一種傾斜角調(diào)整裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種傾斜角調(diào)整裝置，該裝置包括彈性部件、螺母座、傳動桿和軸座，其中，該彈性部件包括彈性本體和三個形變端，其中第一形變端設(shè)置在彈性本體的上側(cè)；第二形變端和第三形變端設(shè)置在彈性本體的下側(cè)兩端的位置上；第三形變端通過螺栓固定在該螺母座上，該螺母座具有內(nèi)螺紋；該傳動桿上端具有外螺紋，并通過該外螺紋與螺母座的內(nèi)螺紋連接；該傳動桿穿過該軸座，并在軸座的上下兩端通過固定環(huán)將所述傳動桿固定在該軸座中。所述傾斜角調(diào)整裝置安裝在工作臺與機床之間，其中所述第一形變端固定在工作臺上，所述第二形變端固定在機床上，所述軸座固定在機床上。本發(fā)明的傾斜角調(diào)整裝置結(jié)構(gòu)簡單，安裝使用方便，調(diào)整精度高，能夠達到一微米以下。
【專利說明】一種傾斜角調(diào)整裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于硅片加工設(shè)備的傾斜角調(diào)整裝置，屬于硅片精密加工【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]各種硅片加工設(shè)備中經(jīng)常會包含有需要調(diào)節(jié)工作臺傾斜角的對象體，例如硅片磨削設(shè)備砂輪傾斜角調(diào)整，載片臺傾斜角調(diào)整等?，F(xiàn)有的傾斜角調(diào)整裝置有的是通過絲桿直接作用于調(diào)整對象，但這種方式存在調(diào)整精度不高的缺點，很難實現(xiàn)一微米以下的調(diào)整量；同時也存在能夠?qū)崿F(xiàn)一微米以下的調(diào)整裝置，但設(shè)計精密，通常需要通過控制系統(tǒng)來調(diào)節(jié)，價格昂貴。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種傾斜角調(diào)整裝置，用于調(diào)整硅片加工設(shè)備中各對象體的傾斜角，其在手動調(diào)節(jié)時能夠?qū)崿F(xiàn)一微米以下的調(diào)整量。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種傾斜角調(diào)整裝置，該裝置包括彈性部件、螺母座、傳動桿和軸座，其中，該彈性部件包括彈性本體和三個形變端，其中第一形變端設(shè)置在彈性本體的上側(cè)；第二形變端和第三形變端設(shè)置在彈性本體的下側(cè)兩端的位置上；第三形變端通過螺栓固定在該螺母座上，該螺母座具有內(nèi)螺紋；該傳動桿上端具有外螺紋，并通過該外螺紋與螺母座的內(nèi)螺紋連接；該傳動桿穿過該軸座，并在軸座的上下兩端通過固定環(huán)將所述傳動桿固定在該軸座中。
[0006]所述傾斜角調(diào)整裝置安裝在工作臺與機床之間，其中所述第一形變端固定在工作臺上，所述第二形變端固定在機床上，所述軸座固定在機床上。
[0007]在所述傾斜角調(diào)整裝置中，所述第一形變端位于靠近第二形變端，遠離第三形變端的位置上。
[0008]在所述傾斜角調(diào)整裝置中，所述三個形變端與所述彈性本體的連接處均為弧狀結(jié)構(gòu)。
[0009]在所述傾斜角調(diào)整裝置中，所述傳動桿下端設(shè)有調(diào)節(jié)端，該調(diào)節(jié)端上設(shè)有刻度。
[0010]在所述傾斜角調(diào)整裝置中，所述傳動桿下端通過聯(lián)軸器安裝減速器和驅(qū)動電機，該驅(qū)動電機連接到控制系統(tǒng)。
[0011]在所述傾斜角調(diào)整裝置中，所述彈性部件由不銹鋼材料制成。
[0012]本發(fā)明的優(yōu)點在于:
[0013]本發(fā)明的傾斜角調(diào)整裝置結(jié)構(gòu)簡單，安裝使用方便，調(diào)整精度高，能夠達到一微米以下。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明傾斜角調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。[0015]圖2為具有帶有刻度的調(diào)節(jié)端的傳動桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖3為帶有控制系統(tǒng)的傾斜角調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0017]如圖1所示，本發(fā)明的傾斜角調(diào)整裝置包括能夠產(chǎn)生形變的彈性部件1、螺母座2、傳動桿3、軸座4、固定環(huán)5。其中彈性部件I包括彈性本體Id和三個形變端，三個形變端位于彈性本體Id的上下兩側(cè)，其中第一形變端Ia位于彈性本體Id的上側(cè)，第二形變端lb、第三形變端Ic位于彈性本體Id的下側(cè)，第一形變端Ia位置上靠近第二形變端lb，遠離第三形變端lc。采用這種設(shè)置方式時，利用杠桿原理，當?shù)谌巫兌薎c上升或下降時，在第一形變端Ia產(chǎn)生的上升或下降量會遠小于第三形變端Ic的上升或下降量。
[0018]其中，第一形變端Ia通過螺栓固定在工作臺6上,第二形變端Ib通過螺栓固定在機床7上，即工作臺6通過彈性部件I連接固定在機床7。第三形變端Ic通過螺栓固定在螺母座2上，該螺母座2具有內(nèi)螺紋；傳動桿3的上端具有外螺紋，并通過該外螺紋與螺母座2的內(nèi)螺紋連接；軸座4通過螺栓固定在機床7上，傳動桿3穿過軸座4，并在軸座4的上下兩端通過固定環(huán)5將傳動桿3固定在軸座4中，以防止傳動桿3上下移動。
[0019]三個形變端la、lb、Ic與彈性本體Id的連接處均為弧狀結(jié)構(gòu)。
[0020]所述傾斜角調(diào)整裝置的工作方式為:通過扭轉(zhuǎn)傳動桿3的下端，傳動桿3通過螺紋連接使得螺母座2上升或下降，因為螺母座3固定在彈性部件I的第三形變端Ic上，所以螺母座3的上升或下將降帶動彈性部件I的第三形變端Ic上升或下降。由于第一形變端Ia固定在工作臺6上,第二形變端Ib固定在機床7上,彈性本體Id與第一形變端la、第二形變端Ib的弧狀連接處會因第三形變端Ic的上升或下降而受到力的作用，而第一形變端la、第二形變端Ib的弧狀連接處發(fā)生形變有一個臨界力，當?shù)谝恍巫兌薼a、第二形變端Ib的弧狀連接處受到的力大于臨界力時，第一形變端la、第二形變端Ib的弧狀連接處發(fā)生形變。因而，一方面利用杠桿原理，當?shù)谌巫兌薎c上升或下降時，在第一形變端Ia處產(chǎn)生上升或下降量會遠小于第三形變端Ic上升或下降量；另一方面第一形變端la、第二形變端Ib的弧狀連接處因形變要抵消掉一部分的力，進而使得第一形變端Ia上升或下降量進一步減小。例如:傳動桿3上端螺紋及連接螺母座4的螺距為0.5mm,即扭轉(zhuǎn)傳動桿3轉(zhuǎn)動一周，螺母座4上升或下降0.5微米。假設(shè)傳動桿3轉(zhuǎn)動5°，則第三形變端Ic處上升或下降量為6.94微米，當?shù)谝恍巫兌薎a與第三形變端lc、第二形變端Ib之間的距離比為10: I時，同時第一形變端la、第二形變端Ib的弧狀連接處因形變要抵消掉一部分的力，所以第一形變端Ia處上升或下降量會小于0.694微米。
[0021]作為可產(chǎn)生彈性形變的彈性部件I可以由不銹鋼開模加工而成。
[0022]如圖2所示，作為進一步優(yōu)化，本發(fā)明中的傳動桿3的下端可以設(shè)置調(diào)節(jié)端8，調(diào)節(jié)端8設(shè)有刻度，從而在手動扭轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)端時能夠控制扭轉(zhuǎn)量，使得調(diào)整更加方便、精確。
[0023]如圖3所示，本發(fā)明還可以在傳動桿3下端通過聯(lián)軸器9安裝減速器10和驅(qū)動電機11，將驅(qū)動電機11連接到控制系統(tǒng)12，從而實現(xiàn)通過機器控制更精確的調(diào)整量，增強人機交互功能，更加方便操作。
【權(quán)利要求】
1.一種傾斜角調(diào)整裝置，其特征在于，該裝置包括彈性部件、螺母座、傳動桿和軸座，其中，該彈性部件包括彈性本體和三個形變端，其中第一形變端設(shè)置在彈性本體的上側(cè)；第二形變端和第三形變端設(shè)置在彈性本體的下側(cè)兩端的位置上；第三形變端通過螺栓固定在該螺母座上，該螺母座具有內(nèi)螺紋；該傳動桿上端具有外螺紋，并通過該外螺紋與螺母座的內(nèi)螺紋連接；該傳動桿穿過該軸座，并在軸座的上下兩端通過固定環(huán)將所述傳動桿固定在該軸座中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傾斜角調(diào)整裝置，其特征在于，所述傾斜角調(diào)整裝置安裝在工作臺與機床之間，其中所述第一形變端固定在工作臺上，所述第二形變端固定在機床上，所述軸座固定在機床上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傾斜角調(diào)整裝置，其特征在于，所述第一形變端位于靠近第二形變端，遠離第三形變端的位置上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傾斜角調(diào)整裝置，其特征在于，所述三個形變端與所述彈性本體的連接處均為弧狀結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傾斜角調(diào)整裝置，其特征在于，所述傳動桿下端設(shè)有調(diào)節(jié)端，該調(diào)節(jié)端上設(shè)有刻度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傾斜角調(diào)整裝置，其特征在于，所述傳動桿下端通過聯(lián)軸器安裝減速器和驅(qū)動電機，該驅(qū)動電機連接到控制系統(tǒng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傾斜角調(diào)整裝置，其特征在于，所述彈性部件由不銹鋼材料制成。
【文檔編號】B24B19/22GK103817576SQ201210465468
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2012年11月16日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月16日
【發(fā)明者】葛鐘, 閆志瑞, 庫黎明, 李青保 申請人:有研半導體材料股份有限公司