專利名稱：：一種鋁鉬蝕刻液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種鋁鉬蝕刻液，尤其涉及一種用于鋁層和鉬層的蝕刻的鋁鉬蝕刻液。二
背景技術(shù)：
：鋁鉬蝕刻液，本品為無(wú)色透明液體，有酸性氣味，該產(chǎn)品主要用作半導(dǎo)體或FPD面板制程中鋁層和鉬層的蝕刻，目前鋁鉬蝕刻液主要由磷酸、硝酸和醋酸組成；該鋁鉬蝕刻液主要存在以下幾點(diǎn)缺點(diǎn)①鋁鉬蝕刻液蝕刻角度難以控制，無(wú)法滿足不同客戶對(duì)蝕刻角度的需求，使用效果不是很好，影響產(chǎn)品的良率；②鋁鉬蝕刻液對(duì)金屬層的蝕刻量難以控制，無(wú)法滿足不同客戶對(duì)蝕刻角度的需求，容易時(shí)刻過(guò)量，也會(huì)影響到產(chǎn)品的優(yōu)良率。三、技術(shù)內(nèi)容針對(duì)上述缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種蝕刻角度和蝕刻量能滿足客戶要求和提高蝕刻產(chǎn)品優(yōu)良率的鋁鉬蝕刻液。本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容為，一種鋁鉬蝕刻液，其特征是它包括以下重量百分比的組份磷酸6080硝酸110醋酸鈉110非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基苯基醚0.10.5水1030。本發(fā)明的鋁鉬蝕刻液的制備方法為常規(guī)工藝，即為將原料磷酸、硝酸、醋酸鈉、非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基苯基醚和水按比例打入調(diào)配罐中，經(jīng)過(guò)O.5um過(guò)濾器循環(huán)過(guò)濾，表面張力，達(dá)到所需要求；經(jīng)O.2iim的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合液中粒徑大于O.2iim的有害粒子，即得鋁鉬蝕刻液。本發(fā)明的鋁鉬蝕刻液在原有工藝的基礎(chǔ)上，引入了醋酸鈉和聚氧乙烯烷基苯基醚，使其在不影響產(chǎn)品質(zhì)量的前提下，提高了產(chǎn)品的功能性，使其在刻蝕角度、刻蝕量上達(dá)到客戶所需。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點(diǎn)是1、本發(fā)明的鋁鉬蝕刻液引入的醋酸鈉起到了緩沖劑的作用，使刻蝕速度得到控制，從而達(dá)到控制住刻蝕角度的要求；能滿足不同客戶對(duì)刻蝕角度的要求。2、本發(fā)明的鋁鉬蝕刻液中加入了非離子型界面活性劑聚氧乙烯烷基苯基醚，使產(chǎn)品對(duì)金屬層的滲透性提高，從而達(dá)到控制刻蝕量的要求，能滿足不同客戶對(duì)刻蝕量的要求。四具體實(shí)施例方式下面通過(guò)實(shí)施例進(jìn)一步描述本發(fā)明，但未限于所舉的實(shí)施例。濃度為85重量％的磷酸，電子級(jí)，江陰澄星磷化工有限公司生產(chǎn)，其指標(biāo)如表1<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table>表1濃度為70重量％的硝酸，電子級(jí)，江陰市江化微電子材料有限公司生產(chǎn)，其指標(biāo)如表2<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>表2純度為99%的醋酸鈉，優(yōu)等品，無(wú)錫市優(yōu)利森化工產(chǎn)品有限公司生產(chǎn)，其指標(biāo)如表3<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>表3濃度為99重量％的非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基苯基醚，優(yōu)等品，南京威爾化工有限公司，其指標(biāo)如表4<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>表4例1、稱取磷酸72kg，在攪拌下加入硝酸10kg，充分?jǐn)嚢杈鶆?，加入醋酸鈉5kg，循環(huán)攪拌1小時(shí)，加入非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚O.15kg，加水至100kg，循環(huán)攪拌1小時(shí)后，將制得的混合物經(jīng)0.2iim的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合物中粒徑大于0.2iim的有害粒子，即得鋁鉬蝕刻液。例2、稱取磷酸72kg，在攪拌下加入硝酸10kg，充分?jǐn)嚢杈鶆?，加入醋酸鈉5kg，循環(huán)攪拌1小時(shí)，加入非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚0.2kg，加水至100kg，循環(huán)攪拌1小時(shí)后，將制得的混合物經(jīng)0.2iim的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合物中粒徑大于0.2iim的有害粒子，即得鋁鉬蝕刻液。例3、稱取磷酸72kg，在攪拌下加入硝酸10kg，充分?jǐn)嚢杈鶆?，加入醋酸鈉5kg，循環(huán)攪拌1小時(shí)，加入非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚O.3kg，加水至100kg，循環(huán)攪拌1小時(shí)后，將制得的混合物經(jīng)O.2ym的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合物中粒徑大于O.2ym的有害粒子，即得鋁鉬蝕刻液。例4、稱取磷酸72kg，在攪拌下加入硝酸10kg，充分?jǐn)嚢杈鶆颍尤氪姿徕c5kg，循環(huán)攪拌1小時(shí)，加入非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚0.4kg，加水至100kg，循環(huán)攪拌1小時(shí)后，將制得的混合物經(jīng)O.2ym的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合物中粒徑大于O.2ym的有害粒子，即得鋁鉬蝕刻液。權(quán)利要求一種鋁鉬蝕刻液，其特征是它包括以下重量百分比的組份磷酸60～80硝酸1～10醋酸鈉1～10非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基苯基醚0.1～0.5水10～30。全文摘要本發(fā)明涉及一種鋁鉬蝕刻液，其特征是它包括以下重量百分比的組份磷酸60～80、硝酸1～10、醋酸鈉1～10、非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基苯基醚、0.1～0.5、水10～30。本發(fā)明具有蝕刻角度和蝕刻量能滿足客戶要求和提高蝕刻產(chǎn)品優(yōu)良率的優(yōu)點(diǎn)。文檔編號(hào)C23F1/26GK101792907SQ201010139060公開日2010年8月4日申請(qǐng)日期2010年4月1日優(yōu)先權(quán)日2010年4月1日發(fā)明者朱龍,欒成,殷福華,邵勇申請(qǐng)人:江陰市江化微電子材料有限公司