激光切割真空吸附平臺的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種激光切割真空吸附平臺，該平臺包括真空吸附平臺組件；所述真空吸附平臺組件的吸附平臺過渡連接板上加工有與旋轉氣管接頭連接的螺紋孔；吸盤連接座位于吸附平臺過渡連接板之上，兩者之間帶有空腔，且兩者接合面處密封；吸盤連接座上表面加工有相互交錯的氣道；真空吸盤位于吸盤連接座之上，其下表面的加強筋支撐于吸盤連接座的上表面，兩者接合面處密封；吸盤連接座上分布有多個將氣道與空腔連通的真空孔；真空吸盤的上端面加工有網(wǎng)格狀溝槽，將整個真空吸盤的上端面分割成行列排布的方塊，各方塊處加工有垂直方向的吸附透孔。本發(fā)明能夠實現(xiàn)對切割工件切割前、切割過程中、以及切割后產(chǎn)品的吸附，保證切割后產(chǎn)品的位置精度。
【專利說明】激光切割真空吸附平臺

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種激光切割真空吸附平臺。

【背景技術】
[0002] 激光切割是一門發(fā)展極快的新技術，已成為發(fā)展新興產(chǎn)業(yè)，改造傳統(tǒng)制造業(yè)的關 鍵技術之一，是激光應用最有發(fā)展前途的領域。激光切割以其切割范圍廣、切割速度高、 切縫窄、切割質量好、熱影響區(qū)小、加工柔性大等優(yōu)點，在現(xiàn)代工業(yè)中等到了極為廣泛的應 用，激光切割技術也成為激光加工技術最為成熟的技術之一。隨著激光加工技術的不斷發(fā) 展，激光加工除了在傳統(tǒng)行業(yè)應用之外，越來越多的應用到更為廣闊的精細加工領域，如軍 工領域、電子產(chǎn)品加工領域、半導體加工領域等，這些領域對激光切割設備提出了更高的要 求。
[0003] 激光切割平臺是激光切割設備的重要組成部分，尤其是在激光精細切割領域，激 光切割平臺，直接決定激光切割設備能否切割以及切割質量的好壞。因此，在激光切割領 域，尤其是在激光精細切割領域，對激光切割平臺提出了很高的要求。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種激光切割真空吸附平臺，該平臺可將切割工 件吸附到平臺上，進行完全切割，切割后，產(chǎn)品不會散落，不會移位。能夠滿足切割的高位置 精度要求。
[0005] 為解決上述技術問題，本發(fā)明的激光切割真空吸附平臺包括真空吸附平臺組件； 所述真空吸附平臺組件包括吸附平臺過渡連接板，吸盤連接座，真空吸盤，吸盤上密封圈， 吸盤下密封圈；吸附平臺過渡連接板上加工有螺紋孔，旋轉氣管接頭與該螺紋孔連接；吸 盤連接座位于吸附平臺過渡連接板之上，兩者之間帶有空腔，且在空腔的外圍兩者接合面 處由吸盤下密封圈密封；吸盤連接座上表面加工有相互交錯的氣道；真空吸盤位于吸盤連 接座之上，其下表面的加強筋支撐于吸盤連接座的上表面，兩者四周接合面處通過吸盤上 密封圈密封；吸盤連接座上分布有多個將氣道與空腔連通的真空孔；真空吸盤的上端面加 工有網(wǎng)格狀溝槽，將整個真空吸盤的上端面分割成行列排布的方塊，各方塊處加工有垂直 方向的吸附透孔。
[0006] 當需要真空時，外界真空裝置通過氣管和旋轉氣管接頭，首先將吸附平臺過渡連 接板與吸盤連接座之間空腔的氣體抽走，使該空腔形成真空，并使真空均化；同時,通過吸 盤連接座上的真空孔和氣道，將真空孔提供的真空均勻分布在整個真空吸盤下部的工作面 上，再通過真空吸盤的吸附透孔均勻地將真空力作用于切割工件上，實現(xiàn)對切割工件切割 前的吸附，切割過程中的吸附以及切割后形成的產(chǎn)品的吸附，能夠保證切割后產(chǎn)品的位置 精度。由于真空吸盤的上端面加工有網(wǎng)格狀溝槽，作為切割和排渣通道，可將工件切割成不 同大小規(guī)格的產(chǎn)品。由于吸盤連接座上表面加工相互交錯的氣道，真空吸盤下表面的加強 筋支撐于吸盤連接座的上表面，一方面可以將真空均化在真空吸盤的整個工作面，另一方 面，還可以起到支承真空吸盤的作用，避免工作時，由于真空吸附力的作用，使真空吸盤發(fā) 生變形。
[0007] 進一步，本發(fā)明還包括位于真空吸盤外圍的方環(huán)形吸盤蓋板；所述吸盤連接座的 上表面中間部分加工有相互交錯的氣道，外圍部分為平面；吸盤蓋板與吸盤連接座的外圍 部分連接，連接后吸盤蓋板的上端面低于真空吸盤的上端面。
[0008] 所述吸附平臺過渡連接板的頂面帶有凸環(huán)，該凸環(huán)嵌入吸盤連接座底部的凹陷部 分并與該凹陷部分的底面構成空腔。
[0009] 更進一步，本發(fā)明還包括X向直線運動機構，Y向直線運動機構，Θ向旋轉運動機 構，旋轉機構連接板，第一 X向拖鏈固定板，第二X向拖鏈固定板，X向拖鏈，第一 Y向拖鏈 固定板，第二Y向拖鏈固定板，Y向拖鏈；所述X向直線運動機構的可動部件與Y向直線運 動機構的固定部件連接；Θ向旋轉運動機構的固定部件通過旋轉機構連接板與Y向直線運 動機構的可動部件連接，Θ向旋轉運動機構的可動部件通過吸附平臺底座與吸附平臺過渡 連接板固定連接；X向拖鏈的一端通過第一 X向拖鏈固定板與X向直線運動機構的固定部 件連接，另一端通過第二X向拖鏈固定板與X向直線運動機構的可動部件連接；第一 Y向拖 鏈固定板與X向直線運動機構的可動部件連接，第二Y向拖鏈固定板與Y向直線運動機構 的可動部件連接，Y向拖鏈的兩端分別與第一 Y向拖鏈固定板和第二Y向拖鏈固定板連接。
[0010] 本發(fā)明X向、Y向直線運動機構垂直安裝，Θ向旋轉運動機構與Y向直線運動機構 連接，吸附平臺底座連接在Θ向旋轉運動機構上，可實現(xiàn)在激光頭固定的前提下，對工件 進行兩個垂直方向的完全切割。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011] 下面結合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步詳細說明。
[0012] 圖1是工件的俯視圖。
[0013] 圖2是本發(fā)明的激光切割真空吸附平臺的立體圖。
[0014] 圖3是真空吸附平臺組件的立體圖。
[0015] 圖4是真空吸附平臺組件的剖視圖。
[0016] 圖5是真空吸附平臺組件的局部剖視圖。
[0017] 圖6是吸盤連接座俯視圖。
[0018] 圖7是本發(fā)明的真空吸盤立體圖。

【具體實施方式】
[0019] 如圖1所示，工件9為方形，其上表面帶有橫向切割標識線92和縱向切割標識線 93,切割后得到的多個產(chǎn)品91。
[0020] 如圖2所示，本發(fā)明的激光切割真空吸附平臺包括：X向直線運動機構，Y向直線 運動機構，Θ向旋轉運動機構，旋轉機構連接板7-15,第一 X向拖鏈固定板7-21，第二X向 拖鏈固定板7-22, X向拖鏈7-23,第一 Y向拖鏈固定板7-24,第二Y向拖鏈固定板7-25, Y 向拖鏈7-26,真空吸附平臺組件7 ;所述X向直線運動機構的可動部件7-12與Y向直線運 動機構的固定部件7-13連接；Θ向旋轉運動機構的固定部件7-16通過旋轉機構連接板 7-15與Y向直線運動機構的可動部件7-14連接，Θ向旋轉運動機構的可動部件7-17通過 吸附平臺底座7-01與真空吸附平臺組件7固定連接，可通過X向直線運動機構和Y向直線 運動機構實現(xiàn)X向和Υ向兩個垂直方向的運動，可通過Θ向旋轉運動機構實現(xiàn)360度旋轉 運動。X向拖鏈7-23的一端通過第一 X向拖鏈固定板7-21與X向直線運動機構的固定部 件7-11連接，另一端通過第二X向拖鏈固定板7-22與X向直線運動機構的可動部件7-12 連接；第一 Υ向拖鏈固定板7-24與X向直線運動機構的可動部件7-12連接，第二Υ向拖鏈 固定板7-25與Υ向直線運動機構的可動部件7-14連接，Υ向拖鏈7-26的兩端分別與第一 Υ向拖鏈固定板7-24和第二Υ向拖鏈固定板7-25連接。
[0021] 如圖3?7所示，所述真空吸附平臺組件7包括：吸附平臺過渡連接板7-02,吸 盤連接座7-03,位于真空吸盤外圍的方環(huán)形吸盤蓋板7-04,真空吸盤7-05,吸盤上密封圈 7-07,吸盤下密封圈7-08。吸附平臺過渡連接板7-02上加工有螺紋孔，旋轉氣管接頭7-06 與該螺紋孔連接；設計吸附平臺過度連接板13,可有效防止漏氣，保證吸附的可靠性。吸盤 連接座7-03位于吸附平臺過渡連接板7-02之上，吸附平臺過渡連接板7-02的頂面帶有 凸環(huán)7-022,該凸環(huán)7-022嵌入吸盤連接座7-03底部的凹陷部分并與該凹陷部分的底面構 成空腔7-021 ;在空腔7-021的外圍兩者接合面處由吸盤下密封圈7-08密封，能夠防止漏 氣。吸盤連接座7-03上表面加工有相互交錯的氣道7-032 ;真空吸盤7-05位于吸盤連接座 7-03之上，其下表面的加強筋7-051支撐于吸盤連接座7-03的上表面，一方面可以將真空 均化在真空吸盤的整個工作面，另一方面，還可以起到支承真空吸盤的作用，避免工作時， 由于真空吸附力的作用，使真空吸盤發(fā)生變形。吸盤連接座7-03和真空吸盤7-05的四周 接合面處通過吸盤上密封圈7-07密封，能夠防止漏氣。吸盤連接座7-03上分布有多個將 氣道7-032與空腔7-021連通的真空孔7-031。真空吸盤7-05的上端面加工有網(wǎng)格狀溝槽 7-053,將整個真空吸盤7-05的上端面分割成行列排布的方塊7-052,各方塊7-052處加工 有垂直方向的吸附透孔7-054。所述吸盤連接座7-03的上表面中間部分加工有相互交錯的 氣道7-032,外圍部分為平面；吸盤蓋板7-04與吸盤連接座7-03的外圍部分連接，連接后 吸盤蓋板7-04的上端面低于真空吸盤7-05的上端面，以防止切割工件9與吸盤蓋板7-04 干涉。通過真空吸盤的吸附透孔7-054可以均勻地將真空力作用于切割工件9上，實現(xiàn)對 切割工件9切割前的吸附，切割過程中的吸附以及切割后形成的產(chǎn)品的吸附，能夠保證切 割后產(chǎn)品的位置精度。
【權利要求】
1. 一種激光切割真空吸附平臺，其特征在于包括真空吸附平臺組件（7);所述真空吸 附平臺組件（7)包括吸附平臺過渡連接板（7-02)，吸盤連接座（7-03)，真空吸盤（7-05)， 吸盤上密封圈（7-07)，吸盤下密封圈（7-08);吸附平臺過渡連接板（7-02)上加工有螺紋 孔，旋轉氣管接頭（7-06)與該螺紋孔連接；吸盤連接座（7-03)位于吸附平臺過渡連接板 (7-02)之上，兩者之間帶有空腔（7-021)，且在空腔（7-021)的外圍兩者接合面處由吸盤 下密封圈（7-08)密封；吸盤連接座（7-03)上表面加工有相互交錯的氣道（7-032);真空 吸盤（7-05)位于吸盤連接座（7-03)之上，其下表面的加強筋（7-051)支撐于吸盤連接座 (7-03)的上表面，兩者四周接合面處通過吸盤上密封圈（7-07)密封；吸盤連接座（7-03) 上分布有多個將氣道（7-032)與空腔（7-021)連通的真空孔（7-031);真空吸盤（7-05)的 上端面加工有網(wǎng)格狀溝槽（7-053)，將整個真空吸盤（7-05)的上端面分割成行列排布的方 塊（7-052)，各方塊（7-052)處加工有垂直方向的吸附透孔（7-054)。
2. 根據(jù)權利要求1所述的激光切割真空吸附平臺，其特征在于還包括位于真空吸盤外 圍的方環(huán)形吸盤蓋板（7-04);所述吸盤連接座（7-03)的上表面中間部分加工有相互交錯 的氣道（7-032)，外圍部分為平面；吸盤蓋板（7-04)與吸盤連接座（7-03)的外圍部分連 接，連接后吸盤蓋板（7-04)的上端面低于真空吸盤（7-05)的上端面。
3. 根據(jù)權利要求1所述的激光切割真空吸附平臺，其特征在于所述吸附平臺過渡連接 板（7-02)的頂面帶有凸環(huán)（7-022)，該凸環(huán)（7-022)嵌入吸盤連接座（7-03)底部的凹陷部 分并與該凹陷部分的底面構成空腔（7-021)。
4. 根據(jù)權利要求1所述的激光切割真空吸附平臺，其特征在于還包括X向直線運動機 構，Y向直線運動機構，Θ向旋轉運動機構，旋轉機構連接板（7-15)，第一 X向拖鏈固定板 (7-21)，第二X向拖鏈固定板（7-22)，X向拖鏈（7-23)，第一 Y向拖鏈固定板（7-24)，第二 Y向拖鏈固定板（7-25)，Y向拖鏈（7-26);所述X向直線運動機構的可動部件（7-12)與Y 向直線運動機構的固定部件（7-13)連接；Θ向旋轉運動機構的固定部件（7-16)通過旋轉 機構連接板（7-15)與Y向直線運動機構的可動部件（7-14)連接，Θ向旋轉運動機構的可 動部件（7-17)通過吸附平臺底座（7-01)與吸附平臺過渡連接板（7-02)固定連接；X向拖 鏈（7-23)的一端通過第一 X向拖鏈固定板（7-21)與X向直線運動機構的固定部件（7-11) 連接，另一端通過第二X向拖鏈固定板（7-22)與X向直線運動機構的可動部件（7-12)連 接；第一 Y向拖鏈固定板（7-24)與X向直線運動機構的可動部件（7-12)連接，第二Y向拖 鏈固定板（7-25)與Y向直線運動機構的可動部件（7-14)連接，Y向拖鏈（7-26)的兩端分 別與第一 Y向拖鏈固定板（7-24)和第二Y向拖鏈固定板（7-25)連接。
【文檔編號】B23K26/70GK104096980SQ201410299397
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年6月26日 優(yōu)先權日:2014年6月26日
【發(fā)明者】張德龍, 吳玉彬, 黃波, 王忠生, 劉軒, 鄭福志, 金釗, 張男男, 田玉鑫 申請人:長春光華微電子設備工程中心有限公司