膜性能造成的影響；

21、2.本發(fā)明通過設(shè)置第二電機(jī)、導(dǎo)輥、托輥和套筒，在使用時(shí)，待蒸鍍薄膜卷繞在卷筒上，將卷繞有待蒸鍍薄膜的卷筒安裝固定在套筒上，并使待蒸鍍薄膜穿過導(dǎo)輥和兩側(cè)的托輥，使待蒸鍍薄膜置于通槽的上方，底部的氣化蒸鍍材料會(huì)從通槽向上沉積在待蒸鍍薄膜表面，之后依靠兩個(gè)電機(jī)分別控制，一個(gè)收卷、一個(gè)放卷，以此來進(jìn)行連續(xù)的蒸鍍處理；

22、3.本發(fā)明通過設(shè)置橡膠皮帶、壓輥和輥?zhàn)谑褂脮r(shí)，依靠在通槽上方設(shè)置的壓輥和橡膠皮帶，橡膠皮帶可以從上側(cè)貼合待蒸鍍薄膜、托輥、通槽的頂側(cè)，起到支撐和固定蒸鍍薄膜的作用，并且起到密封的作用，以此來減少氣化蒸鍍材料進(jìn)入空氣內(nèi)對待蒸鍍薄膜造成污染。

技術(shù)特征：

1.用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，包括蒸鍍機(jī)本體（11），所述蒸鍍機(jī)本體（11）的頂部固接有反應(yīng)罩（12）和加熱件（13），所述加熱件（13）的頂部安裝有坩堝（14），所述反應(yīng)罩（12）的頂部安裝有用于密封反應(yīng)罩（12）頂部的頂蓋（16），所述頂蓋（16）上設(shè)有載樣臺(tái)（15），其特征在于：所述載樣臺(tái)（15）貫穿頂蓋（16）的中部并與其密封轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述載樣臺(tái)（15）的底部插入到反應(yīng)罩（12）的內(nèi)部，所述載樣臺(tái)（15）的頂部固接有齒環(huán)（17），所述頂蓋（16）上固接有第一電機(jī)（18），所述第一電機(jī)（18）的輸出端固接有齒輪（19），所述齒輪（19）和齒環(huán)（17）互相嚙合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述載樣臺(tái)（15）的內(nèi)部開設(shè)有空腔，所述空腔的頂部開設(shè)有開口，所述載樣臺(tái)（15）的頂部螺紋連接有密封開口的密封蓋（21），所述空腔的底部設(shè)有通槽（22），所述空腔的底側(cè)且位于通槽（22）的兩側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有托輥（26），所述空腔兩側(cè)的內(nèi)側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有導(dǎo)輥（25），所述空腔的側(cè)壁上固接有一對第二電機(jī)（23），兩個(gè)所述第二電機(jī)（23）的輸出端均固接有套筒（24）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述套筒（24）的內(nèi)部開設(shè)有調(diào)節(jié)槽，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿（31），所述螺桿（31）上螺紋連接有螺套（32），所述螺套（32）上固接有多個(gè)梯形凸塊（34），所述調(diào)節(jié)槽的側(cè)面呈環(huán)形開設(shè)有多個(gè)滑槽（36），所述滑槽（36）內(nèi)滑動(dòng)連接有頂塊（33），所述頂塊（33）靠近螺套（32）的一側(cè)固接有梯形塊（35）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)槽和頂塊（33）之間固接有第一彈簧（4），所述梯形凸塊（34）插入到滑槽（36）內(nèi)且與滑槽（36）滑動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述蒸鍍機(jī)本體（11）上固接有內(nèi)罩（51），所述內(nèi)罩（51）上滑動(dòng)連接有支撐座（52），所述坩堝（14）位于內(nèi)罩（51）的內(nèi)部，所述支撐座（52）與載樣臺(tái)（15）的底部密封轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述通槽（22）的上方設(shè)有輥?zhàn)?3），所述輥?zhàn)?3）上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有多個(gè)壓輥（54），多個(gè)所述壓輥（54）上套設(shè)有橡膠皮帶（55），橡膠皮帶（55）覆蓋在通槽（22）的上方，且與通槽（22）上方的側(cè)壁貼合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述橡膠皮帶（55）為磁性材料制成的皮帶，所述通槽（22）的頂部兩側(cè)固接有磁性橡膠條（6），磁性橡膠條（6）可吸附橡膠皮帶（55），使橡膠皮帶（55）的表面與磁性橡膠條（6）和通槽（22）的頂部貼合。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述輥?zhàn)?3）的一側(cè)與空腔的底側(cè)鉸接，所述輥?zhàn)?3）的另一側(cè)設(shè)有螺栓（7），所述空腔的底側(cè)與螺栓（7）對應(yīng)位置處開設(shè)有螺紋孔，輥?zhàn)?3）可向上旋轉(zhuǎn)抬起，需要固定時(shí)，輥?zhàn)?3）可通過螺栓（7）固定在通槽（22）的上方。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述蒸鍍機(jī)本體（11）上固接有電推桿（81），所述蒸鍍機(jī)本體（11）上固接有導(dǎo)桿（82），所述導(dǎo)桿（82）貫穿頂蓋（16）并與其滑動(dòng)連接，所述電推桿（81）的輸出端與頂蓋（16）固接，電推桿（81）可推動(dòng)頂蓋（16）上移，將載樣臺(tái)（15）從反應(yīng)罩（12）的內(nèi)部取出。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述頂蓋（16）的底側(cè)固接有伸縮環(huán)（91），所述伸縮環(huán)（91）上密封滑動(dòng)連接有延長環(huán)（92），所述伸縮環(huán)（91）和延長環(huán)（92）之間固接有第二彈簧，所述延長環(huán)（92）的底側(cè)固接有橡膠墊（93）。

10.用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍方法，其特征在于：該蒸鍍方法適用于權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置，該蒸鍍方法包括以下步驟；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于蒸鍍設(shè)備領(lǐng)域，具體的說是用于電容器用金屬薄膜的蒸鍍裝置及方法，包括蒸鍍機(jī)本體，所述蒸鍍機(jī)本體的頂部固接有反應(yīng)罩和加熱件，所述加熱件的頂部安裝有坩堝，所述反應(yīng)罩的頂部安裝有用于密封反應(yīng)罩頂部的頂蓋，所述頂蓋上設(shè)有載樣臺(tái)，所述載樣臺(tái)貫穿頂蓋的中部并與其密封轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述載樣臺(tái)的底部插入到反應(yīng)罩的內(nèi)部，所述載樣臺(tái)的頂部固接有齒環(huán)；通過設(shè)置齒環(huán)、齒輪、第一電機(jī)、載樣臺(tái)和頂蓋，在使用時(shí)，依靠第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，其會(huì)帶動(dòng)載樣臺(tái)頂部的齒環(huán)旋轉(zhuǎn)，從而驅(qū)使載樣臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，依靠載樣臺(tái)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)待蒸鍍處理的薄膜進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以此可以提高蒸鍍的均勻度，進(jìn)而降低對薄膜性能造成的影響。

技術(shù)研發(fā)人員：莢朝輝,張益喜,劉立量,康仙文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：銅陵其利電子股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21