專利名稱：激光加工方法和激光加工設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種激光加工方法和激光加工設備。
背景技術：
鋼化玻璃，例如美國康寧公司的大猩猩玻璃(Gorilla)及日本旭硝子公司(Asahi)的龍跡玻璃(Dragontrail)及鈉I丐玻璃 (Sodalime)等鋼化玻璃，由于其高透性和高強度，已經(jīng)廣泛應用于顯示屏器件。傳統(tǒng)玻璃切割工藝通常難以對鋼化玻璃進行良好的切割。傳統(tǒng)玻璃切割主要包括刀輪切割、激光切割及磨棒研磨。傳統(tǒng)刀輪切割、激光切割利用刀輪或激光在玻璃表面或內部形成切割起始開口或起始裂紋，然后在裂片工藝中使裂紋在玻璃上下表面之間延伸以使玻璃被完全切割開。利用傳統(tǒng)刀輪切割或激光切割工藝切割鋼化玻璃時，由于鋼化玻璃的鋼化層中存在應力，裂紋在鋼化層中經(jīng)常不會完全按照預期路徑生長，甚至完全不按照預期路徑而無序生長，從而導致裂片和切割失敗。磨棒研磨通常用于玻璃內部封閉區(qū)域的切害I]。先用鉆頭鉆出小孔，再換不同的磨棒研磨至要求的大小。利用磨棒研磨工藝切割鋼化玻璃時，鋼化玻璃的鋼化層中的應力經(jīng)常在鉆孔和研磨時產(chǎn)生不希望的裂紋。另外，磨棒損耗很大，效率很低。因此，對于鋼化玻璃，例如大猩猩玻璃(Gorilla)、鈉鈣玻璃(Sodalime)和龍跡玻璃(Dragontrail)等鋼化玻璃，現(xiàn)有的各種加工方法都不能有效實行穩(wěn)定的切割。現(xiàn)在對鋼化玻璃進行切割時通常需要將未鋼化的玻璃切割研磨后再進行鋼化處理，效率極低。因此，需要一種能對鋼化玻璃，例如大猩猩玻璃(Gorilla)、鈉鈣玻璃(Sodalime)及龍跡玻璃(Dragontrail)等鋼化玻璃進行有效穩(wěn)定切割的加工方法和加工設備。

發(fā)明內容
本發(fā)明的激光切割技術是以激光源為能量源的熱去除切割工藝。具體而言，本發(fā)明利用脈沖激光在聚光點處的高功率密度輸出，使激光聚光點處的材料瞬間氣化或者融化，從而實現(xiàn)材料的去除。材料熱去除區(qū)橫向和縱向相連成為切割區(qū)，從而實現(xiàn)材料的切割分離。其超短脈沖又將熱影響限制在焦點附近極小的區(qū)域內，防止周圍脆性材料受熱后爆
ο根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種激光加工方法，包括以下步驟透過加工物的入射表面照射激光并在所述加工物的切割起始面上或附近聚光，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而在切割起始面上形成起始熱去除區(qū)，并使起始熱去除區(qū)在所述切割起始面上沿預定路徑連續(xù)分布從而形成起始熱去除線；照射激光以在之前的熱去除步驟中新形成的加工物表面上或附近聚光，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而形成后續(xù)熱去除區(qū)，并使后續(xù)熱去除區(qū)沿預定路徑連續(xù)分布從而形成后續(xù)熱去除線。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種用于對加工物進行激光切割的激光加工設備，包括發(fā)射脈沖激光的激光光源；聚光裝置，所述聚光裝置能將所述激光光源發(fā)射的脈沖激光在加工物表面或內部聚光，使得至少聚光點處的功率密度能使加工物被氣化和/或熔化而形成熱去除區(qū)；移動裝置，所述移動裝置能使所述聚光點相對于所述加工物移動，所述移動裝置被配置成，使得聚光點在所述加工物的切割起始面上或附近，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而在切割起始面上形成起始熱去除區(qū)，并使起始熱去除區(qū)在所述切割起始面上沿預定路徑連續(xù)分布從而形成起始熱去除線；使得聚光點在之前的熱去除步驟中新形成的加工物表面上或附近，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而形成后續(xù)熱去除區(qū)，并使后續(xù)熱去除區(qū)沿預定路徑連續(xù)分布從而形成后續(xù)熱去除線。本發(fā)明采用了熱去除方法進行鋼化玻璃的切割，避免了傳統(tǒng)玻璃切割工藝中的裂片工藝，避免了鋼化玻璃切割中容易出現(xiàn)的裂紋無序生長從而導致切割失敗的情況，從而能對鋼化玻璃進行高效穩(wěn)定的加工。本發(fā)明的脈沖激光切割工藝與傳統(tǒng)加工方法相比具有許多優(yōu)點(I)加工范圍不受材料物理、機械性能的限制，能加工任何硬的、軟的、脆的、耐熱 或高熔點金屬以及非金屬材料。(2)易于加工復雜型面、微細表面以及柔性零件。(3)易獲得良好的切割截面質量，切割碎屑污染，熱應力、殘余應力、冷作硬化、熱影響區(qū)等均比較小。(4)能夠在封閉區(qū)域進行鋼化玻璃的異形切割，并有極高的穩(wěn)定性。(5) 3D動態(tài)掃面聚焦鏡和雙光路系統(tǒng)能大幅提升加工效率。(6)使用能透過玻璃的激光，始終聚光在玻璃的下表面或熱去除形成的下表面進行加工，切割殘渣始終在激光切割區(qū)域下方，不會影響激光的后續(xù)聚焦，提高了激光加工效率。并能夠獲得光滑，垂直無錐度的切割截面。(7)在鋼化玻璃下方設置在激光照射時表面能發(fā)生濺射的材料，使得在切割過程中有濺射出的材料粘附在玻璃下表面上，從而增加玻璃對激光的吸收率。(8)本發(fā)明采用納秒、皮秒或飛秒激光器，脈寬小，對周圍區(qū)域熱影響小，能抑制微裂紋的產(chǎn)生。


圖I是利用本發(fā)明的激光加工設備進行鋼化玻璃切割的視圖；圖2是激光切割的局部放大圖；圖3是與圖2類似的視圖，其中在玻璃下方增加了柔性材料。附圖標記說明I、脈沖激光器；2、光閘；3、擴束鏡；4、45度半透半反鏡；5、45度全反射鏡；6、3D動態(tài)掃描振鏡；7、聚焦鏡；8、吹氣冷卻裝置；9、平臺；10、吸氣裝置；11、同軸CCD ;20、激光束；30、玻璃；32、切割道；40、柔性材料；50、殘渣。
具體實施例方式本發(fā)明的激光切割技術是以激光為能量源的熱去除切割工藝。具體而言，本發(fā)明利用脈沖激光在聚光點處的高功率密度輸出，使激光聚光點處的材料瞬間氣化或者融化，從而實現(xiàn)材料的去除。材料熱去除區(qū)延伸形成熱去除面，從而實現(xiàn)材料的切割分離。本發(fā)明的切割工藝首先在預定的加工物切割起始面上或附近照射并掃描激光以從加工物切割起始面上熱去除材料。加工物切割起始面被熱去除材料后加工物內部材料暴露形成新表面。之后在所形成的新表面上照射并掃描激光以進一步去除材料，最終使整個預定切割面上的加工物材料均被熱去除，從而完成切割。具體而言，首先，透過加工物的入射表面照射激光并在所述加工物的切割起始面上或附近聚光，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而在切割起始面上形成起始熱去除區(qū)，并使起始熱去除區(qū)在所述切割起始面上沿預定路徑連續(xù)分布從而形成起始熱去除線，多條熱去除線橫向疊加形成熱去除道。之后，照射激光以在之前的熱去除步驟中新形成的加工物表面上或附 近聚光，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而形成后續(xù)熱去除區(qū)，并使后續(xù)熱去除區(qū)沿預定路徑連續(xù)分布從而形成后續(xù)熱去除線，多條后續(xù)熱去除線橫向疊加形成后續(xù)熱去除道。所述后續(xù)熱去除線與之前形成的起始熱去除線或后續(xù)熱去除線一起至少部分地形成將所述加工物分開的熱去除面。本發(fā)明所述的在加工物的切割起始面(或在之前的熱去除步驟中形成的加工物表面)上或附近聚光，是指聚光點位置在切割起始面(或在之前的熱去除步驟中新形成的加工物表面)上或與之足夠近，使得形成的熱去除區(qū)包括該切割起始面(在之前的熱去除步驟中新形成的加工物表面)，即，聚光點處或鄰近區(qū)域中的切割起始面(在之前的熱去除步驟中形成的加工物表面)被形成的熱去除區(qū)至少部分去除。本發(fā)明涉及脈沖雙光路激光切割大猩猩玻璃(Gorilla)、鈉鈣玻璃(Sodalime)及龍跡玻璃(Dragontrail)等鋼化玻璃的設備和方法。脈沖激光器是波長266_1064nm的納秒、皮秒及飛秒激光器，加工材料為普通玻璃以及、大猩猩玻璃(Gorilla)、鈉鈣玻璃(Sodalime)及龍跡玻璃(Dragontrail)等鋼化玻璃等透明材料。切割過程中，光學掃描聚焦系統(tǒng)將激光聚焦在透明材料的下表面(在之前的熱去除步驟中形成的加工物表面)，每層材料以特定間隔特定順序進行切割，對不同的玻璃厚度形成合適的切割寬度，焦點由下往上運動，達到切割材料的目的。本發(fā)明所采用的是納秒、皮秒或飛秒激光器，激光脈沖很短。本發(fā)明的脈沖激光短于絕大多數(shù)化學和物理反應，比如機械和熱力學的特征時間等。激光峰值功率密度極高，由于超短激光脈沖與物質相互中獨特的多光子吸收過程，其加工精度可以突破相干極限的瓶頸，從而使納米加工和相應微/納電子、微/納光學的許多構想成為可能。超短激光脈沖序列可以控制電離過程、選擇性地電離原子、控制分子中基態(tài)轉動等。圖I為本發(fā)明所使用雙光路脈沖激光切割鋼化玻璃的視圖。加工開始時激光焦點聚焦在玻璃的下表面，激光器I發(fā)出的激光經(jīng)過電動光閘2控制開關光，具體可以由軟件控制感應信號來控制光閘2的開啟和關閉，從而實現(xiàn)激光器I的外部控制激光開關。之后激光經(jīng)過擴束鏡3對光束進行同軸擴束，一方面改善光束傳播的發(fā)散角，達到光路準直的目的；另外一方面，可以控制激光最終聚焦光斑的大小，使得到理想的光斑大小，從而實現(xiàn)激光穩(wěn)定切割的目的。經(jīng)擴束鏡3擴束后光束經(jīng)I片45度半反半透鏡4和45度全反射鏡5后，光路由水平改為垂直向下。光束經(jīng)3D動態(tài)掃描聚焦鏡6、7聚焦在工件的下表面?？刂葡到y(tǒng)將切割圖形轉化為數(shù)字信號，然后驅動3D動態(tài)聚焦振鏡6中的反射鏡片掃描加工圖形；同軸CCD 11在加工開始前對工件進行精確定位，利用抓靶程序抓取工件上的定位標志，計算補償值，實現(xiàn)切割圖形和實際切割道的精確匹配，加工時也能實時觀察加工進程和效果。加工開始后，吹氣冷卻和吸氣裝置8、10開始工作，將切割殘渣排除，同時吹氣也起冷卻效果，提高切割質量；加工時6中的3D動態(tài)聚焦鏡在每一層加工完成后自動將焦點提升，由下往上切割玻璃最終將玻璃切穿。加工完成后平臺9自動將玻璃移出加工位置，便于物料取放。圖2是圖I中激光切割的局部放大圖。如圖所示，兩個光路(圖2中僅示出一個光路)中脈沖激光的分別進行切割，激光透過玻璃上表面聚光在玻璃的下表面或下表面附近。聚光點處的高功率密度使聚光點處及附近的玻璃瞬間氣化或融化并從玻璃下表面排出或濺出，以在玻璃下表面形成熱去除區(qū)。將激光聚光點相對于玻璃水平移動，沿著移動路徑，聚光點處或附近的玻璃下表面的玻璃材料不斷被熱去除，形成熱去除線，熱出去線橫向疊加形成熱去除道32。在玻璃下表面形成預定路線的熱去除道后，使激光聚光點大致上移一熱去除道的厚度，以使聚光點落在之前的熱去除過程中新形成的玻璃表面上或附近，再重復進行上述的步驟，以在熱去除道32上方再形成一熱去除道。如此反復，最后一次將玻璃 上表面的玻璃材料熱去除，從而將玻璃完全切穿。如圖1-3所不,本發(fā)明的激光加工設備還包括布置成往玻璃30上表面吹氣的吹氣冷卻裝置8和和在玻璃下方吸氣的吸氣收集裝置10。吹氣冷卻裝置8的主要作用是冷卻玻璃上表面，否則玻璃上表面最后剩余的薄層玻璃會由于熱積累而破裂，形成微裂紋。吹氣冷卻裝置8能顯著抑制微裂紋的產(chǎn)生?？蛇x地，吹氣冷卻裝置8也在激光切割玻璃的最上一層時用于吹走產(chǎn)生的熔渣、碎屑等。由于本發(fā)明中是是從下往上加工，氣化或融化的加工物材料等會受重力及焦點處空氣的熱膨脹自動從玻璃30排出，然后被吸氣收集裝置10收集。圖3示出了與圖2類似的視圖，其中在玻璃下方增加了柔性材料40。柔性材料40是在被激光照射時表面能發(fā)生濺射的材料，在激光切割區(qū)域該柔性材料40與所述加工物間隔開一距離，例如，10 μ m-2mm。該柔性材料40可以是紙張、油墨、鋁等。優(yōu)選地，激光切割區(qū)域柔性材料的下方位置沒有被平臺完全支撐住。在激光切割過程中，部分激光會透過玻璃30而照射在柔性材料40上，柔性材料30因此發(fā)生濺射，濺射物部分粘附在玻璃30的下表面上，使得玻璃30的下表面的激光吸收率提高，從而能以較低的激光功率進行切割。上文中結合附圖描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，然而本發(fā)明不限于此。在附圖所示的優(yōu)選實施例中，激光從玻璃上表面入射并且從鋼化玻璃的下表面開始切割，然而本發(fā)明不限于此。在可選實施例中，激光也可以從鋼化玻璃的側表面或下表面入射，并且可以從鋼化玻璃的上表面、側表面或下表面開始，只要入射表面和切割起始表面是不同的表面即可。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，每次形成一熱去除道后將激光聚光點大致上移一熱去除道的高度，然而本發(fā)明不限于此。在可選實施例中，可以以不同方式移動激光聚光點，只要聚光點落在之前的熱去除步驟中形成的玻璃表面上或附近，從而使新形成的熱去除線與該之前的熱去除線部分重合。本發(fā)明的熱去除線也可以是任意形狀，只要熱去除線最后能形成將加工物分開的熱去除面。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，加工物是鋼化玻璃，最優(yōu)選為大猩猩玻璃(Gorilla)、鈉鈣玻璃(Sodalime)或龍跡玻璃(Dragontrail)等鋼化玻璃。然而本發(fā)明不限于此，在可選實施例中，所述加工物可以是其它種類的玻璃，或者是激光能夠透過的其它材料。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，鋼化玻璃厚度小于或等于5mm，鋼化層深度小于或等于100 μ m。更優(yōu)選地，鋼化玻璃厚度小于或等于2_，鋼化層深度小于或等于80 μ m。然而本發(fā)明不限于此，本發(fā)明的鋼化玻璃可以具有其它厚度和鋼化層深度。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，激光光源發(fā)出的激光脈寬為50ps-15ns，激光峰值功率O. 1-1MW，熱去除線的寬度為10_60μπι。然而本發(fā)明不限于此，本發(fā)明的激光光源可以是納秒激光器、皮秒激光器或飛秒激光器，熱去除線也可以采用其它寬度。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，利用45度半透半反鏡將激光光束分成兩束，以同時進行切割。然而本發(fā)明不限于此，本發(fā)明可以利用一束激光進行切割，也可以將激光分成3、4或更多的光束進行切割。 在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，通過布置成給玻璃上表面吹氣的吹氣冷卻裝置來給玻 璃上表面進行冷卻。然而本發(fā)明不限于此，可以采用其它冷卻裝置來對玻璃上表面進行冷卻。在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，形成一道熱去除線，多條熱去除線橫向疊加形成熱去除道用于增加切割寬度，再將激光聚光點上移一預定距離，從而在每一聚焦高度形成僅形成一特定寬度的熱去除道。然而本發(fā)明不限于此，可以在不同聚焦高度處形成不同寬度的熱去除道，從而可以設定切割截面的形狀。對于O. 5-2_厚度的玻璃，切割寬度優(yōu)選為100-400 μ m。在優(yōu)選實施例中，每個熱去除道由多條熱去除線橫向疊加形成，然而本發(fā)明不限于此，在可選實施例中，至少一些熱去除道由一條熱去除線構成。在另外一些可選實施例中，全部熱去除道均由一條熱去除線構成。以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明的保護范圍應以所附權利要求為準。
權利要求
1.一種激光加工方法，包括以下步驟 透過加工物的入射表面照射激光并在所述加工物的切割起始面上或附近聚光，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而在切割起始面上形成起始熱去除區(qū)，并使起始熱去除區(qū)在所述切割起始面上沿預定路徑連續(xù)分布從而形成起始熱去除線. 照射激光以在之前的熱去除步驟中形成的加工物表面上或附近聚光，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而形成后續(xù)熱去除區(qū)，并使后續(xù)熱去除區(qū)沿預定路徑連續(xù)分布從而形成后續(xù)熱去除線。
2.如權利要求I所述的激光加工方法，其中形成起始熱去除線的步驟包括多條起始熱去除線橫向疊加形成起始熱去除道，形成后續(xù)熱去除線的步驟包括多條后續(xù)熱去除線橫向疊加形成后續(xù)熱去除道。
3.如權利要求2所述的激光加工方法，其中所述入射表面是所述加工物的上表面且所述切割起始面是所述加工物的下表面，所述方法還包括在形成一所述起始熱去除道或所述后續(xù)熱去除道后，將聚光點相對于所述加工物上移一預定距離以在上移的聚光點高度處形成一后續(xù)熱去除道。
4.如權利要求I所述的激光加工方法，其中所述加工物是玻璃。
5.如權利要求I所述的激光加工方法，其中所述加工物是鋼化玻璃。
6.如權利要求I所述的激光加工方法，其中所述加工物是大猩猩玻璃、鈉鈣玻璃或龍跡玻璃。
7.如權利要求5所述的激光加工方法，其中所述鋼化玻璃的鋼化層深度小于或等于100 μ m,且所述鋼化玻璃厚度小于或等于5mm。
8.如權利要求I所述的激光加工方法，其中所述激光由納秒激光器、皮秒激光器或飛秒激光器產(chǎn)生，激光峰值功率O. 1-1麗，所述起始熱去除線或后續(xù)熱去除線的寬度為10-60 μ mD
9.如權利要求1-8中任一項所述的激光加工方法，包括 在入射到所述加工物之前將所述激光分成兩束或更多束，每束激光各自用于單獨的切割。
10.如權利要求1-8中任一項所述的激光加工方法，包括 在所述加工物下方設置在激光照射時能發(fā)生濺射的材料，在切割區(qū)域所述材料和所述加工物間隔開一距離。
11.如權利要求9所述的激光加工方法，其中所述材料包括紙張、油墨、鋁。
12.如權利要求1-8中任一項所述的激光加工方法，包括對所述入射表面進行冷卻的步驟。
13.如權利要求11所述的激光加工方法，其中通過吹氣裝置進行所述冷卻。
14.如權利要求1-8中任一項所述的激光加工方法，包括利用吸氣裝置將氣化和融化的加工物材料吸走。
15.如權利要求1-8中任一項所述的激光加工方法，其中后續(xù)熱去除線和起始熱去除線一起形成將所述加工物分開的熱去除面。
16.一種用于對加工物進行激光切割的激光加工設備，包括發(fā)射脈沖激光的激光光源； 聚光裝置，所述聚光裝置能將所述激光光源發(fā)射的脈沖激光在加工物表面或內部聚光，使得至少聚光點處的功率密度能使加工物被氣化和/或熔化而形成熱去除區(qū)； 移動裝置，所述移動裝置能使所述聚光點相對于所述加工物移動，所述移動裝置被配置成 使得脈沖激光透過所述加工物的入射表面并使聚光點在所述加工物的切割起始面上或附近，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而在切割起始面上形成起始熱去除區(qū)，并使起始熱去除區(qū)在所述切割起始面上沿預定路徑連續(xù)分布從而形成起始熱去除線； 使得聚光點在之前的熱去除中形成的加工物表面上或附近，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而形成后續(xù)熱去除區(qū)，并使后續(xù)熱去除區(qū)沿預定路徑連續(xù)分布從而形成后續(xù)熱去除線。
17.如權利要求16所述的激光加工設備，其中所述移動裝置進一步配置成使多條所述起始熱去除線橫向疊加形成起始熱去除道，使多條所述后續(xù)熱去除線橫向疊加形成后續(xù)熱去除道。
18.如權利要求17所述的激光加工設備，其中所述入射表面是所述加工物的上表面且所述切割起始面是所述加工物的下表面，其中所述移動裝置進一步配置成，在形成一所述起始熱去除道或所述后續(xù)熱去除道后，將聚光點位置上移一預定距離以在上移的聚光點高度處形成一后續(xù)熱去除道。
19.如權利要求16所述的激光加工設備，其中所述加工物是鋼化玻璃。
20.如權利要求19所述的激光加工設備，其中所述加工物是大猩猩玻璃、鈉鈣玻璃或龍跡玻璃。
21.如權利要求16所述的激光加工設備，其中所述激光光源是納秒激光器、皮秒激光器或飛秒激光器，激光峰值功率O. 1-1MW。
22.如權利要求16-21中任一項所述的激光加工設備，包括 分光裝置，所述分光裝置在入射到所述加工物之前將所述激光分成能各自進行切割的兩束或更多束激光。
23.如權利要求16-21中任一項所述的激光加工設備，包括 在所述加工物下方設置在激光照射時能發(fā)生濺射的材料，在激光照射處所述材料和所述加工物間隔開一距離。
24.如權利要求23所述的激光加工設備，其中所述材料包括紙張、油墨、鋁。
25.如權利要求16-21中任一項所述的激光加工設備，包括對加工物的入射表面進行冷卻的冷卻裝置。
26.如權利要求25所述的激光加工設備，其中所述冷卻裝置是吹風裝置。
27.如權利要求16-21中任一項所述的激光加工設備，包括吸氣裝置，用于將氣化和融化的加工物材料吸走。
28.如權利要求16-21中任一項所述的激光加工設備，其中起始熱去除線和后續(xù)熱去除線一起形成將所述加工物分開的熱去除面。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種激光加工方法和激光加工設備。激光加工方法包括以下步驟透過加工物的入射表面照射激光并在加工物的切割起始面上或附近聚光，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而在切割起始面上形成起始熱去除區(qū)，并使起始熱去除區(qū)在切割起始面上沿預定路徑連續(xù)分布從而形成起始熱去除線；照射激光以在之前的熱去除步驟中新形成的加工物表面上或附近聚光，使聚光點處和/或聚光點鄰近區(qū)域的加工物氣化和/或熔化，從而形成后續(xù)熱去除區(qū)，并使后續(xù)熱去除區(qū)沿預定路徑連續(xù)分布從而形成后續(xù)熱去除線。
文檔編號B23K26/067GK102814591SQ20121016044
公開日2012年12月12日 申請日期2012年5月23日 優(yōu)先權日2012年5月23日
發(fā)明者趙裕興, 狄建科, 益凱劼, 張子國, 閆華 申請人:蘇州德龍激光有限公司