技術編號：2927225
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于微電子、微機械制造，具體涉及一種能大面積壓印成型等離子體顯示器(PDP)平板障壁——三維微腔體陣列結構的制造方法， 該方法制備的等離子體顯示器障壁可直接涂鋪熒光材料，再進行高溫焙燒，完成PDP顯示器的微腔體制造。該方法將現(xiàn)有的制造工藝，如固態(tài)光刻 膠膜裱貼(簡稱貼干膜，用于光刻障壁結構圖形)、曝光、顯影、噴砂、剝 膠(清洗殘膠)等，縮減為壓印成型一道工藝，以一套壓印設備取代原有的5套相關設備(如，貼膜機、曝光機、顯影機、噴砂機、剝膠清洗機)。同時...
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