線放電加工裝置以及線放電加工方法
【專利摘要】提供一種線放電加工裝置以及線放電加工方法。即使在對多根線一并供電了的情況下，也能夠防止在極間穩(wěn)定地發(fā)生放電加工的時間依賴于實(shí)際上放電的線的根數(shù)而產(chǎn)生偏差。按照并列設(shè)置了的線的間隔通過放電加工對工件進(jìn)行切割的線放電加工裝置具備：多個主輥，以向同一方向移動的方式，使線繞圈；供電片，對繞圈的多根線，一并供給用于放電加工的加工電源；工件輸送部，將工件向接近繞圈的線的方向送出；以及電源布線，與供電片以及工件導(dǎo)通而供給用于放電加工的加工電源，供電片以及工件輸送部配置于對多個主輥進(jìn)行繞圈的線的內(nèi)側(cè)，使用了電源布線的加工電源的電源電路與供電片以及工件輸送部分別連接。
【專利說明】線放電加工裝置以及線放電加工方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及線(wire)放電加工裝置以及線放電加工方法的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]以往,作為用于將娃錠(silicon ingot)切割為多個薄片的裝置已知線鋸(wiresaw)，但近年來，有使用線放電加工技術(shù)而將工件切割為薄板的技術(shù)。
[0003]例如，在專利文獻(xiàn)I中，公開了在使線移動的多個導(dǎo)輥中配置工件輸送裝置的技術(shù)。
[0004]【專利文獻(xiàn)I】日本特開2010-260151號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]在多線放電加工中即使對多根線一并供電了同一脈沖且同一電壓值的加工電源，極間的放電的發(fā)生是針對每個線分別不同的，所以未必針對每個線，同時達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)而流出放電電流。
[0006]在專利文獻(xiàn)I中，對于如下問題完全沒有公開，即，如果這樣針對極間的每個線，放電電流的上升時間產(chǎn)生偏差，則放電電流上升之后的加工能量變化，所以每個線的加工形狀也變得不均勻。
[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種即使在對多根線一并供電了的情況下，也能夠防止在極間穩(wěn)定地發(fā)生放電加工的時間依賴于實(shí)際上放電的線的根數(shù)而加工能量產(chǎn)生偏差的結(jié)構(gòu)。
[0008]本發(fā)明提供一種線放電加工裝置，按照并列設(shè)置了的線的間隔，通過放電加工對工件進(jìn)行切割，該線放電加工裝置的特征在于，具備:多個主輥，使所述線繞圈，以使得向同一方向移動；供電片，對所述繞圈的多根線，一并供給用于所述放電加工的加工電源；工件輸送部，將所述工件向接近所述繞圈的線的方向送出；以及電源布線，與所述供電片以及所述工件導(dǎo)通而供給用于所述放電加工的加工電源，所述供電片以及所述工件輸送部配置于對所述多個主輥進(jìn)行繞圈的線的內(nèi)側(cè)，使用了所述電源布線的所述加工電源的電源電路與所述供電片以及所述工件輸送部分別連接。
[0009]另外，其特征在于，還具備加工槽，該加工槽配置于對所述多個主輥進(jìn)行繞圈的線的外側(cè)，并儲存加工液，所述工件輸送部配置于比所述供電片低的位置，所述工件輸送部將所述工件向接近所述繞圈的線的方向送出，以將所保持的所述工件浸潰到所述加工液中。
[0010]另外，其特征在于，所述電源布線具有:含有上行用以及下行用的電纜的同軸布線部；以及所述含有的所述上行用或者所述下行用的電纜從所述同軸布線部分支而與所述供電片和所述工件輸送部中的一個連接的單線部，
[0011]相比于在所述多個主輥的外周形成的、向不同的方向移動的2個線移動面彼此的間隔引起的長度，所述分支了的單線部的長度更短。
[0012] 另外，其特征在于，所述電源布線具有:含有上行用以及下行用的電纜的同軸布線部；以及所述含有的所述上行用或者所述下行用的電纜從所述同軸布線部分支而與所述供電片和所述工件輸送部中的一個連接的單線部，所述分支了的單線部的長度與所述工件輸送部將所述工件向接近繞圈的線的方向送出的距離大致相等。
[0013]另外，其特征在于，具備:放電部，使被一并供給到所述線的所述加工電源向所述工件放電；以及電源部，對所述供電片供給用于所述放電加工的加工電源，所述電源部至所述供電片的電源布線的電阻小于所述供電片至所述放電部的線的電阻。
[0014]另外，其特征在于，所述電源部至所述供電片的電源布線的電阻小于0.1 Ω。
[0015]通過本發(fā)明，能夠提供即使對多根線一并供電了的情況下，也能夠在極間放電加工穩(wěn)定而防止加工能量依 賴于線的根數(shù)產(chǎn)生偏差的結(jié)構(gòu)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是從正面觀察了本發(fā)明的線放電加工系統(tǒng)的圖。
[0017]圖2是從正面觀察了本發(fā)明的線放電加工裝置的圖。
[0018]圖3是從側(cè)面觀察了本發(fā)明中的供電片與線的配置關(guān)系的圖。
[0019]圖4是示出以往技術(shù)(單線放電加工系統(tǒng))中的電氣電路和各種部件的配置的圖。
[0020]圖5是示出以往技術(shù)(多線放電加工系統(tǒng))中的電氣電路和各種部件的配置的圖。
[0021]圖6是示出本發(fā)明中的極間狀態(tài)(電壓和電流)、和加工電源的脈沖(0N/0FF)周期的圖。
[0022]圖7是示出本發(fā)明中的電氣電路和各種部件的配置的圖。
[0023]圖8是示出本發(fā)明中的電氣電路和各種部件的配置的圖。
[0024]圖9是示出本發(fā)明中的電氣電路和各種部件的配置的圖。
[0025]圖10是從正面觀察了理想地配置了供電片和工件的情況的電纜布線的圖。
[0026]圖11是示出分別配置了主要由電感構(gòu)成的布線電阻較大的此前的供電片和工件的情況的電纜布線的圖。
[0027]圖12是示出以使主要由電感構(gòu)成的布線電阻變小的方式理想地配置了供電片和工件的情況的電纜布線的圖。
[0028]圖13是在本發(fā)明中的多個線之間比較了放電的上升時間τ的結(jié)果。
[0029]圖14是比較了本發(fā)明中的伴隨線的根數(shù)增加而變化的合計的加工電流的理論計算值的曲線圖。
[0030]圖15是將本發(fā)明的多線放電加工系統(tǒng)中的放電電流的上升方式分情況表示了的圖。
[0031]圖16是從正面觀察了本發(fā)明中的供電片單元與工件輸送部的配置關(guān)系的變形例的圖。
[0032]圖17是從正面觀察了本發(fā)明中的供電片單元與工件輸送部的配置關(guān)系的變形例的圖。
[0033]圖18是從正面觀察了本發(fā)明中的供電片單元與工件輸送部的配置關(guān)系的變形例的圖。
[0034]【符號說明】
[0035]1:多線放電加工裝置；2:電源裝置；3:工件輸送部；103:線電極；104:供電片；105:工件(硅錠);505:由加工電源(負(fù)側(cè))至供電片(供電部)的電纜產(chǎn)生的阻抗；520:由工件輸送部(工件)至加工電源(正側(cè))的電纜產(chǎn)生的阻抗；509:由供電片(供電部)至極間(放電部)的I根線產(chǎn)生的阻抗；513:與加工電源(負(fù)偵D連接的電源用布線電纜；514:與加工電源(正側(cè))連接的電源用布線電纜；515:單線電纜(單線部);600:同軸電纜(同軸布線部)。
【具體實(shí)施方式】
[0036]說明圖1。
[0037]圖1是從前方觀察了本發(fā)明的實(shí)施方式的多線放電加工機(jī)I的外觀圖。另外，圖1所示的各機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)是一個例子，當(dāng)然根據(jù)目的、用途有各種結(jié)構(gòu)例。
[0038]圖1是示出本發(fā)明中的多線放電加工系統(tǒng)(半導(dǎo)體基板或者太陽能電池基板的制造系統(tǒng))的結(jié)構(gòu)的圖。多線放電加工系統(tǒng)由多線放電加工裝置1、電源裝置2、加工液供給裝置50構(gòu)成。
[0039]多線放電加工系統(tǒng)能夠通過放電以并列設(shè)置了的多根線的間隔將被加工物切割為薄片。
[0040]I是多線放電加工裝置，在I中，通過伺服馬達(dá)驅(qū)動的工件輸送裝置3設(shè)置于線103上部并能夠在上下方向上使工件105移動。在本發(fā)明中，工件105被向下(重力)方向輸送，在工件105與線103之間進(jìn)行放電加工。
[0041]2是電源裝置，在2中，控制伺服馬達(dá)的放電伺服控制電路為了根據(jù)放電的狀態(tài)高效地發(fā)生放電，以將放電縫隙(gap)保持為一定的間隙的方式進(jìn)行控制，并且進(jìn)行工件定位而推進(jìn)放電加工。
[0042]加工電源電路(圖7)將用于放電加工的放電脈沖供給到線103，并且進(jìn)行適應(yīng)于在放電縫隙中發(fā)生的短路等狀態(tài)的控制，而且供給向放電伺服控制電路的放電縫隙信號。
[0043]50是加工液供給裝置，50將放電加工部的冷卻、加工碎片(屑)的去除所需的加工液通過泵向工件105和線103送液，并且進(jìn)行加工液中的加工碎片的去除、基于離子交換的電導(dǎo)率(IyS?250 μ S)的管理、液溫(20°C附近)的管理。雖然主要使用水，但還能夠使用放電加工油。
[0044]8、9是主輥，在主輥上，以能夠按照期望的厚度加工的方式，按照預(yù)先決定的間距、數(shù)量形成了槽，將來自線供給繞線管的被張力控制了的線以必要數(shù)量繞在2個主輥上，送到纏繞繞線管。線速度使用100m/min至900m/min程度。
[0045]通過2個主輥在相同的方向上并且以相同的速度連動地旋轉(zhuǎn)，從線抽出部送出的I根線103對主輥(2個)的外周進(jìn)行繞圈，能夠使并列設(shè)置的多根線103在同一方向上移動(移動部件)。
[0046]線103是如圖8所示的I根連接的線，從未圖示的繞線管被抽出并一邊嵌入到主輥的外周面的導(dǎo)向槽(未圖示)，一邊在該主輥的外側(cè)螺旋狀地卷繞多次(最大2000次程度)之后，纏繞到未圖示的繞線管上。
[0047]多線放電加工機(jī)I與電源單元2經(jīng)由電線513連接，通過從電源單元2供給的電力動作。
[0048]多線放電加工機(jī)I如圖1所示，具備作為多線放電加工機(jī)I的基座發(fā)揮功能的塊15 ;設(shè)置于塊15的上部中的、塊20、工件輸送裝置3、粘接部4、硅錠105、加工液漕6、主輥8、線103、主輥9、供電單元10、以及供電片(日語:給電子)104。
[0049]說明圖2。
[0050]圖2是圖1所示的虛線16框內(nèi)的放大圖。
[0051]8、9是主輥，在主輥上將線103繞上了多次，依照在主輥上刻出的槽，對線103按照規(guī)定間距進(jìn)行了整隊。
[0052]主輥是在中心處使用金屬，外側(cè)用樹脂覆蓋的構(gòu)造。
[0053]在2個主輥之間的、主輥8、9的內(nèi)部的大致中央部的上方的部分，配置了安裝于供電單元的供電片104，供電片104通過使朝上露出的表面接觸到線而對移動的多根線103 —并供給加工電源。
[0054]如圖3所示，供電片104通過與10根線103接觸，將來自加工電源的放電脈沖(圖6的504)供給至Ij 10根線。
[0055]配置供電片104的位置是設(shè)置于從硅錠105的兩端起線的長度大致相等的位置(511L1=511L2)。
[0056]供電片104要求抗機(jī)械磨損能力強(qiáng)且具有導(dǎo)電性，使用了超硬合金。
[0057]在2個主輥之間的、主輥8、9的內(nèi)部的大致中央部的下方的部分，配置了安裝于工件輸送裝置3的硅錠105，工件輸送裝置3將工件105向下方向送出，從而推進(jìn)切割加工。
[0058]在主輥的下部設(shè)置加工槽6，浸潰線103以及硅錠105，進(jìn)行放電加工部的冷卻、力口工碎片的去除。加工槽6用于儲存加工液，浸潰所送出的工件。
[0059]如圖3那樣，示出了在線104的根數(shù)為10根時所接觸的供電片104為I個，但針對每個供電片的線的根數(shù)、供電片的總數(shù)當(dāng)然根據(jù)必要數(shù)量而增加。
[0060]塊20與工件輸送裝置3接合。另外，工件輸送部3與硅錠105 (工件)通過粘接部4粘接(接合)。
[0061]在本實(shí)施例中，作為加工材料(工件)，以硅錠105為例子進(jìn)行說明。
[0062]粘接部4只要是用于粘接(接合)工件輸送裝置3和硅錠105 (工件)的部件，則可以是任意部件，例如，使用導(dǎo)電性的粘接劑。
[0063]工件輸送部3是具備使通過粘接部4粘接(接合)的硅錠105在上下方向上移動的機(jī)構(gòu)的裝置，通過工件輸送部3在保持了工件105的狀態(tài)下向下方向(重力方向)移動，能夠使硅錠105接近線103的方向。
[0064]工件輸送部3配置于比供電片104低的位置。
[0065]以使所保持的工件105浸潰到加工液中的方式，工件輸送部3將工件105向接近繞圈的線的方向輸送。
[0066]加工液漕6是用于儲存加工液的容器，配置于對多個主輥(8、9)進(jìn)行繞圈的線的外側(cè)。
[0067]加工液是例如電阻值高的脫離子水。通過在線103與硅錠105之間設(shè)置加工液，在線103與硅錠105之間引起放電，能夠切削硅錠105。
[0068]在主輥8、9中，形成了多列用于安裝線103的槽，并在該槽中安裝了線103。于是，通過主輥8、9向右或者左旋轉(zhuǎn)，線103移動。
[0069]另外，如圖2所示，線103安裝在主輥8、9上，在主輥8、9的上側(cè)、以及下側(cè)形成了線列。[0070]另外，線103是導(dǎo)體，通過使從電源單元2供給了電壓的供電單元10的供電片104、和線103接觸，將該供給了的電壓從供電片104施加到線103 (供電片104對線103施加了電壓)。
[0071]于是，在線103與硅錠105之間引起放電，能夠切削硅錠105 (進(jìn)行放電加工)，制作薄板狀的硅(硅晶片)。
[0072]說明圖3。
[0073]圖3示出供電片104的放大圖。
[0074]供電片104 (I個)與線103 (10根)接觸。
[0075]線103彼此的間隔(線的間距)是0.3mm程度。
[0076]說明圖4。
[0077]圖4是示出 在作為以往方式的針對每個線獨(dú)立地供給加工電流的獨(dú)立供電中的電氣電路400的圖。
[0078]401是加工電源(Vm)。是為了供給放電加工所需的電流而設(shè)定的加工電壓。關(guān)于Vm,能夠設(shè)定為60V~150V中的任意的加工電壓。
[0079]402是加工電源(Vs)。是為了感應(yīng)出放電而設(shè)定的感應(yīng)電壓(日文:誘発電圧)。進(jìn)而，還被用于在線與工件之間監(jiān)視極間電壓(極間電流)的狀態(tài)的目的。關(guān)于Vs，能夠設(shè)定為60V~300V中的任意的感應(yīng)電壓。
[0080]403是晶體管(Tr2)。通過開關(guān)方式切換加工電源Vm的ON (導(dǎo)通)狀態(tài)和OFF (非導(dǎo)通)狀態(tài)。
[0081]404是晶體管(Trl )。通過開關(guān)方式切換加工電源Vs的ON (導(dǎo)通)狀態(tài)和OFF (非導(dǎo)通)狀態(tài)。
[0082]405是加工電流限制電阻體的電阻(Rm)。通過設(shè)定固定的電阻值，限制每I根的線電流(Iw)、極間放電電流(Ig)。關(guān)于Rm，能夠設(shè)定為1Ω~100Ω中的任意的電阻值。即，在設(shè)為 Vm=60V (伏特)、￥8=3(^、抱=1(^ 的情況下，成為 Iw (Ig)= (60V-30V)/10 Ω =3A
(安培)。
[0083]另外，在上述計算式中，將加工電源(Vm)至供電點(diǎn)(供電片)的電壓降設(shè)為30V，但未考慮線電阻(Rw)所致的供電點(diǎn)至放電點(diǎn)的電壓降。
[0084]即，在作為以往方式的獨(dú)立供電方式的情況下，加工電流Iw的值由加工電流限制電阻體的電阻Rm決定，所以為了針對每I根得到期望的線電流、放電電流(Ig)，設(shè)定為線電阻Rw成為Rm>Rw的關(guān)系。
[0085]406是感應(yīng)電流限制電阻(Rs)。通過設(shè)定固定的電阻值而限制感應(yīng)出放電的感應(yīng)電流。關(guān)于Rs，能夠設(shè)定為1Ω~100Ω中的任意的電阻值。
[0086]407是極間電壓(Vg)。是在放電過程中對線103與工件105之間(極間)施加的極間放電電壓。
[0087]408是極間電流(Ig)。是在放電過程中在線103與工件105之間流過的極間放電電流。
[0088]410是針對每I根線獨(dú)立地供給的加工電流(Iw)。
[0089]說明圖5。
[0090]圖5是在作為以往方式的針對每個線獨(dú)立地供給加工電流的獨(dú)立供電中的電氣電路400對多根線進(jìn)行供電的圖。
[0091]409是表示每I根線的電阻的線電阻(Rw)。
[0092]204是獨(dú)立的供電片。從設(shè)置于硅錠105的兩端的附近的、兩處獨(dú)立供電片施加加工電壓的脈沖，進(jìn)行放電加工。
[0093]和與所卷繞的線103的根數(shù)相同數(shù)量的電源電路400連接。
[0094]圖6示出本發(fā)明的極間放電電壓(Vgn)以及極間放電電流(Ign)的變化和Tr1、Tr2的0N/0FF動作(時序圖)。曲線圖的橫軸是時間。
[0095]首先，使晶體管Trl503成為0N，施加感應(yīng)電壓。此時，線103與工件105之間(極間)被絕緣，所以幾乎不流過極間放電電流。之后，如果開始流過極間放電電流而開始放電，則Vgn產(chǎn)生電壓降，從而檢測到放電開始而使Tr2成為ON時，得到大的極間放電電流。在經(jīng)過規(guī)定時間之后使Tr2成為OFF。在使Tr2的OFF經(jīng)過了規(guī)定時間之后再次反復(fù)一連串的動作。
[0096]說明圖7。
[0097]圖7是示出本發(fā)明中的對多根線(10根)一并供給加工電流的一并供電中的電氣電路2與線放電加工裝置I的關(guān)系的圖。示出流過加工電流、線電流、以及極間放電電流的狀態(tài)。
[0098]圖7示出與圖8 所示的電氣電路2的等效電路。
[0099]如果假設(shè)將圖4所示的以往方式的電氣電路400直接導(dǎo)入到對多個線(10根)一并地供給加工電流的一并供電中的電氣電路中，則為了在加工電源至供電點(diǎn)之間控制加工電流，代替電流限制電阻體Rm405，把將Rm除以10根(卷繞主輥8、9的繞圈數(shù))而得到的電阻值的電流限制電阻體設(shè)置于加工電源至供電點(diǎn)之間以供給對多個線(10根)供給的線電流的合計(10倍)的加工電流即可。
[0100]首先，說明將具有這樣固定的電阻值的Rm/?Ο根設(shè)置于加工電源至供電片之間的情況。
[0101]在所有10根線與工件之間均勻并且同時引起放電狀態(tài)的情況下，放電電流在10根線中均等地分散，所以與固定的電阻值(Rm/?ο根)對應(yīng)的放電電流被供給到各線與工件之間，所以過剩的放電電流的供給不成為問題。
[0102]但是，在所有10根線與工件之間未均勻并且同時引起放電狀態(tài)的情況下，與固定的電阻值(Rm/?Ο根)對應(yīng)的線電流被集中供給到成為放電狀態(tài)的線與工件之間，所以過剩的線電流的供給成為問題。即，在10根中僅I根成為放電狀態(tài)的情況下，本來應(yīng)供給到I根線和工件的線電流的10倍的線電流被供給到成為放電狀態(tài)的線和工件，導(dǎo)致線發(fā)生斷線。
[0103]505是布線513的阻抗(電阻)。是與加工電源(Vmn)負(fù)側(cè)連接的上行用的電纜。從加工電源部(Vmn)對供電片104供給加工電源。
[0104]520是布線514的阻抗(電阻)。是與加工電源(Vmn)正側(cè)連接的下行用的電纜。
[0105]關(guān)于本發(fā)明的布線513的電阻值Rmn505，并非如以往方式的加工電流限制電阻體那樣，將電阻值固定為規(guī)定的值，而是具備即使在10根中僅I根成為放電狀態(tài)的情況下，也能夠控制為根據(jù)成為放電狀態(tài)的根數(shù)使電阻值變動的機(jī)構(gòu)。
[0106]進(jìn)而，通過使本發(fā)明的電阻值Rmn505在比線電阻Rwn509充分小的電阻值的范圍內(nèi)變動，在限制加工電流時，Rwn509處于支配地位，電阻值Rmn505的影響能夠大致忽略。[0107]S卩，也可以不具備限制加工電流的下限的加工電流限制電阻體，其中，該加工電流是成為在加工電源部501至供電片104之間流過并在極間對工件105放電的極間放電電流的電流。
[0108]S卩，設(shè)為比將Rmn單純地除以10根(卷繞主輥8、9的繞圈數(shù))而得到的電阻值小的電阻值即可。
[0109]S卩，通過利用作為各線的電阻Rwn509的阻抗，穩(wěn)定地供給各線的線電流Iwn，所以不會引起線電流的集中。
[0110]509是每I根線的由線產(chǎn)生的電阻(Rwn)。
[0111]此處，供電片104至放電部的線電阻值是指，基于與供電片104接觸并移動的線(I根)的、從供電片104至放電部的長度的電阻值。
[0112]例如，將對10根線(將主輥8、9卷繞10周)一并供電的情況的各線電阻分別設(shè)為Rwl、Rw2、?RwlO。
[0113]通過并非如以往方式那樣的Rmn而將Rwn設(shè)為限制每I根的線電流(Iw)、放電電流(Ig)的電阻，能夠限制每I根的線電流(Iwn)、放電電流(Ign)。S卩，能夠通過變更供電點(diǎn)(供電片)與放電點(diǎn)(放電部)的距離(長度L)而設(shè)定為任意的電阻值。即，在設(shè)為Vmn=60V、Vgn=30V> Rwn=IO Ω 的情況下，成為 Iwn (Ign)= (60V-30V)/10 Ω =3Α。
[0114]另外，在上述計算式中，使由線電阻(Rwn)產(chǎn)生的供電點(diǎn)至放電點(diǎn)的電壓降成為30V，但未考慮引起加工電源至供電點(diǎn)的電壓降的電阻(Rmn)所致的供電點(diǎn)至放電點(diǎn)的電壓降。
[0115]即，在作為本發(fā)明的一并供電方式的情況下，Iwn由Rmn決定，所以為了針對每I根得到期望的線電流(Iwn)、放電電流(Ign)，設(shè)定為使引起加工電源至供電點(diǎn)的電壓降的電阻Rmn成為Rmn〈Rwn的關(guān)系。
[0116]另外，能夠根據(jù)(I)基于線的材質(zhì)的電阻值P、( 2 )線的截面積B、( 3 )線的長度L這3個參數(shù)，通過Rwn= (P XB)/L的關(guān)系式，決定各線獨(dú)立的線電阻Rwn。
[0117]501是加工電源部(Vmn)。是為了供給放電加工所需的加工電流而設(shè)定的加工電壓。Vmn能夠設(shè)定為任意的加工電壓。進(jìn)而，相比于以往方式，加工電流的供給量更大，所以相比于401，供給更大的電力(加工電壓與加工電流之積)。
[0118]加工電源部501對供電片104供給加工電源(Vmn)。
[0119]502是加工電源部(Vsn)。是為了感應(yīng)出放電而設(shè)定的感應(yīng)電壓。進(jìn)而，還被用于在線與工件之間監(jiān)視極間電壓(極間電流)的狀態(tài)而用于工件輸送裝置的控制的目的。Vsn能夠設(shè)定為任意的感應(yīng)電壓。進(jìn)而，相比于以往方式，感應(yīng)電流的供給量更大，所以相比于402，供給更大的電力。
[0120]加工電源部502對供電片104供給加工電源(Vsn)。
[0121]503是晶體管(Tr2)。通過開關(guān)方式切換加工電源Vmn的ON (導(dǎo)通)狀態(tài)和OFF(非導(dǎo)通)狀態(tài)。
[0122]504是晶體管(Trl)。通過開關(guān)方式切換加工電源Vsn的ON (導(dǎo)通)狀態(tài)和OFF(非導(dǎo)通)狀態(tài)。
[0123]507是放電極間電壓(Vgn)。是在放電過程中對線103與工件105之間施加的放電極間電壓。[0124]例如，將對10根線一并供電的情況的各放電極間電壓分別設(shè)為Vgl、Vg2、?VglO。
[0125]通過放電對線103與工件105之間施加放電極間電壓的部分是放電部。在放電部中，將通過所移動的多個線和供電片的接觸而對移動的多個線一并供電的加工電源向工件放電。
[0126]508是放電極間電流(Ign)。是在放電過程中在線103與工件105之間流過的放電極間電流。
[0127]例如，將對10根線一并供電的情況的各放電極間電流分別設(shè)為Igl、Ig2、?IglO。
[0128]通過放電在線103與工件105之間流過放電極間電流的部分是放電部。在放電部中，將通過所移動的多個線和供電片的接觸而對移動的多個線一并供電的加工電源向工件放電。
[0129]510是針對每I根線獨(dú)立地供給的線電流(Iwn)。
[0130]例如，將對10根線一并供電的情況的各線電流分別設(shè)為Iwl、Iw2、?IwlO。
[0131]511是供電點(diǎn)至放電點(diǎn)的距離L，即是供電點(diǎn)(供電片)至放電點(diǎn)(工件)的線的長度。
[0132]說明圖8。
[0133]圖8是本發(fā)明中的通過對多根線(10根)一并供給加工電流的一并供電的電氣電路2對多根線一并供電的圖。
[0134]104是供電片。供電片104與移動的多根線一并接觸。從設(shè)置于與硅錠105對向的位置的、一處供電片104施加放電脈沖，進(jìn)行放電加工。
[0135]針對卷繞主輥的線103的根數(shù)(10根)連接了 I個電源電路2。
[0136]以下，參照圖8的配置，說明線中流過的加工電流(各線電流的合計)。
[0137]如圖8所示，關(guān)于從供電點(diǎn)(供電片104和線103接觸的位置)流入放電點(diǎn)(線103與工件105之間)的線電流，向左右的主輥的2個方向流過，所以存在針對各方向的線電阻。
[0138]511LI是電流向左面的主輥方向流過的情況的供電點(diǎn)與放電點(diǎn)間的長度(距離)，將在LI的情況下決定的線電阻設(shè)為Rwla。
[0139]511L2是電流向右面的主輥方向流過的情況的、放電點(diǎn)與供電點(diǎn)間的長度(距離)，將在L2的情況下決定的線電阻設(shè)為Rwlb。
[0140]將線103卷繞主輥8、9 一周的長度設(shè)為2m。
[0141]供電片104被配置于卷繞I周的長度的大致一半的距離，所以放電點(diǎn)與供電點(diǎn)間的距離(線的長度L)是lm。
[0142]因此，移動在供電片至放電部的線的距離比0.5m長。
[0143]線103的材質(zhì)的主成分是鐵，線的直徑是0.12mm (截面積0.06X0.06X Jimm2)。線的電阻值Rwla、Rwlb分別是相同的長度(Ll=L2=lm)，所以如果設(shè)各個線電阻值為相同的
20Ω程度，則基于Rwla和Rwlb的I根(將主輥8、9卷繞I周)的合成的線電阻值成為10 Ω程度。
[0144]另外，如圖8那樣，為了使基于LI以及L2的長度的線電阻值成為相同的電阻值，優(yōu)選以使LI和L2的長度成為相同的方式，配置供電片104，但即使以使LI和L2的長度的差異為10%程度(例如LI是Im且L2是1.1m)不同的方式配置供電片104，也沒有特別問題。[0145]在放電電壓Vgl~VglO大致相等的情況下，由于Vmn被施加到各個Rwl~RwlO,所以Iwl~IwlO是全部相同的線電流。
[0146]此處，根據(jù)由線電阻產(chǎn)生的電壓降值(RwIXIwI)和放電電壓(Vgn)求出Vmn.[0147]供電片104至放電部的電壓降是由移動的線的電阻產(chǎn)生的電壓降。
[0148]如果設(shè)為Rwl=IOQ (供電片104至放電部的電阻值)
[0149]Iwl=3A
[0150]Vgn=30V,
[0151]則Vmn成為以下那樣。
[0152]Vmn=IO ( Ω ) X3 (A) +30V=60V
[0153]因此，供電片至放電部的電壓降大于10V。
[0154]因此，供電片至放電部的電阻值大于I Ω。
[0155]另外，也可以通過Rwn= ( P XB)/L的關(guān)系式，利用線的參數(shù)設(shè)定由線電阻產(chǎn)生的電壓降值。
[0156]因此，如果計算在所有10根線與工件之間均勻并且同時引起了放電狀態(tài)的情況的Rmn，則在所有線中成為放電狀態(tài)而在10根線中流過了 Iwl=3A的情況下，在加工電源至供電點(diǎn)之間，整體需要10根X3A=30A的加工電流，如果將該加工電源至供電點(diǎn)之間的電壓降設(shè)為Vmn的百分之一(0.6V)，則該情況的Rmn成為以下那樣。
[0157]因此，加工電源部至供電片104的電壓降小于IV。
[0158]因此，加工電源部至供電片的電壓降小于供電片至放電部的電壓降。
[0159]Rmn=0.6V/30A=0.02 Ω (加工電源部501至供電片104的電阻值)。
[0160]因此，加工電源部至供電片的電阻值小于0.1 Ω。
[0161]因此，加工電源部至供電片的電阻值小于供電片至放電部的電阻值。
[0162]因此，加工電源部至供電片104的電壓降與供電片104至放電部的電壓降的比是10倍以上。
[0163]因此，加工電源部至供電片104的電阻值與供電片至放電部的電阻值的比是10倍以上。
[0164]因此，如果考慮Rmn而求出10根的加工電流，則成為(60V-30V)/ ((10Ω/10根)+0.02 Ω ) =29.41A，分到每一根線后的加工電流成為2.941A。
[0165]另外，在所有10根線與工件之間未均勻并且同時引起放電狀態(tài)的情況下，即使流過I根線電流，分到每一根線后的加工電流成為(60V-30V)/ (10Ω+0.02 Ω )=2.994A，相比于在所有10根線與工件之間均勻并且同時引起了放電狀態(tài)的情況，也不會產(chǎn)生大的差。
[0166]此外，作為進(jìn)一步的效果，當(dāng)對作為多根的N根(將主輥8、9卷繞N周)的線在I處(一并)供電的情況下，相比于針對每I根線獨(dú)立地供電了時的加工速度，加工速度成為I/N，但根據(jù)本發(fā)明，即使在向N根線在I處(一并)供電了的情況下，也能夠維持與向I根線獨(dú)立地供電了時等同的加工速度。
[0167]說明圖9以及圖10。
[0168] 600是同軸電纜(同軸布線部)，將用于放電加工的電源供給到線放電加工裝置I。在同軸布線部中，為了抑制布線電阻U，含有對A點(diǎn)供給加工的電流的上行用布線513和使加工之后的電流返回到加工電源部(Vmn)的下行用布線514。[0169]601L是布線513的電纜的物理長度。
[0170]602L是布線514的電纜的物理長度。
[0171]A點(diǎn)是布線513的電纜的終點(diǎn)，與供電片104電連接。
[0172]B點(diǎn)是同軸電纜中的布線514的電纜的終點(diǎn)，此處開始前端進(jìn)而與布線515連接。B點(diǎn)至C點(diǎn)被分支為單線(布線515)。
[0173]C點(diǎn)是布線515的單線電纜的終點(diǎn)，經(jīng)由工件輸送部3與工件105和3電連接。
[0174]515是單線電纜(單線部)，是同軸布線部600含有的上行用或者下行用的電纜從同軸布線部600分支的部分。
[0175]進(jìn)而，分支的單線部與供電片或者工件輸送部3中的某一方側(cè)(或者兩方側(cè))電連接。在圖10的情況下，示出與工件輸送部3連接的情況。
[0176]說明圖11。
[0177]從電源裝置通過同軸電纜600布線至中繼端子(A點(diǎn)和B點(diǎn))。直至中繼端子為止是同軸電纜，所以是低阻抗，長度的影響不大。
[0178]為了進(jìn)行放電加工，向工件和線施加電壓，所以在中繼端子中分離(分支)為工件偵儀+ )和供電片(線)側(cè)(_)，向它們分別通過單線的電線進(jìn)行布線。
[0179]所分支的單線部與供電片或者工件輸送部3中的某一方側(cè)(或者兩方側(cè))電連接。在圖11的情況下，示出與工件輸送部3連接的情況。
[0180]在如圖11那樣在繞圈的線的環(huán)路的外側(cè)配置了工件輸送部3、供電片104的情況下，為了避免向工件、供電片的單線部與繞圈的線的干擾，需要使電線在線的環(huán)路的外側(cè)走線。
[0181]向工件、供電片的各單線部的長度需要50cm?Im程度。2根合計成為Im?2m,因此，具有比較大的阻抗，根據(jù)放電的線的根數(shù)，各個放電能量不固定。
[0182]說明圖12。
[0183]說明將工件和供電片配置于線的環(huán)路內(nèi)的情況。關(guān)于向工件和供電片的布線，將來自電源裝置的同軸電纜的單側(cè)(負(fù)極)直接安裝到供電片或者供電片安裝臺上。同軸電纜的正極與單線的電線連接，向工件安裝臺布線。
[0184]如果能夠?qū)⒐╇娖惭b臺與工件安裝臺的間隔配置為最短距離，則單線部的長度是利用與工件的移動量相應(yīng)的電線的余量就充分，工件的移動量是標(biāo)準(zhǔn)的硅錠的大小156_，所以從同軸布線部僅分支伴隨工件的移動而追蹤工件的電纜部分即可，單線部515的長度最短成為20cm程度(與工件輸送部3向接近繞圈的線103的方向送出工件105的距離大致等同)。
[0185]因此，在與圖11比較的情況下，能夠?qū)尉€部的長度縮短至1/5?1/10。
[0186]S卩，當(dāng)如該圖12那樣在內(nèi)側(cè)配置了供電片104和工件輸送部3的情況下，即便最長，相比于在多個主輥8、9的外周形成且分別向不同的方向移動的2個線移動面(上表面和下表面)彼此的間隔所形成的長度(距離)，從同軸電纜部分支的單線部515的長度更短。
[0187]另外，關(guān)于從同軸電纜部分支的單線部511，既可以是如圖12那樣僅與工件105連接的下行用的I根，也可以是僅與供電片104連接的上行用的I根。另外，也可以是與工件連接的下行用的I根和與供電片104連接的上行用的I根這2根分別分支的方式。在該情況下，合計了 2根的單線部515的總延長比在多個主輥8、9的外周形成的、分別向不同的方向移動的2個線移動面(上表面和下表面)彼此的間隔所形成的長度(距離)短即可。
[0188]說明圖13。
[0189]圖13是將后述理論計算的結(jié)果歸納為表而得到的。
[0190]通過Trl發(fā)生脈沖電壓，控制線與工件之間的放電電流。
[0191]能夠利用電源電壓(Vmn)和主要由電感構(gòu)成的布線電阻U、線電阻(純電阻Rwn、電感Lw)，通過下式簡易地計算放電電流I (另外，雖然嚴(yán)密而言有放電極間電壓，但此處省略)。
[0192]布線電阻U是指，與布線513、布線514、布線515的合計的電阻分量相同。
[0193]在所放電的線是I根的情況下，放電電流(安培)能夠通過下式計算。
[0194]I= (Vmn/Rw) * (l_e-t/T)
[0195]τ是指放電電流的上升時間。
[0196]τ = (Ll+Lw) /Rw
[0197]另外，在線是多根(10根)的情況下，放電電流能夠通過下式計算。
[0198]IlO= (Vmn/ (Rw/n)* (l_e-t/T)
[0199]τ 10= (Ll+ (Lw/n)) / (Rw/n)
[0200]此處，n是一并供電的線的根數(shù)(放電的線的根數(shù))。
[0201]布線電阻U主要是電感，所以大幅影響極間的放電電流(Ign)的上升時間。
[0202]這樣，作為上升時間的τ (圖15所示)與作為布線電阻K (電感)的電源布線的電阻值的大小相關(guān)。
[0203]本來在線放電加工裝置中使用的電源供給的電源布線電纜所致的阻抗(電阻)分量有可能成為加工電源的電壓降的主要原因，所以一般期望盡可能小。
[0204]因此，即使在一般的單線中的線放電加工裝置中，從電源裝置至線放電加工裝置的附近，使用能夠減小其阻抗(電阻)分量的同軸電纜來布線。
[0205]如圖11所示，在本發(fā)明的多線放電加工裝置中，關(guān)于分別配置工件和供電片的位置，根據(jù)如上所述的以下2個理由，供電片單元和放電點(diǎn)各自分離，進(jìn)而工件伴隨放電加工推進(jìn)而可動，所以為了構(gòu)成從電源裝置對供電片供給加工電源，使在線中流過的線電流在極間發(fā)生放電，并使在工件中流過的極間電流返回到加工電源的電源電路，一定需要用從布線至多線放電加工裝置的附近的同軸電纜分支的單線布線的電纜。
[0206](I)通過盡可能延長放電點(diǎn)至供電片單元的線長(線移動的長度)，線長所致的阻抗(電阻分量)進(jìn)一步變大，其結(jié)果，每個線的阻抗(電阻分量)在電源電路中處于支配地位，能夠用每個線的阻抗(電阻分量)決定每個線中流過的電流值。
[0207](2)通過使供電片單元至放電點(diǎn)的左右兩側(cè)的線長(LI和L2)盡可能相等，線長所致的阻抗(電阻分量)也大致相等，其結(jié)果，能夠使在每個線中流過的電流值在左右兩側(cè)相等，能夠在左右兩側(cè)(移動的線的行進(jìn)方向)高精度地加工工件。
[0208]如果用單線布線的電纜長度變長，則電纜長度所致的阻抗(電阻)分量變大，成為使布線電阻U (電感)增加的主要原因。
[0209]但是在本發(fā)明的多線放電加工裝置中，盡可能縮短用單線布線的電纜長度的理由與成為加工電源的電壓降的主要原因這樣的一般的用單線的線放電加工裝置中的一般的理由不同，其目的在于使各線的每一個的加工能量不依賴于放電狀態(tài)而變得均勻。[0210]這樣，在本發(fā)明的多線放電加工裝置中，為了盡可能降低單線部分的電纜的阻抗，電纜長度優(yōu)選盡可能短，為了滿足上述2個條件而使單線部分的電纜長度成為最短，最優(yōu)選是將工件輸送部和供電片單元這兩方配置于多個主輥的內(nèi)側(cè)。
[0211]以下是使用上述式進(jìn)行理論計算而得到的結(jié)果。
[0212]能夠通過該理論計算表示作為上升時間的τ的偏差和電源布線的長度的影響。
[0213]在設(shè)為I根布線向10根線進(jìn)行一并供電的情況下，
[0214]假設(shè)為線電阻Rwn: 10 Ω、線的電感Lw:50μΗ。
[0215]分別計算了使布線的長度是2m時的布線電阻h設(shè)為2μΗ、0.2m時的布線電阻h:
0.2μ H的情況的τ。
[0216]1301是在極間放電的線的根數(shù)。
[0217]1302是合計了布線電阻和線的電感而得到的結(jié)果。單位是[微亨]。
[0218]1303是線的電阻。
[0219]1304是τ。單位是時間[微秒]。
[0220]1305是τ的偏差。
[0221]表示放電的發(fā)生狀態(tài)所致的影響。
[0222]根據(jù)表，在比較結(jié)果1300和結(jié)果1400時，可以認(rèn)為，在單線部的長度是0.2m的情況下，相比于2m的情況，τ的偏差更小，即在放電的線彼此中放電上升的時間[微秒]大致均勻地對齊。
[0223]圖14是使用上述(Vmn-Vgn)/ ((Rwn/線的根數(shù))+Rmn)=加工電流的計算式,僅使Rmn可變而比較了伴隨線的根數(shù)增加而變化的合計的加工電流的理論計算值的曲線圖。另夕卜，在式中，設(shè)為Vmn=60V、Vgn=30V、Rwn=IO Ω，求出了加工電流的值(安培)。
[0224]曲線圖的縱軸是表示合計的加工電流的安培，曲線圖的縱軸是與供電片相接而在I處(一并)供電的線的根數(shù)。通過使不同的尺寸的供電片104與線接觸而進(jìn)行供電，能夠變更在I處(一并)供電的線的根數(shù)(I根、2根、10根、、、、100根)。
[0225]曲線圖是固定Rmn以外的參數(shù)且僅將Rmn的電阻值(Ω )分別置換為不同的3個電阻值并比較而得到的結(jié)果。
[0226]根據(jù)曲線圖可知，使Rmn越小，越是伴隨線的根數(shù)增加使可以認(rèn)為與加工速度直接有關(guān)聯(lián)性的加工電流的合計與線的根數(shù)大致成比例地增加。
[0227]在本發(fā)明中，線103與工件105之間(極間)的加工液的電阻值根據(jù)極間的距離而變化。因此，通過將作為感應(yīng)電流限制電阻的Rsn506設(shè)定為與該極間的加工液的電阻值大致相同的程度的值，能夠檢測極間電壓(Vgn)的變動。
[0228]說明圖15。
[0229]圖15是將本發(fā)明的多線放電加工系統(tǒng)中的放電電流的上升方式分情況表示了的圖，左圖表示被供電的脈沖電源(圖6的503)，右上圖表示上升快的情況下的加工(圖6的508的舉動)，右下圖表示上升慢的情況下的加工(圖6的508的舉動)。
[0230]圖15是示出脈沖電源的施加(左圖)、與伴隨脈沖電源的施加而放電電流上升的關(guān)系(右圖)的圖。在本發(fā)明的線放電加工中，即使在對多根線一并供給了同一脈沖且同一電壓值的加工電源的情況下，如模擬為
[0231]1.上升快的線的情況的加工(右上圖)[0232]2.上升慢的線的情況的加工(右下圖)
[0233]那樣，和電流與時間之積即電氣量成比例地決定加工能量。極間的放電的發(fā)生針對每個線分別不同，因此，如果電流的上升時間不同，則加工能量不同。即，在上圖的上升時間(τ )短的情況下，電氣量即加工能量增加，工件被加工得多。
[0234]相反地，在下圖的上升時間(τ )長的情況下，電氣量即加工能量減少而工件被加工得少。如果這樣針對極間的每個線，直至放電電流穩(wěn)定而流出為止的上升時間(τ )產(chǎn)生偏差，則放電電流上升之后的加工能量也變化，所以每個線的加工形狀也變得不均勻。
[0235]說明圖16。
[0236]圖16是圖2的配置的變形例。在該情況下，在所示出的配置例中，將工件輸送部和供電片單元這兩方配置于多個主輥的內(nèi)側(cè)，將LI (當(dāng)線通過左側(cè)的主輥8移動的情況下的、從供電片104到放電點(diǎn)的長度)和L2 (當(dāng)線通過右側(cè)的主輥9移動的情況下的、從供電片104到放電點(diǎn)的長度)設(shè)為大致等距離，但工件輸送部的配置和供電片單元的配置即便未在鉛垂方向上整隊，仍達(dá)成本發(fā)明的目的。
[0237]說明圖17。
[0238]圖17是圖2的配置的變形例。在該情況下，將工件輸送部和供電片單元這兩方配置于多個主輥的內(nèi)側(cè)，但LU當(dāng)線通過左側(cè)的主輥8移動的情況下的、從供電片104到放電點(diǎn)的長度)和L2 (當(dāng)線通過右側(cè)的主輥9移動的情況下的、從供電片104到放電點(diǎn)的長度)不同。在該情況下，在每個線中流過的電流值在左右兩側(cè)不同，所以工件在左右兩側(cè)(移動的線的行進(jìn)方向)的精度也受到加工影響，但只要其差是10%程度，就達(dá)成本發(fā)明的目的。
[0239]說明圖18。
[0240]圖18是圖2的配置的變形例。在該情況下，在所示出的配置例中，將工件輸送部和供電片單元這兩方配置于多個主輥的內(nèi)側(cè)，將LI (當(dāng)線通過左側(cè)的主輥8移動的情況下的、從供電片104到放電點(diǎn)的長度)和L2 (當(dāng)線通過右側(cè)的主輥9移動的情況下的、從供電片104到放電點(diǎn)的長度)設(shè)為大致等距離，但即使將多個主輥并非如圖2那樣配置于2處，而如圖18那樣配置于4處，仍達(dá)成本發(fā)明的目的。在所示出的配置例中，即使將供電片單元的數(shù)量并非如圖2那樣配置于I處而如圖18那樣配置于2處，仍達(dá)成本發(fā)明的目的。
[0241]另外，用本發(fā)明的多線放電加工系統(tǒng)切割了的半導(dǎo)體鑄錠被制造成半導(dǎo)體用的基板或者太陽能電池用的基板，能夠用作半導(dǎo)體器件、太陽能電池。
【權(quán)利要求】
1.一種線放電加工裝置，按照并列設(shè)置了的線的間隔，通過放電加工對工件進(jìn)行切割，該線放電加工裝置的特征在于，具備: 多個主輥，使所述線繞圈，以使得向同一方向移動； 供電片，對所述繞圈的多根線，一并供給用于所述放電加工的加工電源； 工件輸送部，將所述工件向接近所述繞圈的線的方向送出；以及電源布線，與所述供電片以及所述工件導(dǎo)通而供給用于所述放電加工的加工電源，所述供電片以及所述工件輸送部配置于對所述多個主輥進(jìn)行繞圈的線的內(nèi)側(cè)，使用了所述電源布線的所述加工電源的電源電路與所述供電片以及所述工件輸送部分別連接。
2.根據(jù)權(quán)利要 求1所述的線放電加工裝置，其特征在于， 還具備加工槽，該加工槽配置于對所述多個主輥進(jìn)行繞圈的線的外側(cè)，并儲存加工液， 所述工件輸送部配置于比所述供電片低的位置， 所述工件輸送部將所述工件向接近所述繞圈的線的方向送出，以將所保持的所述工件浸潰到所述加工液中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的線放電加工裝置，其特征在于， 所述電源布線具有: 含有上行用以及下行用的電纜的同軸布線部；以及 所述含有的所述上行用或者所述下行用的電纜從所述同軸布線部分支而與所述供電片和所述工件輸送部中的一個連接的單線部， 相比于在所述多個主輥的外周形成的、向不同的方向移動的2個線移動面彼此的間隔引起的長度，所述分支了的單線部的長度更短。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的線放電加工裝置，其特征在于， 所述電源布線具有: 含有上行用以及下行用的電纜的同軸布線部；以及 所述含有的所述上行用或者所述下行用的電纜從所述同軸布線部分支而與所述供電片和所述工件輸送部中的一個連接的單線部， 所述分支了的單線部的長度與所述工件輸送部將所述工件向接近繞圈的線的方向送出的距離大致相等。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項所述的線放電加工裝置，其特征在于，具備: 放電部，使被一并供給到所述線的所述加工電源向所述工件放電；以及 電源部，對所述供電片供給用于所述放電加工的加工電源， 所述電源部至所述供電片的電源布線的電阻小于所述供電片至所述放電部的線的電阻。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線放電加工裝置，其特征在于， 所述電源部至所述供電片的電源布線的電阻小于0.1 Ω。
7.一種線放電加工裝置中的線放電加工方法，該線放電加工裝置按照并列設(shè)置了的線的間隔，通過放電加工對工件進(jìn)行切割，該線放電加工裝置具備:多個主輥，使所述線繞圈，以使得向同一方向移動；供電片，對所述繞圈的多根線，一并供給用于所述放電加工的加工電源；工件輸送部，將所述工件向接近所述繞圈的線的方向送出；以及電源布線，與所述供電片以及所述工件導(dǎo)通而供給用于所述放電加工的加工電源，其中，所 述供電片以及所述工件輸送部配置于對所述多個主輥進(jìn)行繞圈的線的內(nèi)側(cè)，使用了所述電源布線的所述加工電源的電源電路與所述供電片以及所述工件輸送部分別連接。
【文檔編號】B23H7/02GK103962664SQ201410025482
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2014年1月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月29日
【發(fā)明者】栗原治彌 申請人:佳能市場營銷日本株式會社, 株式會社牧野銑床制作所