專利名稱：超級磨粒砂輪、使用了該超級磨粒砂輪的晶片的制造方法以及晶片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及超級磨粒砂輪、使用了該超級磨粒砂輪的晶片的制造方法以及晶片，更確切來說，涉及具有超級磨粒層的磨削輪。
背景技術(shù)：
以往，磨削輪例如在日本實(shí)開平7-31268號公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)及日本特開2003-19671號公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)中有公開。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)I :日本實(shí)開平7-31268號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2003-19671號公報(bào)在專利文獻(xiàn)I中，公開了ー種能夠向エ件與扇形磨石的接觸部充分供給磨削液的磨削磨石。具體而言，對半導(dǎo)體晶片等的表面進(jìn)行磨削的磨削磨石包括扇形磨石和保持該扇形磨石的保持構(gòu)件，在保持構(gòu)件上形成有多個(gè)供給磨削液的磨削液供給孔，并且形成有 用于抑制從供給孔流出的磨削液的勢頭的控制部。在專利文獻(xiàn)2中，公開了ー種對磨削輪施加改良，能夠?qū)⒐┙o的磨削液充分有效地利用在磨削輪及エ件(半導(dǎo)體晶片)的冷卻中的結(jié)構(gòu)。在磨削輪中，在基臺的內(nèi)周形成有向半徑方向內(nèi)側(cè)敞開的磨削液積存處，通過磨削液積存處暫時(shí)阻止供給到磨削輪基臺的磨削液的向半徑方向外方的流動(dòng)，之后，使該磨削液朝向超級磨粒層及エ件漏出。在專利文獻(xiàn)I的磨削磨石中，雖然從供給孔供給磨削液，但該磨削液僅供給到局部，存在未必遍及到扇形磨石與エ件的全部接觸界面這樣的問題。在專利文獻(xiàn)2中，為了解決上述課題，公開了在基臺的內(nèi)周形成向半徑方向內(nèi)方敞開的積液處的技木，但當(dāng)積液處積存有過多的磨削液時(shí)，若以高速旋轉(zhuǎn)，則存在旋轉(zhuǎn)不穩(wěn)定的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述問題點(diǎn)而作出，其目的在于提供一種能夠使磨削液均勻地分散，且能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)的超級磨粒砂輪。本發(fā)明的一方面的超級磨粒砂輪具備以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的基體件；與基體件固接的超級磨粒層，其中，基體件具有第一面和位于該第一面的相反側(cè)的第二面，在由超級磨粒層包圍的第二面的部分上設(shè)有向遠(yuǎn)離第一面的方向突出的環(huán)狀的突條部，在比突條部靠內(nèi)側(cè)的第二面的部分設(shè)有基準(zhǔn)面，從基準(zhǔn)面到突條部的高度由A表示，在突條部與超級磨粒層之間的第二面的部分設(shè)有距基準(zhǔn)面的高度為B的頂部，高度B大于高度A。在如此構(gòu)成的超級磨粒砂輪中，從內(nèi)周側(cè)供給的磨削液與環(huán)狀的突條部相碰而朝向超級磨粒層擴(kuò)散。其結(jié)果是，能夠向超級磨粒層與エ件之間均勻地供給磨削液。而且，由于在第二面未設(shè)置積液處，因此能夠防止在積液處積攢磨削液的情況，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選的是，突條部的內(nèi)周側(cè)壁面與旋轉(zhuǎn)軸大致平行。優(yōu)選的是，多個(gè)突條部設(shè)置在超級磨粒層的內(nèi)周側(cè)，在相鄰的突條部中，內(nèi)周側(cè)的突條部的距基準(zhǔn)面的高度低于外周側(cè)的突條部的距基準(zhǔn)面的高度。優(yōu)選的是，位于最內(nèi)周側(cè)的突條部的距基準(zhǔn)面的高度為3mm以上。這是因?yàn)?，若高度小?_，則從內(nèi)周側(cè)供給的磨削液的一部分不與環(huán)狀的突條部相碰，而是越過。由于高度即使超過50mm其功能也不會改變，因此高度最優(yōu)選為3mm以上且50mm以下。優(yōu)選的是，高度B與高度A之差為1_以上。若差小于1_，則可能無法將磨削液均勻地向超級磨粒層供給。由于即使差超過50_其功能也不會改變，因此差最優(yōu)選為1_以上且50mm以下。優(yōu)選的是，突條部為圓環(huán)狀。優(yōu)選的是，突條部具有使磨削液微細(xì)粒子化而使磨削液均勻地?cái)U(kuò)散的功能。在本發(fā)明的晶片的制造方法中，使上述任一超級磨粒砂輪的超級磨粒層與晶片接觸，從突條部的內(nèi)周側(cè)供給磨削液并同時(shí)研磨晶片。本發(fā)明的晶片通過上述方法來制造。本發(fā)明的另一方面的超級磨粒砂輪具備以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的基體件；與基體件固接的超級磨粒層，其中，基體件具有第一面和位于該第一面的相反側(cè)的第二面，還具備突條構(gòu)件，該突條構(gòu)件具有設(shè)置在由超級磨粒層包圍的第二面的部分上且向遠(yuǎn)離第一面的方向突出的環(huán)狀的突條部，在比突條部靠內(nèi)側(cè)的第二面的部分設(shè)有基準(zhǔn)面，從基準(zhǔn)面到突條部的高度由A表示，在突條部與超級磨粒層之間的第二面的部分設(shè)有距基準(zhǔn)面的高度為B的頂部，高度B大于高度A。在如此構(gòu)成的超級磨粒砂輪中，從內(nèi)周側(cè)供給的磨削液與設(shè)置在突狀構(gòu)件上的環(huán)狀的突條部相碰而朝向超級磨粒層擴(kuò)散。其結(jié)果是，能夠向超級磨粒層與エ件之間均勻地供給磨削液。而且，由于在第二面未設(shè)置積液處，因此能夠防止在積液處積攢磨削液的情況，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)。而且，由于突條構(gòu)件與基體件為分體，因此通過在未設(shè)置突條部的以往的基體件上設(shè)置突條構(gòu)件，能夠防止液體的積攢，從而能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選的是，突條部的內(nèi)周側(cè)壁面與旋轉(zhuǎn)軸大致平行。優(yōu)選的是，多個(gè)突條部設(shè)置在超級磨粒層的內(nèi)周側(cè)，在相鄰的突條部中，內(nèi)周側(cè)的突條部的距基準(zhǔn)面的高度低于外周側(cè)的突條部的距基準(zhǔn)面的高度。優(yōu)選的是，位于最內(nèi)周側(cè)的突條部的距基準(zhǔn)面的高度為3mm以上。優(yōu)選的是，高度B與高度A之差為Imm以上。優(yōu)選的是，突條部為圓環(huán)狀。優(yōu)選的是，突條部具有使磨削液微細(xì)粒子化而使磨削液均勻地?cái)U(kuò)散的功能。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種可向超級磨粒層與エ件之間均勻地供給磨削液的超級磨粒砂輪。而且，由于在第二面未設(shè)置積液處，因此能夠防止在積液處積攢磨削液，從而能 夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)。而且具有穩(wěn)定且長期地維持良好的鋒利度的效果，因此エ件的燒傷發(fā)生少，能得到良好的加工面品質(zhì)。


圖I是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的主視圖。圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的俯視圖。圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖4是沿著圖3中的IV-IV線的剖視圖。圖5是沿著圖3中的V-V線的剖視圖。圖6是將圖4中的由VI-VI線包圍的部分放大表示的剖視圖。 圖7是將圖5中的由VII-VII線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖8是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖9是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。圖10是本發(fā)明的實(shí)施方式2的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖11是本發(fā)明的實(shí)施方式3的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖12是沿著圖11中的XII-XII線的剖視圖。圖13是沿著圖11中的XIII-XIII線的剖視圖。圖14是將圖12中的由XIV-XIV線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖15是將圖13中的由XV-XV線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖16是本發(fā)明的實(shí)施方式3的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖17是本發(fā)明的實(shí)施方式3的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。圖18是本發(fā)明的實(shí)施方式4的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖19是本發(fā)明的實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖20是沿著圖19中的XX-XX線的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖21是沿著圖19中的XXI-XXI線的剖視圖。圖22是將圖20中的由XXII-XXII線包圍的部分放大表示的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖23是將圖21中的由XXIII-XXIII線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖24是本發(fā)明的實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖25是本發(fā)明的實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。圖26是本發(fā)明的實(shí)施方式6的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖27是沿著圖26中的XXVII-XXVII線的剖視圖。圖28是沿著圖26中的XXVIII-XXVIII線的剖視圖。圖29是將圖27中的由XXIX-XXIX線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖30是將圖28中的由XXX-XXX線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖31是本發(fā)明的實(shí)施方式6的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖32是本發(fā)明的實(shí)施方式6的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。圖33是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的主視圖。圖34是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的俯視圖。圖35是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的仰視圖。
圖36是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的右側(cè)視圖。圖37是沿著圖35中的XXXVII-XXXVII線的剖視圖。圖38是將圖37中的由XXXVIII-XXXVIII線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖39是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖40是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。圖41是用于說明實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的磨削エ序的圖。圖42是本發(fā)明的實(shí)施方式8的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖43是沿著圖42中的XLIII-XLIII線的剖視圖。
圖44是將圖43中的由XLIV-XLIV線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖45是本發(fā)明的實(shí)施方式8的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖46是本發(fā)明的實(shí)施方式8的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。圖47是用于說明實(shí)施方式9的超級磨粒砂輪的磨削エ序的圖。圖48是本發(fā)明的實(shí)施方式10的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖49是本發(fā)明的實(shí)施方式11的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖50是本發(fā)明的實(shí)施方式12的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖51是本發(fā)明的實(shí)施方式13的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖52是本發(fā)明的實(shí)施方式14的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖53是本發(fā)明的實(shí)施方式15的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖54是本發(fā)明的實(shí)施方式16的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖55是本發(fā)明的實(shí)施方式17的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖56是本發(fā)明的實(shí)施方式18的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖57是沿著圖56中的箭頭LVII-LVII線的剖視圖。圖58是本發(fā)明的實(shí)施方式19的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖59是沿著圖58中的LIX-LIX線的剖視圖。圖60是本發(fā)明的實(shí)施方式20的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖61是沿著圖60中的LXI-LXI線的剖視圖。圖62是本發(fā)明的實(shí)施方式21的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖63是沿著圖62中的LXIII-LXIII線的剖視圖。圖64是本發(fā)明的實(shí)施方式22的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖65是沿著圖64中的LXV-LXV線的剖視圖。圖66是本發(fā)明的實(shí)施方式23的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖67是沿著圖66中的LXVII-LXVII線的剖視圖。圖68是本發(fā)明的實(shí)施方式24的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖69是沿著圖68中的LXIX-LXIX線的剖視圖。圖70是本發(fā)明的實(shí)施方式25的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖71是沿著圖70中的LXXI-LXXI線的剖視圖。圖72是本發(fā)明的實(shí)施方式26的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖73是沿著圖72中的LXXIII-LXXIII線的剖視圖。圖74是本發(fā)明的實(shí)施方式27的超級磨粒砂輪的仰視圖。
圖75是沿著圖74中的LXXV-LXXV線的剖視圖。圖76是比較品的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖77是本發(fā)明品的超級磨粒砂輪的剖視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，說明本發(fā)明的實(shí)施方式。需要說明的是，在以下的實(shí)施方式中，對同一部分或彼此相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)注同一參照符號，不重復(fù)其說明。也可以將各實(shí)施方式組合。
(實(shí)施方式I)圖I是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的主視圖。圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的俯視圖。圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖4是沿著圖3中的IV-IV線的剖視圖。圖5是沿著圖3中的V-V線的剖視圖。圖6是將圖4中的由VI-VI線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖7是將圖5中的由VII-VII線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖8是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖9是本發(fā)明的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。參照圖I至圖9，實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪I具有環(huán)狀的基體件10。環(huán)狀的基體件10以旋轉(zhuǎn)軸3為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。基體件10具有第一面201和與第一面201對置的第ニ面202。第一面201和第二面202規(guī)定基體件10的厚度。在第二面202上安裝有超級磨粒層20。第一面201是安裝于加工機(jī)的面,將旋轉(zhuǎn)カ從加工機(jī)向第一面201傳遞。在第一面201側(cè)設(shè)有環(huán)狀的磨削液供給槽12。在磨削液供給槽12配置有多個(gè)磨削液供給孔13。多個(gè)磨削液供給孔13以貫通基體件10的方式構(gòu)成。基體件10的內(nèi)周壁18對孔進(jìn)行規(guī)定，在該孔內(nèi)隔著輪緣而嵌合有主軸。在基體件10的第二面202的內(nèi)周部設(shè)有磨削液供給孔13。磨削液供給孔13是用于供給磨削液的孔。在磨削液供給孔13附近配置有第一立壁111、第一倒錐面112及外側(cè)錐面113。通過第一立壁111和第一倒錐面112來構(gòu)成第一突條部121。第一突條部121的端部115成為第一立壁111與第一倒錐面112的邊界部分。在第二面202的頂部114固定有通過結(jié)合材料固接了超級磨粒的超級磨粒層20。主要參照圖6及圖7，從磨削液供給孔13沿著箭頭F所示的方向供給磨削液。由于基體件10旋轉(zhuǎn)，因此該磨削液受到向外側(cè)方向的離心力。并且，由于因重力而向下方移動(dòng)，因此該磨削液沿著第一立壁111向下側(cè)移動(dòng)。并且，越過第一立壁111的磨削液從端部115朝向外周擴(kuò)散，碰觸到外側(cè)錐面113。然后，在外側(cè)錐面113上擴(kuò)散而向超級磨粒層20供給磨削液。所供給的磨削液向超級磨粒層20與エ件的接觸界面供給而具有對接觸界面進(jìn)行潤滑及冷卻的作用。如圖8及9所示，第一立壁111、第一倒錐面112及外側(cè)錐面113分別沿著圓形的基體件10的圓周方向延伸。關(guān)于圖6及圖7所示的從基準(zhǔn)面110到端部115的高度A與從基準(zhǔn)面110到頂部114的高度B的關(guān)系，高度B與高度A之差優(yōu)選為Imm以上。高度A優(yōu)選為3mm以上。實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪I具備以旋轉(zhuǎn)軸3為中心旋轉(zhuǎn)的基體件10 ;與基體件固接的超級磨粒層20?；w件10具有第一面201和位于該第一面201的相反側(cè)的第二面202，在由超級磨粒層20包圍的第二面202的部分上設(shè)有向遠(yuǎn)離第一面201的方向突出的環(huán)狀的第一突條部121，在比第一突條部121靠內(nèi)側(cè)的第二面202的部分上設(shè)有基準(zhǔn)面110，從基準(zhǔn)面110到第一突條部的高度由A表示，在第一突條部121與超級磨粒層20之間的第二面202的部分上設(shè)有距基準(zhǔn)面110的高度為B的頂部114，高度B比高度A大。在如此構(gòu)成的超級磨粒砂輪I中，從內(nèi)周側(cè)供給的磨削液與環(huán)狀的第一突條部121相碰而朝向超級磨粒層20微細(xì)化地?cái)U(kuò)散。其結(jié)果是，能夠向超級磨粒層20與エ件之間均勻地供給磨削液。而且，由于在第一立壁111未設(shè)置積液處，因此能夠防止在積液處積攢磨削液的情況，從而能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)。第一突條部121的內(nèi)周側(cè)壁面即第一立壁111與旋轉(zhuǎn)軸3平行。位于最內(nèi)周側(cè)的第一突條部121的距基準(zhǔn)面110的高度A為3mm以上。高度B與高度A之差為Imm以上。第一突條部121為圓環(huán)狀。第一突條部121具有使磨削液微細(xì)粒子化而使磨削液均勻地?cái)U(kuò)散的功能。(實(shí)施方式2)
圖10是本發(fā)明的實(shí)施方式2的超級磨粒砂輪的仰視圖。參照圖10，在本發(fā)明的實(shí)施方式2的超級磨粒砂輪I中，超級磨粒層20的作用面形狀大致為平行四邊形，這方面與超級磨粒層20的形狀大致為長方形的實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪不同。如此構(gòu)成的實(shí)施方式2的超級磨粒砂輪也具有與實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪同樣的效果。(實(shí)施方式3)圖11是本發(fā)明的實(shí)施方式3的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖12是沿著圖11中的XII-XII線的剖視圖。圖13是沿著圖11中的XIII-XIII線的剖視圖。圖14是將圖12中的由XIV-XIV包圍的基體件的一部分放大表示的圖。圖15是將圖13中的由XV-XV線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖16是本發(fā)明的實(shí)施方式3的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖17是本發(fā)明的實(shí)施方式3的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。參照所述圖，在本發(fā)明的實(shí)施方式3的超級磨粒砂輪中，在第二面202上從內(nèi)周側(cè)依次設(shè)有第一立壁111、第一倒錐面112、第二立壁116、第二倒錐面117及外側(cè)錐面113，這一點(diǎn)與實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪不同。S卩，在實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪中，未設(shè)有第二立壁116及第ニ倒錐面117，相對于此，在實(shí)施方式3中設(shè)置了第二立壁116及第ニ倒錐面117。第一及第ニ突條部121、122設(shè)置在超級磨粒層20的內(nèi)周側(cè)，在相鄰的第一及第ニ突條部121、122中，內(nèi)周側(cè)的第一突條部121的距基準(zhǔn)面110的高度比外周側(cè)的第二突條部122的距基準(zhǔn)面110的高度低。第一立壁111及第ニ立壁116相對于旋轉(zhuǎn)軸大致平行地配置，具有使從內(nèi)周側(cè)供給的磨削液的流動(dòng)臨時(shí)停止而使其擴(kuò)散的作用。從基準(zhǔn)面110到第一立壁111的端部115的高度為A，從基準(zhǔn)面110到頂部114的高度為B，從基準(zhǔn)面110到端部125的高度為C。通過設(shè)置第一突條部121及第ニ突條部122這兩個(gè)突條部，能夠更可靠地使磨削液分散。S卩，從磨削液供給孔13供給的磨削液先沿著第一立壁111向下方流動(dòng)，從端部115擴(kuò)散而向外周方向飛散。然后，飛散的磨削液與第二立壁116相碰，該磨削液進(jìn)ー步向下方流動(dòng)而從端部125向外周方向飛散。其結(jié)果是，與實(shí)施方式I相比，能夠更可靠地使磨削液微細(xì)粒子化而向外方擴(kuò)散。(實(shí)施方式4)圖18是本發(fā)明的實(shí)施方式4的超級磨粒砂輪的仰視圖。參照圖18，在本發(fā)明的實(shí)施方式4的超級磨粒砂輪中，超級磨粒層20的作用面形狀大致為平行四邊形，這一點(diǎn)與實(shí)施方式3的超級磨粒砂輪不同。(實(shí)施方式5)圖19是本發(fā)明的實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖20是沿著圖19中的XX-XX線的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖21是沿著圖19中的XXI-XXI線的剖視圖。圖22是將圖20中的由XXII-XXII線包圍的部分放大表示的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖23是將圖21中的由XXIII-XXIII線包圍的部分放大表示的剖視圖。圖24是本發(fā)明的實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖25是本發(fā)明的實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。參照上述圖，在實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪I中，端部115構(gòu)成平坦面，這一點(diǎn)與實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪I不同。即，在實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪I中，端部115為尖形狀，相對于此，在實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪I中，端部115為平坦的形狀，并沿著半徑方向具有寬度，這一點(diǎn)與實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪I不同。如此構(gòu)成的實(shí)施方式5的超級磨粒砂輪I也具有與實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪I同樣的效果。(實(shí)施方式6)圖26是本發(fā)明的實(shí)施方式6的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖27是沿著圖26中的XXVII-XXVII線的剖視圖。圖28是沿著圖26中的XXVIII-XXVIII線的剖視圖。圖29是將圖27中的由XXIX-XXIX線包圍的部分放大表示的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖30是將圖28中的由XXX-XXX線包圍的部分放大表示的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖31是本發(fā)明的實(shí)施方式6的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖32是本發(fā)明的實(shí)施方式6的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。參照這些圖，在實(shí)施方式6的超級磨粒砂輪中，端部115的截面成為圓弧形狀，這一點(diǎn)與其他實(shí)施方式的超級磨粒砂輪不同。圓弧形狀的端部115的圓弧半徑并未特別限制。而且，其半徑也不需要一定為恒定，可以形成為將多個(gè)曲率組合的形狀。(實(shí)施方式7)圖33是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的主視圖。圖34是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的俯視圖。圖35是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖36是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的右側(cè)視圖。圖37是沿著圖35中的XXXVII-XXXVII線的剖視圖。圖38是將圖37中的由XXXVIII-XXXVIII包圍的部分放大表示的剖視圖。圖39是本發(fā)明的實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖40是本發(fā)明的實(shí)施方式7的另一面的超級磨粒砂輪的立體圖。參照這些圖，在實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪中，未將磨削液供給孔設(shè)置于基體件10，這一點(diǎn)與實(shí)施方式I的超級磨粒砂輪不同。取代在超級磨粒砂輪上設(shè)置用于供給磨削液的孔，而是通過噴嘴，從超級磨粒砂輪I的內(nèi)周側(cè)供給磨削液。在內(nèi)周壁18的外側(cè)設(shè)有內(nèi)周側(cè)錐面131。以與內(nèi)周側(cè)錐面131相連的方式配置基準(zhǔn)面110、第一立壁111、第一倒錐面112、外側(cè)錐面113及頂部114。圖41是用于說明實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪的磨削エ序的圖。參照圖41，晶片601由磨削盤的回轉(zhuǎn)工作臺602保持。從噴嘴501向箭頭F所示的方向供給的磨削液被控制流量、壓カ及方向，以便于在超級磨粒砂輪I的加工時(shí)的轉(zhuǎn)速下，與環(huán)狀的第一突條部121的第一立壁111直接相碰。也可以利用旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心カ使流動(dòng)彎曲，從而使磨削液直接與第一立壁111相碰。并且，與第一立壁111抵接的磨削液從端部115向箭頭Fl所示的方向擴(kuò)散而排出。然后，向超級磨粒層20供給磨削液。其結(jié)果是，向超級磨粒層20與作為エ件的晶片601的接觸界面均勻地供給磨削液，因此能夠帶來如下效果，即防止磨削物(エ件)的燒傷的發(fā)生，穩(wěn)定且長期地維持良好的鋒利度。而且，微細(xì)粒子化的磨削液與外側(cè)錐面113相碰而以速度緩和的狀態(tài)向超級磨粒層20供給。即，本發(fā)明的晶片的制造方法使用上述的超級磨粒砂輪I對晶片601進(jìn)行磨削。(實(shí)施方式8)圖42是本發(fā)明的實(shí)施方式8的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖43是沿著圖42中的XLIII-XLIII線的剖視圖。圖44是將圖43中的由XLIV-XLIV線包圍的部分放大表示的剖 視圖。圖45是本發(fā)明的實(shí)施方式8的超級磨粒砂輪的一面的立體圖。圖46是本發(fā)明的實(shí)施方式8的超級磨粒砂輪的另一面的立體圖。在本發(fā)明的實(shí)施方式8的超級磨粒砂輪I中，設(shè)有第一突條部121及第ニ突條部122，這一點(diǎn)與實(shí)施方式7的超級磨粒砂輪I不同。另外也可以設(shè)置多個(gè)突條部。(實(shí)施方式9)圖47是用于說明實(shí)施方式9的超級磨粒砂輪的磨削エ序的圖。參照圖47，可以使用干擾板701使磨削液擴(kuò)散。具體而言，沿著軸向從噴嘴702供給磨削液。磨削液沿著干擾板701順著半徑方向流動(dòng)而如箭頭F所示，向半徑方向外側(cè)排出而與第一立壁111相碰。并且，在磨削液越過端部115之后，向箭頭Fl所示的方向擴(kuò)散而與外側(cè)錐面113相碰，之后，磨削液被供給到超級磨粒層20與晶片601的界面。(實(shí)施方式10)圖48是本發(fā)明的實(shí)施方式10的超級磨粒砂輪的剖視圖。參照圖48，在實(shí)施方式10的超級磨粒砂輪I中，與基體件10分體地將突條構(gòu)件1000安裝于基體件10。突條構(gòu)件1000具有第一突條部121。突條構(gòu)件1000安裝在比基準(zhǔn)面110靠超級磨粒層20側(cè)的面上。突條構(gòu)件1000安裝成相對于基體件10拆裝自如，例如通過以螺栓為代表的緊固構(gòu)件來安裝。實(shí)施方式10的超級磨粒砂輪I具備以旋轉(zhuǎn)軸3為中心旋轉(zhuǎn)的基體件10 ;與基體件固接的超級磨粒層20。基體件10具有第一面201和位于該第一面201的相反側(cè)的第二面202，在由超級磨粒層20包圍的第二面202的部分上設(shè)有突條構(gòu)件1000，該突條構(gòu)件1000具有朝向遠(yuǎn)離第一面201的方向突出的環(huán)狀的第一突條部121，在比第一突條部121靠內(nèi)側(cè)的第二面202的部分上設(shè)有基準(zhǔn)面110，從基準(zhǔn)面110到第一突條部的高度由A表示，在第一突條部121與超級磨粒層20之間的第二面202的部分上設(shè)有距基準(zhǔn)面110的高度為B的頂部114，高度B大于高度A。超級磨粒層20的作用面的形狀可以為大致長方形形狀、大致平行四邊形形狀、大致梯形形狀中的任ー個(gè)。而且，超級磨粒層20的作用面的角部分可以修圓。(實(shí)施方式11)圖49是本發(fā)明的實(shí)施方式11的超級磨粒砂輪的剖視圖。參照圖49，在本發(fā)明的實(shí)施方式11的超級磨粒砂輪I中，在與基準(zhǔn)面110同一面上設(shè)置用于安裝突條構(gòu)件1000的面。
(實(shí)施方式12)圖50是本發(fā)明的實(shí)施方式12的超級磨粒砂輪的剖視圖。參照圖50，本發(fā)明的實(shí)施方式12的突條構(gòu)件1000具有第一突條部121和第二突條部122。突條構(gòu)件1000設(shè)置在比基準(zhǔn)面110靠超級磨粒層20側(cè)。關(guān)于尺寸，成立A < C < B。(實(shí)施方式13)圖51是本發(fā)明的實(shí)施方式13的超級磨粒砂輪的剖視圖。參照圖51，在實(shí)施方式13的超級磨粒砂輪I中，突條構(gòu)件1000的安裝面與基準(zhǔn)面110為同一面。(實(shí)施方式14)圖52是本發(fā)明的實(shí)施方式14的超級磨粒砂輪的剖視圖。參照圖52，在本發(fā)明的 實(shí)施方式14的超級磨粒砂輪I中，突條構(gòu)件1000與基體件10的邊界部分的一部分成為傾斜面。而且，突條構(gòu)件1000與基體件10的邊界部分的一部分為基準(zhǔn)面110。(實(shí)施方式15)圖53是本發(fā)明的實(shí)施方式15的超級磨粒砂輪的剖視圖。參照圖53，在實(shí)施方式15的超級磨粒砂輪I中，突條構(gòu)件1000與基體件10的邊界部分成為傾斜面。并且，突條構(gòu)件1000與基體件10的邊界的一部分成為基準(zhǔn)面110。(實(shí)施方式16)圖54是本發(fā)明的實(shí)施方式16的超級磨粒砂輪的剖視圖。參照圖54，在實(shí)施方式16的超級磨粒砂輪I中，突條構(gòu)件1000與基體件10的邊界面成為臺階狀。(實(shí)施方式17)圖55是本發(fā)明的實(shí)施方式17的超級磨粒砂輪的剖視圖。參照圖55，在本發(fā)明的實(shí)施方式17的超級磨粒砂輪I中，突條構(gòu)件1000與基體件10的邊界面成為臺階狀。(實(shí)施方式18)圖56是本發(fā)明的實(shí)施方式18的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖57是沿著圖56中的箭頭LVII-LVII線的剖視圖。參照圖56及圖57，在實(shí)施方式18的超級磨粒砂輪I中，在基體件10的基準(zhǔn)面110上安裝突條構(gòu)件1000。突條構(gòu)件1000為罩形狀，在其中央?yún)^(qū)域設(shè)有磨削液供給孔13。從磨削液供給孔13供給磨削液。該供給的磨削液因離心カ而向外周方向飛散，與第一立壁111相碰。并且，越過了第一立壁111的磨削液從第一突條部121擴(kuò)散而向超級磨粒層20供給磨削液。供給的磨削液向超級磨粒層20與エ件的接觸界面供給而對接觸界面進(jìn)行潤滑及冷卻。(實(shí)施方式19)圖58是本發(fā)明的實(shí)施方式19的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖59是沿著圖58中的LIX-LIX線的剖視圖。參照圖58及圖59，在實(shí)施方式19的超級磨粒砂輪I中，突條構(gòu)件1000前端的第一突條部121為圓弧形狀。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，雖然示出了突條構(gòu)件1000前端的第一突條部121為圓弧形狀的例子，但與基體件10 —體設(shè)置的第一突條部121及第ニ突條部122的前端也可以為圓弧形狀。(實(shí)施方式20)圖60是本發(fā)明的實(shí)施方式20的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖61是沿著圖60中的LXI-LXI線的剖視圖。參照圖60及圖61，在實(shí)施方式20的超級磨粒砂輪I中，在第一突條部121的外周側(cè)設(shè)置第一倒錐面112。
(實(shí)施方式21)圖62是本發(fā)明的實(shí)施方式21的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖63是沿著圖62中的LXIII-LXIII線的剖視圖。參照圖62及圖63，在實(shí)施方式21的超級磨粒砂輪I中，在突條構(gòu)件1000設(shè)置第一突條部121、第一倒錐面112、第二突條部122及第ニ倒錐面117。(實(shí)施方式22)圖64是本發(fā)明的實(shí)施方式22的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖65是沿著圖64中的LXV-LXV線的剖視圖。參照圖64及圖65，在實(shí)施方式22的超級磨粒砂輪I中，在突條構(gòu)件1000上設(shè)置第一突條部121、第一倒錐面112、第二突條部122、第二倒錐面117、第三突條部123及第三倒錐面119。關(guān)于尺寸，A < C < D < B成立。(實(shí)施方式23)
圖66是本發(fā)明的實(shí)施方式23的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖67是沿著圖66中的LXVII-LXVII線的剖視圖。參照圖66及圖67，在實(shí)施方式23的超級磨粒砂輪I中，磨削液供給孔13以朝向外周方向延伸的方式貫通突條構(gòu)件1000。(實(shí)施方式24)圖68是本發(fā)明的實(shí)施方式24的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖69是沿著圖68中的LXIX-LXIX線的剖視圖。參照圖68及圖69，在本發(fā)明的實(shí)施方式24的超級磨粒砂輪I中，在突條構(gòu)件1000設(shè)置干擾板1010。干擾板1010以與磨削液供給孔13面對的方式設(shè)置。從磨削液供給孔13供給的磨削液通過干擾板1010改變行進(jìn)方向而向外周方向前進(jìn)。并且，磨削液越過了第一突條部121之后到達(dá)超級磨粒層20。(實(shí)施方式25)圖70是本發(fā)明的實(shí)施方式25的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖71是沿著圖70中的LXXI-LXXI線的剖視圖。參照圖70及圖71，在本發(fā)明的實(shí)施方式25的超級磨粒砂輪I中，在干擾板1010與突條構(gòu)件1000之間設(shè)置呈十字狀延伸的磨削液通路1011。從磨削液供給孔13供給的磨削液經(jīng)由磨削液通路1011向第一突條部121側(cè)供給。(實(shí)施方式26)圖72是本發(fā)明的實(shí)施方式26的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖73是沿著圖72中的LXXIII-LXXIII線的剖視圖。參照圖72及圖73，在本發(fā)明的實(shí)施方式26的超級磨粒砂輪I中，在使超級磨粒砂輪I旋轉(zhuǎn)的機(jī)械側(cè)設(shè)有磨削液供給孔13，從該磨削液供給孔13供給的磨削液向突條構(gòu)件1000的第一突條部121側(cè)供給。(實(shí)施方式27)圖74是本發(fā)明的實(shí)施方式27的超級磨粒砂輪的仰視圖。圖75是沿著圖74中的LXXV-LXXV線的剖視圖。參照圖74及圖75，在本發(fā)明的實(shí)施方式27的超級磨粒砂輪I中，在使超級磨粒砂輪I旋轉(zhuǎn)的機(jī)械側(cè)設(shè)有干擾板1010及磨削液通路1011。并且，從磨削液通路1011供給的磨削液越過第一突條部121而向超級磨粒層20側(cè)供給。(實(shí)施方式28)圖76是比較品的超級磨粒砂輪的剖視圖。圖77是本發(fā)明品的超級磨粒砂輪的剖視圖。在實(shí)施方式28中，準(zhǔn)備圖76所示形狀的比較品(無突條部)及圖77所示形狀的本發(fā)明品(有突條部)。雙方樣品的尺寸如下述所示。超級磨粒砂輪尺寸外徑Φ 200mm-磨削液供給孔13的內(nèi)徑Φ 80mm-從第一面201到超級磨粒層20前端的高度30mm-超級磨粒層的寬度4mm_超級磨粒層的高度5mm超級磨粒層20的粒度#8000エ件及其尺寸(p200mm單晶硅晶片加工條件超級磨粒砂輪旋轉(zhuǎn)速度ZOOOmirr1 (2 lm/s)工作臺旋轉(zhuǎn)速度JOOmirT1進(jìn)給速度20μ m/min加工余量20 μ m
無火花磨削(sparkout) 30sec磨削液水磨削液供給軸芯供給方式+干擾板流量:5dm3/minエ件的加工片數(shù)20片連續(xù)加工所有的樣品均從加工機(jī)的磨石主軸的軸芯供給磨削液。從軸芯供給的磨削液(水)與干擾板1010相碰，因旋轉(zhuǎn)而飛散。干擾板1010為圓板形狀，被固定在四個(gè)部位。在圖76所示的比較品中，使超級磨粒砂輪旋轉(zhuǎn)所需的電流值(A)為3. 5，超級磨粒層20的磨損量(ym)為O. 86，エ件的表面粗糙度Ra (nm)為2. 0，相對于此，在圖77所示的本發(fā)明的超級磨粒砂輪I中，電流值(A)為3. 5，磨損量(μ m)為O. 42，表面粗糙度Ra(nm)為 I. 2。對比的結(jié)果是，通過使用第一突條部121而能觀察到磨損量的減少和表面粗糙度的改善。電流值幾乎沒有觀察到差別。認(rèn)為是從軸芯供給的磨削液因旋轉(zhuǎn)中的干擾板而飛散，并借助突條部而均勻地分散，從而實(shí)現(xiàn)磨石磨損量的減少和表面粗糙度的改善。在比較品中，認(rèn)為是由于在固定干擾板的四個(gè)部位，磨削液未均勻地飛散，因此未均勻地向磨削點(diǎn)供給。而且，通過使用本發(fā)明的超級磨粒砂輪而減輕了連續(xù)加工中的晶片加工面的深條痕(劃痕)。這也可以說是通過利用突條部使磨削液均勻地分散，均勻地向磨削點(diǎn)供給，從而能得到穩(wěn)定的磨削面。以上，說明了本發(fā)明的實(shí)施方式，這里所示的實(shí)施方式能夠進(jìn)行各種變形。首先，作為エ件，雖然示出了半導(dǎo)體的晶片，但不局限于晶片，可以為了加工金屬、非金屬、有機(jī)物、無機(jī)物等各種エ件而使用超級磨粒砂輪。具體而言，作為エ件，可以使用玻璃基板、化合物半導(dǎo)體、硅晶片、SiC晶片、碳膜(金剛石狀碳)、氧化硅膜、氮化硅、金剛石。而且，關(guān)于超級磨粒層20的作用面形狀，不局限于實(shí)施方式所示的大致長方形及大致平行四邊形的形狀，可以采用三角形、圓形、橢圓或角被修圓了的三角形形狀等各種形狀。應(yīng)該認(rèn)為本次公開的實(shí)施方式的所有方面是例示而不是限制性特征。本發(fā)明的范圍不是根據(jù)上述說明而是由權(quán)利要求書示出，且與權(quán)利要求書的范圍等同的意思及范圍內(nèi)的全部變更包括在內(nèi)。エ業(yè)實(shí)用性本發(fā)明能夠在用于磨削エ件的超級磨粒砂輪、使用了該超級磨粒砂輪的晶片的制造方法的領(lǐng)域中使用。符號說明
I超級磨粒砂輪，3旋轉(zhuǎn)軸，10基體件，12磨削液供給槽，13磨 削液供給孔，18內(nèi)周壁，20超級磨粒層，110基準(zhǔn)面，111第一立壁，112第一倒錐面，113外側(cè)錐面，114頂部，115端部，116第二立壁，117第二倒錐面，121第一突條部，122第二突條部，125端部，201第一面，202第二面，501噴嘴，601晶片，602回轉(zhuǎn)工作臺，1000突條構(gòu)件。
權(quán)利要求
1.一種超級磨粒砂輪，具備 以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的基體件(10)； 與所述基體件固接的超級磨粒層(20)， 其中， 所述基體件具有第一面(201)和位于該第一面的相反側(cè)的第二面(202)， 在由所述超級磨粒層包圍的所述第二面的部分上設(shè)有向遠(yuǎn)離所述第一面的方向突出的環(huán)狀的突條部(121)， 在比所述突條部靠內(nèi)側(cè)的所述第二面的部分設(shè)有基準(zhǔn)面(110)， 從所述基準(zhǔn)面到所述突條部的高度由A表示， 在所述突條部與所述超級磨粒層之間的所述第二面的部分設(shè)有距所述基準(zhǔn)面的高度為B的頂部(114)，高度B大于高度A。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超級磨粒砂輪，其中， 所述突條部的內(nèi)周側(cè)壁面與所述旋轉(zhuǎn)軸大致平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超級磨粒砂輪，其中， 多個(gè)所述突條部設(shè)置在所述超級磨粒層的內(nèi)周側(cè)，在相鄰的所述突條部中，內(nèi)周側(cè)的突條部的距所述基準(zhǔn)面的高度低于外周側(cè)的突條部的距所述基準(zhǔn)面的高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超級磨粒砂輪，其中， 位于最內(nèi)周側(cè)的所述突條部的距所述基準(zhǔn)面的高度為3mm以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超級磨粒砂輪，其中， 所述高度B與所述高度A之差為Imm以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超級磨粒砂輪，其中， 所述突條部為圓環(huán)狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超級磨粒砂輪，其中， 所述突條部具有使磨削液微細(xì)粒子化而使磨削液均勻地?cái)U(kuò)散的功能。
8.—種制造晶片的方法，其中， 使權(quán)利要求I所述的超級磨粒砂輪的所述超級磨粒層與晶片接觸，從所述突條部的內(nèi)周側(cè)供給磨削液并同時(shí)研磨晶片。
9.一種晶片，其是通過權(quán)利要求8所述的方法制造的晶片。
10.一種超級磨粒砂輪，具備 以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的基體件(10)； 與所述基體件固接的超級磨粒層(20)， 其中， 所述基體件具有第一面(201)和位于該第一面的相反側(cè)的第二面(202)， 還具備突條構(gòu)件(1000)，該突條構(gòu)件1000)具有設(shè)置在由所述超級磨粒層包圍的所述第二面的部分上且向遠(yuǎn)離所述第一面的方向突出的環(huán)狀的突條部(121)， 在比所述突條部靠內(nèi)側(cè)的所述第二面的部分設(shè)有基準(zhǔn)面(110)， 從所述基準(zhǔn)面到所述突條部的高度由A表示， 在所述突條部與所述超級磨粒層之間的所述第二面的部分設(shè)有距所述基準(zhǔn)面的高度為B的頂部，高度B大于高度A。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的超級磨粒砂輪，其中， 所述突條部的內(nèi)周側(cè)壁面與所述旋轉(zhuǎn)軸大致平行。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的超級磨粒砂輪，其中， 多個(gè)所述突條部設(shè)置在所述超級磨粒層的內(nèi)周側(cè)，在相鄰的所述突條部中，內(nèi)周側(cè)的突條部的距所述基準(zhǔn)面的高度低于外周側(cè)的突條部的距所述基準(zhǔn)面的高度。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的超級磨粒砂輪，其中， 位于最內(nèi)周側(cè)的所述突條部的距所述基準(zhǔn)面的高度為3mm以上。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的超級磨粒砂輪，其中， 所述高度B與所述高度A之差為Imm以上。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的超級磨粒砂輪，其中， 所述突條部為圓環(huán)狀。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的超級磨粒砂輪，其中， 所述突條部具有使磨削液微細(xì)粒子化而使磨削液均勻地?cái)U(kuò)散的功能。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠使磨削液均勻分散且能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)的超級磨粒砂輪。超級磨粒砂輪(1)具備以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)的基體件(10)和與基體件(10)固接的超級磨粒層(20)?；w件(10)具有第一面(201)和位于該第一面(201)的相反側(cè)的第二面(202)。在由超級磨粒層(20)包圍的第二面(202)的部分上設(shè)有朝向遠(yuǎn)離第一面(201)的方向突出的環(huán)狀的第一突條部(121)。在比第一突條部(121)靠內(nèi)側(cè)的第二面(202)設(shè)有基準(zhǔn)面(110)。從基準(zhǔn)面(110)到第一突條部(121)的高度由A表示，在第一突條部(121)與超級磨粒層(20)之間的第二面(202)的部分上設(shè)有距基準(zhǔn)面(110)的高度為B的頂部(114)。高度B大于高度A。
文檔編號B24B55/02GK102712076SQ20108006127
公開日2012年10月3日 申請日期2010年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月13日
發(fā)明者岡西幸緒, 熊澤照之, 石津智廣 申請人:聯(lián)合材料公司