專(zhuān)利名稱(chēng)：：非蒸散型吸氣合金的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及非蒸散型吸氣合金。具體地，本發(fā)明涉及具有一般性用途并且沒(méi)有環(huán)境問(wèn)題或安全性問(wèn)題的非蒸散型合金。非蒸散型合金，也稱(chēng)為NEG合金，能夠可逆地吸附氫氣并且能夠不可逆地吸附氧氣、水蒸氣、二氧化碳等氣體，有些合金甚至可以不可逆地吸附氮?dú)?。因此，這些合金用于保持絕熱裝置的真空，例如，用在保溫瓶或杜瓦瓶以及在北極區(qū)內(nèi)輸送石油的管道的抽真空的空腔內(nèi)。另外，它們也可以用于從氣態(tài)的大氣中除去上述氣體，一般形成稀有氣體。其中一個(gè)實(shí)例是用在燈中，尤其是熒光燈內(nèi)，其中，所說(shuō)的NEG合金的作用是保持適合于所說(shuō)的燈工作的氣氛。此外，NEG合金用于提純惰性氣體，從所說(shuō)的惰性氣體中，NEG合金除去上述的氣體；在這種情況下，可以在使用提純的氣體之前或上流進(jìn)行提純，或者在與使用提純的氣體相同的室內(nèi)進(jìn)行，例如，在以SanLuisObispo，USA的SAESPureGas公司的名義提出的專(zhuān)利申請(qǐng)WO96/13620中提出的半導(dǎo)體的生產(chǎn)中。一般來(lái)說(shuō)，這些合金以鋯和/或鈦?zhàn)鳛槠渲饕煞?，并含有一種或多種選自過(guò)渡金屬或鋁的其它元素。NEG合金是一些專(zhuān)利的主題。美國(guó)專(zhuān)利3,203,901提出了Zr-Al合金，具體的是由其申請(qǐng)人以商品名St101制造并銷(xiāo)售的重量組成為Zr84％-Al16％的合金；美國(guó)專(zhuān)利4,071,335提出了一種Zr-Ni合金，具體的是由其申請(qǐng)人以商品名St199TM制造并銷(xiāo)售的重量組成為Zr75.7％-Ni24.3％的合金；美國(guó)專(zhuān)利4,306,887提出了Zr-Fe合金，具體的是由其申請(qǐng)人以商品名St198TM制造并銷(xiāo)售的重量組成為Zr76.6％-Fe23.4％的合金。由于其某些特定的性質(zhì)，這些材料的使用一般局限于某些特定的用途例如，上述的St101合金具有約900℃的活化溫度，在含有這種合金的裝置能夠耐高溫時(shí)，才使用這種合金，而上述St198TM合金僅表現(xiàn)出有限的氮?dú)馕?。?lèi)似于上述專(zhuān)利提出的那些材料甚至具有更具體的用途。例如，專(zhuān)利CA1,320,336提出了用金屬間化合物ZrCo作為可逆儲(chǔ)氫裝置，對(duì)于氫氣和其同位素，所說(shuō)的金屬間化合物具有高的平衡壓力。專(zhuān)利US4,668,424提出了鋯-鎳-稀土混合物合金，可能包括一種或多種金屬，如鈷。但是，這些材料的使用局限于氫氣和其同位素的可逆吸附。由于上述原因，上述合金可以定義為特定用途的合金，通常在專(zhuān)利和技術(shù)或商業(yè)通報(bào)中對(duì)照特定應(yīng)用中的用途進(jìn)行描述或引證。另一方面，有些合金具有較低的活化溫度并且對(duì)于許多不同的氣體具有良好的吸附性能；表現(xiàn)出這些功能特性的合金是特別有用的，因?yàn)樗鼈兛梢杂糜诟鞣N條件下，因此可以用于一些不同的用途。這些合金可以定義為一般用途的合金，如下文將要涉及到的那些合金。在具有一般性用途的合金中，應(yīng)用最廣泛的是重量組成為Zr70％-V24.6％-Fe5.4％，活化溫度范圍為350-500℃的合金，這與吸氣材料的正常值相比是較低的；這種合金在美國(guó)專(zhuān)利US4,312,669中提出并且由申請(qǐng)人以商品名St707TM制造和銷(xiāo)售。然而，St707TM合金具有含釩的缺點(diǎn)，釩的化合物，特別是其氧化物是有毒的。在一些以JapanPionics公司的名義提出的已經(jīng)公開(kāi)的專(zhuān)利申請(qǐng)中提出的用于提純惰性氣體的許多合金中都含有釩，其中包括日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)5-4809，6-135707和7-242401。在使用以前技術(shù)的某些NEG合金時(shí)出現(xiàn)的另一問(wèn)題是當(dāng)所說(shuō)的合金突然與大量的反應(yīng)性氣體接觸，如暴露于空氣中，而且當(dāng)合金在初始溫度超過(guò)200-250℃時(shí)，它們可以發(fā)生強(qiáng)烈的放熱反應(yīng)導(dǎo)致溫度升高到1000℃以上，由此威脅工人和設(shè)備的安全。事實(shí)上，這些合金通常包含在裝置或設(shè)備的內(nèi)部，所說(shuō)的裝置或設(shè)備是金屬制成的，通常是鋼制的，其器壁可能在1000℃以上熔化，從而可能導(dǎo)致材料在高溫時(shí)的泄漏，并且造成對(duì)環(huán)境的危害。例如，由于含有所說(shuō)的合金的裝置的偶然破壞或負(fù)責(zé)組裝或加工該裝置的操作人員的失誤，可能發(fā)生這些事件。這些問(wèn)題主要發(fā)生在提純惰性氣體時(shí)；在通常為鋼質(zhì)器壁的凈化器內(nèi)部，有大量處于約400℃的工作溫度的吸氣合金；如果空氣或其它反應(yīng)性氣體偶然進(jìn)入，這些條件引起劇烈的反應(yīng)，可能導(dǎo)致所有吸氣材料和凈化器壁的熔化。過(guò)去在半導(dǎo)體生產(chǎn)廠已經(jīng)發(fā)生過(guò)類(lèi)似的事件，其中使用以吸氣材料為基礎(chǔ)的中型和大型氣體凈化器。此外，在類(lèi)似的情況中，NEG材料在環(huán)境中形成和傳播有毒和有害物質(zhì)的危險(xiǎn)增大，例如，當(dāng)吸氣材料是St707合金或前述專(zhuān)利申請(qǐng)中提到的以JapanPionics的名義提出的任何合金時(shí)的釩的氧化物。本發(fā)明的目的是提供非蒸散型吸氣合金，所說(shuō)的吸氣合金具有一般性用途并且不涉及前面提到的環(huán)境或安全方面的危險(xiǎn)。具體地，本發(fā)明的目的是提供吸氣合金，所說(shuō)的吸氣合金能夠吸附多種氣體并且活化溫度較低，不含有釩或其它有毒的或能夠形成有毒化合物的材料，并且在與反應(yīng)性氣體劇烈反應(yīng)時(shí)達(dá)到的溫度低于其它已知的NEG合金。根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)應(yīng)用非蒸散型吸氣合金可以達(dá)到這一目的，所說(shuō)的吸氣合金包括鋯，鈷和選自釔，鑭或稀土元素的一種或多種組分。參考附圖，本發(fā)明將描述如下，其中圖1表示一個(gè)三元相圖，其中具有根據(jù)本發(fā)明的NEG合金的可能組成；圖2a-2d表示一些用本發(fā)明的合金生產(chǎn)的非揮發(fā)吸氣裝置的某些可能的實(shí)施方案；圖3-7表示本發(fā)明的合金和一些參考合金的氣體吸附性質(zhì)的曲線。用于使本發(fā)明付諸實(shí)際的合金是在圖1所示的三元相圖內(nèi)，由下列各點(diǎn)所確定的多邊形包圍的那些重量組成a)Zr81％-Co9％-A10％；b)Zr68％-Co22％-A10％；c)Zr74％-Co24％-A2％；d)Zr88％-Co10％-A2％。其中，A是選自釔，鑭、稀土元素中的任一種元素或其混合物。具體地，所說(shuō)的合金優(yōu)選的是含有所說(shuō)的元素或元素混合物A，其重量百分組成約為5％；所說(shuō)的合金甚至更優(yōu)選的是具有Zr80.8％-Co14.2％-A5％的重量組成，如圖1相圖中的點(diǎn)e所示。稀土金屬混合物作為除了鋯和鈷以外的第三種組分的使用對(duì)本發(fā)明是特別有用的。以下簡(jiǎn)寫(xiě)為MM，是一種主要由鈰，鑭，釹以及較小量的其它稀土元素組成的混合物。但是，稀土金屬混合物的準(zhǔn)確組成并不重要，因?yàn)榍懊嫣岬降脑鼐哂蓄?lèi)似的反應(yīng)活性，從而使不同類(lèi)型的稀土金屬混合物的化學(xué)性質(zhì)隨著單一元素含量的變化基本上保持相同；因此，本發(fā)明的合金的工作特性不依賴(lài)所用的稀土金屬混合物類(lèi)型的特定組成?？梢酝ㄟ^(guò)在熔爐中熔化片狀或粉末狀的組分金屬制備本發(fā)明的合金，其比例對(duì)應(yīng)于期望的組成。在惰性氣氛中，例如在300mbar的氬氣氣氛中的電弧爐熔化技術(shù)；或在真空中或在惰性氣氛中的感應(yīng)電爐熔化技術(shù)是優(yōu)選的?？傊梢允褂靡苯痤I(lǐng)域中的其它現(xiàn)有技術(shù)制備合金。熔化要求約1000℃以上的溫度。為了用本發(fā)明的合金生產(chǎn)吸氣裝置，無(wú)論這些裝置是由單一吸氣材料加工成片狀，還是在載體上或在容器內(nèi)形成的這種吸氣材料的組合體，粉末形式的合金是優(yōu)選的，其顆粒尺寸一般小于250μm，優(yōu)選的是在40-125μm范圍內(nèi)。較大的顆粒尺寸涉及材料的比表面(每單位重量的表面積)的過(guò)分減小，導(dǎo)致氣體吸附性能的降低，主要是在溫度低于約200℃時(shí)；雖然在一些用途中可能使用并且需要小于40μm的顆粒尺寸，但是在吸氣裝置的制造工序中它們會(huì)產(chǎn)生一些問(wèn)題。如上所述，用本發(fā)明的合金制造的吸氣裝置可以有許多形狀，包括由單一吸氣合金粉末形成的片狀，或在金屬載體上得到的那些形狀。在這兩種情況下，可以通過(guò)壓制或通過(guò)燒結(jié)使粉料形成塊體。單一壓制后粉末的片狀體可以用于保溫瓶的熱絕緣。當(dāng)粉末被放在載體上時(shí)，一般用鋼，鎳或鎳合金作為載體材料。所說(shuō)的載體簡(jiǎn)單地可以是帶狀形式的，其表面有通過(guò)冷軋附著在上面的所說(shuō)的合金粉末，或用各種技術(shù)進(jìn)行沉積之后通過(guò)燒結(jié)附著在上面的所說(shuō)的合金粉末；用這樣的帶獲得的吸氣裝置用于燈泡。所說(shuō)的載體也可以是實(shí)際容器的形狀，可以具有任何形狀，并且含有一般是通過(guò)壓制而嵌入的粉末，或者即使在裝置內(nèi)沒(méi)有壓制，在容器內(nèi)部提供一個(gè)多孔隔板，使氣體能夠透過(guò)但是能保持粉末。這些實(shí)施方案中的一些表示于圖2a-2d圖2a表示僅由壓制粉末形成的小片20；圖2b表示由其上有NEG合金粉末32的金屬帶31形成的NEG裝置30；圖2c是一個(gè)帶有上部開(kāi)口的、其中裝有NEG合金粉末43的金屬容器41形成的NEG裝置40的剖面圖；圖2d是一個(gè)上部開(kāi)口用多孔隔板53封閉的、其中裝有NEG合金粉末52的金屬容器51形成的NEG裝置50的剖面圖。本發(fā)明所說(shuō)的合金是具有一般性用途的合金，并且具有較低的活化溫度以及具有吸附幾種氣體的能力。通過(guò)在200℃時(shí)把該合金加熱1-2小時(shí)，可以獲得足以使得本發(fā)明所說(shuō)的合金發(fā)揮功能的活化作用。一個(gè)完整的活化過(guò)程，即保證較高的速率和較高的吸附能力的活化過(guò)程，是通過(guò)在350℃熱處理1小時(shí)獲得的。一旦這些合金活化，它們便能從室溫至熔點(diǎn)的理論極限溫度發(fā)揮作用而吸附除氫氣以外的氣體。通常，最高的工作溫度約為500℃，以便不降低其中含有所說(shuō)的合金的裝置的穩(wěn)定性和功能。在室溫下，吸附局限于晶粒的表面因此吸附容量受到限制，而在溫度高于300℃時(shí)，吸附氣體分子從晶粒表面到晶粒內(nèi)部的擴(kuò)散速率足以連續(xù)地“清潔”表面，因此改善吸附容量和吸附速率。這些合金的最佳工作溫度取決于特定的用途例如，對(duì)于提純氣體，最佳的溫度范圍約為300-400℃。就所有的NEG材料而言，氫氣的吸附是可逆的，用所說(shuō)的合金上的氫氣平衡壓力與溫度和吸附氫氣量的函數(shù)關(guān)系來(lái)估算吸附性質(zhì)。在這方面，本發(fā)明所說(shuō)的氫氣吸附是非常好的所說(shuō)的平衡壓力幾乎低于在引言中提到的除了St101合金以外的所有合金，但是，St101合金需要800-900℃的活化溫度。最后，在本發(fā)明的合金與大氣的劇烈反應(yīng)過(guò)程中達(dá)到的溫度在約550-740℃范圍內(nèi)，這取決于合金的組成，不象St707合金燃燒過(guò)程中達(dá)到了約1200℃。因此，即使在由于空氣進(jìn)入其中含有所說(shuō)的合金的室內(nèi)產(chǎn)生偶然事故的情況下，本發(fā)明的合金不會(huì)達(dá)到其熔點(diǎn)或制成所說(shuō)的室的器壁的大多數(shù)材料(金屬和合金如鋼)的熔點(diǎn)。即使在偶然事故的情況下，所說(shuō)的合金可以較好地受到限制，從而減少了工人和機(jī)械的危險(xiǎn)。本發(fā)明將由下列實(shí)施例進(jìn)一步說(shuō)明。這些非限制的實(shí)施例說(shuō)明某些實(shí)施方案，目的是教會(huì)那些熟悉該技術(shù)的人員實(shí)施本發(fā)明，并且闡述使本發(fā)明付諸實(shí)際的最好方法。實(shí)施例1本實(shí)施例描述本發(fā)明的一種合金的制備方法。稱(chēng)80.8g的鋯以及14.2g的鈷和5.0g的稀土金屬混合物，所說(shuō)的稀土金屬混合物的重量組成約為50％的鈰、30％的鑭、15％的釹、其余為5％的其它稀土元素。把所說(shuō)的粉末混合并且放入300mbar的氬氣氛下的電弧爐中的水冷銅坩堝內(nèi)。在熔化過(guò)程中混合物的溫度達(dá)到約2000℃，在該溫度保溫約5分鐘。因?yàn)樗f(shuō)的制備是在電弧爐中通過(guò)把起始材料放在水冷的銅坩堝內(nèi)進(jìn)行的，即具有高的熱梯度(所謂“冷接地”技術(shù))，所以為了增強(qiáng)合金的均勻性，把所說(shuō)的金屬錠的熔化重復(fù)四次。然后把通過(guò)冷卻所說(shuō)的熔體得到的金屬研磨，最后把所得的粉末過(guò)篩，收集顆粒尺寸范圍為40-105μm的粒級(jí)。這種粉末用來(lái)制備下列試驗(yàn)所用的不同試樣在2000kg/cm2壓力下在一個(gè)環(huán)形的容器中通過(guò)壓制150mg的粉末得到每一個(gè)試樣。然后在每個(gè)容器上焊接一個(gè)熱電偶以便測(cè)量所說(shuō)的合金的活化溫度和試驗(yàn)溫度。實(shí)施例2本實(shí)施例描述本發(fā)明的另一種合金的制備。稱(chēng)83.0g的鋯以及14.7g的鈷和2.3g的稀土金屬混合物，然后重復(fù)實(shí)施例1的過(guò)程，并且類(lèi)似地制備一系列相同的試樣。實(shí)施例3本實(shí)施例描述本發(fā)明的第三種合金的制備。稱(chēng)76.7g的鋯以及13.5g的鈷和9.8g的稀土金屬混合物，然后重復(fù)實(shí)施例1的過(guò)程，并且類(lèi)似地制備一系列相同的試樣。實(shí)施例4(對(duì)比)本實(shí)施例涉及St707合金試樣的制備。稱(chēng)70.0g的鋯以及24.6g的鈷和5.4g的鐵，然后重復(fù)實(shí)施例1的過(guò)程，并且類(lèi)似地制備一系列相同的試樣。實(shí)施例5在實(shí)施例1-4中制備的每種合金的試樣上進(jìn)行氫氣吸附試驗(yàn)，把所有的試樣在500℃活化10分鐘。根據(jù)ASTMF798-82標(biāo)準(zhǔn)所述的過(guò)程進(jìn)行所說(shuō)的吸附試驗(yàn)，在室溫和4×10-5mbar下進(jìn)行操作。這些試驗(yàn)的結(jié)果表示于圖3的吸附速率(S)與吸附氣體量(Q)的函數(shù)關(guān)系；曲線1-4分別表示試樣1-4。實(shí)施例6用實(shí)施例1-4制備的另外四個(gè)試樣，重復(fù)實(shí)施例5的試驗(yàn)，但是用CO作為試驗(yàn)氣體。這些試驗(yàn)的結(jié)果如圖4所示，曲線5-8分別表示試樣1-4。實(shí)施例7對(duì)實(shí)施例1-3的本發(fā)明的三種合金和實(shí)施例4制備的St707合金測(cè)定氫氣平衡壓力。測(cè)量方法類(lèi)似于實(shí)施例7所用的方法，但在這種情況下，所說(shuō)的玻璃泡不放入爐中，試樣從外面通過(guò)射頻加熱；此外，在這種情況下，使一個(gè)液氮冷阱分離器與玻璃泡相連接，以維持試驗(yàn)過(guò)程中低的背景壓力，把所說(shuō)的系統(tǒng)抽真空至殘余壓力達(dá)到10-6mbar。在抽真空時(shí)，試樣在720℃用射頻加熱活化一小時(shí)?；罨^(guò)程一結(jié)束，就使試樣溫度達(dá)到700℃并且把玻璃泡從真空系統(tǒng)中分離出來(lái)。把準(zhǔn)確量的氫氣注入所說(shuō)的玻璃泡內(nèi)，10分鐘后測(cè)量系統(tǒng)達(dá)到的平衡壓力。隨后，使試樣的溫度變?yōu)?00℃和500℃，在這些新條件下測(cè)量玻璃泡內(nèi)的平衡壓力。然后在相同溫度下重復(fù)測(cè)量平衡壓力，但此時(shí)試驗(yàn)溫度從較低的溫度達(dá)到起始溫度。對(duì)每一個(gè)試樣引入不同量的氫氣重復(fù)這樣的過(guò)程。當(dāng)系統(tǒng)的體積和合金的重量為已知時(shí)，在不同測(cè)量條件下所說(shuō)的合金吸附的氫氣的濃度可以從平衡壓力的測(cè)量得到。在不同溫度下，平衡壓力與吸附氫氣的濃度的函數(shù)關(guān)系如圖5，6，7所示，分別對(duì)應(yīng)于試樣在500，600，700℃時(shí)的平衡壓力。圖5中的曲線9-12分別表示試樣1-4的結(jié)果；圖6中的曲線13-16分別表示試樣1-4的結(jié)果；圖5中的曲線17-20分別表示試樣1-4的結(jié)果。實(shí)施例8在本實(shí)施例中，測(cè)量了本發(fā)明的合金以及參考合金在空氣中燃燒所達(dá)到的溫度。測(cè)試實(shí)施例1-4中的每一種合金的試樣，以及根據(jù)實(shí)施例1制備的試樣，和本文提到的St198、St199和St101中的每種合金的試樣。把每個(gè)試樣放入一個(gè)與大氣相通的玻璃泡內(nèi)。所說(shuō)的試樣用置于玻璃泡外面的線圈所產(chǎn)生的射頻加熱，其功率發(fā)射用一臺(tái)計(jì)算機(jī)控制，所說(shuō)的計(jì)算機(jī)同時(shí)記錄試樣的溫度。預(yù)先測(cè)定每個(gè)試樣在空氣中燃燒的起始溫度。初步的試驗(yàn)是通過(guò)由射頻提供給試樣的線性增加的功率以及通過(guò)監(jiān)控試樣的溫度趨勢(shì)來(lái)進(jìn)行的；開(kāi)始，所有的試樣表現(xiàn)出溫度的線性增加，然后出現(xiàn)對(duì)直線向上的偏離；偏離時(shí)所對(duì)應(yīng)的溫度被稱(chēng)為燃燒起始溫度。最高溫度試驗(yàn)是通過(guò)射頻加熱每個(gè)試樣到預(yù)先測(cè)量的起始溫度來(lái)進(jìn)行的，一旦溫度達(dá)到便停止外部加熱，并且測(cè)量試樣燃燒過(guò)程所達(dá)到的最高溫度。這些測(cè)量的精度是±5℃。試驗(yàn)結(jié)果列于下表，其中，每個(gè)試樣由表明試樣制備方法的實(shí)施例編號(hào)或它的商品名來(lái)表示。表</tables>在圖3-7中，比較了本發(fā)明所說(shuō)的合金和St707合金的對(duì)一些氣體的吸附性質(zhì)，St707合金是已知的一般用途的合金中最好的合金。已經(jīng)進(jìn)行了對(duì)氫氣和一氧化碳?xì)怏w的試驗(yàn)，因?yàn)檫@些氣體主要提供真空室的殘余壓力。正如測(cè)試曲線所示，本發(fā)明的合金對(duì)CO的吸附具有與St707合金相似的性質(zhì)，對(duì)氫氣的吸附性質(zhì)優(yōu)于St707合金，但具有最大稀土金屬混合物含量的合金(試樣3)例外，因?yàn)樗憩F(xiàn)出的平衡壓力在氫氣的吸附量較高時(shí)增加。這些合金在燃燒過(guò)程中所達(dá)到的最高溫度不超過(guò)740℃，這是金屬器壁能夠承受的溫度，從而使所說(shuō)的合金能夠防止事故的發(fā)生。作為一個(gè)參考，在試驗(yàn)中，也測(cè)量了一些特殊用途的合金在燃燒過(guò)程中所達(dá)到的最高溫度，然而，這些特殊用途的合金的應(yīng)用相對(duì)于本發(fā)明的合金來(lái)說(shuō)，受到更多的限制；如表中的結(jié)果所示，這些合金除St198以外也都達(dá)到了更高的溫度，因此它們相對(duì)于本發(fā)明的合金涉及到更大的安全問(wèn)題?？傊景l(fā)明的合金，由于它們較低的活化溫度和對(duì)多種氣體的吸附，可以得到廣泛的應(yīng)用，例如用于熱水瓶或杜瓦瓶的真空腔或者是用于氣體凈化；此外，由于這些合金不含有毒的金屬并且萬(wàn)一燃燒，它們達(dá)到的溫度較低，一旦事故發(fā)生，就與本發(fā)明的合金具有相似活化作用和氣體吸附性質(zhì)的St707合金以及大多數(shù)已知的應(yīng)用范圍較小的吸氣合金而言，它們涉及的環(huán)境和安全問(wèn)題較小。權(quán)利要求1.非蒸散型吸氣(NEG)合金，含有鋯、鈷和選自釔、鑭或稀土元素中的一種或多種組分，使其組成位于重量百分組成的三元相圖中的由下列組成點(diǎn)所確定的多邊形內(nèi)。a)Zr81％-Co9％-A10％；b)Zr68％-Co22％-A10％；c)Zr74％-Co24％-A2％；d)Zr88％-Co10％-A2％。其中，A是選自釔、鑭或稀土元素中的任一種元素或其混合物。2.根據(jù)權(quán)利要求1的合金，其中，所說(shuō)的元素A或其混合物的重量百分?jǐn)?shù)約為5％。3.根據(jù)權(quán)利要求2的合金，其重量組成為Zr80.8％-Co14.2％-A5％。4.根據(jù)權(quán)利要求1的合金，其中，所說(shuō)的組分A由鑭和稀土元素的混合物形成，稱(chēng)為稀土元素混合物。5.一種含有權(quán)利要求1的合金的非蒸散型吸氣裝置，其中，所說(shuō)的合金是粉末形式的，顆粒尺寸小于250μm。6.根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，其中，所說(shuō)的合金是粉末形式的，顆粒尺寸在40～125μm范圍內(nèi)。7.一種僅由權(quán)利要求1的合金粉末形成的非蒸散型吸氣裝置(20)。8.一種根據(jù)權(quán)利要求7的裝置，其中，所說(shuō)的粉末是壓制的或燒結(jié)的。9.一種由權(quán)利要求1的合金粉末在金屬載體上形成的非蒸散型吸氣裝置。10.一種根據(jù)權(quán)利要求9的裝置(30)，其中，所說(shuō)的載體是帶狀的形式(31)。11.一種根據(jù)權(quán)利要求9的裝置(40)，其中，所說(shuō)的載體是一個(gè)開(kāi)口的容器(41)。12.一種根據(jù)權(quán)利要求9的裝置(50)，其中，所說(shuō)的載體是一個(gè)具有用多孔金屬隔板(53)封閉的開(kāi)口的容器(51)。13.權(quán)利要求1的合金在真空中或在惰性氣體中吸附反應(yīng)性氣體的用途。14.根據(jù)權(quán)利要求13的用途，其中，所說(shuō)的反應(yīng)性氣體是氫氣、氮?dú)狻⒀鯕?、水蒸氣、一氧化碳和二氧化碳?5.根據(jù)權(quán)利要求13的用途，用于在金屬壁或玻璃壁的隔熱真空腔內(nèi)保持真空。16.根據(jù)權(quán)利要求15的用途，其中，所說(shuō)的空腔是保溫瓶、杜瓦瓶或輸送石油的管道的空腔。17.根據(jù)權(quán)利要求13的用途，用于提純稀有氣體。18.根據(jù)權(quán)利要求17的用途，其中，用于在制造半導(dǎo)體的處理室內(nèi)對(duì)所說(shuō)的稀有氣體進(jìn)行提純。19.根據(jù)權(quán)利要求13的用途，用于在燈內(nèi)保持控制的氣氛。全文摘要提出了非蒸散型吸氣合金Zr－Co－A,其中,A是選自釔、鑭、稀土元素中的一種元素或其混合物。它們可以在較低的溫度活化,并能夠吸附各種氣體。此外,本發(fā)明的合金相對(duì)于其它合金來(lái)說(shuō),從環(huán)境和安全性的方面來(lái)看是更安全的,其中不含有有毒的或能形成有毒化合物的金屬。文檔編號(hào)H01J61/26GK1198475SQ9810615公開(kāi)日1998年11月11日申請(qǐng)日期1998年4月2日優(yōu)先權(quán)日1997年4月3日發(fā)明者C·伯非托,A·科拉澤,S·托米尼蒂申請(qǐng)人:工程吸氣公司