真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，包括真空吸附工作臺、第一分氣座、直流閥、第一旋渦氣泵、第二分氣座、調(diào)壓過濾器、煙氣凈化罩、第二旋渦氣泵及電磁閥，真空吸附工作臺、第一分氣座、直流閥、第一旋渦氣泵、第二分氣座、調(diào)壓過濾器、煙氣凈化罩及第二旋渦氣泵通過若干氣管依次串聯(lián)連接；電磁閥的兩端分別連接于第一分氣座和調(diào)壓過濾器上；加工時，真空吸附工作臺處于負壓狀態(tài)；完成材料加工后，第一旋渦氣泵所吹出的氣體自電磁閥進入真空吸附工作臺。防止蝕刻機架加工完成后，受負壓影響，難于取料的現(xiàn)象發(fā)生。
【專利說明】真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種氣路控制系統(tǒng)，具體涉及一種真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]材料進行切割、蝕刻或其它形式的處理時，防止材料抖動或位置發(fā)生偏移，形響加工質(zhì)量，常需要先將材料進行固定，再作加工處理。
[0003]現(xiàn)有技術中，材料作加工處理時，常采用真空吸附平臺對輕薄的片狀材料固定，真空吸附平臺的氣路控制通常利用真空發(fā)生器或者真空泵直接產(chǎn)生負壓對平臺上的材料進行吸平及吸附，也有采用旋渦氣泵往外抽氣形成負壓吸附。當用戶需要放料時，平臺處于自然狀態(tài)，不會對材料產(chǎn)生吸附力，待用戶放置好材料后，旋渦氣泵開始抽氣，真空吸附平臺腔體產(chǎn)生負壓將材料吸緊。
[0004]然而，上述的真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)中，當材料加工完成后進行收料時，此時由于真空未被破壞，易造成取料困難的現(xiàn)象發(fā)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]基于此，有必要針對現(xiàn)有技術中的不足，提供一種真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)。
[0006]本發(fā)明是通過以下方式實現(xiàn)的:一種真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，包括真空吸附工作臺、第一分氣座、直流閥、第一旋渦氣泵、第二分氣座、調(diào)壓過濾器、煙氣凈化罩、第二旋渦氣泵及電磁閥，所述真空吸附工作臺、第一分氣座、直流閥、第一旋渦氣泵、第二分氣座、調(diào)壓過濾器、煙氣凈化罩及第二旋渦氣泵通過若干氣管依次串聯(lián)連接；所述電磁閥的兩端分別連接于第一分氣座和調(diào)壓過濾器上；加工時，直流閥斷電連通、所述電磁閥通電斷氣、第一旋渦氣泵、第二旋渦氣泵均工作抽氣；所述第一旋渦氣泵通過第一分氣座對真空吸附工作臺進行抽氣，使真空吸附工作臺處于負壓狀態(tài)，第一旋渦氣泵抽出的氣體流經(jīng)調(diào)壓過濾器及煙氣凈化罩后被第二旋渦氣泵抽出；完成材料加工后，直流閥通電斷開、所述電磁閥斷電通氣、第一旋渦氣泵工作抽氣、第二旋渦氣泵停止工作，第一旋渦氣泵所吹出的氣體自電磁閥進入真空吸附工作臺。
[0007]進一步地，所述真空吸附工作臺設有四個氣口，所述第一分氣座分四路氣管與真空吸附工作臺的四個氣口對應連接。
[0008]進一步地，還包括一壓力感測器，所述壓力感測器通過一 Y型快插三通插頭與第一分氣座和真空吸附工作臺連接的四路氣管中的一路氣管連接。
[0009]進一步地，所述電磁閥一端通過一 Y型快插三通插頭連接于第一分氣座和真空吸附工作臺之間的一路氣管，該電磁閥另一端通過一 Y型快插三通插頭與連接調(diào)壓過濾器及煙氣凈化罩的氣管連接
[0010]進一步地，所述煙氣凈化罩內(nèi)還設有離子風棒，所述煙氣凈化罩采用Y型快插三通插頭與調(diào)壓過濾器連接，煙氣凈化罩通過采用Y型快插三通插頭進行上下端兩路輸入。
[0011]進一步地，所述氣管為I3U管。[0012]綜上所述，本發(fā)明真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)通過改變直流閥和電磁閥的狀態(tài)，加工時，第一旋渦氣泵對真空吸附工作臺進行抽氣，形成負壓，從而使待加工材料牢固地吸附在使真空吸附工作平臺上。完成材料加工后，第一旋渦氣泵所吹出的氣體自電磁閥進入真空吸附工作平臺，破壞真空吸附臺的負壓狀態(tài)，輕易取出加工材質(zhì)，結(jié)構(gòu)簡單、實用，防止蝕刻機架加工完成后，受負壓影響，難于取料的現(xiàn)象發(fā)生。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)的示意圖。
【具體實施方式】
[0014]為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0015]如圖1所示，本實施例提供一種真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，用于蝕刻機對薄片狀材料加工時，對該薄片狀材料進行吸附固定。所述真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)包括真空吸附工作臺10、第一分氣座20、直流閥30、第一旋渦氣泵40、第二分氣座50、調(diào)壓過濾器60、煙氣凈化罩70、第二旋渦氣泵80、電磁閥90及壓力傳感器100。所述真空吸附工作臺10、第一分氣座20、直流閥30、第一旋渦氣泵40、第二分氣座50、調(diào)壓過濾器60、煙氣凈化罩70及第二旋渦氣泵80通過氣管110依次串聯(lián)連接，所述電磁閥90的兩端分別連接于第一分氣座20和調(diào)壓過濾器60的輸出端上。
[0016]所述真空吸附工作臺10設有四個氣口 11，所述第一分氣座20分四路氣管110與真空吸附工作臺10的四個氣口 11對應連接。所述壓力傳感器100通過一 Y型快插三通插頭120與第一分氣座20和真空吸附工作臺10連接的一路氣管110連接。所述電磁閥90一端通過一 Y型快插三通插頭130連接于第一分氣座20和真空吸附工作臺10之間的一路氣管110，該電磁閥90另一端通過一 Y型快插三通插頭140與連接調(diào)壓過濾器60及煙氣凈化罩70的氣管110連接；較佳地，所述煙氣凈化罩70內(nèi)還設有離子風棒71，所述煙氣凈化罩70的輸入端采用Y型快插三通插頭150與調(diào)壓過濾器60連接，煙氣凈化罩70通過采用Y型快插三通插頭150進行上下端兩路輸入，增強排煙效果。本發(fā)明中，所述氣管110為PU管(Polyurethane Tubing,聚氨基甲酸酯管),所述真空吸附工作臺10、第一分氣座20、電磁閥90、煙氣凈化罩70裝設于蝕刻機內(nèi)部，所述直流閥30、第一旋渦氣泵40、第二分氣座50、調(diào)壓過濾器60、第二旋渦氣泵80及壓力傳感器100裝設于蝕刻機外部。
[0017]激光蝕刻機對材料進行加工時,本發(fā)明真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)開始工作。此時，直流閥30斷電連通，電磁閥90通電斷開，第一旋渦氣泵40、第二旋渦氣泵80工作。所述第一旋渦氣泵40工作時，通過直流閥30向第一分氣座20吸氣并對第二分氣座50吹氣；所述第二旋渦氣泵80工作時向外吹氣并對煙氣凈化罩70吸氣；斷電后的直流閥30內(nèi)部活塞打開，使第一旋渦氣泵40與第一分氣座20處于連通狀態(tài)；通電后的電磁閥90處于關閉狀態(tài)，所述第一旋渦氣泵40通過第一分氣座20對真空吸附工作臺10進行抽氣，使真空吸附工作臺10處于負壓狀態(tài)，從而使待加工材料牢固地吸附在使真空吸附工作臺10上。第一旋渦氣泵40所抽的氣體在第二旋渦氣泵80的作用下，經(jīng)過調(diào)壓過濾器60煙氣凈化罩70，由調(diào)壓過濾器60進行調(diào)壓和初步過濾并排到煙氣凈化罩70，再由煙氣凈化罩70對該氣體進一步進行除塵凈化處理，最后由從第二旋渦氣泵80排出到蝕刻機外，壓力傳感器100檢測真空吸附工作臺10的氣壓值，并通過外部顯示裝置顯示，使工作人員了解真空吸附工作平臺的壓力值。
[0018]完成材料加工后，此時，直流閥30通電斷開，電磁閥90斷電連通，第一旋渦氣泵40工作、第二旋渦氣泵80停止工作。所述第一旋渦氣泵40工作只對第二分氣座50吹氣；通電后的直流閥30內(nèi)部活塞處于關閉狀態(tài)，第二旋渦氣泵80處于閉合狀態(tài)，即氣體無法從第二旋渦氣泵80流出。斷電后的電磁閥90處于打開狀態(tài)，第一旋渦氣泵40所吹出的氣體經(jīng)過第二分氣座50吹氣后自電磁閥90進入真空吸附工作臺10，破壞真空吸附工作臺10的負壓狀態(tài)，并且離子風棒71產(chǎn)生的帶有電荷的氣團，去除材料靜電。
[0019]綜上所述，本發(fā)明真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)通過改變直流閥30和電磁閥90的狀態(tài)，加工時，第一旋渦氣泵40對真空吸附工作平臺進行抽氣，形成負壓，從而使待加工材料牢固地吸附在使真空吸附工作臺10上。完成材料加工后，第一旋渦氣泵40所吹出的氣體自電磁閥90進入真空吸附工作臺10，破壞真空吸附工作臺10的負壓狀態(tài)，輕易取出加工材質(zhì)，結(jié)構(gòu)簡單、實用，防止蝕刻機架加工完成后，受負壓影響，造成取料的現(xiàn)象發(fā)生。
[0020]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權利要求】
1.一種真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，其特征在于:包括真空吸附工作臺、第一分氣座、直流閥、第一旋渦氣泵、第二分氣座、調(diào)壓過濾器、煙氣凈化罩、第二旋渦氣泵及電磁閥，所述真空吸附工作臺、第一分氣座、直流閥、第一旋渦氣泵、第二分氣座、調(diào)壓過濾器、煙氣凈化罩及第二旋渦氣泵通過若干氣管依次串聯(lián)連接；所述電磁閥的兩端分別連接于第一分氣座和調(diào)壓過濾器上；加工時，直流閥斷電連通、所述電磁閥通電斷氣、第一旋渦氣泵、第二旋渦氣泵均工作抽氣；所述第一旋渦氣泵通過第一分氣座對真空吸附工作臺進行抽氣，使真空吸附工作臺處于負壓狀態(tài)，第一旋渦氣泵抽出的氣體流經(jīng)調(diào)壓過濾器及煙氣凈化罩后被第二旋渦氣泵抽出；完成材料加工后，直流閥通電斷開、所述電磁閥斷電通氣、第一旋渦氣泵工作抽氣、第二旋渦氣泵停止工作，第一旋渦氣泵所吹出的氣體自電磁閥進入真空吸附工作臺。
2.根據(jù)權利要求1所述的真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，其特征在于:所述真空吸附工作臺設有四個氣口，所述第一分氣座分四路氣管與真空吸附工作臺的四個氣口對應連接。
3.根據(jù)權利要求2所述的真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，其特征在于:還包括一壓力感測器，所述壓力感測器通過一Y型快插三通插頭與第一分氣座和真空吸附工作臺連接的四路氣管中的一路氣管連接。
4.根據(jù)權利要求2所述的真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，其特征在于:所述電磁閥一端通過一Y型快插三通插頭連接于第一分氣座和真空吸附工作臺之間的一路氣管，該電磁閥另一端通過一 Y型快插三通插頭與連接調(diào)壓過濾器及煙氣凈化罩的氣管連接。
5.根據(jù)權利要求2所述的真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，其特征在于:所述煙氣凈化罩內(nèi)還設有離子風棒，所述煙氣凈化罩采用Y型快插三通插頭與調(diào)壓過濾器連接，煙氣凈化罩通過采用Y型快插三通插頭進行上下端兩路輸入。
6.根據(jù)權利要求1所述的真空吸附平臺的氣路控制系統(tǒng)，其特征在于:所述氣管為PU管。
【文檔編號】G05B19/44GK103439960SQ201310380097
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2013年8月27日 優(yōu)先權日:2013年8月27日
【發(fā)明者】卓勁松, 王軍, 張進, 黃錦雄 申請人:廣東大族粵銘激光科技股份有限公司