掃描電子顯微鏡的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種掃描電子顯微鏡，它涉及一種顯微鏡。它包括真空系統(tǒng)、樣品臺、探頭、視頻放大器、二次電子、掃描偏轉(zhuǎn)線圈、聚光鏡、電子槍、掃描發(fā)生器、第一顯像管、照相機、第二顯像管和遠程圖像分析處理設(shè)備，真空系統(tǒng)底部設(shè)置有樣品臺，真空系統(tǒng)底部頂部設(shè)置有電子槍，電子槍與樣品臺之間設(shè)置有聚光鏡，樣品臺通過二次電子與探頭相連，探頭與視頻放大器相連，視頻放大器分別與第一顯像管和第二顯像管相連，真空系統(tǒng)還通過掃描偏轉(zhuǎn)線圈與與掃描發(fā)生器相連，掃描發(fā)生器通過掃描偏轉(zhuǎn)線圈與第一顯像管、第二顯像管相連，第二顯像管與照相機相連，照相機與遠程圖像分析處理設(shè)備相連。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，圖像顯示清晰，使得結(jié)果分析準(zhǔn)確。
【專利說明】掃描電子顯微鏡【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及的是一種顯微鏡，具體涉及一種掃描電子顯微鏡。
【背景技術(shù)】
[0002]掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的人射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等尚子體)。傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡存在一些缺陷:圖像不夠清晰，可能會導(dǎo)致觀察結(jié)果分析不夠準(zhǔn)確，造成誤差。
實用新型內(nèi)容
[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)上存在的不足，本實用新型目的是在于提供一種掃描電子顯微鏡，結(jié)構(gòu)簡單，圖像顯示清晰，使得結(jié)果分析準(zhǔn)確。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn):掃描電子顯微鏡，包括真空系統(tǒng)、樣品臺、探頭、視頻放大器、二次電子、掃描偏轉(zhuǎn)線圈、聚光鏡、電子槍、掃描發(fā)生器、第一顯像管、照相機、第二顯像管和遠程圖像分析處理設(shè)備，真空系統(tǒng)底部設(shè)置有樣品臺，真空系 統(tǒng)底部頂部設(shè)置有電子槍，電子槍與樣品臺之間設(shè)置有聚光鏡，樣品臺通過二次電子與探頭相連，探頭與視頻放大器相連，視頻放大器分別與第一顯像管和第二顯像管相連，真空系統(tǒng)還通過掃描偏轉(zhuǎn)線圈與與掃描發(fā)生器相連，掃描發(fā)生器通過掃描偏轉(zhuǎn)線圈與第一顯像管、第二顯像管相連，第二顯像管與照相機相連，照相機與遠程圖像分析處理設(shè)備相連。
[0005]根據(jù)上述的掃描電子顯微鏡，其中，所述的照相機和遠程圖像分析處理設(shè)備上設(shè)置有無線發(fā)射接收裝置。
[0006]本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，圖像顯示清晰，使得結(jié)果分析準(zhǔn)確。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】來詳細說明本實用新型；
[0008]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0009]為使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合【具體實施方式】，進一步闡述本實用新型。
[0010]參照圖1，本【具體實施方式】采用以下技術(shù)方案:掃描電子顯微鏡，包括真空系統(tǒng)1、樣品臺2、探頭3、視頻放大器4、二次電子5、掃描偏轉(zhuǎn)線圈6、聚光鏡7、電子槍8、掃描發(fā)生器9、第一顯像管10、照相機11、第二顯像管12和遠程圖像分析處理設(shè)備13，真空系統(tǒng)I底部設(shè)置有樣品臺2，真空系統(tǒng)I底部頂部設(shè)置有電子槍8，電子槍8與樣品臺2之間設(shè)置有聚光鏡7，樣品臺2通過二次電子5與探頭3相連，探頭3與視頻放大器4相連，視頻放大器4分別與第一顯像管10和第二顯像管12相連，真空系統(tǒng)I還通過掃描偏轉(zhuǎn)線圈與6與掃描發(fā)生器9相連,掃描發(fā)生器9通過掃描偏轉(zhuǎn)線圈6與第一顯像管10、第二顯像管12相連，第二顯像管12與照相機11相連，照相機11與遠程圖像分析處理設(shè)備13相連。
[0011]值得注意的是，所述的照相機11和遠程圖像分析處理設(shè)備13上設(shè)置有無線發(fā)射接收裝置。
[0012]本【具體實施方式】作為固體材料優(yōu)秀的檢測工具，能夠完美地呈現(xiàn)材料的微觀形貌及組織結(jié)構(gòu)，通過遠程圖像分析處理設(shè)備對材料的顯微結(jié)構(gòu)進行處理分析，從而得出準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，從而能夠通過分析結(jié)果來控制產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0013]本【具體實施方式】結(jié)構(gòu)簡單，圖像顯示清晰，使得結(jié)果分析準(zhǔn)確。
[0014]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1.掃描電子顯微鏡，其特征在于，包括真空系統(tǒng)(I)、樣品臺(2)、探頭(3)、視頻放大器(4)、二次電子(5)、掃描偏轉(zhuǎn)線圈6)、聚光鏡(7)、電子槍(8)、掃描發(fā)生器(9)、第一顯像管(10)、照相機(11)、第二顯像管(12)和遠程圖像分析處理設(shè)備(13)，真空系統(tǒng)⑴底部設(shè)置有樣品臺(2)，真空系統(tǒng)⑴底部頂部設(shè)置有電子槍(8)，電子槍⑶與樣品臺(2)之間設(shè)置有聚光鏡(7)，樣品臺(2)通過二次電子(5)與探頭(3)相連，探頭(3)與視頻放大器(4)相連，視頻放大器(4)分別與第一顯像管(10)和第二顯像管(12)相連，真空系統(tǒng)(I)還通過掃描偏轉(zhuǎn)線圈與(6)與掃描發(fā)生器(9)相連，掃描發(fā)生器(9)通過掃描偏轉(zhuǎn)線圈(6)與第一顯像管(10)、第二顯像管(12)相連，第二顯像管(12)與照相機(11)相連，照相機(11)與遠程圖像分析處理設(shè)備(13)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述的照相機(11)和遠程圖像分析處理設(shè)備(13)上設(shè)置有無線發(fā)射接收裝置。
【文檔編號】H01J37/28GK203774245SQ201420137391
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年3月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月21日
【發(fā)明者】楊萍, 倪福全, 胡建, 楊敏, 曾赟 申請人:四川農(nóng)業(yè)大學(xué)