00的焊接面進(jìn)行摩擦之后，所述制造方法還包括:利用超聲波處理所述靶材100，使銦焊料101進(jìn)一步與靶材100浸潤(rùn)。
[0063]可選的，在利用超聲波處理所述靶材的步驟中，采用超聲波振蕩器進(jìn)行所述超聲波處理，超聲波振蕩器的功率在6KW到1KW的范圍內(nèi)，輸出頻率在25Hz?35Hz的范圍內(nèi)，利用超聲波處理所述靶材的時(shí)間在I到3分鐘的范圍內(nèi)。但是本發(fā)明對(duì)超聲波振蕩器的功率、輸出頻率和處理時(shí)間不做限制。
[0064]對(duì)通過超聲波來(lái)加強(qiáng)浸潤(rùn)效果，即通過超聲波發(fā)生設(shè)備生成超聲波，將所生成的超聲波打在所述靶材100的焊接面和熔化后的所述銦焊料101上，使它們的原子發(fā)生振動(dòng)。這樣，所述靶材100的焊接面的表面能量提高，并且所述靶材100的焊接面上的原子和熔融后的所述銦焊料101的原子發(fā)生振動(dòng)，使得它們能夠更好的相互擴(kuò)散進(jìn)入對(duì)方，達(dá)到表面浸潤(rùn)的效果。此外，超聲波震動(dòng)能夠?qū)熀噶?01中的氧化物清理出來(lái)，減少焊接過程中的雜質(zhì)。
[0065]但是本發(fā)明對(duì)是否利用超聲波處理所述靶材100不做限制，對(duì)利用超聲波處理所述靶材100的次數(shù)也不做限制，可以進(jìn)行一到三次利用超聲波處理所述靶材100的步驟。
[0066]還需要說(shuō)明的是，本發(fā)明對(duì)背板200的焊接面表面浸潤(rùn)處理和靶材100的焊接面表面浸潤(rùn)處理的先后順序不做限制，可以先后進(jìn)行，或者同時(shí)進(jìn)行，即對(duì)步驟S2和步驟S3的順序不做限制。
[0067]還需要說(shuō)明的是，在其他實(shí)施例中，在對(duì)背板200和靶材100的焊接面表面浸潤(rùn)處理過程中，還可以將固態(tài)的銦焊料放置于背板200或靶材100上，然后加熱所述背板200或靶材100，以使固態(tài)的銦焊料熔融。
[0068]參考圖5，執(zhí)行步驟S4，將完成表面浸潤(rùn)處理后的所述靶材100的焊接面與所述背板200的焊接面焊接在一起。
[0069]本實(shí)施例中，利用所述銦焊料101將所述靶材100的焊接面與所述背板200的焊接面焊接在一起，可以通過將所述靶材100的焊接面向下扣在所述背板200的焊接面上的方式，或者將所述背板焊接面向下扣在所述靶材100上的方式，使得所述靶材100的焊接面與所述背板200的焊接面焊接在一起。
[0070]在將所述靶材100的焊接面至所述背板200的焊接面之后，對(duì)它們施加壓力，使得焊接更加牢固。
[0071]由于在實(shí)施例中，銦焊料101與靶材100的焊接面能夠充分浸潤(rùn)，在將靶材100與背板200的焊接面焊接之后，靶材100與背板200的焊接面結(jié)合性較強(qiáng)，不容易產(chǎn)生缺陷，并且通過實(shí)踐證明，利用本發(fā)明所提供的靶材組件的制造方法，靶材與背板的拉伸力達(dá)到
9.0-12MPa，表明本發(fā)明所提供的靶材組件的制造方法所制作的靶材組件焊接牢固，能夠滿足磁控濺射工藝對(duì)靶材的要求。
[0072]而且，在本實(shí)施例中，靶材100與背板200均采用銦焊料101浸潤(rùn)，在靶材100與背板200的焊接過程中，靶材100上的銦焊料101與背板200上的銦焊料101結(jié)合性能較強(qiáng)，銦焊料的總使用量較現(xiàn)有技術(shù)更少，將靶材100與背板200的焊接面焊接之后，不容易產(chǎn)生缺陷。本發(fā)明焊接方法沒有引入其他焊料，不會(huì)降低銦焊料的純度，回收的銦焊料可以全部再次使用，提高了銦焊料的回收純度。
[0073]此外，靶材100與背板200均采用銦焊料101浸潤(rùn)，由于銦焊料101焊接工藝的溫度較低，氧化較少，有利于降低焊接過程的能耗、節(jié)約成本，并提高焊接后靶材組件的質(zhì)量。
[0074]以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例，目的是為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好的理解本發(fā)明的精神，然而本發(fā)明的保護(hù)范圍并不以該具體實(shí)施例的具體描述為限定范圍，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神的范圍內(nèi)，可以對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做修改，而不脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種靶材組件的制造方法，其特征在于，包括: 提供靶材和背板； 利用銦焊料對(duì)背板的焊接面進(jìn)行表面浸潤(rùn)處理； 在靶材的焊接面涂布銦焊料，采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦，以進(jìn)行表面浸潤(rùn)處理； 將完成表面浸潤(rùn)處理后的所述靶材的焊接面與所述背板的焊接面焊接在一起。2.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，在靶材的焊接面涂布銦焊料，采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦，以進(jìn)行表面浸潤(rùn)處理的步驟包括:在靶材的焊接面涂布銦焊料之后，采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦之前，加熱所述靶材，使靶材上的銦焊料熔融。3.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，在采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦的步驟中，使革E材的焊接面的粗糙度達(dá)到1.6微米到2.4微米的范圍。4.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦的步驟中，采用鋼絲毛刷將靶材的焊接面摩擦二到八次。5.如權(quán)利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述鋼絲毛刷包括粗鋼絲毛刷和細(xì)鋼絲毛刷，粗鋼絲毛刷的刷毛直徑在0.1mm到0.3mm的范圍內(nèi)；細(xì)鋼絲毛刷的刷毛直徑在0.0lmm到0.03mm的范圍內(nèi)； 采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦的步驟中，先采用粗鋼絲毛刷將靶材的焊接面摩擦三到四次，再采用細(xì)鋼絲毛刷將靶材的焊接面摩擦二到三次。6.如權(quán)利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述靶材的焊接面為矩形，矩形的兩邊沿第一方向，另兩邊沿第二方向，在采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦的步驟中，使鋼絲毛刷沿焊接面的第一方向往復(fù)摩擦，并且在往復(fù)摩擦的過程中使鋼絲毛刷沿第二方向移動(dòng)。7.如權(quán)利要求2所述的制造方法，其特征在于，加熱所述靶材的步驟包括:對(duì)所述靶材的加熱溫度控制于232°C?250°C之間。8.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，在采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦之后，利用超聲波處理所述靶材，使銦焊料進(jìn)一步與靶材浸潤(rùn)。9.如權(quán)利要求8所述的制造方法，其特征在于，在利用超聲波處理所述靶材的步驟中，采用超聲波振蕩器進(jìn)行所述超聲波處理，超聲波振蕩器的功率在6KW到1KW的范圍內(nèi)，輸出頻率在25Hz?35Hz的范圍內(nèi)。10.如權(quán)利要求8所述的制造方法，其特征在于，在利用超聲波處理所述靶材的步驟中，利用超聲波處理所述靶材的時(shí)間在I到3分鐘的范圍內(nèi)。11.如權(quán)利要求8所述的制造方法，其特征在于，進(jìn)行一到三次利用超聲波處理所述靶材的步驟。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種靶材組件的制造方法，包括：利用銦焊料對(duì)背板的焊接面進(jìn)行表面浸潤(rùn)處理；在靶材的焊接面涂布銦焊料，采用鋼絲毛刷對(duì)靶材的焊接面進(jìn)行摩擦，以進(jìn)行表面浸潤(rùn)處理；將完成表面浸潤(rùn)處理后的所述靶材的焊接面與所述背板的焊接面焊接在一起。通過采用鋼絲毛刷摩擦所述靶材的焊接面的步驟，能夠去除靶材的焊接面上的金屬氧化物，并使得靶材的焊接面粗糙度增大，進(jìn)而銦焊料與靶材的焊接面能夠充分浸潤(rùn)，在將靶材與背板的焊接面焊接之后，靶材與背板的焊接面結(jié)合性較強(qiáng)，不容易產(chǎn)生缺陷靶材與背板均采用銦焊料浸潤(rùn)，銦焊料與銦焊料的結(jié)合性能較強(qiáng)，銦焊料的總使用量較現(xiàn)有技術(shù)更少，并提高了銦焊料的回收純度。
【IPC分類】B23K1/19, B23K1/08
【公開號(hào)】CN105618886
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410588843
【發(fā)明人】姚力軍, 潘杰, 相原俊夫, 大巖一彥, 王學(xué)澤, 李健成, 周偉君
【申請(qǐng)人】寧波江豐電子材料股份有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2014年10月28日