本實用新型公開了一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，尤其是一種基于特種氣體保護或真空條件下的激光焊接封裝裝置。

背景技術(shù)：

當前，半導(dǎo)體器件、集成電路、光電器件等特殊零部件進行激光焊接封裝作業(yè)時，焊接材料暴露在空氣中，在高溫條件下特別容易氧化，造成器件出現(xiàn)氣孔、夾渣、裂紋、焊接強度低等焊接缺陷，導(dǎo)致器件氣密性差、強度低、不耐沖擊等不合格率飆升，特別是不耐沖擊缺陷將造成高馬赫飛行的器件發(fā)生損壞，造成重大的安全事故和財產(chǎn)損失，目前國內(nèi)普遍采用的真空手套箱進行保護焊接作業(yè)，但此種方案激光器需要集成在手套箱里，根本無法或難以觀察作業(yè)過程，造成操作工藝性極差，鑒于此，市場急需一種能夠在真空條件下或在特殊氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，具備良好人機環(huán)境和柔性化的設(shè)備，滿足高端器件特別是航空航天高速飛行器專用器件的需求。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對原有技術(shù)中的不足之處，本實用新型的目的在于提供一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，激光透過激光視窗在環(huán)境倉里進行作業(yè)，可在真空和任意氣體組分下作業(yè)，解決了材料氧化、氣密性差、焊接強度差等焊接和產(chǎn)品缺陷。

為解決現(xiàn)有的問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是：提供一種基于氣氛保護條件下的激光焊接封裝裝置，其特征在于：真空獲得系統(tǒng)集成在移動小車上，由前級真空泵、主泵、壓差閥、低閥、預(yù)閥、主閥、三通管道、過渡管道、真空壓力表、低真空測量傳感器和其他管道組成，真空泵均為無油真空泵，真空管道采用SUS304內(nèi)外拋光管構(gòu)成，真空系統(tǒng)通過SUS304柔性波紋管與環(huán)境倉相連；環(huán)境倉由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學拋光工藝，漏率優(yōu)于1X10^-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔；環(huán)境倉頂部裝有激光視窗，激光視窗上鍍有抗激光耐損傷薄膜；環(huán)境倉上裝有壓力變送器和充氣閥門組成充氣系統(tǒng)，頂部裝有泄壓閥，側(cè)面裝有低真空測量傳感器、高真空測量傳感器，所有過流部件的密封均采用氟橡膠膠圈真空密封。

優(yōu)選的，真空泵均為無油真空泵，真空管道采用SUS304內(nèi)外拋光管構(gòu)成，真空系統(tǒng)通過SUS304柔性波紋管與環(huán)境倉相連。

優(yōu)選的，環(huán)境倉由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學拋光工藝，漏率優(yōu)于1X10^-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔。

優(yōu)選的，環(huán)境倉頂部裝有激光視窗，激光視窗上鍍有抗激光耐損傷薄膜。

優(yōu)選的，環(huán)境倉上裝有壓力變送器和充氣閥門，頂部裝有泄壓閥，側(cè)面裝有低真空測量傳感器和高真空測量傳感器。

發(fā)明的有益效果：本實用新型由于采用了上述技術(shù)，與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果：解決了空氣中器件焊接的工藝和產(chǎn)品缺陷；人機界面和操作工藝性遠優(yōu)于現(xiàn)有設(shè)備；激光器放置在設(shè)備外能夠顯著縮小整機體積，減少工藝開發(fā)難度；環(huán)境倉能夠固定在任意激光焊接設(shè)備上，設(shè)備功能更多樣化和柔性化。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-移動小車；2-環(huán)境倉；3-激光視窗；4-前級真空泵；5-壓差閥；6-三通；7-真空壓力表；8-低閥；9-預(yù)閥；10-低真空測量傳感器；11-主泵；12-主閥；13-過渡管道；14-不銹鋼波紋管；15-充氣閥；16-壓力變送器；17-泄壓閥；18-低真空測量傳感器；19-高真空測量傳感器；20-固定輪。

具體實施方式

真空獲得系統(tǒng)集成在移動小車（1）上，由前級真空泵（4）、主泵（11）、壓差閥（5）、低閥（8）、預(yù)閥（9）、主閥（12）、三通管道（6）、過渡管道（13）、真空壓力表（7）、低真空測量傳感器（10）和其他管道組成，真空泵均為無油真空泵，真空管道采用SUS304內(nèi)外拋光管構(gòu)成，真空系統(tǒng)通過SUS304柔性波紋管（14）與環(huán)境倉（2）相連，對環(huán)境倉抽真空，可獲得真空；環(huán)境倉（2）上裝有壓力變送器（15）和充氣閥門（16），根據(jù)焊接工藝需求充入特殊氣體進入環(huán)境倉（2），可提供特種氣體保護作業(yè)環(huán)境；環(huán)境倉（2）由SUS304不銹鋼制造，輔以電化學拋光工藝，漏率優(yōu)于1X10^-9Pa.L/S，底部有中心定位銷孔，有固定螺栓孔，精確定位在激光焊接設(shè)備的工作臺上；環(huán)境倉（2）頂部裝有激光視窗（3），激光視窗（3）上鍍有抗激光耐損傷薄膜，激光焊接裝置的激光透過激光視窗對環(huán)境倉（2）中的工件進行封裝作業(yè)；封裝作業(yè)結(jié)束后打開頂部泄壓閥（17）進行環(huán)境倉（2）內(nèi)外壓差平衡；環(huán)境倉（2）側(cè)面裝有低真空測量傳感器（18）、高真空測量傳感器（19）、壓力變送器（15），對真空環(huán)境和特種氣氛寶華環(huán)境的壓力進行精密測量和控制，所有過流部件的密封均采用氟橡膠膠圈真空密封。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實用新型的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。