專利名稱：制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件品質(zhì)檢測(cè)中用的樣品夾具，具體涉及制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件制造中，掃描電子顯微鏡(SEM)已經(jīng)成為監(jiān)測(cè)產(chǎn)品質(zhì)量不可或缺的工具，隨著半導(dǎo)體器件制造廠生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，產(chǎn)量不斷提高，需要檢測(cè)的樣品數(shù)量也不斷增加，作為產(chǎn)品品質(zhì)監(jiān)測(cè)工具的掃描電子顯微鏡(SEM)的負(fù)擔(dān)也越來越重。電子顯微鏡屬于貴重的精密設(shè)備，半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠不可能增加更多的電子顯微鏡。在不增加設(shè)備和人力的情況下，要想完成越來越多的產(chǎn)品品質(zhì)監(jiān)測(cè)，就只有提高處理效率和更有效地利用檢測(cè)設(shè)備，才能緩解檢測(cè)量大和不能增加人力和檢測(cè)設(shè)備之間的矛盾。為了能夠用電子顯微鏡，例如，掃描電子顯微鏡(SEM)更好地觀察半導(dǎo)體晶片樣品的橫截面，當(dāng)前半導(dǎo)體器件的品質(zhì)檢測(cè)工作大致分為兩大步驟第一個(gè)步驟是制備待檢測(cè)的樣品，首先是從大晶片中切割出待檢測(cè)的樣品并用酸腐蝕劑腐蝕處理(Stain)，使得樣品橫截面層次更為清晰，獲得更佳的觀察效果；第二步驟是用電子顯微鏡，例如，掃描電子顯微鏡(SEM)觀察樣品。
作為檢測(cè)工作第一步驟的樣品制備步驟包括切片和腐蝕處理(stain)兩個(gè)步驟。當(dāng)前腐蝕處理步驟中用的樣品腐蝕處理(Stain)工具主要是鑷子和剪刀夾等，在腐蝕處理(Stain)條件相同的情況下，每次只能處理一個(gè)樣品，效率低，而且要由人用手夾持樣品，稍有不慎，樣品就會(huì)跌落，使樣品受到污染，影響掃描電子顯微鏡的觀察結(jié)果。每一次腐蝕處理一片樣品，而一組檢測(cè)樣品通常包括至少四個(gè)樣品，所以，要制備一組檢測(cè)樣品就必須進(jìn)行四次樣品腐蝕處理步驟。由于用于腐蝕處理樣品的腐蝕溶液的濃度和溫度等條件隨著處理次數(shù)的增加和時(shí)間的流逝而變化，所以制備出來的樣品質(zhì)量不一致，很難保證樣品檢測(cè)結(jié)果的可靠性。
為了克服上述的現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)和局限所造成的各種問題提出本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，提供制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具。實(shí)質(zhì)上是提供一種濕式化學(xué)腐蝕處理夾具。
按本發(fā)明一個(gè)技術(shù)方案的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具，包括手柄1和樣品架2。樣品架2具有在同一平面上從圓心點(diǎn)開始徑向水平延伸的至少兩個(gè)樣品承載板3；每個(gè)樣品承載板3上形成多通孔5，腐蝕處理溶液通過通孔浸泡放在樣品承載板3上的樣品4，對(duì)樣品進(jìn)行化學(xué)腐蝕處理；每個(gè)樣品承載板3上可以放至少兩個(gè)待處理樣品4；手柄1與樣品架2的圓心點(diǎn)連接在一起，手柄1垂直于樣品承載板3所在的平面；樣品架2上的樣品承載板3以圓心為中心對(duì)稱地設(shè)置，以保持平衡，樣品承載板3的數(shù)量根據(jù)使用者的需要可以是多個(gè)。
按本發(fā)明另一個(gè)技術(shù)方案的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具，包括手柄1和樣品架2。樣品架2具有在同一平面上從圓心點(diǎn)開始徑向水平延伸的多個(gè)樣品承載板3；每個(gè)樣品承載板3上形成多通孔5，腐蝕處理溶液通過通孔5浸泡放在樣品承載板3上的樣品4，對(duì)樣品進(jìn)行化學(xué)腐蝕處理；每個(gè)樣品承載板3上可以放兩個(gè)甚至更多的待處理樣品4；手柄1與樣品架2的圓心點(diǎn)連接在一起，手柄1垂直于樣品承載板3所在的平面；樣品架2上的樣品承載板3以圓心為中心對(duì)稱地設(shè)置，以保持平衡，樣品承載板的數(shù)量根據(jù)使用者的需要可以是多個(gè)。
承載板3上會(huì)有一些相互隔開的凹槽，凹槽四壁布滿多通孔5，凹槽寬度略大于樣品厚度，深度必須小于樣品高度，以便樣品4取放和保護(hù)待觀察的橫截面，也可以設(shè)計(jì)成不同的尺寸，以適應(yīng)樣品4的大小。樣品直接垂直插入凹槽中，無須固定。
按本發(fā)明的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具用耐化學(xué)腐蝕的材料構(gòu)成，例如，包括聚四氟乙烯的含氟塑料構(gòu)成。
用本發(fā)明的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具一次可以同時(shí)處理多個(gè)樣品，由于在相同的腐蝕條件下同時(shí)處理多個(gè)樣品，因此，處理后的樣品的品質(zhì)一致，既節(jié)省了時(shí)間還提高了樣品的品質(zhì)。而且，由于樣品承載板的在同一個(gè)平面上以圓心為中心徑向設(shè)置的，所以，可以在樣品架上找到從半導(dǎo)體晶片上取樣的對(duì)應(yīng)位置，從而容易觀察到從晶片各個(gè)位置點(diǎn)取出的樣品的狀態(tài)，更好地觀察一個(gè)晶片各個(gè)位置點(diǎn)的狀態(tài)，以確定晶片的質(zhì)量一致性。


通過結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述可以更好地理解本發(fā)明目的和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)，附圖是說明書的一個(gè)組成部分，附圖與說明書的文字部分一起說明本發(fā)明的原理和特征，附圖中顯示出代表本發(fā)明原理和特征的實(shí)施例。全部附圖中相同的部分用相同的參考數(shù)字指示。附圖中圖1是用現(xiàn)有的鑷子夾持樣品在腐蝕槽中進(jìn)行腐蝕處理的示意圖；圖2是用現(xiàn)有的鑷子夾持樣品在雙管下進(jìn)行樣品沖洗的示意圖；圖3是用現(xiàn)有的剪刀夾夾持樣品在腐蝕槽中進(jìn)行腐蝕處理的示意圖；圖4是用現(xiàn)有的剪刀夾夾持樣品在雙管下進(jìn)行樣品沖洗的示意圖；圖5是按本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具的俯視圖；和圖6是按本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具的正剖視圖。
附圖中參考數(shù)字指示的部件說明1-手柄；2-樣品架；3-樣品承載板；4-樣品。5-通孔。
具體實(shí)施例方式按本實(shí)施例的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具，包括手柄1和樣品架2。樣品架2具有在同一平面上從圓心點(diǎn)開始徑向水平延伸的至少兩個(gè)樣品承載板3；每個(gè)樣品承載板3上形成多通孔5，腐蝕處理溶液通過通孔5浸泡放在樣品承載板3上的樣品4，對(duì)樣品4進(jìn)行化學(xué)腐蝕處理；每個(gè)樣品承載板3上放置至少兩個(gè)待處理樣品4；手柄1與樣品架2的圓心點(diǎn)連接在一起，手柄1垂直于樣品承載板3所在的平面；樣品架2上的樣品承載板3以圓心為中心對(duì)稱地設(shè)置，以保持平衡。
承載板上會(huì)有一些相互隔開的凹槽，凹槽四壁布滿多通孔，凹槽寬度略大于樣品厚度，深度必須小于樣品高度，以便樣品取放和保護(hù)待觀察的橫截面，也可以設(shè)計(jì)成不同的尺寸，以適應(yīng)樣品的大小。樣品直接垂直插入凹槽中，無須固定。
按本發(fā)明的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具用耐化學(xué)腐蝕的材料構(gòu)成，例如，包括聚四氟乙烯的含氟塑料構(gòu)成。
按本發(fā)明的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具與第一實(shí)施例的夾具結(jié)構(gòu)和構(gòu)成材料基本相同，只是根據(jù)使用者的需要，樣品架2具有在同一平面上設(shè)置從圓心點(diǎn)開始徑向水平延伸的兩個(gè)以上的多個(gè)樣品承載板3；每個(gè)樣品承載板3上放置的樣品數(shù)量根據(jù)使用者的需要可以是多個(gè)。而且，樣品在樣品承載板上的放置位置也可以根據(jù)使用者的需要改變。
以上詳細(xì)描述了按本發(fā)明的制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具。但是本發(fā)明不限于本文中的詳細(xì)描述。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)了解，本發(fā)明能以其他的形式實(shí)施。因此，按本發(fā)明的全部技術(shù)方案，所列舉的實(shí)施方式只是用于說明本發(fā)明而不是限制本發(fā)明，并且，本發(fā)明不局限于本文中描述的細(xì)節(jié)。本發(fā)明要求保護(hù)的范圍由所附的權(quán)利要求書界定。
權(quán)利要求
1.制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具，其特征是，包括手柄(1)和樣品架(2)；樣品架(2)具有在同一平面上從圓心點(diǎn)開始徑向水平延伸的至少兩個(gè)樣品承載板(3)；每個(gè)樣品承載板(3)上形成多通孔(5)，腐蝕處理溶液通過通孔(5)浸泡放在樣品承載板(3)上的樣品(4)，對(duì)樣品(4)進(jìn)行化學(xué)腐蝕處理；每個(gè)樣品承載板(3)上放置至少兩個(gè)待處理樣品(4)；手柄(1)與樣品架(2)的圓心點(diǎn)連接在一起，手柄(1)垂直于樣品承載板(3)所在的平面；樣品架(2)上的樣品承載板(3)以圓心為中心對(duì)稱地設(shè)置，以保持平衡。
2.按照權(quán)利要求(1)的夾具，其特征是，樣品承載板(3)的數(shù)量根據(jù)使用者的需要可以是多個(gè)，每個(gè)樣品承載板(3)上放置的樣品(4)數(shù)量根據(jù)使用者的需要可以是多個(gè)，樣品(4)在樣品承載板(3)上的放置位置也可以根據(jù)使用者的需要改變。
3.按照權(quán)利要求1和2的夾具，其特征是，夾具用耐化學(xué)腐蝕的材料構(gòu)成，例如，包括聚四氟乙烯的含氟塑料構(gòu)成。
全文摘要
制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具，包括手柄1和樣品架2；樣品架2具有在同一平面上從圓心點(diǎn)開始徑向水平延伸的多個(gè)樣品承載板3；每個(gè)樣品承載板3上形成多通孔5，腐蝕處理溶液通過通孔5浸泡放在樣品承載板3上的樣品4，對(duì)樣品4進(jìn)行化學(xué)腐蝕處理；每個(gè)樣品承載板3上放置至少兩個(gè)待處理樣品4；手柄1與樣品架2的圓心點(diǎn)連接在一起，手柄1垂直于樣品承載板3所在的平面；樣品架2上的樣品承載板3以圓心為中心對(duì)稱地設(shè)置，以保持平衡。
文檔編號(hào)H01J37/20GK1796967SQ20041009346
公開日2006年7月5日 申請(qǐng)日期2004年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月22日
發(fā)明者郭志蓉, 秦天, 廖炳隆, 董偉淳 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司