一種真空狀態(tài)下的水冷鼓的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種真空狀態(tài)下的水冷鼓，包括：殼體，其包括外鋼套（1）、內(nèi)鋼套（2）以及垂直與所述外鋼套（1）和內(nèi)鋼套（2）的導(dǎo)流棒（3），所述殼體的軸向的一端設(shè)置進(jìn)水盤（4）及進(jìn)水導(dǎo)向軸（5），另一端設(shè)置回水盤（6）、進(jìn)水管（7）以及回水管（8），且所述進(jìn)水管（7）以及回水管（8）的伸出殼體的部分連接動(dòng)密封軸承蓋（9）、動(dòng)密封套（10）以及動(dòng)密封壓蓋（11），并依次沿著軸向安裝同步輪（12）、活法蘭（13）以及旋轉(zhuǎn)接頭（14）。本實(shí)用新型所述真空狀態(tài)下的水冷鼓結(jié)構(gòu)簡單，而且水只在表層流動(dòng)，只冷卻表層，并且減輕了水冷鼓的整體重量。
【專利說明】 一種真空狀態(tài)下的水冷鼓

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種水冷裝置，具體為一種真空狀態(tài)下的水冷鼓。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體相關(guān)制造過程中，許多的制程必須在真空狀態(tài)下進(jìn)行，而真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的一項(xiàng)重要技術(shù)，近年來已經(jīng)逐漸取代噴導(dǎo)漆和電解電鍍的方式，大量應(yīng)用在光電、通信、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)，成為重要的表面處理技術(shù)。而濺鍍過程中一般都是高溫環(huán)境，而傳統(tǒng)的水冷鼓重量較大，使用不便，降溫效果并不理想。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]針對(duì)上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型公開一種真空狀態(tài)下的水冷鼓，包括:殼體，其包括外鋼套1、內(nèi)鋼套2以及垂直與所述外鋼套I和內(nèi)鋼套2的導(dǎo)流棒3，所述殼體的軸向的一端設(shè)置進(jìn)水盤4及進(jìn)水導(dǎo)向軸5，另一端設(shè)置回水盤6、進(jìn)水管7以及回水管8，且所述進(jìn)水管7以及回水管8的伸出殼體的部分連接動(dòng)密封軸承蓋9、動(dòng)密封套10以及動(dòng)密封壓蓋11，并依次沿著軸向安裝同步輪12、活法蘭13以及旋轉(zhuǎn)接頭14。
[0004]本實(shí)用新型的有益效果是所述真空狀態(tài)下的水冷鼓結(jié)構(gòu)簡單，而且水只在表層流動(dòng)，只冷卻表層，能夠在實(shí)現(xiàn)理想的降溫效果的同時(shí)，減輕水冷鼓的整體重量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0005]圖1是本實(shí)用新型所述真空狀態(tài)下的水冷鼓的結(jié)構(gòu)剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0006]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。
[0007]如圖所示，本實(shí)用新型公開一種真空狀態(tài)下的水冷鼓，包括:殼體，其包括外鋼套1、內(nèi)鋼套2以及垂直與所述外鋼套I和內(nèi)鋼套2的導(dǎo)流棒3，所述殼體的軸向的一端設(shè)置進(jìn)水盤4及進(jìn)水導(dǎo)向軸5，另一端設(shè)置回水盤6、進(jìn)水管7以及回水管8，且所述進(jìn)水管7以及回水管8的伸出殼體的部分連接動(dòng)密封軸承蓋9、動(dòng)密封套10以及動(dòng)密封壓蓋11，并依次沿著軸向安裝同步輪12、活法蘭13以及旋轉(zhuǎn)接頭14。所述旋轉(zhuǎn)接頭14為HS-GF型旋轉(zhuǎn)接頭，所述真空狀態(tài)下的水冷鼓的結(jié)構(gòu)簡單，而且水只在表層流動(dòng)，只冷卻表層，能夠在實(shí)現(xiàn)理想的降溫效果的同時(shí)，減輕水冷鼓的整體重量。
[0008]盡管本實(shí)用新型的實(shí)施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實(shí)施方式中所列運(yùn)用，它完全可以被適用于各種適合本實(shí)用新型的領(lǐng)域，對(duì)于熟悉本領(lǐng)域的人員而言，可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實(shí)用新型并不限于特定的細(xì)節(jié)和這里示出與描述的圖例。
【權(quán)利要求】
1.一種真空狀態(tài)下的水冷鼓，其特征在于，包括:殼體，其包括外鋼套(I)、內(nèi)鋼套(2)以及垂直與所述外鋼套(I)和內(nèi)鋼套(2)的導(dǎo)流棒(3)，所述殼體的軸向的一端設(shè)置進(jìn)水盤(4)及進(jìn)水導(dǎo)向軸(5)，另一端設(shè)置回水盤(6)、進(jìn)水管(7)以及回水管(8)，且所述進(jìn)水管(7)以及回水管(8)的伸出殼體的部分連接動(dòng)密封軸承蓋(9)、動(dòng)密封套(10)以及動(dòng)密封壓蓋(11)，并依次沿著軸向安裝同步輪(12 )、活法蘭(13)以及旋轉(zhuǎn)接頭(14 )。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK204039490SQ201420380496
【公開日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年7月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月11日
【發(fā)明者】王振東, 何萬能 申請(qǐng)人:蘇州諾耀光電科技有限公司