專利名稱：高精度自動翻轉(zhuǎn)移動對準機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種高精度自動翻轉(zhuǎn)移動對準機構(gòu)，是對現(xiàn)有高真空鍍膜設備中聲光器件鍵合裝置的進一步改進。
中國專利號00244712.6公開了一種銦壓焊工藝需要的高精度鍵合裝置。但該鍵合裝置因其結(jié)構(gòu)的限制，鍍膜時需用的電極只能置放在聲光互作用介質(zhì)與壓電換能片之間，因此聲光互作用介質(zhì)與壓電換能片上的膜層不均勻，影響聲光器件的性能和質(zhì)量。
本實用新型的技術(shù)解決方案是高精度自動翻轉(zhuǎn)移動對準機構(gòu)，直流電機通過套筒與螺桿一端連接，螺桿的另一端連接彈簧座的頂板，彈簧固定于頂板與工作板之間，工作板上安裝壓頭，壓頭上固定聲光互作用介質(zhì)，彈簧座的外徑表面與精密導軌精密配合，并沿軸向上下滑動，精密導軌通過支架豎向固定在底座上，其特點在于另一精密導軌橫向安裝在底座上，承載機構(gòu)與精密導軌精密配合，并沿軸向左右滑動，承載機構(gòu)上固定壓電換能片，直流電機通過螺桿連接承載機構(gòu)的一端，承載機構(gòu)的另一端還接有一帶動其翻轉(zhuǎn)回到原位的直流電機。
本實用新型的工作原理是采用直流電機驅(qū)動的承載機構(gòu)實現(xiàn)壓電換能片的自動移動和翻轉(zhuǎn)，使壓電換能片與壓頭上的聲光互作用介質(zhì)在鍍膜時能夠同時朝下，位于同一水平面上，彼此平行，得到完全相同的蒸發(fā)條件，所鍍膜層均勻一致，從而克服了現(xiàn)有技術(shù)中壓電換能片與聲光互作用介質(zhì)由于分別位于上方和下方而導致所鍍膜層不均勻的缺陷，并且當鍍膜完成后，壓電換能片隨承載板自動翻轉(zhuǎn)180°而向上，并隨承載機構(gòu)自動沿底座上的精密導軌移動到壓頭下，自動對準聲光互作用介質(zhì)，通過逐漸加壓，完成壓電換能片與聲光互作用介質(zhì)的壓合。
本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點是能夠自動對準聲光互作用介質(zhì)，通過逐漸加壓，完成壓電換能片與聲光互作用介質(zhì)的壓合，因此該自動翻轉(zhuǎn)移動對準機構(gòu)提高了工作效率；此外，本實用新型具有高精度的精密導軌和螺桿，能夠保證壓電換能片無論在鍍膜和壓合時都能與聲光互作用介質(zhì)的平行度被控制在1.2μm內(nèi)，因此壓焊牢、粘接均勻，從而保證了所制作的聲光器件具有高性能、高質(zhì)量。
如圖2、圖3所示，鍍完膜后，壓頭8及聲光互作用介質(zhì)9上升，承載機構(gòu)15沿精密導軌14滑動到左端，承載機構(gòu)15由與其連接的另一直流電機19帶動翻轉(zhuǎn)回到原位，其上固定的壓電換能片16翻轉(zhuǎn)向上，與壓頭8上的聲光互作用介質(zhì)9相對平行，位于同一中心軸線，上下對準；此時，直流電機2帶動彈簧座4下降，通過彈簧6對壓頭8逐漸加壓，對聲光互作用介質(zhì)9與壓電換能片16進行鍵合，直到壓頭8達到鍵合所需壓力，直流電機2停止轉(zhuǎn)動，整個鍵合工藝過程完成。
如圖4所示，直流電機2、17、19的直流電機驅(qū)動器控制原理是相同的，分別由三套獨立電路控制。直流電機2按下正轉(zhuǎn)按扭，帶動安裝套筒1正向轉(zhuǎn)動，使螺桿3、彈簧座4、壓頭8上升，直到套筒1碰到行程開關，電機2停止正向轉(zhuǎn)動；按下反轉(zhuǎn)按扭，電機2帶動安裝套筒1反向轉(zhuǎn)動，使螺桿3、彈簧座4壓頭8下降，直到壓頭8碰到行程開關，壓頭8上固定的聲光介質(zhì)9與承載機構(gòu)15上的壓電換能片16位于同一水平面，電機2停止反向轉(zhuǎn)動。直流電機17按下正轉(zhuǎn)按鈕，通過螺桿18正向轉(zhuǎn)動，帶動承載機構(gòu)15沿精密導軌14向右滑動，直到螺桿18碰到行程開關，電機17停止正向轉(zhuǎn)動；按下反轉(zhuǎn)按扭，電機17通過螺桿18反向轉(zhuǎn)動，帶動承載機構(gòu)15沿精密導軌14向左滑動，直到螺桿18碰到行程開關，承載機構(gòu)15頂端的扇型齒輪與電機19帶動的扇型齒輪嚙合，電機17停止反向轉(zhuǎn)動。直流電機19按下正轉(zhuǎn)按鈕，通過扇型齒輪帶動承載機構(gòu)15正向轉(zhuǎn)動，直到承載機構(gòu)15碰到行程開關，承載機構(gòu)15上固定的壓電換能片16處于向下位置，電機19停止正向轉(zhuǎn)動；按下反轉(zhuǎn)按鈕，電機19通過扇型齒輪帶動承載機構(gòu)15反向轉(zhuǎn)動，直到承載機構(gòu)15碰到行程開關，承載機構(gòu)15上固定的壓電換能片16處于向上位置與聲光互作用介質(zhì)對準，電機19停止反向轉(zhuǎn)動。
權(quán)利要求1.高精度自動翻轉(zhuǎn)移動對準機構(gòu)，直流電機(2)通過套筒(1)與螺桿(3)一端連接，螺桿(3)的另一端連接彈簧座(4)的頂板(5)，彈簧(6)固定于頂板(5)與工作板(7)之間，工作板(7)上安裝壓頭(8)，壓頭(8)上固定聲光互作用介質(zhì)(9)，彈簧座(4)的外徑表面與精密導軌(10)精密配合，并沿軸向上下滑動，精密導軌(10)通過支架(11)和支架(12)豎向固定在底座(13)上，其特征在于底座13上及支架(11)和支架(12)之間橫向安裝另一精密導軌(14)，承載機構(gòu)(15)與精密導軌(14)精密配合，并沿軸向左右滑動，承載機構(gòu)(15)上固定壓電換能片(16)，直流電機(17)通過螺桿(18)連接承載機構(gòu)(15)的一端，承載機構(gòu)(15)的另一端還接有一帶動其翻轉(zhuǎn)回到原位的直流電機(19)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度自動翻轉(zhuǎn)移動對準機構(gòu)，其特征在于承載機構(gòu)(15)采用承載板。
專利摘要高精度自動翻轉(zhuǎn)移動對準機構(gòu)，直流電機通過套筒與螺桿一端連接，螺桿的另一端連接彈簧座的頂板，彈簧固定于頂板與工作板之間，工作板上安裝壓頭，其上固定聲光互作用介質(zhì)，彈簧座的外徑表面與精密導軌精密配合，并沿軸向上下滑動，精密導軌通過支架固定在底座上，其特點在于另一精密導軌橫向安裝在底座上，承載機構(gòu)與精密導軌精密配合，并沿軸向左右滑動，承載機構(gòu)上固定壓電換能片，直流電機通過螺桿連接承載機構(gòu)的一端，承載機構(gòu)的另一端還接有另一直流電機。本實用新型自動對準聲光互作用介質(zhì)，提高了工作效率；而且在鍍膜和壓合時都能與聲光互作用介質(zhì)的平行度控制在1.2μm內(nèi)，因此壓焊牢、粘接均勻，保證了所制作的聲光器件具有高性能、高質(zhì)量。
文檔編號C23C14/24GK2586703SQ0228877
公開日2003年11月19日 申請日期2002年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月9日
發(fā)明者宗德蓉, 羅斌, 宮杰, 張遠華 申請人:中國科學院光電技術(shù)研究所