專利名稱：用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001 ] 本實(shí)用新型涉及儀器儀表(分析儀器)技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置。
背景技術(shù)：
[0002]電子顯微鏡成像需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，以保證電子束在其路徑上不會(huì)被吸走或者產(chǎn)生偏向，而電子顯微鏡的高真空環(huán)境是依靠真空泵獲得的。分子泵作為應(yīng)用于電子顯微鏡領(lǐng)域常用的一種真空泵，其通過(guò)利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為設(shè)置在其前級(jí)的前級(jí)泵抽走。高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)的振動(dòng)，該振動(dòng)對(duì)于要求精度很高的電子顯微鏡來(lái)說(shuō)會(huì)產(chǎn)生很大的影響，主要體現(xiàn)在影響電子顯微鏡的成像，導(dǎo)致電子顯微鏡的分辨率降低。[0003]目前，隨著分子泵技術(shù)快速發(fā)展，分子泵在工作過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)越來(lái)越小，在用于電子顯微鏡抽真空的過(guò)程中分子泵對(duì)電子顯微鏡成像的影響也越來(lái)越小。然而隨著社會(huì)的發(fā)展，對(duì)于電子顯微鏡成像分辨率又提出了更高的要求，而通過(guò)提高分子泵技術(shù)來(lái)減小分子泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡成像的方式變得愈加困難，而且對(duì)于分子泵技術(shù)的研發(fā)周期長(zhǎng)，經(jīng)費(fèi)高，所以單憑依靠提高分子泵技術(shù)來(lái)減小分子泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡成像影響的方式已經(jīng)變得不再可取。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]為此，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于現(xiàn)有技術(shù)中電子顯微鏡成像受到真空泵振動(dòng)的影響而導(dǎo)致的分辨率低的問(wèn)題，提供一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，該隔振裝置可以有效降低真空泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡成像分辨率的影響。[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型是一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，包括第一連接座，與電子顯微鏡的待抽真空口固定連接；第二連接座，與所述第一連接座相對(duì)設(shè)置，且與真空泵的抽氣口連接；彈性隔離管，安裝于所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通；支撐隔振柱，用于承重和吸振，設(shè)置在所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述第一連接座和所述第二連接座的端面固定連接。[0006]所述支撐隔振柱包括用于支撐電子顯微鏡的支撐部分和用于吸收真空泵振動(dòng)的隔振部分。[0007]所述支撐 部分靠近所述第一連接座設(shè)置，且其端部與所述第一連接座端面固定連接；所述隔振部分靠近所述第二連接座設(shè)置，且其端部與所述第二連接座端面固定連接。[0008]所述隔振部分采用橡膠材料。[0009]所述彈性隔離管為金屬波紋管。[0010]所述支撐部分與所述隔振部分呈圓柱形且直徑相等。[0011]所述金屬波紋管的兩端采用焊接方式分別與所述第一連接座和所述第二連接座固定連接。[0012]所述隔振部分與所述第一連接座或者第二連接座螺釘連接。[0013]所述支撐隔振柱設(shè)有多個(gè)，分別沿所述彈性隔離管周向均勻設(shè)置。[0014]所述支撐隔振柱為4個(gè)。[0015]本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):[0016]1、在本實(shí)用新型中，支撐隔振柱既有承重作用又有吸振作用，設(shè)置于設(shè)置在所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述第一連接座和所述第二連接座的端面固定連接，支撐隔振柱既可以用于支撐所述電子顯微鏡的重量，又可以隔離分子泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡產(chǎn)生的影響，提高了電子顯微鏡成像的分辨率。彈性隔離管，安裝于所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通，所述彈性隔離管的設(shè)置保證了分子泵能順利地抽出電子顯微鏡中的空氣，而且彈性隔離管具有彈性， 可以隨著所述支撐隔振柱在電子顯微鏡重力作用下向下方有一定的壓縮量。[0017]2、在本實(shí)用新型中，所述支撐隔振柱包括用于支撐電子顯微鏡重量的支撐部分和用于吸收真空泵振動(dòng)的隔振部分，所述支撐部分由合金鋼制成，價(jià)格較便宜，所述隔振部分采用既能吸收振動(dòng)又能承重的橡膠材料，該種特殊的橡膠材料價(jià)格較貴，因此該種將所述支撐隔振柱做成兩部分的方式使得所述支撐隔振柱既能滿足本實(shí)用新型對(duì)其的要求，又采用分體的方式使價(jià)格較便宜的合金鋼代替部分價(jià)格較貴的橡膠作為支撐部分，減少了成本，并且生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單，制作容易。[0018]3、在本實(shí)用新型中，所述支撐部分靠近所述第一連接座設(shè)置，且其端部與所述第一連接座端面固定連接；所述隔振部分靠近所述第二連接座設(shè)置，且其端部與所述第二連接座端面固定連接，該種設(shè)置方式使得隔振部分靠近產(chǎn)生振動(dòng)的分子泵，從而使隔振部分快速吸收振動(dòng)，且吸振能力強(qiáng)，有效降低分子泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡成像產(chǎn)生的影響。[0019]4、在本實(shí)用新型中，所述支撐隔振柱設(shè)有多個(gè)，分別沿所述彈性隔離管周向均勻設(shè)置，采用沿周向均勻設(shè)置的方式使得電子顯微鏡由于重力對(duì)所述隔振裝置產(chǎn)生的壓力可以在所述隔振裝置的連接座周向均勻分布，有效平分了單個(gè)支撐隔振柱承受的壓力，延長(zhǎng)了隔振裝置的使用壽命；所述支撐隔振柱設(shè)為多個(gè)，該種設(shè)置使得在滿足隔振裝置承重和吸振要求的基礎(chǔ)上盡可能地減少用料，節(jié)約成本。


[0020]為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，其中[0021]圖1是本實(shí)用新型的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。[0022]圖中附圖標(biāo)記表示為:1_第一法蘭、2-第二法蘭、3-金屬波紋管、4-支撐隔振柱、4a-支撐部分、4b_隔振部分。
具體實(shí)施方式
[0023]如圖1所示，本實(shí)施方式的一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，包括作為第一連接座的第一法蘭1，與電子顯微鏡的待抽真空口固定連接；作為第二連接座的第二法蘭2，與所述第一法蘭I相對(duì)設(shè)置，且與真空泵的抽氣口連接；作為彈性隔離管的金屬波紋管3，安裝于所述第一法蘭I與所述第二法蘭2之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通；支撐隔振柱4，用于承重和吸振，設(shè)置在所述第一法蘭I與所述第二法蘭2之間，且其兩端分別與所述第一法蘭I和所述第二法蘭2的端面固定連接。在本實(shí)施方式中，真空泵為分子泵，當(dāng)然只要能夠?qū)崿F(xiàn)本實(shí)用新型的其他真空泵也可以采用，例如離子泵等。所述支撐隔振柱4既有承重作用又有吸振作用，設(shè)置在所述第一法蘭I與所述第二法蘭2之間，所述支撐隔振柱4既可以用于支撐所述電子顯微鏡的重量，又可以隔離分子泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡產(chǎn)生的影響，減小了分子泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡成像的影響，提高了電子顯微鏡成像的分辨率。作為彈性隔離管的金屬波紋管3，安裝于所述第一法蘭I與所述第二法蘭2之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通，所述金屬波紋管3的設(shè)置保證了分子泵能順利地抽出電子顯微鏡中的空氣，而且金屬波紋管3具有彈性，可以隨著所述支撐隔振柱4在電子顯微鏡重力作用下沿下方有一定的壓縮量。所述支撐隔振柱4為一體結(jié)構(gòu)，由特殊的橡膠制成，橡膠既有彈性，能夠吸收振動(dòng)而且還能承受電子顯微鏡的重力，所述支撐隔振柱4為圓柱形，沿法蘭周向設(shè)置為4個(gè)，有效平分了單個(gè)支撐隔振柱4承受的壓力，延長(zhǎng)了隔振裝置的使用壽命。當(dāng)然所述支撐隔振柱4可以設(shè)置為其它個(gè)數(shù)，例如三個(gè)或者五個(gè)等。[0024]作為一種可替代的實(shí)施方式，所述支撐隔振柱4可以采用分體結(jié)構(gòu)，包括用于支撐電子顯微鏡重力的支撐部分4a和用于吸收真空泵振動(dòng)的隔振部分4b。所述支撐部分4a由合金鋼制成，價(jià)格較便宜，所述隔振部分4b采用橡膠材料，用于吸收分子泵產(chǎn)生的振動(dòng)，價(jià)格較貴，因此該種將所述支撐隔振柱4做成兩部分的方式使得所述支撐隔振柱4既能滿足本實(shí)用新型對(duì)其的要求，又采用分體的方式使價(jià)格較便宜的合金鋼代替部分價(jià)格較貴的橡膠作為支撐部分4a，減少了成本，并且生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單，制作容易。在本實(shí)施方式中，所述支撐部分4a靠近所述第一法蘭I設(shè)置，且其端部與所述第一法蘭I端面固定連接；所述隔振部分4b靠近所述第二法蘭2設(shè)置，且其端部與所述第二法蘭2端面固定連接，該種設(shè)置方式使得隔振部分4b靠近產(chǎn)生振動(dòng)的分子泵，從而使隔振部分4b快速吸收振動(dòng)，且吸振能力強(qiáng)，有效降低分子泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡成像產(chǎn)生的影響。[0025]作為上述實(shí)施方 式的可替代方式，所述隔振部分4b靠近所述第一法蘭I設(shè)置，其端部與所述第一法蘭I端面固定連接；所述支撐部分4a靠近所述第二法蘭2設(shè)置，其端部與所述第二法蘭2端面固定連接。[0026]在上述實(shí)施方式中，所述隔振部分4b采用橡膠材料。所述支撐部分4a與所述隔振部分4b呈圓柱形且直徑相等。[0027]所述金屬波紋管3的兩端采用焊接方式分別與所述第一法蘭I和所述第二法蘭2固定連接。所述隔震部分4b與所述第一連接座或者第二連接座螺釘連接。[0028]顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動(dòng)仍處于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之中。
權(quán)利要求1.用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:包括 第一連接座，與電子顯微鏡的待抽真空口固定連接； 第二連接座，與所述第一連接座相對(duì)設(shè)置，且與真空泵的抽氣口連接； 彈性隔離管，安裝于所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通； 支撐隔振柱(4)，用于承重和吸振，設(shè)置在所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述第一連接座和所述第二連接座的端面固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述支撐隔振柱(4)包括用于支撐電子顯微鏡重量的支撐部分(4a)和用于吸收真空泵振動(dòng)的隔振部分(4b)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述支撐部分(4a)靠近所述第一連接座設(shè)置，且其一端與所述第一連接座端面固定連接；所述隔振部分(4b )靠近所述第二連接座設(shè)置，且其一端與所述第二連接座端面固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述隔振部分(4b)采用橡膠材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述彈性隔離管為金屬波紋管(3)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述支撐部分(4a)與所述隔振部分(4b)呈圓柱形且直徑相等。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述金屬波紋管(3)的兩端采用焊接方式分別與所述第一連接座和所述第二連接座固定連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述隔振部分(4b )與所述第一連接座或者第二連接座螺釘連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述支撐隔振柱(4)設(shè)有多個(gè)，分別沿所述彈性隔離管周向均勻設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，其特征在于:所述支撐隔振柱(4)為4個(gè)。
專利摘要本實(shí)用新型是一種用于真空泵與電子顯微鏡間的隔振裝置，包括第一連接座，與電子顯微鏡的待抽真空口固定連接；第二連接座，與所述第一連接座相對(duì)設(shè)置，且與真空泵的抽氣口連接；彈性隔離管，安裝于所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述待抽真空口和所述抽氣口連通；支撐隔振柱(4)，用于承重和吸振，設(shè)置在所述第一連接座與所述第二連接座之間，且其兩端分別與所述第一連接座和所述第二連接座的端面固定連接。本實(shí)用新型通過(guò)采用吸收真空泵振動(dòng)的方式有效降低了真空泵振動(dòng)對(duì)電子顯微鏡成像分辨率的影響。
文檔編號(hào)H01J37/02GK203103260SQ20132009310
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2013年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月28日
發(fā)明者張軍安, 耿俊清 申請(qǐng)人:北京中科科儀股份有限公司