靶材組件的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域，尤其涉及一種靶材組件的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工業(yè)中，靶材組件由符合濺射性能的靶材和具有一定強(qiáng)度的背板構(gòu)成。背板可以在靶材組件裝配至濺射基臺中起到支撐作用，并具有傳導(dǎo)熱量的功效。
[0003]通常靶材和背板以焊接方式形成靶材組件。靶材組件通常尺寸較大，若采用硬度較高的傳統(tǒng)錫系焊料進(jìn)行焊接，容易發(fā)生變形且很難校正，因此LCD靶材組件通常采用熔點(diǎn)與硬度都較低的純銦作為焊料。
[0004]IXD靶材組件中，根據(jù)濺射材料的不同，通常會使用鋁靶材、銅靶材和鉬靶材等，其背板材質(zhì)通常都為銅，較容易采用焊料浸潤。鋁靶材、鉬靶材與銦直接浸潤難度很大，所以目前行業(yè)中一般采用兩種方法進(jìn)行焊接，其一是先在鋁靶材坯料焊接面進(jìn)行鍍鎳(NicklePlating)處理，即在焊接前通過電鍍或化學(xué)方法在鋁靶材坯料上鍍上一層鎳，然后再用銦進(jìn)行浸潤及焊接處理。其二是先用錫鋅焊錫浸潤濺射靶材焊接面，在對背板和靶材進(jìn)行焊接之前，在已經(jīng)由銦焊料浸潤過的背板上再涂布一層純銦，然后將對背板和靶材焊接。
[0005]但是這兩種方法在焊接過程中都加入了純銦焊料之外的其他焊料，一方面其他焊料與純銦焊料的結(jié)合性能不如純銦焊料和純銦焊料的結(jié)合性能，使得焊接后背板和靶材之間容易出現(xiàn)缺陷，尤其在尺寸較大的靶材中缺陷面積較大；另一方面在回收純銦焊料(價(jià)格昂貴)的過程中，其他焊料與純銦焊料摻雜在一起，使得純銦焊料的回收難度較大，回收率較低

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為解決現(xiàn)有靶材在與背板焊接工藝中，背板和靶材之間容易出現(xiàn)缺陷，并且銦焊料的回收難度較大的問題。
[0007]為了提高靶材與背板焊接面的結(jié)合性，并提高銦焊料的回收純度，本發(fā)明提供了一種靶材組件的制造方法，包括:
[0008]提供靶材和背板；
[0009]利用銦焊料對背板的焊接面進(jìn)行表面浸潤處理；
[0010]在靶材的焊接面涂布銦焊料，采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦，以進(jìn)行表面浸潤處理；
[0011]將完成表面浸潤處理后的所述靶材的焊接面與所述背板的焊接面焊接在一起。
[0012]可選的，在靶材的焊接面涂布銦焊料，采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦，以進(jìn)行表面浸潤處理的步驟包括:在靶材的焊接面涂布銦焊料之后，采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦之前，加熱所述靶材，使靶材上的銦焊料熔融。
[0013]可選的，在采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦的步驟中，使靶材的焊接面的粗糙度達(dá)到1.6微米到2.4微米的范圍。
[0014]可選的，采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦的步驟中，采用鋼絲毛刷將靶材的焊接面摩擦二到八次。
[0015]可選的，所述鋼絲毛刷包括粗鋼絲毛刷和細(xì)鋼絲毛刷，粗鋼絲毛刷的刷毛直徑在
0.1mm到0.3mm的范圍內(nèi)；細(xì)鋼絲毛刷的刷毛直徑在0.0lmm到0.03mm的范圍內(nèi)；采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦的步驟中，先采用粗鋼絲毛刷將靶材的焊接面摩擦三到四次，再采用細(xì)鋼絲毛刷將靶材的焊接面摩擦二到三次。
[0016]可選的，所述靶材的焊接面為矩形，矩形的兩邊沿第一方向，另兩邊沿第二方向，在采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦的步驟中，使鋼絲毛刷沿焊接面的第一方向往復(fù)摩擦，并且在往復(fù)摩擦的過程中使鋼絲毛刷沿第二方向移動。
[0017]可選的，加熱所述靶材的步驟包括:對所述靶材的加熱溫度控制于232°C?250°C之間。
[0018]可選的，在采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦之后，利用超聲波處理所述靶材，使銦焊料進(jìn)一步與革E材浸潤。
[0019]可選的，在利用超聲波處理所述靶材的步驟中，采用超聲波振蕩器進(jìn)行所述超聲波處理，超聲波振蕩器的功率在6KW到1KW的范圍內(nèi)，輸出頻率在25Hz?35Hz的范圍內(nèi)。
[0020]可選的，在利用超聲波處理所述靶材的步驟中，利用超聲波處理所述靶材的時(shí)間在I到3分鐘的范圍內(nèi)。
[0021]可選的，進(jìn)行一到三次利用超聲波處理所述靶材的步驟。
[0022]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的靶材組件的制造方法具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0023]利用銦焊料對背板的焊接面進(jìn)行表面浸潤處理；在靶材的焊接面涂布銦焊料，采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦，以進(jìn)行表面浸潤處理；將完成表面浸潤處理后的所述靶材的焊接面與所述背板的焊接面焊接在一起。通過采用鋼絲毛刷摩擦所述靶材的焊接面的步驟，能夠去除靶材的焊接面上的金屬氧化物，并使得靶材的焊接面粗糙度增大，進(jìn)而使銦焊料與靶材的焊接面能夠充分浸潤，在將靶材與背板的焊接面焊接之后，靶材與背板的焊接面結(jié)合性較強(qiáng)，不容易產(chǎn)生缺陷，本發(fā)明所提供的靶材組件的制造方法中，靶材與背板均采用銦焊料浸潤，銦焊料與銦焊料的結(jié)合性能較強(qiáng)，銦焊料的總使用量較現(xiàn)有技術(shù)更少，將靶材與背板的焊接面焊接之后，不容易產(chǎn)生缺陷，并提高了銦焊料的回收純度。
[0024]進(jìn)一步可選的，在采用鋼絲毛刷摩擦所述靶材的焊接面的步驟之后，將所述靶材的焊接面與所述背板的焊接面焊接在一起之前，利用超聲波處理所述靶材的焊接面，能夠加強(qiáng)銦焊料與焊接面的浸潤效果。
【附圖說明】
[0025]圖1為本發(fā)明靶材組件的制造方法的流程圖；
[0026]圖2至圖5為本發(fā)明靶材組件的制造方法一實(shí)施例各步驟的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]如【背景技術(shù)】所述，現(xiàn)有采用銦焊料的靶材焊接工藝中，背板和靶材之間容易出現(xiàn)缺陷，并且銦焊料的回收難度較大。
[0028]本發(fā)明利用銦焊料對背板的焊接面進(jìn)行表面浸潤處理；在靶材的焊接面涂布銦焊料，采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦，以進(jìn)行表面浸潤處理；將完成表面浸潤處理后的所述靶材的焊接面與所述背板的焊接面焊接在一起。通過采用鋼絲毛刷摩擦所述靶材的焊接面的步驟，能夠去除靶材的焊接面上的金屬氧化物，并使得靶材的焊接面粗糙度增大，進(jìn)而銦焊料與靶材的焊接面能夠充分浸潤，在將靶材與背板的焊接面焊接之后，靶材與背板的焊接面結(jié)合性較強(qiáng)，不容易產(chǎn)生缺陷，本發(fā)明所提供的靶材組件的制造方法，靶材與背板均采用銦焊料浸潤，銦焊料與銦焊料的結(jié)合性能較強(qiáng)，銦焊料的總使用量較現(xiàn)有技術(shù)更少，將靶材與背板的焊接面焊接之后，不容易產(chǎn)生缺陷，并提高了銦焊料的回收純度。
[0029]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。
[0030]請參考圖1，圖1為本發(fā)明所提供的靶材組件的制造方法的示意圖。本發(fā)明所提供的靶材組件的制造方法包括以下基本步驟:
[0031 ] 步驟S1:提供靶材和背板；
[0032]步驟S2:利用銦焊料對背板的焊接面進(jìn)行表面浸潤處理；
[0033]步驟S3:在靶材的焊接面涂布銦焊料，采用鋼絲毛刷對靶材的焊接面進(jìn)行摩擦，以進(jìn)行表面浸潤處理；
[0034]步驟S4:將完成表面浸潤處理后的所述靶材的焊接面與所述背板的焊接面焊接在一起。
[0035]下面將用具體的實(shí)施例對本發(fā)明做具體的描述如下:
[0036]首先執(zhí)行步驟S1:提供靶材和背板。
[0037]本實(shí)施例中，所述靶材應(yīng)用于LCD生產(chǎn)工藝中，所述