專利名稱：等離子體顯示器平板障壁的大面積壓印成型方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于微電子、微機(jī)械制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種能大面積壓印
成型等離子體顯示器(PDP)平板障壁——三維微腔體陣列結(jié)構(gòu)的制造方法， 該方法制備的等離子體顯示器障壁可直接涂鋪熒光材料，再進(jìn)行高溫焙燒，
完成PDP顯示器的微腔體制造。該方法將現(xiàn)有的制造工藝，如固態(tài)光刻 膠膜裱貼(簡稱貼干膜，用于光刻障壁結(jié)構(gòu)圖形)、曝光、顯影、噴砂、剝 膠(清洗殘膠)等，縮減為壓印成型一道工藝，以一套壓印設(shè)備取代原有的
5套相關(guān)設(shè)備(如，貼膜機(jī)、曝光機(jī)、顯影機(jī)、噴砂機(jī)、剝膠清洗機(jī))。同
時，該方法也適合于以碳納米管為發(fā)射極的大面積場發(fā)射平板顯示的顯示微 腔體的制造。
背景技術(shù)：
隨著大面積平板顯示器的發(fā)展，PDP顯示器作為一類極具發(fā)展前景的平 板顯示器，發(fā)展的步伐正在加快。在PDP平板顯示器的制作工藝流程中，障 壁的制作工藝是PDP平板顯示器制造的四大關(guān)鍵技術(shù)之一，極大影響了PDP 顯示器件的性能及成本。傳統(tǒng)制作PDP障壁的方法有兩類厚膜印刷法和噴 砂法。厚膜印刷法成本低，簡易可行，但其限于制作數(shù)百微米寬的粗獷圖形， 很難制成寬幾十微米的精細(xì)圖形，均一性差，當(dāng)漏模尺寸較大時，易產(chǎn)生彎 曲和扭曲變形，且不適合高清晰度和特殊形狀障壁(如waffle和meander型 障壁)制造；噴砂法可制作出離散誤差很小的障壁結(jié)構(gòu)，可保證圖形精度， 但在制作過程中大部分玻璃漿糊被切削掉(約70%左右)，其廢棄物中含有 大量的氧化鉛，易污染環(huán)境，必須經(jīng)過一定的處理，而且，PDP障壁制作中 過多的采用光刻技術(shù)，工序多，成本很高。針對目前PDP障壁制作工藝，各
研發(fā)公司正在開發(fā)新一代的障壁制作方法，如引入lift-off法等微制造技術(shù)。
傳統(tǒng)的微制造技術(shù)中，對于微米級(即小于100pm)特征尺寸器件的制 作，目前主要采用常規(guī)的集成電路光刻中制作工藝(即布膠、曝光、顯影、 清洗、化學(xué)/物理刻蝕等)。其制作特點(diǎn)局限為制作面積受限(最大十幾英寸)、 深寬比較小、且需要連續(xù)多道工藝配合完成。對于小面積(英寸級)、高深
寬比尺寸結(jié)構(gòu)器件的制作，LIGA工藝是目前最被看好和應(yīng)用最廣的技術(shù)， 其特點(diǎn)是通過在SU8型光刻膠上深度曝光(采用X射線曝光)形成大深度的 直壁曝光區(qū)域，再通過顯影、電鑄等制作工藝，制作出微米級大深寬比(可 達(dá)20:1以上)的元器件。如果結(jié)合lift-off工藝，也能夠?qū)崿F(xiàn)底部懸空的 器件(如懸臂梁結(jié)構(gòu))的制作。上述兩類工藝其共同的特點(diǎn)是需要昂貴的曝 光束源、特殊的光刻膠材料、精確的刻蝕(濕法、干法)控制、制作周期長、 成本較高，也不具備制作大面積(米級以上)微細(xì)結(jié)構(gòu)的能力。
微壓印光刻工藝是近年來提出的一種對于微納米級圖型結(jié)構(gòu)或構(gòu)件制 作的先進(jìn)工藝技術(shù)。根據(jù)國際上已公開的文獻(xiàn)，微壓印的圖型復(fù)制能力最小 可以達(dá)到6nm，工藝簡單，且成本極其低廉，因此受到工業(yè)界的重視。 一般 認(rèn)為微壓印光刻作為一種高效率、低成本的微納結(jié)構(gòu)制造技術(shù)，有可能在 某些工業(yè)應(yīng)用中成為下一代光學(xué)投影光刻工藝技術(shù)的補(bǔ)充或部分替代，可以 大大降低各種微納器件制造的成本。但已公開的壓印工藝中均采用平板式模 具，實(shí)行分區(qū)壓印，面積受限，效率較低，且無大面積(米級以上)三維微 結(jié)構(gòu)壓印嘗試的先例或?qū)＠涊d。
綜上，PDP顯示器作為一類極具發(fā)展?jié)摿Φ拇竺娣e平板顯示器已引起各 大公司的關(guān)注，但作為其關(guān)鍵技術(shù)之一的障壁制作工藝，目前較多的采用了 光刻中的相關(guān)技術(shù)，但存在成本過高，且難以實(shí)現(xiàn)大面積(米級及以上)的 均一化制造，已經(jīng)極大的限制了 PDP顯示器的進(jìn)一步發(fā)展。如何降低障壁 制作的成本，提高障壁的精細(xì)度和大面積的均一性，已成為相關(guān)研究單位的
熱點(diǎn)問題。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷或不足，為了降低PDP顯示器平板障壁 制作的成本，并實(shí)現(xiàn)大面積(米級以上)的均一化、精細(xì)(尺寸0.05mm以 下)的障壁制作，本發(fā)明的目的在于，提供一種等離子體顯示器平板障壁的 大面積壓印成型方法，該方法能夠制作大面積、精細(xì)化的PDP顯示器障壁 結(jié)構(gòu)。
為了實(shí)現(xiàn)上述任務(wù)，本發(fā)明采取以下的技術(shù)解決方案 一種等離子體顯示器平板障壁的大面積壓印成型方法，該方法采用紫外
固化輥壓印復(fù)型的工藝，實(shí)現(xiàn)大面積障壁結(jié)構(gòu)的復(fù)型，具體的工藝過程包括
下列步驟
1) 具有PDP顯示器障壁形狀微結(jié)構(gòu)的輥壓模具的準(zhǔn)備
輥壓模具為滾筒式結(jié)構(gòu)，滾筒上依次有模具金屬層和納米級厚度的類金
剛石過渡層，類金剛石過渡層上形成有PDP顯示器平板障壁形狀三維微結(jié) 構(gòu)，該P(yáng)DP顯示器的平板障壁三維微結(jié)構(gòu)截面的尺寸為障壁高度lOOu m 150 um，寬度為40y m 70y m，節(jié)距為200 u m 300 tx m，或PDP顯示 器平板障所要求的更精細(xì)的微特征結(jié)構(gòu)；以適應(yīng)當(dāng)前對PDP面板尺寸的市 場需求。
輥壓模具的加工采用超快激光雕刻加工或濕法刻蝕加工，為便于輥壓復(fù) 型過程中的定位對正要求，輥壓模具表面制作有第一對正標(biāo)記；
2) PDP顯示器后基板的準(zhǔn)備
PDP顯示器后基板選擇玻璃基板，首先制作選址電極，在選址電極上均 勻鍍上白色介電層，并對介電層表面進(jìn)行平整化處理；在平整的介電層表面 制作第二對正標(biāo)記，該第二對正標(biāo)記和輥壓模具上的第一對正標(biāo)記一起構(gòu)成 PDP顯示器平板障壁輥壓制作的標(biāo)記系統(tǒng)，用于下一步制作出的平板障壁結(jié)
構(gòu)與選址電極之間的精確定位；
3) 對正定位過程將含對正標(biāo)記的PDP顯示器后基板置于輥壓工作臺 上并進(jìn)行真空吸附固定，采用CCD圖像采集的方式對后基板上兩側(cè)的對正 標(biāo)記進(jìn)行視覺測量，獲得后基板的位置參數(shù)，通過輥壓平臺的微驅(qū)動，進(jìn)行 位置校正，使得輥壓模具軸線與后基板的對正標(biāo)記的連線平行；通過輥壓工
作臺上的對正標(biāo)記的視覺采集，并與后基板上標(biāo)記的圖像進(jìn)行對比，調(diào)整模
具的轉(zhuǎn)角及水平位置，設(shè)置初始的復(fù)型位置；通過上述對正調(diào)整，可實(shí)現(xiàn)障 壁輥壓復(fù)型的精確定位。
4) 輥壓復(fù)型過程采用布簾式(curtain coating)涂鋪方式，通過控制 負(fù)壓吸附的強(qiáng)度及布簾厚度，精確控制障壁漿料的流量，并結(jié)合控制模具轉(zhuǎn) 動速度，實(shí)現(xiàn)障壁材料在輥壓模具上均勻、膜厚可控的涂鋪，并通過柔性刮 刀，刮掉輥壓模具凸起上的障壁漿料，僅留下輥壓模具凹槽中的障壁漿料； 障壁槳料涂鋪過程中，啟動輥壓輥壓系統(tǒng)，輥壓模具在轉(zhuǎn)動的同時，與布簾 式鋪膠系統(tǒng)一起進(jìn)行水平運(yùn)動，控制保證輥壓模具轉(zhuǎn)動的線速度與水平運(yùn)動 速度一致，避免模具與后基板之間的相對滑動；輥壓模具與后基板的接觸處， 障壁漿料經(jīng)過紫外照射，障壁漿料中的光敏部分固化，連同障壁材料一起附 著在后基板上，實(shí)現(xiàn)了圖型轉(zhuǎn)移，即輥壓模具上的障壁微結(jié)構(gòu)復(fù)型在后基板 上。
5) 障壁結(jié)構(gòu)的后處理對上述經(jīng)輥壓復(fù)型出的平板障壁結(jié)構(gòu)進(jìn)行后紫 外固化，使得障壁材料完全固化；由于該逆壓印輥壓復(fù)型不存在留膜，所以 制成的障壁結(jié)構(gòu)可直接進(jìn)入PDP顯示器制作的下一環(huán)節(jié)。
本發(fā)明的方法制備的PDP顯示器障壁結(jié)構(gòu)具有精細(xì)化(由模具上微結(jié) 構(gòu)尺寸決定)、大面積(輥壓的行程及模具的長度)、低成本(以一套壓印設(shè) 備取代原有的5套相關(guān)設(shè)備貼膜機(jī)、曝光機(jī)、顯影機(jī)、噴砂機(jī)、剝膠清洗 機(jī))、生產(chǎn)效率高(工藝流程簡單)的優(yōu)點(diǎn)，適于PDP當(dāng)前的障壁制作需求，
易于擴(kuò)展到更精細(xì)化、更大面積的PDP障壁結(jié)構(gòu)(只需制作出更精細(xì)微結(jié) 構(gòu)的輥壓模具即可)。


圖1 圖5為PDP障壁的輥壓制作工藝流程圖。其中 圖1為輥壓模具的結(jié)構(gòu)圖，可以采用超快激光在金屬上直接加工出預(yù)定 的PDP顯示器平板障壁結(jié)構(gòu)及第一對正標(biāo)記結(jié)構(gòu)，再于微結(jié)構(gòu)表面淀積一
層均勻的低表面能材料(如炭原子)，以降低輥壓模具的表面能，避免在輥 壓過程中模具對障壁的材料的粘附。
圖2為PDP障壁制作前的后基板制備。首先選取均勻平整且尺寸符合 大面積顯示器要求的玻璃基板；再于其上淀積選址電極，選址電極的分布符 合要求；淀積一層白色介電層，并對介電層表面進(jìn)行平整化處理；在平整的 介電層層表面制作第二對正標(biāo)記。
圖3a為輥壓前的對正系統(tǒng)構(gòu)建，確保PDP障壁的復(fù)型位置與選址電極 的位置相配合；圖3b表示分別位于模具與后基板上的第一、第二對正標(biāo)記 的設(shè)置。
圖4為輥壓系統(tǒng)示意圖。后基板經(jīng)真空吸附固定后，進(jìn)行對正檢測，并 通過微調(diào)工作臺，實(shí)現(xiàn)對正調(diào)整；然后模具系統(tǒng)(包括模具、滴膠槽、刮刀、 紫外固化裝置)下壓，施加合適的輥壓力，開始進(jìn)入輥壓復(fù)型
圖5為輥壓復(fù)型過程。布簾式鋪膠系統(tǒng)及刮刀使得輥壓模具凹槽中充 滿PDP障壁材料，輥壓模具將凹槽中的材料經(jīng)一定的輥壓力復(fù)型至后基板 上，并固化形成PDP顯示器的平板障壁結(jié)構(gòu)。
圖中的標(biāo)號分別表示1、模具金屬層，2、輥壓模具上的凸起部分(障 壁結(jié)構(gòu)中的節(jié)距部分)，3、類金剛石過渡層，4、制作PDP后面板的玻璃 基板，5、選址電極，6、白色介電層，7、介龜層上的第二對正標(biāo)記，8、半 透半反鏡，9、 CCD攝像頭，10、全反鏡，11、輥壓模具上的第一對正標(biāo)記，
12、紫外光通路，13、布簾式鋪膠裝置，14、 PDP顯示器的障壁材料，15、 柔性刮刀，16、輥壓工作臺，17、真空氣路，18、抽真空口， 19、模具轉(zhuǎn)動 方向，20、模具水平運(yùn)動方向。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明的方法作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的方法制備的大面積、精細(xì)化的PDP障壁結(jié)構(gòu)，屬于PDP障壁 制作的新方法，用一套壓印設(shè)備取代原工藝流程的5套相關(guān)設(shè)備，可以極大 的提高生產(chǎn)效率；由于輥壓模具制作方法的改進(jìn)，只要制作出更精細(xì)的模具， 采用本發(fā)明的方法，就可制成更為精細(xì)的大面積障壁結(jié)構(gòu)。
其基本工作原理為通過輥壓模具連續(xù)旋轉(zhuǎn)輥壓方式和施加一定壓力， 布簾式鋪膠結(jié)合柔性刮刀的涂布方式使得輥壓模具的凹槽中充滿PDP障壁 材料，通過輥壓模具滾壓旋轉(zhuǎn)模具凹槽中的PDP障壁材料轉(zhuǎn)移到后基板上， 并紫外固化成形。其特點(diǎn)為微結(jié)構(gòu)形狀可以為三維結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)印效率和精度 高、特征結(jié)構(gòu)尺度范圍寬、成本低廉。
輥壓復(fù)型大面積精細(xì)的PDP顯示器障壁結(jié)構(gòu)的主要工藝要素包括表面
制備有精細(xì)化的障壁結(jié)構(gòu)的輥壓模具、輥壓復(fù)型前輥壓模具與后基板的對正
過程、PDP障壁材料對模具凹槽的填充涂鋪、輥壓過程中的輥壓力及模具轉(zhuǎn) 動速度與水平運(yùn)動的速度的匹配、障壁材料的紫外固化性能。其中，障壁漿 料的涂鋪和輥壓過程中輥壓力的設(shè)置及速度的匹配是PDP障壁輥壓復(fù)型的 關(guān)鍵工藝要素。障壁材料的涂鋪厚度及輥壓力的設(shè)置與所要復(fù)型的障壁高度 有關(guān)，必須保證足夠的材料將模具上障壁微結(jié)構(gòu)充滿并轉(zhuǎn)移到后基板上；輥 壓過程中輥壓模具轉(zhuǎn)動與水平運(yùn)動的速度匹配直接影響復(fù)型后障壁結(jié)構(gòu)的 側(cè)壁形貌。
本發(fā)明的模具與后基板的對正系統(tǒng)(如圖3a所示)對PDP顯示器障壁 的輥壓復(fù)型質(zhì)量影響極大。由于輥壓復(fù)型前后基板上已制備有選址電極，所
以，必然要以選址電極的位置為定位基準(zhǔn)來制備PDP障壁。該定位包括三部 分第一，輥壓模具的第一對正標(biāo)記軸線應(yīng)與后基板上第二正標(biāo)記的中心連 線相平行，即輥壓模具的軸線必須要與后基板上以制備的選址電極所在直線 平行；第二，輥壓模具在輥壓復(fù)型前必須先旋轉(zhuǎn)到預(yù)定位置，以保證開始復(fù)
型的障壁結(jié)構(gòu)符合要求；第三，輥壓復(fù)型前，模具要水平運(yùn)動到預(yù)定位置，
以保證在后基板上的預(yù)定位置開始復(fù)型障壁結(jié)構(gòu)。此三步定位的精度都確保
在lum以內(nèi)， 一般可以采用光學(xué)對正的方法實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明的大面積精細(xì)化PDP顯示器障壁結(jié)構(gòu)的熱輥壓復(fù)型包括以下工 藝要素的組合輥壓模具的制作工藝(附圖l)、后基板的制備工藝(附圖 2)、模具與后基板的對正工藝(附圖3a， 3b)、輥壓復(fù)型工藝(附圖4、 圖5)。與其它PDP障壁制造工藝相比，本發(fā)明關(guān)于PDP顯示器障壁結(jié)構(gòu)的 熱輥壓復(fù)型工藝更適合制作更為精細(xì)化的障壁結(jié)構(gòu)(主要取決于輥壓模具上 微結(jié)構(gòu)可達(dá)到的最小尺寸，目前可達(dá)到微米至亞微米級)，且采用旋轉(zhuǎn)滾壓 方式，可實(shí)現(xiàn)大面積(可達(dá)米級以上)的障壁制作，在制作效率和成本等方 面都有較大優(yōu)勢。
目前常見的障壁單元結(jié)構(gòu)有傳統(tǒng)的條形障壁、先鋒公司的華夫(Waffle) 結(jié)構(gòu)、富士通日立公司的DdTA結(jié)構(gòu)、松下公司的不等寬單元結(jié)構(gòu)等。以 目前正在量產(chǎn)的42英寸板中障壁高度為100 u m 150 U m，寬度為40 U m 70um，節(jié)距為200u m 300nm左右的PDP障壁結(jié)構(gòu)為例，其熱輥壓復(fù) 型制作工藝包括以下幾個階段
(1)具有PDP障壁形狀微結(jié)構(gòu)的輥壓模具的準(zhǔn)備
輥壓模具為滾筒式結(jié)構(gòu)，包括模具金屬層l，輥壓模具上的凸起部分2 (障壁結(jié)構(gòu)中的節(jié)距部分)，類金剛石過渡層3，在輥壓模具上形成具有所 要求障壁形狀的微結(jié)構(gòu)(如條形障壁、Waffle結(jié)構(gòu)、Dd TA結(jié)構(gòu)、不等寬 單元結(jié)構(gòu)等)，線寬為40pm，深度為100 um，。輥壓模具的加工方式可采
用超快激光加工或濕法刻蝕加工；輥壓模具材料可選普通的不銹鋼材料(如
0Crl9Ni9);為便于輥壓復(fù)型過程中的定位對正要求，在輥壓模具上制作出 相應(yīng)的第一對正標(biāo)記；形成微結(jié)構(gòu)特征之后，用市售的鍍膜機(jī)將炭原子沉積
到電子光刻膠顯影后的表面(已含微米級三維結(jié)構(gòu)腔體)，形成厚度為納米 級的類金剛石過渡層薄膜，以增強(qiáng)輥壓模具表面硬度，提高輥壓模具在輥壓 過程中的脫模能力，如圖1所示。
(2) PDP顯示器后基板的準(zhǔn)備如圖2所示，PDP顯示器后基板包括玻 璃基板4，玻璃基板4上有選址電極5，選址電極5被白色介電層6包履， 在白色介電層6上有第二對正標(biāo)記7。
玻璃基板4選用市售的高屈浮點(diǎn)玻璃，以印刷法將銀印刷到玻璃基板上
制成選址電極5;以印刷法在玻璃基板上沉積一層白色介電層6;并在介電
層6上制作第二對正標(biāo)記7，以實(shí)現(xiàn)下一步制作出的障壁結(jié)構(gòu)與選址電極之 間的精確定位；
(3) 對正定位過程(圖3a， 3b、圖4):將含第二對正標(biāo)記7的PDP 后基板置于輥壓工作臺16上進(jìn)行真空吸附固定，輥壓工作臺16上有真空氣 路17，抽真空口18;采用CCD攝像頭9、半透半反鏡8、全反鏡10組成的 CCD圖像采集系統(tǒng)對后基板上兩側(cè)的第二對正標(biāo)記7及輥壓模具上的第一 對正標(biāo)記11進(jìn)行視覺測量，獲得兩者的位置參數(shù)，通過輥壓平臺的微驅(qū)動， 進(jìn)行位置校正，使得輥壓模具軸線與后基板兩對正標(biāo)記的連線平行；通過對 輥壓模具上對正標(biāo)記的視覺采集，并與后基板上標(biāo)記的圖像進(jìn)行對比，調(diào)整 模具的轉(zhuǎn)角及水平位置，設(shè)置初始的復(fù)型位置；通過上述三步調(diào)整，可實(shí)現(xiàn) 障壁輥壓復(fù)型的精確定位。
(4) 輥壓復(fù)型過程如圖4，圖5，對正完成后，模具部分(包括輥壓 模具1、布簾式涂布裝置13、 PDP顯示器的障壁槳料14、刮刀15、紫外光 通路12)下壓，使輥壓模具1與后基板的白色介電層6接觸，并施加一定
的輥壓力，啟動布簾式鋪膠裝置13，開始輥壓復(fù)型過程。輥壓模具1在轉(zhuǎn) 動的同時，進(jìn)行水平方向的運(yùn)動，控制保證模具轉(zhuǎn)動的線速度與水平運(yùn)動速 度一致，避免模具與后基板之間的相對滑動；輥壓模具l與后基板的白色介 電層6的接觸處，留在白色介電層6的障壁漿料經(jīng)過紫外光照射，使障壁漿 料中的光敏材料被固化，連同障壁材料一起，附著在后基板的白色介電層6 上，實(shí)現(xiàn)了圖型轉(zhuǎn)移，即輥壓模具1上的障壁微結(jié)構(gòu)復(fù)型在后基板上。
PDP顯示器的障壁漿料14可采用低膨脹玻璃，在其中加入適量的光敏
材料制成。
(5)復(fù)型完成后，對障壁結(jié)構(gòu)進(jìn)行后固化，使其完全固化，形成PDP
顯示器的平板障壁結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1、一種等離子體顯示器平板障壁的大面積壓印成型方法，其特征在于，該方法采用PDP顯示器障壁形狀微結(jié)構(gòu)的輥壓模具和紫外固化壓印復(fù)型結(jié)合的輥壓印復(fù)型工藝，在PDP顯示器后基板上實(shí)現(xiàn)大面積平板障壁結(jié)構(gòu)的復(fù)型，具體包括下列步驟步驟一，具有PDP顯示器障壁結(jié)構(gòu)的輥壓模具的制備輥壓模具為滾筒式結(jié)構(gòu)，滾筒上依次有模具金屬層和納米級厚度的類金剛石過渡層，類金剛石過渡層上形成有PDP顯示器平板障壁形狀三維微結(jié)構(gòu)，該P(yáng)DP顯示器的平板障壁三維微結(jié)構(gòu)截面的尺寸為障壁高度100μm～150μm，寬度為40μm～70μm，節(jié)距為200μm～300μm，或PDP顯示器平板障所要求的微特征結(jié)構(gòu)；輥壓模具的加工采用激光雕刻加工或濕法刻蝕加工，輥壓模具表面制作有第一對正標(biāo)記；步驟二，PDP顯示器后基板的準(zhǔn)備PDP顯示器后基板選擇高屈浮點(diǎn)玻璃，首先用印刷法制作選址電極，在選址電極上均勻鍍上白色介電層，并對介電層表面進(jìn)行平整化處理；在平整的介電層表面制作第二對正標(biāo)記，該第二對正標(biāo)記和輥壓模具上的第一對正標(biāo)記一起構(gòu)成PDP顯示器平板障壁輥壓制作的標(biāo)記系統(tǒng)，用于下一步制作出的平板障壁結(jié)構(gòu)與選址電極之間的精確定位；步驟三，輥壓制作PDP障壁結(jié)構(gòu)的對正定位將含第二對正標(biāo)記的PDP顯示器后基板置于輥壓平臺上并進(jìn)行真空吸附固定，采用CCD圖像采集的方式，獲得后基板與模具的相對位置參數(shù)；通過輥壓工作臺的微驅(qū)動，進(jìn)行位置校正，使得輥壓模具軸線與后基板上的選址電極所在直線相平行；通過對輥壓模具上第一對正標(biāo)記的視覺采集，并與后基板上的第二對正標(biāo)記的圖像進(jìn)行對比，調(diào)整輥壓模具的轉(zhuǎn)角及水平位置，設(shè)置初始的復(fù)型位置；步驟四，對正完成后，開始輥壓復(fù)型，輥壓制作PDP顯示器平板障壁的鋪膠、輥壓、紫外固化復(fù)型過程如下對輥壓模具施加合適的壓力，采用布簾式鋪膠，并結(jié)合柔性刮刀，通過柔性刮刀，刮掉輥壓模具凸起上的漿料，僅留下輥壓模具凹槽中的障壁漿料；采用逆壓印復(fù)型技術(shù)轉(zhuǎn)移圖型；輥壓模具在轉(zhuǎn)動的同時，進(jìn)行水平運(yùn)動，控制輥壓模具轉(zhuǎn)動的線速度與水平運(yùn)動速度一致，避免輥壓模具與后基板之間的相對滑動；輥壓模具與后基板的白色介電層的接觸處，留在白色介電層的障壁漿料經(jīng)過紫外光照射，障壁漿料中的光敏部分固化，連同障壁材料一起附著在后基板上，實(shí)現(xiàn)圖型轉(zhuǎn)移，即將輥壓模具上的障壁微結(jié)構(gòu)復(fù)型在后基板上；步驟五，障壁結(jié)構(gòu)的后處理對后基板上經(jīng)輥壓復(fù)型出的平板障壁結(jié)構(gòu)進(jìn)行后固化，使得障壁結(jié)構(gòu)完全固化，形成PDP顯示器的平板障壁結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的輥壓模具為金屬材 料制成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種等離子體顯示器平板障壁的大面積壓印成型方法，該方法采用輥壓模具和配套的紫外固化工藝，在PDP顯示器后基板上實(shí)現(xiàn)大面積平板障壁結(jié)構(gòu)的復(fù)型，其中障壁材料可采用低膨脹玻璃等；本發(fā)明制備的平板障壁可直接涂鋪熒光材料進(jìn)行高溫焙燒，完成平板顯示微腔制造；替代了諸如固態(tài)光刻膠膜裱貼、曝光、顯影、噴砂、剝膠等現(xiàn)有工藝，縮減了諸如貼膜機(jī)、曝光機(jī)、顯影機(jī)、噴砂機(jī)、剝膠清洗機(jī)等制造裝備；利用該發(fā)明也可實(shí)現(xiàn)以碳納米管為發(fā)射極的大面積場發(fā)射平板顯示的顯示微腔體制造。
文檔編號H01J9/24GK101101842SQ20071001818
公開日2008年1月9日 申請日期2007年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月3日
發(fā)明者丁玉成, 劉紅忠, 盧秉恒, 史永勝, 磊 尹, 蔣維濤, 邵金友 申請人:西安交通大學(xué)