一種用于真空鍍膜的鎢舟或鉬舟的制作方法
【專(zhuān)利摘要】一種用于真空鍍膜的鎢舟或鉬舟，包括一體結(jié)構(gòu)的舟皿本體，所述舟皿本體包括內(nèi)腔為四棱錐形的槽體，所述槽體中兩個(gè)相對(duì)的側(cè)板的頂端均設(shè)有階梯狀的延伸板，另外兩個(gè)相對(duì)的側(cè)板的兩端的內(nèi)表面均呈波紋狀。本實(shí)用新型中，在舟皿本體的槽體中兩個(gè)相對(duì)側(cè)板的兩端設(shè)置的波紋狀的內(nèi)表面，能夠避免其中盛放的熔融態(tài)的蒸發(fā)源的上液面形成弧形面，使槽體中盛放的熔融態(tài)的蒸發(fā)源上表面鋪展更均勻、平整，防止所形成的鍍膜的厚度不均勻。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種用于真空鍍膜的鎢舟或鉬舟
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種用于真空鍍膜的鎢舟或鑰舟。
【背景技術(shù)】
[0002]鎢、鑰熔點(diǎn)高，電性能好，抗熱及抗腐蝕性能優(yōu)越，被廣泛應(yīng)用于冶金，電子、宇航、半導(dǎo)體、電光源和化工等行業(yè)。選用高純度的鎢材或鑰材，用先進(jìn)的生產(chǎn)自動(dòng)線(xiàn)生產(chǎn)出的鎢舟或鑰舟作為特殊而有效的舟皿，被廣泛的用于真空鍍膜行業(yè)的金屬蒸鍍。而在真空鍍膜過(guò)程中，需要很高溫度才會(huì)使金屬原料從固體狀態(tài)蒸發(fā)汽化。鎢舟或鑰舟應(yīng)用于真空鍍膜中，是將鎢舟或鑰舟安裝在兩個(gè)電極中間，在鎢舟或鑰舟的中央加上蒸發(fā)源，再緩緩給電極通電，電流通過(guò)鎢舟或鑰舟，鎢舟或鑰舟通電發(fā)熱，使高熔點(diǎn)的鎢舟或鑰舟產(chǎn)生熱量，再熱傳導(dǎo)給鍍膜材料，當(dāng)鎢舟或鑰舟的熱量高于鍍膜材料熔點(diǎn)的時(shí)候，材料就蒸發(fā)，此方法操作方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。但是現(xiàn)有的鎢舟或鑰舟中熔化的金屬原料，其熔融狀態(tài)的蒸發(fā)源上液面為拱起的弧面，在真空鍍膜時(shí)，易造成所形成的鍍膜的厚度不均勻。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有的鎢舟或鑰舟在薄膜制備中，易造成所形成的鍍膜的厚度不均勻的問(wèn)題，提供一種用于真空鍍膜的鎢舟或鑰舟。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為:一種用于真空鍍膜的鎢舟或鑰舟,包括一體結(jié)構(gòu)的舟皿本體,所述舟皿本體包括內(nèi)腔為四棱錐形的槽體,所述槽體中兩個(gè)相對(duì)的側(cè)板的頂端均設(shè)有階梯狀的延伸板，另外兩個(gè)相對(duì)的側(cè)板的兩端的內(nèi)表面均呈波紋狀。
[0005]所述槽體中兩個(gè)相對(duì)側(cè)板的兩端設(shè)置的波紋狀的內(nèi)表面均包括一個(gè)波峰和一個(gè)波谷。
[0006]有益效果:本實(shí)用新型中，在舟皿本體的槽體中兩個(gè)相對(duì)側(cè)板的兩端設(shè)置的波紋狀的內(nèi)表面，能夠避免其中盛放的熔融態(tài)的蒸發(fā)源的上液面形成弧形面，使槽體中盛放的熔融態(tài)的蒸發(fā)源上表面鋪展更均勻、平整，防止所形成的鍍膜的厚度不均勻。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2為圖1中沿A-A線(xiàn)的剖視圖。
[0009]附圖標(biāo)記:1、槽體，2、延伸板。
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖1和圖2所示，一種用于真空鍍膜的鎢舟或鑰舟，包括一體結(jié)構(gòu)的舟皿本體，所述舟皿本體包括內(nèi)腔為四棱錐形的槽體1，所述槽體I中兩個(gè)相對(duì)的側(cè)板的頂端均設(shè)有階梯狀的延伸板2，另外兩個(gè)相對(duì)的側(cè)板的兩端的內(nèi)表面均呈波紋狀。[0011]本實(shí)用新型在具體的實(shí)施時(shí)，根據(jù)舟皿本體的規(guī)格大小，可以槽體I中兩個(gè)相對(duì)側(cè)板的兩端設(shè)置的波紋狀的內(nèi)表面中設(shè)置適宜的波峰和波谷數(shù)量，優(yōu)選的，該槽體I中兩個(gè)相對(duì)側(cè)板的兩端設(shè)置的波紋狀的內(nèi)表面均包括一個(gè)波峰和一個(gè)波谷，而且，側(cè)板兩端設(shè)置的波紋形狀是從側(cè)板的上端面收攏到四棱錐形槽體底部棱角處，能夠使槽體I中盛放的熔融態(tài)的蒸發(fā)源上表面鋪展更均勻、平整，防止所形成的鍍膜的厚度不均勻。
【權(quán)利要求】
1.一種用于真空鍍膜的鎢舟或鑰舟，包括一體結(jié)構(gòu)的舟皿本體，其特征在于:所述舟皿本體包括內(nèi)腔為四棱錐形的槽體(1)，所述槽體(I)中兩個(gè)相對(duì)的側(cè)板的頂端均設(shè)有階梯狀的延伸板(2)，另外兩個(gè)相對(duì)的側(cè)板的兩端的內(nèi)表面均呈波紋狀。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于真空鍍膜的鎢舟或鑰舟，其特征在于:所述槽體(I)中兩個(gè)相對(duì)側(cè)板的兩端設(shè)置的波紋狀的內(nèi)表面均包括一個(gè)波峰和一個(gè)波谷。
【文檔編號(hào)】C23C14/26GK203546137SQ201320568682
【公開(kāi)日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年9月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月13日
【發(fā)明者】王小淼, 張玉貴 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)愛(ài)科麥鎢鉬制品有限公司