一種用于激光切割設(shè)備的防靜電吸附平臺的制作方法
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及吸附平臺,特別是涉及一種用于激光切割設(shè)備的防靜電吸附平臺O
【【背景技術(shù)】】
[0002]激光加工中有多種聚焦方式,常用的有聚焦鏡直接聚焦和振鏡加平場鏡兩種,其中振鏡加平場鏡的組合方式加工速度快、方法靈活等優(yōu)點(diǎn)而得到廣泛的應(yīng)用。其對于激光源無特殊要求,可以搭載各種波長、脈寬類型的激光器。加工材料主要針對于較薄的平板型材料,包括聚合物薄膜、玻璃、不銹鋼板、金屬薄膜薄板等。
[0003]如圖1所示,為振鏡加平場鏡式激光切割設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。主要結(jié)構(gòu)包括機(jī)臺
1、運(yùn)動平臺2、吸附平臺3、激光器及光路4(擴(kuò)束鏡、反射鏡、振鏡、平場鏡等)四個部分。其中,吸附平臺3用于將待切割的材料放置其上,利用吸氣裝置產(chǎn)生真空負(fù)壓來吸附固定材料,然后利用激光聚焦于待切割的材料進(jìn)行切割。
[0004]如圖2和3所示,分別為激光切割設(shè)備的俯視示意圖和側(cè)視示意圖。吸附平臺包括外圍支撐板302和上方鏤空板301。外圍支撐板302內(nèi)部為空腔,通過通氣口 7連接外部的抽氣管道,在內(nèi)部空腔內(nèi)形成負(fù)壓。鏤空板301為開設(shè)有圓形、六邊形或者矩形形狀的通孔的平板。在支撐板302上覆蓋鏤空板301用來支撐被切割材料9。吸附平臺的工作原理通過通氣口 7連接外部的抽氣管道、吸氣系統(tǒng),通過吸氣系統(tǒng)來調(diào)節(jié)吸力,產(chǎn)生真空負(fù)壓來達(dá)到吸附固定被切割材料9的目的。
[0005]該吸附平臺的一個缺點(diǎn)是:激光切割設(shè)備工作過程中,由于材料的取放、吹氣等環(huán)節(jié)會造成吸附平臺的靜電積累,這樣當(dāng)被切割材料9為貼裝器件的柔性電路板(FPC)時,會對FPC進(jìn)行靜電釋放而對FPC上已貼裝的各類電子元器件造成損傷,使產(chǎn)品報廢。
【【實(shí)用新型內(nèi)容】】
[0006]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:彌補(bǔ)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提出一種用于激光切割設(shè)備的防靜電吸附平臺,切割柔性電路板等電子元器件時,不會對其造成損傷。
[0007]本實(shí)用新型的技術(shù)問題通過以下的技術(shù)方案予以解決:
[0008]—種用于激光切割設(shè)備的防靜電吸附平臺,包括平板和支撐板;所述平板為其上開設(shè)有多個圓孔的防靜電板,且所述防靜電板通過導(dǎo)線接地;所述平板位于所述支撐板的上方,所述支撐板的側(cè)壁和/或底部開設(shè)有供連接抽氣管道的通氣口結(jié)構(gòu)。
[0009]優(yōu)選的技術(shù)方案中,
[0010]所述防靜電板上的圓孔的直徑在0.5?I毫米,多個圓孔在所述防靜電板上陣列排布,陣列排布的行間距和列間距均為3?5毫米。
[0011]所述防靜電吸附平臺還包括格柵結(jié)構(gòu),所述格柵結(jié)構(gòu)位于所述支撐板的內(nèi)部空腔中;所述格柵結(jié)構(gòu)包括橫豎交錯排列的多個金屬片結(jié)構(gòu),所述金屬片結(jié)構(gòu)為其上設(shè)置有多個孔和溝槽的金屬片,所述溝槽設(shè)置在兩個孔之間,用于供兩個金屬片結(jié)構(gòu)相互嵌合。
[0012]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)對比的有益效果是:
[0013]本實(shí)用新型的吸附平臺,上部平板采用防靜電材料制成的防靜電板,防靜電板通過導(dǎo)線接地,這樣,防靜電板可防止板上產(chǎn)生靜電,也即可防止被吸附的切割材料上產(chǎn)生靜電。即便防靜電板上產(chǎn)生少數(shù)靜電,也可通過導(dǎo)線釋放到地,不會對被切割材料進(jìn)行靜電釋放。這樣,當(dāng)切割柔性電路板等電子元器件時,不會對電子元器件產(chǎn)生靜電釋放,也就不會對其造成損傷。進(jìn)一步地,防靜電板上的圓孔的孔徑為0.5?1mm,多個圓孔陣列排布的孔間距為3?5mm,這樣可產(chǎn)生20?30N的吸附力,從而牢固吸附電子元器件。
【【附圖說明】】
[0014]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的振鏡加平場鏡式激光切割設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中的振鏡加平場鏡式激光切割設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖
[0016]圖3是現(xiàn)有技術(shù)中的振鏡加平場鏡式激光切割設(shè)備的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017]圖4是本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】的吸附平臺的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0018]圖5是本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】的吸附平臺的平板的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0019]圖6是本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】的吸附平臺中的柵格結(jié)構(gòu)的示意圖;
[0020]圖7是本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】的吸附平臺中的金屬片結(jié)構(gòu)的示意圖;
[0021]圖8是圖7所示的金屬片結(jié)構(gòu)交錯排列形成柵格結(jié)構(gòu)的狀態(tài)示意圖。
【【具體實(shí)施方式】】
[0022]下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】并對照附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0023]如圖4所示,為本【具體實(shí)施方式】的吸附平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。吸附平臺包括平板100、支撐板102。平板100為其上開設(shè)有多個圓孔的防靜電板,例如PVC、PET、尼龍等聚合物類的防靜電板材,且防靜電板通過導(dǎo)線106接地。本【具體實(shí)施方式】中,通過連接吸附平臺下方的運(yùn)動平臺的金屬外殼21實(shí)現(xiàn)接地。在其他方式中,也可通過連接其它組件的金屬材質(zhì)部分實(shí)現(xiàn)接地,圖1中所示的接地情形并不是唯一情形。平板100位于支撐板102的上方,支撐板102的側(cè)壁和/或底部開設(shè)有供連接抽氣管道的通氣口結(jié)構(gòu)7。其中,通氣口結(jié)構(gòu)7可以設(shè)定在吸附平臺的側(cè)面或底面,數(shù)量可以為一個到多個。
[0024]優(yōu)選地,如圖5所示,平板100上的圓孔的直徑在0.5?I毫米,多個圓孔在防靜電上陣列排布,陣列排布的列間距,也即橫向上相鄰兩個圓孔的圓心距離D1,陣列排布的行間距,也即縱向上相鄰兩個圓孔的圓心距離D2均為3?5毫米。按照該尺寸進(jìn)行設(shè)置時,吸附平臺可產(chǎn)生大概20?30N的吸附力,從而即便吸附某些表面有所翹曲的元器件時,也能牢固吸附。需說明的是,除按照圖中所示方陣排布的形式之外,任何其它點(diǎn)陣排布的形式均可用于此處,只要行間距和列間距滿足上述范圍要求,例如圓孔排布后外圍形成菱形形狀,內(nèi)部圓孔在橫向或縱向上錯開排列的點(diǎn)陣形式也可用于此處。另外,防靜電板的表面粗糙度小于100微米,從而防靜電板較為平整,使切割材料放置其