專利名稱：液狀體噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴出液狀體的噴出裝置，詳細(xì)地涉及能夠良好地將液狀體充填到噴出頭和從充填的液狀體除去氣泡的液狀體噴出裝置、液狀體噴出方法、電子光學(xué)裝置及其制造方法、和電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
至今，作為噴出液狀體材料的噴出頭的噴出裝置，備有噴墨頭的噴墨打印機(jī)是眾所周知的。
噴墨打印機(jī)備有的噴墨頭，通常，具有備有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置構(gòu)成。又，使貯存液狀體的液狀體罐與這種噴出頭連接，從液狀體罐向噴出頭供給液狀體。
又，上述噴墨頭，近年來(lái)作為噴出頭，不僅能夠用于民用的噴墨打印機(jī)而且也能夠用作工業(yè)用的噴出裝置，即用作用于形成各種器件的構(gòu)成要素的裝置。例如，關(guān)于有機(jī)EL裝置中的發(fā)光層和空穴注入層、液晶裝置等中的濾色器、進(jìn)一步各種器件的金屬配線、微透鏡等，為了形成它們，也能夠用噴出頭。
可是，在上述噴墨頭中，例如作為開始使用時(shí)的液狀體充填方法，具有下面那樣的充填方法(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
首先，將由可彎曲性材料構(gòu)成的覆蓋部件壓附在噴出頭的噴嘴形成面上，氣密地覆蓋噴嘴形成面。其次，使與覆蓋部件連接的減壓裝置工作降低覆蓋部件與噴嘴形成面之間的壓力。
這樣一來(lái)，通過(guò)降低噴墨頭內(nèi)的壓力，從與它連接的液狀體罐向噴出頭內(nèi)供給液狀體，將液狀體充填在噴墨頭內(nèi)。而且，進(jìn)一步，繼續(xù)進(jìn)行上述的減壓，通過(guò)吸引充填的液狀體，從噴墨頭排出到覆蓋部件一側(cè)，與此同時(shí)，也使該噴出頭內(nèi)的空氣和進(jìn)一步殘留在流路中的氣泡吸引·排出到覆蓋部件一側(cè)。
這里，殘留在噴出頭內(nèi)的氣泡，通過(guò)當(dāng)噴出液狀體時(shí)吸收噴出壓等，對(duì)液狀體的流動(dòng)和從噴嘴的噴出施加惡劣的影響，成為造成噴出頭的噴出性能的惡化和不穩(wěn)定性的大的重要原因。
專利文獻(xiàn)1日本2000年公布的2000-108383號(hào)專利公報(bào)可是，當(dāng)將噴出裝置如上所述地用于工業(yè)時(shí)，伴隨著用途的多樣化，作為噴出的液狀體要使用高價(jià)的和稀少的液狀體，或者高粘度的液狀體。例如，近年來(lái)在解析遺傳因子構(gòu)造等中，正在考慮將上述噴出裝置(噴墨打印機(jī))的技術(shù)應(yīng)用于該被檢查體的制作，但是用于這種被檢查體的制作的試劑和檢體等多數(shù)很貴，又很稀少。又，作為用于形成有機(jī)EL裝置中的發(fā)光層的液狀體要使用高粘度的液狀體。
但是，當(dāng)開始使用時(shí)充填液狀體時(shí)，當(dāng)為了上述那樣地除去氣泡將充填在噴出頭內(nèi)的液狀體排出到噴出頭外時(shí)，當(dāng)液狀體很貴時(shí)因?yàn)槔速M(fèi)很多所以使成本大幅度上升。又，當(dāng)液狀體很稀少時(shí)作為目的只能進(jìn)行少量的噴出很不方便。
又，在高粘度的液狀體的情形中，因?yàn)闅馀蓦y以在液狀體內(nèi)流動(dòng)，又液狀體自身也難以移動(dòng)，所以需要通過(guò)吸引大量地排出液狀體，也由于液狀體的浪費(fèi)導(dǎo)致成本上升。
進(jìn)一步，近年來(lái)，因?yàn)橐髧姵龅母呔然龋哉谶M(jìn)行噴出液狀體的微細(xì)化，與此相伴噴嘴的直徑和液狀體的流路也越來(lái)越微細(xì)化。但是，當(dāng)進(jìn)行這種微細(xì)化時(shí)，毛細(xì)管力變大，通過(guò)減壓·吸引排出氣泡是困難的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題提出的，本發(fā)明的目的是提供能夠防止由于液狀體浪費(fèi)引起的成本上升，而且與伴隨著液狀體的微細(xì)化的噴嘴直徑和流路的微細(xì)化對(duì)應(yīng)容易從噴出頭除去氣泡的液狀體噴出裝置和液狀體噴出方法、電子光學(xué)裝置及其制造方法、和電子設(shè)備。
為了達(dá)到上述目的在液狀體噴出裝置中，其特征是它是備有具有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置的噴出頭、和貯存供給該噴出頭的液狀體的液狀體罐的液狀體噴出裝置，備有覆蓋上述噴嘴的第1吸引部件、與該第1吸引部件連接，通過(guò)該第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的第1減壓裝置、覆蓋上述噴嘴的第2吸引部件、和與該第2吸引部件連接，通過(guò)該第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，并且與上述液狀體罐內(nèi)連通降低該液狀體罐內(nèi)的壓力的第2減壓裝置。
如果根據(jù)該液狀體噴出裝置，則如下地進(jìn)行開始使用時(shí)的液狀體充填。
首先，在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第1吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面。而且，由上述第1減壓裝置通過(guò)上述第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，將液狀體充填到該噴出頭內(nèi)。
這樣，在將液狀體充填到上述噴出頭內(nèi)后，從噴出頭取下第1吸引部件，接著在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第2吸引部件覆蓋該噴出頭的噴嘴形成面。而且，由第2減壓裝置降低上述液狀體罐內(nèi)的壓力，并且通過(guò)上述第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力。
這樣一來(lái)，因?yàn)橥瑫r(shí)降低液狀體罐內(nèi)和噴出頭內(nèi)的壓力，所以在這些液狀體罐內(nèi)和噴出頭內(nèi)之間幾乎不產(chǎn)生壓力差，因此不會(huì)發(fā)生液狀體從液狀體罐內(nèi)流到噴出頭內(nèi)和從噴出頭流出液狀體，所以特別是通過(guò)只選擇地吸引殘留在噴出頭內(nèi)的氣泡和溶存在的液狀體內(nèi)的氣體能夠在第2減壓裝置一側(cè)除去它們。因此，不會(huì)無(wú)用地從噴出頭流出液狀體，能夠容易地并且確實(shí)地除去氣泡等，因此能夠達(dá)到減低成本的目的。
又，在這樣地確實(shí)地除去氣泡等后，如果從噴出頭噴出液狀體，則能夠良好地進(jìn)行由于該噴出產(chǎn)生的各種構(gòu)成要素的形成等。
又，在上述液狀體噴出裝置中，最好在與上述第1吸引部件的噴出頭的相反一側(cè)，設(shè)置檢測(cè)從上述噴嘴流出的液狀體的液狀體檢測(cè)傳感器。
如果這樣做，則當(dāng)由第1減壓裝置通過(guò)第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，將液狀體充填在該噴出頭內(nèi)時(shí)，剩余的液狀體從噴出頭的噴嘴流出。這時(shí)，通過(guò)由液狀體檢測(cè)傳感器檢測(cè)流出的液狀體，能夠檢測(cè)液狀體是否充分充填在噴出頭內(nèi)了。所以，檢測(cè)后通過(guò)由第1減壓裝置進(jìn)行的減壓，能夠防止通過(guò)從噴出頭流出過(guò)剩的液狀體。
又，在上述液狀體噴出裝置中，最好在上述液狀體罐中設(shè)置加熱貯存的液狀體的加熱器。
如果這樣做，則通過(guò)加熱液狀體能夠降低它的粘度，所以能夠使液狀體容易從液狀體罐流入到噴出頭。又，能夠促進(jìn)溶存在的液狀體中的氣體氣化，由能夠容易地除去當(dāng)由第2減壓裝置進(jìn)行的減壓時(shí)的氣泡等。
又，在上述液狀體噴出裝置中，上述第2吸引部件也可以是至少收藏上述噴出頭的容器。又，這時(shí)，上述第2減壓裝置最好具有使成為上述第2吸引部件的容器內(nèi)和上述液狀體罐內(nèi)減壓到相同壓力的構(gòu)成。
這樣，噴出頭簡(jiǎn)單地位于腔室內(nèi)，通過(guò)使與腔室連接的第2減壓裝置動(dòng)作，容易地吸引并除去殘留在噴出頭內(nèi)的氣泡和溶于液狀體內(nèi)的氣體，即通過(guò)將腔室內(nèi)和液狀體罐內(nèi)之間減壓到同樣的壓力，在液狀體罐和噴出頭之間幾乎不產(chǎn)生壓力差，這樣，不會(huì)發(fā)生從液體狀罐內(nèi)到噴出頭內(nèi)的液狀體的流入和從噴出頭到液壯體的流出。
在上述液狀體的噴出裝置中，上述第1吸引部件和第2吸引部件用同一吸引部件構(gòu)成，上述第1減壓部件和第2減壓部件用同一減壓部件構(gòu)成。
如果這樣做，則通過(guò)使液狀體罐內(nèi)和減壓裝置連通，用開關(guān)閥等的切換裝置可以開閉該連通狀態(tài)的構(gòu)成，能夠用該切換裝置從由第1減壓裝置進(jìn)行減壓切換到由第2減壓裝置進(jìn)行減壓，所以能夠使裝置構(gòu)成簡(jiǎn)易化。
本發(fā)明的的特征是它是備有具有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置的噴出頭、和貯存供給該噴出頭的液狀體的液狀體罐，從備有氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第1吸引部件、與該第1吸引部件連接，通過(guò)該第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的第1減壓裝置、氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第2吸引部件、和與該第2吸引部件連接，通過(guò)該第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，并且與上述液狀體罐內(nèi)連通降低該液狀體罐內(nèi)的壓力的第2減壓裝置的噴出裝置噴出液狀體的方法，備有在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第1吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面的工序、由第1減壓裝置通過(guò)上述第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，將液狀體充填到該噴出頭內(nèi)的工序、 在將液狀體充填到上述噴出頭內(nèi)后，在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第2吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面的工序、由第2減壓裝置降低上述液狀體罐內(nèi)的壓力，并且通過(guò)上述第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的工序、和在降低噴出頭內(nèi)的壓力后，從該噴出頭噴出液狀體的工序。
如果根據(jù)這種液狀體噴出方法，則因?yàn)楫?dāng)由第2減壓裝置降低上述液狀體罐內(nèi)的壓力，并且通過(guò)第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力時(shí)，能夠同時(shí)降低液狀體罐內(nèi)和噴出頭內(nèi)的壓力，所以在這些液狀體罐內(nèi)和噴出頭內(nèi)之間幾乎不產(chǎn)生壓力差，因此不會(huì)發(fā)生液狀體從液狀體罐內(nèi)流入到噴出頭內(nèi)和從噴出頭流出液狀體，所以特別是通過(guò)只選擇地吸引殘留在噴出頭內(nèi)的氣泡和溶存在的液狀體內(nèi)的氣體能夠在第2減壓裝置一側(cè)除去它們。因此，不會(huì)無(wú)用地從噴出頭流出液狀體，能夠容易地并且確實(shí)地除去氣泡等，因此能夠達(dá)到減低成本的目的。又，在這樣地確實(shí)地除去氣泡等后，因?yàn)閺膰姵鲱^噴出液狀體，所以能夠良好地進(jìn)行由于該噴出產(chǎn)生的各種構(gòu)成要素的形成等。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置的特征是用備有從具有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置的噴出頭、和貯存供給該噴出頭的液狀體的液狀體罐，備有氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第1吸引部件、與該第1吸引部件連接，通過(guò)該第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的第1減壓裝置、氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第2吸引部件、和與該第2吸引部件連接，通過(guò)該第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，并且與上述液狀體罐內(nèi)連通降低該液狀體罐內(nèi)的壓力的第2減壓裝置的液狀體噴出裝置，形成構(gòu)成要素的至少一部分。
如果根據(jù)該電光學(xué)裝置，則因?yàn)橥ㄟ^(guò)如上所述地能夠良好地形成各種構(gòu)成要素等的噴出裝置，形成該構(gòu)成要素的至少一部分，所以能夠得到可靠性高的良好的結(jié)果，又由于不會(huì)無(wú)用地流出液狀體能夠達(dá)到降低成本的目的。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法的特征是它是用備有具有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置的噴出頭、和貯存供給該噴出頭的液狀體的液狀體罐，備有氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第1吸引部件、與該第1吸引部件連接，通過(guò)該第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的第1減壓裝置、氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第2吸引部件、和與該第2吸引部件連接，通過(guò)該第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，并且與上述液狀體罐內(nèi)連通降低該液狀體罐內(nèi)的壓力的第2減壓裝置的噴出裝置，形成電光學(xué)裝置的構(gòu)成要素的至少一部分的電光學(xué)裝置的制造方法，備有在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第1吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面的工序、由第1減壓裝置通過(guò)上述第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，將液狀體充填到該噴出頭內(nèi)的工序、在將液狀體充填到上述噴出頭內(nèi)后，在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第2吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面的工序、由第2減壓裝置降低上述液狀體罐內(nèi)的壓力，并且通過(guò)上述第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的工序、和在降低噴出頭內(nèi)的壓力后，從該噴出頭噴出液狀體的工序。
如果根據(jù)該電光學(xué)裝置的制造方法，則因?yàn)橛萌缟纤龅啬軌蛄己玫匦纬筛鞣N構(gòu)成要素的噴出方法，形成該構(gòu)成要素的至少一部分，所以能夠制造可靠性高的良好的電光學(xué)裝置，又由于不會(huì)無(wú)用地流出液狀體可以達(dá)到降低成本的目的。
本發(fā)明的電子設(shè)備的特征是用上述的液狀體噴出裝置，或上述的液狀體噴出方法形成構(gòu)成要素的一部分。
如果根據(jù)該電子設(shè)備，則因?yàn)橛媚軌蛄己玫匦纬筛鞣N構(gòu)成要素等的噴出裝置或噴出方法形成該構(gòu)成要素的至少一部分，所以能夠得到可靠性高的良好的結(jié)果，又由于不會(huì)無(wú)用地流出液狀體能夠達(dá)到降低成本的目的。


圖1是本發(fā)明的噴出裝置的概略構(gòu)成圖。
圖2A、2B是噴出頭的概略構(gòu)成圖。
圖3是用于說(shuō)明圖1所示的噴出裝置的主要部分的圖。
圖4是用于說(shuō)明其它噴出裝置的主要部分的圖。
圖5是有機(jī)EL裝置的側(cè)截面圖。
圖6是等離子體顯示器的分解斜視圖。
圖7A～7F是濾色器的形成方法說(shuō)明圖。
圖8是用于說(shuō)明圖案形成方法的操作程序圖。
圖9A、9B是表示圖案形成方法的一個(gè)例子的模式圖。
圖10A、10B是表示圖案形成方法的一個(gè)例子的模式圖。
圖11A、11B是表示圖案形成方法的一個(gè)例子的模式圖。
圖12A～12D是微透鏡的制造方法的工序說(shuō)明圖。
圖13A、13B是圖象顯示裝置的電子源基板的模式圖。
圖14A～14C是圖象顯示裝置的制造工序說(shuō)明圖。
圖15是表示電子設(shè)備的一個(gè)例子的斜視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，我們?cè)敿?xì)說(shuō)明本發(fā)明。
圖1是表示本發(fā)明的液狀體噴出裝置(以下記為噴出裝置)的第1實(shí)施形態(tài)的圖。在圖1中標(biāo)號(hào)30是噴出裝置。該噴出裝置30是具有基底31、基板移動(dòng)裝置32、噴出頭移動(dòng)裝置33、噴出頭34、液狀體罐35、和容器38等構(gòu)成的。
在基底31上設(shè)置上述基板移動(dòng)裝置32和噴出頭移動(dòng)裝置33。
基板移動(dòng)裝置32設(shè)置在基底31上，具有沿Y軸方向配置的導(dǎo)軌36。該基板移動(dòng)裝置32具有例如由線性馬達(dá)沿導(dǎo)軌36移動(dòng)滑板37那樣的構(gòu)成。在滑板37上，備有è軸用的馬達(dá)(圖中未畫出)。該馬達(dá)例如是由直接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)構(gòu)成的，它的轉(zhuǎn)子(圖中未畫出)固定在臺(tái)板39上。根據(jù)這樣的構(gòu)成，當(dāng)使馬達(dá)通電時(shí)，轉(zhuǎn)子和臺(tái)板39沿è方向旋轉(zhuǎn)，在臺(tái)板39上加上刻度(計(jì)算旋轉(zhuǎn))。
臺(tái)板39決定并保持基板S的位置。即，該臺(tái)板39具有眾所周知的吸附保持裝置(圖中未畫出)，通過(guò)使該吸附保持裝置工作，將基板S吸附保持在臺(tái)板39上。通過(guò)臺(tái)板39的位置決定銷釘(圖中未畫出)正確地決定并保持基板S在基底31上的規(guī)定位置。在臺(tái)板39上設(shè)置噴出頭34舍棄墨水或者用于試噴的舍棄區(qū)域41。該舍棄區(qū)域41是在X軸方向延伸形成的，設(shè)置在臺(tái)板39的后端部一側(cè)。
噴出頭移動(dòng)裝置33備有設(shè)立在基底31的后部一側(cè)的一對(duì)臺(tái)架33a、33a和設(shè)置在這些臺(tái)架33a、33a上的行走路徑33b，該行走路徑33b沿X軸方向、即與上述基板移動(dòng)裝置32的Y軸方向正交的方向配置。行走路徑33b是具有跨在臺(tái)架33a、33a之間的保持板33c、和設(shè)置在該保持板33c上的一對(duì)導(dǎo)軌33d、33d而形成的，可以在導(dǎo)軌33d、33d的長(zhǎng)方向上移持噴出頭34的滑板42地保持滑板42。由于線性馬達(dá)(圖中未畫出)等的工作使滑板42在導(dǎo)軌33d、33d上行走，因此使噴出頭34沿X軸方向移動(dòng)地進(jìn)行構(gòu)成。
作為搖動(dòng)位置決定裝置的馬達(dá)43、44、45、46與噴出頭34連接。而且，當(dāng)使馬達(dá)43工作時(shí)，可以使噴出頭34沿Z軸上下運(yùn)動(dòng)，可以決定它在Z軸上的位置。此外，這個(gè)Z軸是分別與X軸、Y軸正交的方向(上下方向)。又，當(dāng)使馬達(dá)44工作時(shí)，噴出頭34沿圖1中的方向搖動(dòng)，可以決定它的位置，當(dāng)使馬達(dá)45工作時(shí)，噴出頭34沿 方向搖動(dòng)，可以決定它位置，當(dāng)使馬達(dá)46工作時(shí)，噴出頭34沿á方向搖動(dòng)，可以決定它的位置。
這樣噴出頭34在滑板42上，在Z軸方向直線移動(dòng)可以決定它的位置，并且，沿á、、 搖動(dòng)，可以決定它的位置。所以，能夠正確控制噴出頭34的墨水噴出面面對(duì)臺(tái)板39一側(cè)的基板S的位置或姿勢(shì)。
這里，噴出頭2備有如圖2所示地例如不繡鋼制的噴嘴板12和振動(dòng)板13，兩者通過(guò)間隔部件(儲(chǔ)存器板)14粘合起來(lái)。在噴嘴板12和振動(dòng)板13之間，由于間隔部件14形成多個(gè)空腔15....和儲(chǔ)存器16，這些空腔15....和儲(chǔ)存器16，通過(guò)流路17連通。
這里，各空腔15和儲(chǔ)存器16的內(nèi)部充滿液狀體，它們之間的流路17起著從儲(chǔ)存器16向空腔15供給液狀體的供給口的作用。又，在噴嘴板12上以縱橫地排列的狀態(tài)形成許多用于從空腔15噴射液狀體的孔狀噴嘴18。另一方面，在振動(dòng)板13上形成向儲(chǔ)存器16內(nèi)開口的孔19，通過(guò)管子24(請(qǐng)參照?qǐng)D1)液狀體罐35與這個(gè)孔19連接。
又，在振動(dòng)板13的與向著空腔15的面相反一側(cè)的面上，如圖2B所示，粘合著壓電(英文piez)元件20。該壓電元件20，因?yàn)榫哂斜粖A持在一對(duì)電極21、21之間，由于通電向外側(cè)突出而彎曲那樣的構(gòu)成，作為本發(fā)明中的噴出裝置起作用。
根據(jù)這種構(gòu)成與壓電元件20粘合的振動(dòng)板13與壓電元件20成為一體地同時(shí)向外側(cè)彎曲，因此，使空腔15的容積增大。這樣一來(lái)，當(dāng)空腔15內(nèi)與儲(chǔ)存器16內(nèi)連通，并在儲(chǔ)存器16內(nèi)充填著液狀體時(shí)，與增大的容積相當(dāng)?shù)囊籂铙w通過(guò)流路17從儲(chǔ)存器16流入到空腔15內(nèi)。
而且，當(dāng)從這種狀態(tài)解除向壓電元件20的通電時(shí)，壓電元件20和振動(dòng)板13一起回到原來(lái)的形狀。從而，因?yàn)榭涨?5也回到原來(lái)的容積，所以空腔15內(nèi)部的液狀體壓力上升，從噴嘴18噴出液狀體的液滴22。
此外，作為噴出頭的噴出裝置，除了用上述壓電元件20的電機(jī)械變換體以外，例如，也可以采用作為能量發(fā)生元件用電熱變換體的方式、稱為帶電控制型、加熱振動(dòng)型的連續(xù)方式、靜電吸引方式、進(jìn)一步通過(guò)照射激光等的電磁波發(fā)熱，由于該發(fā)熱引起的作用噴出液狀體的方式。
液狀體罐35，配置在上述臺(tái)架33a、33a的一個(gè)上，它的內(nèi)部通過(guò)配管(圖中未畫出)與真空泵40連接。又，在該液狀體罐35上，在它的內(nèi)部或它的外側(cè)設(shè)置加熱器(圖中未畫出)。該加熱器用于加熱貯存的液狀體，特別是當(dāng)液狀體高粘性時(shí)等，通過(guò)加熱降低粘度，能夠使液狀體容易從液狀體罐35流入到噴出頭34。又，能夠促進(jìn)溶存在的液狀體中的氣體氣化，當(dāng)由后述的第2減壓裝置進(jìn)行的減壓時(shí)，能夠容易地除去氣泡等。
此外，因?yàn)榕_(tái)架33a支持行走路徑33b，所以處于與在該行走路徑33b上行走的噴出頭34十分接近的位置。所以，用于將液狀體從液狀體罐35送入到噴出頭34的管子24與已有的比較充分地短，即其長(zhǎng)度大致與行走路徑33b的長(zhǎng)度相等。
又，在上述臺(tái)架33a、33a的另一個(gè)上，配置上述容器38。該容器38構(gòu)成本發(fā)明中的第2吸引部件，如后所述通過(guò)將噴出頭34氣密地收藏在它的內(nèi)部，能夠氣密地覆蓋噴出頭34的噴嘴18。又，上述真空泵40與該容器38連接，該真空泵40構(gòu)成本發(fā)明中的第2減壓裝置。即，該真空泵40如上所述通過(guò)配管(圖中未畫出)也與液狀體罐35連接，根據(jù)這樣的構(gòu)成，能夠同時(shí)降低容器38內(nèi)和液狀體罐35內(nèi)的壓力并使它們降低到相同的壓力。
此外，在容器38上設(shè)置一個(gè)門(圖中未畫出)，上述噴出頭34由于噴出頭移動(dòng)裝置33在X方向上行走移動(dòng)到容器38一側(cè)，從這個(gè)門進(jìn)入容器38內(nèi)。又，通過(guò)關(guān)閉這個(gè)門，能夠?qū)姵鲱^34氣密地收藏在該容器38內(nèi)。
在該容器38內(nèi)，如圖3所示設(shè)置氣密地覆蓋在形成噴出頭34的噴嘴18的面(噴嘴形成面)34a的吸引墊片50、與該吸引墊片50連接的吸引泵51、和與該吸引泵51連接的廢液罐52。吸引墊片50作為本發(fā)明中的第1吸引部件起作用，具有備有與噴出頭34的噴嘴形成面34a對(duì)接并覆蓋它的墊片、與在該墊片上形成的孔部分(圖中未畫出)連通的可彎曲的配管(圖中未畫出)、和用于使墊片向噴出頭34移動(dòng)與噴出頭34對(duì)接，進(jìn)一步從噴出頭34離開的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。此外，墊片由橡膠和軟質(zhì)的合成樹脂等形成。
吸引泵51作為本發(fā)明中的第1減壓裝置起作用，上述吸引墊片50的墊片與噴出頭34的噴嘴形成面34a對(duì)接后進(jìn)行減壓工作，通過(guò)吸引墊片50降低噴出頭34內(nèi)的壓力。
此外，在該吸引泵51與上述吸引墊片50之間，設(shè)置檢測(cè)液狀體的液狀體檢測(cè)傳感器53。作為該液狀體檢測(cè)傳感器53可以與液狀體的種類相應(yīng)地適當(dāng)?shù)剡x擇并使用至今眾所周知的傳感器。例如，當(dāng)液狀體是非透光性的時(shí)，能夠使用備有發(fā)光元件和受光元件構(gòu)成的傳感器。
即，在連接在吸引泵51與上述吸引墊片50之間的配管中設(shè)置透明部分，在該透明部分的兩側(cè)配置上述發(fā)光元件和受光元件。如果這樣做，當(dāng)液狀體不通過(guò)透明部分時(shí)，由受光元件接受來(lái)自發(fā)光元件的光，不可能檢測(cè)出液狀體，當(dāng)液狀體通過(guò)透明部分時(shí)，來(lái)自發(fā)光元件的光被液狀體遮蔽，由于受光元件不能受光而檢測(cè)出液狀體。
廢液罐52用于當(dāng)通過(guò)吸引墊片50由上述吸引泵51降低噴出頭34內(nèi)的壓力時(shí)，貯存從噴出頭34流出的剩余液狀體。這里，在本實(shí)施形態(tài)中如上所述在吸引墊片50與吸引泵51之間設(shè)置液狀體檢測(cè)傳感器53，但是也可以根據(jù)液狀體的種類，在該廢液罐52內(nèi)設(shè)置液狀體檢測(cè)傳感器。這時(shí)，例如也可以通過(guò)用水平面?zhèn)鞲衅鳈z測(cè)貯存在廢液罐52中的液狀體的液面，檢測(cè)從噴出頭34作為剩余液狀體流出的一定量。
又，上述吸引墊片50、吸引泵51、液狀體檢測(cè)傳感器53、真空泵40分別與控制裝置54連接。由該控制裝置54分別對(duì)它們的工作進(jìn)行控制。
其次，我們根據(jù)這種構(gòu)成的噴出裝置30的工作，說(shuō)明本發(fā)明的液狀體傳噴出方法的一個(gè)例子。此外，在該說(shuō)明中，作為液狀體的種類沒有特別的限定，可以用任何的液狀體。
首先，在向基板S噴出液狀體前，將液狀體充填在噴出頭34中，并且應(yīng)除去殘留在內(nèi)部的氣泡等，移動(dòng)噴出頭34，使該噴出頭34收藏在容器38內(nèi)。
其次，通過(guò)對(duì)控制裝置54進(jìn)行控制，移動(dòng)吸引墊片50，使噴出頭34的噴嘴形成面34a與該墊片50對(duì)接，氣密地覆蓋在它的上面。接著，使吸引泵51工作，通過(guò)上述吸引墊片50降低噴出頭34內(nèi)的壓力。這樣一來(lái)，因?yàn)檫@時(shí)上述真空泵40不工作，從而在液狀體罐35內(nèi)成為大氣壓，所以在該液狀體罐35內(nèi)與連接吸引墊片50的噴出頭34內(nèi)之間產(chǎn)生壓力差，因此，液狀體罐35內(nèi)的液狀體流入到噴出頭34內(nèi)，使液狀體充填到噴出頭34內(nèi)。此外，也可以在使吸引泵51工作前，使設(shè)置在液狀體罐35內(nèi)的加熱器(圖中未畫出)通電，加熱貯存的液狀體。
而且，由吸引泵51繼續(xù)使液狀體充填到噴出頭34內(nèi)，在噴出頭34內(nèi)充滿足夠的液狀體后，剩余的液狀體從噴出頭34的噴嘴18流出。這樣一來(lái)，通過(guò)由液狀體檢測(cè)傳感器53檢測(cè)該流出的液狀體，能夠檢測(cè)出在噴出頭34內(nèi)充填了足夠的液狀體。而且，當(dāng)將該檢測(cè)信號(hào)發(fā)送給控制裝置54時(shí)，接收該信號(hào)的控制裝置54使吸引泵51停止工作，使液狀體停止從液狀體罐35一側(cè)流入到噴出頭34一側(cè)。
這樣如果確認(rèn)使液狀體充填到噴出頭34內(nèi)，進(jìn)一步從噴出頭34流出液狀體，則在確認(rèn)容器38內(nèi)的氣密性后，由控制裝置54使真空泵40工作。
這樣一來(lái)，通過(guò)將噴出頭34收藏在容器38內(nèi)，結(jié)果，它的噴嘴形成面34a被容器38，即本發(fā)明中的第2吸引部件氣密地覆蓋，所以通過(guò)該容器38(第2吸引部件)被真空泵40所吸引·減壓。
又，因?yàn)橥瑫r(shí)降低容器38內(nèi)和液狀體罐35內(nèi)的壓力并且使它們降低到相同的壓力，所以在這些液狀體罐35內(nèi)和上述噴出頭34內(nèi)之間幾乎不產(chǎn)生壓力差，因此不會(huì)發(fā)生液狀體從液狀體罐35內(nèi)流入到噴出頭34內(nèi)和從噴出頭34流出液狀體的情形。所以，特別是通過(guò)只選擇地吸引殘留在噴出頭34內(nèi)的氣泡和溶存在的液狀體內(nèi)的氣體，能夠在容器38一側(cè)除去它們。
這樣一來(lái)如果選擇地除去了殘留在噴出頭34內(nèi)的氣泡和溶存在的液狀體內(nèi)的氣體，則由控制裝置54使真空泵40停止工作，并且打開設(shè)置在容器38上的大氣閥(圖中未畫出)，使容器38內(nèi)和液狀體罐35內(nèi)回到大氣壓。
這里，雖然關(guān)于由真空泵40降低容器38內(nèi)和液狀體罐35內(nèi)的壓力，沒有特別的限定，但是從生產(chǎn)性出發(fā)，最好使該減壓處理時(shí)間在1分鐘～3分鐘左右。又，為了通過(guò)這種范圍內(nèi)的時(shí)間處理有效地除去氣泡等，雖然即便因液狀體的種類而不同，但是最好也使減壓度(真空度)為0.1Pa～0.5Pa左右。這是因?yàn)樵诒?.5Pa高的壓力，要在上述時(shí)間內(nèi)充分除去氣泡等是困難的，又即便在比0.1Pa低的壓力，也不大可能期待提高氣泡等的除去效果。
此后，使噴出頭34從容器38內(nèi)出來(lái)，回到用于噴出的正規(guī)位置，向基板S噴出液狀體。
在根據(jù)這種噴出裝置30的液狀體噴出方法中，因?yàn)樵趯⒁籂铙w充填到噴出頭34內(nèi)后，由真空泵40一起降低液狀體罐35內(nèi)和噴出頭34內(nèi)的壓力，所以不會(huì)發(fā)生液狀體從液狀體罐35內(nèi)流到噴出頭34內(nèi)和從噴出頭34流出液狀體的情形，能夠除去殘留在噴出頭34內(nèi)的氣泡等。因此，不會(huì)無(wú)用地從噴出頭34流出液狀體，能夠容易地并且確實(shí)地除去氣泡等，因此能夠達(dá)到減低成本的目的。又，因?yàn)樵谶@樣確實(shí)地除去氣泡等后，從噴出頭噴出液狀體，所以能夠良好地形成由該噴出產(chǎn)生的各種構(gòu)成要素等。
其次，我們說(shuō)明本發(fā)明的噴出裝置的第2實(shí)施形態(tài)。該第2實(shí)施形態(tài)與上述第1實(shí)施形態(tài)不同之處在于不區(qū)別第1吸引部件(吸引墊片50)和第2吸引部件(容器38)，而由同一吸引部件構(gòu)成，進(jìn)一步不區(qū)別第1減壓裝置(吸引泵51)和第2減壓裝置(真空泵40)，而由同一減壓裝置構(gòu)成這一點(diǎn)。
即，在第2實(shí)施形態(tài)中，不設(shè)置上述容器38，在配設(shè)容器38的位置上如圖4所示配設(shè)吸引墊片60，進(jìn)一步，真空泵63通過(guò)配管61、分支管62與該吸引墊片60連接。因?yàn)槲龎|片60兼作本發(fā)明中的第1吸引部件和第2吸引部件，所以是與上述第1實(shí)施形態(tài)中的吸引墊片50相同的。即，如上所述地具有備有與噴出頭34的噴嘴形成面34a對(duì)接并覆蓋它的墊片、與在該墊片上形成的孔部分(圖中未畫出)連通的可彎曲的配管(圖中未畫出)、和用于使墊片向噴出頭34移動(dòng)與噴出頭34對(duì)接，進(jìn)一步從噴出頭34離開的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。
又，真空泵63兼作第1減壓裝置和第2減壓裝置，是與上述第1實(shí)施形態(tài)中的真空泵40相同的。即，與上述的吸引墊片60連接，并且通過(guò)配管64與液狀體罐35連接。
在與這個(gè)真空泵63和上述吸引墊片60連接的配管61上設(shè)置液狀體檢測(cè)傳感器53和廢液罐52。這些液狀體檢測(cè)傳感器53和廢液罐52與第1實(shí)施形態(tài)中的相同，根據(jù)這種構(gòu)成，當(dāng)從噴出頭34流出剩余的液狀體時(shí)，液狀體檢測(cè)傳感器53能夠檢測(cè)出流出的剩余的液狀體。
又，在該配管61上在它的路徑中設(shè)置三通閥65，因此配管61在從三通閥65的位置到吸引墊片60之間分出分支管62。
另一方面，也在與真空泵63和液狀體罐35連接的配管64上，在它的路徑中設(shè)置三通閥65，因此使液狀體罐35從與真空泵63連接的狀態(tài)切換到向大氣開放的分支管67，向大氣開放。
此外，上述吸引墊片60、真空泵63、液狀體檢測(cè)傳感器53、三通閥65、和三通閥66分別與控制裝置68連接，由該控制裝置68分別對(duì)它們的工作進(jìn)行控制。
其次，我們根據(jù)這種構(gòu)成的噴出裝置的工作，說(shuō)明本發(fā)明的液狀體噴出方法的其它例子。此外，即便在本說(shuō)明中，作為液狀體的種類也沒有特別的限定，可以用任意的液狀體。
首先，在向基板S噴出液狀體前，將液狀體充填在噴出頭34中，并且應(yīng)除去殘留在內(nèi)部的氣泡等，使噴出頭34移動(dòng)到吸引墊片60一側(cè)。
又，為了使將吸引墊片60和真孔泵63連接起來(lái)的路徑成為通過(guò)液狀體檢測(cè)傳感器53的路徑，而由控制裝置68對(duì)三通閥65進(jìn)行控制，進(jìn)一步為了使液狀體罐35與分支管67連通向大氣開放，而對(duì)三通閥66進(jìn)行控制。
其次，通過(guò)對(duì)控制裝置68進(jìn)行控制，移動(dòng)吸引墊片60，使該墊片與噴出頭34的噴嘴形成面34a對(duì)接，氣密地覆蓋在它的上面。接著，使真空泵63工作，通過(guò)上述吸引墊片60降低噴出頭34內(nèi)的壓力。這樣一來(lái)，因?yàn)檫@時(shí)在上述液狀體罐35內(nèi)成為大氣壓，所以在該液狀體罐35內(nèi)和與連接吸引墊片60連接的噴出頭34內(nèi)產(chǎn)生壓力差，因此，液狀體罐35內(nèi)的液狀體流入到噴出頭34內(nèi)，使液狀體充填到噴出頭34內(nèi)。
而且，由吸引泵63繼續(xù)使液狀體充填到噴出頭34內(nèi)，在噴出頭34內(nèi)充滿足夠的液狀體后，剩余的液狀體從噴出頭34的噴嘴18流出。這樣一來(lái)，通過(guò)由液狀體檢測(cè)傳感器53檢測(cè)該流出的液狀體，能夠檢測(cè)出在噴出頭34內(nèi)充填了足夠的液狀體。而且，當(dāng)將該檢測(cè)信號(hào)發(fā)送給控制裝置68時(shí)，接收該信號(hào)的控制裝置68分別切換三通閥65、66，使連接吸引墊片60和真空泵63的路徑通過(guò)分支管62，又使液狀體罐35與真空泵63連通。
這樣因?yàn)楫?dāng)切換三通閥65、66時(shí)，由同一個(gè)真空泵63使噴出頭34內(nèi)和液狀體罐35內(nèi)降低到相同的壓力，所以在這些噴出頭34內(nèi)與液狀體罐35內(nèi)之間幾乎不產(chǎn)生壓力差，因此不會(huì)發(fā)生液狀體從液狀體罐35內(nèi)流入到噴出頭34內(nèi)和從噴出頭34流出液狀體的情形。所以，與第1實(shí)施形態(tài)相同，特別是通過(guò)只選擇地吸引殘留在噴出頭34內(nèi)的氣泡和溶存在的液狀體內(nèi)的氣體，能夠通過(guò)吸引墊片60在真空泵63一側(cè)除去它們。
這樣一來(lái)如果選擇地除去殘留在噴出頭34內(nèi)的氣泡和溶存在的液狀體內(nèi)的氣體，則能夠由控制裝置68使真空泵63停止工作，并且使吸引墊片60離開噴出頭34。
這里，關(guān)于由真空泵63降低噴出頭34內(nèi)和液狀體罐35內(nèi)的壓力，可以用與上述第1實(shí)施形態(tài)情形相同的處理時(shí)間和處理壓力。
此后使噴出頭34回到用于噴出的正規(guī)位置，向基板S噴出液狀體。
即便在這種液狀體噴出方法中，因?yàn)樵趯⒁籂铙w充填到噴出頭34內(nèi)后，由真空泵63一起降低液狀體罐35內(nèi)和噴出頭34內(nèi)的壓力，所以也不會(huì)發(fā)生液狀體從液狀體罐35內(nèi)流到噴出頭34內(nèi)和從噴出頭34流出液狀體的情形，能夠除去殘留在噴出頭34內(nèi)的氣泡等。因此，不會(huì)無(wú)用地從噴出頭34流出液狀體，能夠容易地并且確實(shí)地除去氣泡等，因此能夠達(dá)到減低成本的目的。又，因?yàn)樵谶@樣確實(shí)地除去氣泡等后，從噴出頭噴出液狀體，所以能夠良好地形成由該噴出產(chǎn)生的各種構(gòu)成要素等。
此外，本發(fā)明不限定于上述實(shí)施形態(tài)，只要不脫離被本發(fā)明的要旨就可以進(jìn)行種種變更。例如，在上述第1實(shí)施形態(tài)中，也可以將液狀體罐35配置在容器38內(nèi)，進(jìn)一步在容器38內(nèi)打開液狀體罐35。如果這樣做，則當(dāng)使真空泵40工作時(shí)，能夠通過(guò)容器38使噴出頭34內(nèi)和液狀體罐35內(nèi)降低到相同的壓力。又，也可以不使噴出頭34可以出入容器38地收藏噴出頭34，而是將噴出裝置全體收藏在大的容器內(nèi)。
又，即便在第2實(shí)施形態(tài)中，例如也可以分別準(zhǔn)備好成為第1吸引部件的吸引墊片和成為第2吸引部件的吸引墊片，和/或分別準(zhǔn)備好成為第1減壓裝置的真空泵和成為第2減壓裝置的真空泵，通過(guò)對(duì)它們進(jìn)行切換，分別地進(jìn)行液狀體的充填和氣泡等的除去。
又，即便在無(wú)論哪種實(shí)施形態(tài)中，也可以不設(shè)置液狀體檢測(cè)傳感器53構(gòu)成噴出裝置。這時(shí)，能夠通過(guò)預(yù)先的實(shí)驗(yàn)等求得能夠用第1吸引部件在噴出頭34內(nèi)充分充填液狀體的時(shí)間等的條件，根據(jù)該條件由第1吸引部件進(jìn)行減壓·吸引，此后，由第2吸引部件進(jìn)行減壓。
又，在上述噴出裝置中，通過(guò)適當(dāng)?shù)剡x擇液狀體，能夠形成電光學(xué)裝置的任意的構(gòu)成要素。例如，通過(guò)將成為有機(jī)EL元件的形成材料和金屬配線的材料的金屬膠體、進(jìn)一步微透鏡材料和濾色器材料、液晶材料等的各種材料用作液狀體，能夠形成構(gòu)成電光學(xué)裝置的種種要素。又，即便在形成SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display(表面導(dǎo)電電子發(fā)射體顯示器))的構(gòu)成要素時(shí)，也能夠使用上述噴出裝置。
其次，我們說(shuō)明本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法。
首先，作為電光學(xué)裝置的構(gòu)成要素的形成例，我們說(shuō)明有機(jī)EL裝置的制造方法。
圖5是由上述噴出裝置制造一部分構(gòu)成要素的有機(jī)EL裝置的側(cè)截面圖，首先，我們說(shuō)明該有機(jī)EL裝置的概略構(gòu)成。此外，這里形成的有機(jī)EL裝置成為本發(fā)明中的電光學(xué)裝置的一個(gè)實(shí)施形態(tài)。
如圖5所示，有機(jī)EL裝置301是使通用基板(圖中未畫出)的配線和驅(qū)動(dòng)IC(圖中未畫出)與由基板311、電路元件單元321、像素電極331、單元341、發(fā)光元件351、陰極361(相對(duì)配置的電極)、和密封用基板371構(gòu)成的有機(jī)EL(電致發(fā)光)元件302連接的裝置。在基板311上形成電路元件單元321，在電路元件單元321上排列多個(gè)像素電極331。而且，使存儲(chǔ)體(日文原文是パンク，對(duì)應(yīng)的英文可以是bank)單元341(パンク)在各像素電極331之間形成格子狀。在由存儲(chǔ)體單元341產(chǎn)生的凹部開口344中，形成發(fā)光元件351。在存儲(chǔ)體單元341和發(fā)光元件351的上部整個(gè)面上形成陰極361，在陰極361上，層積密封用基板371。
包含有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置301的制造過(guò)程備有形成存儲(chǔ)體單元341的存儲(chǔ)體單元形成工序、用于正確地形成發(fā)光元件351的等離子體處理工序、形成發(fā)光元件351的發(fā)光元件形成工序、形成陰極361的相對(duì)配置的電極形成工序、和在陰極361上，層積密封用基板371進(jìn)行密封的密封工序。
發(fā)光元件形成工序是通過(guò)在凹部開口344，即像素電極331上形成空穴注入層352和發(fā)光層353，形成發(fā)光元件351的工序，具備空穴注入層形成工序和發(fā)光層形成工序。而且，空穴注入層形成工序具有將用于形成空穴注入層352的第1組成物(液狀體)噴出到各像素電極331上的第1噴出工序、和通過(guò)使噴出的第1組成物干燥形成空穴注入層352的第1干燥工序、發(fā)光層形成工序具有將用于形成發(fā)光層353的第2組成物(液狀體)噴出到空穴注入層352上的第2噴出工序、和通過(guò)使噴出的第2組成物干燥形成發(fā)光層353的第2干燥工序。
在該發(fā)光元件形成工序中，在空穴注入層形成工序中的第1噴出工序和發(fā)光層形成工序中的第2噴出工序中使用上述噴出裝置。
在制造該有機(jī)EL裝置301中，通過(guò)在用于形成各構(gòu)成要素的噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等，能夠從噴出頭34分別良好地噴出空穴注入層的形成材料和發(fā)光層的形成材料，從而能夠提高得到的有機(jī)EL裝置301的可靠性。
其次，作為上述構(gòu)成要素的形成例，我們說(shuō)明等離子體顯示器的制造方法。
圖6是表示由上述噴出裝置制造的一部分構(gòu)成要素，即地址電極511和總線電極512a的等離子體顯示器的分解斜視圖，圖6中標(biāo)號(hào)500是等離子體顯示器。該等離子體顯示器500概略地由相互相對(duì)配置地配置的玻璃基板501和玻璃基板502、和在它們之間形成的放電顯示單元510構(gòu)成。
放電顯示單元510集合多個(gè)放電室516，為了在多個(gè)放電室516中，使紅色放電室516(R)，綠色放電室516(G)，藍(lán)色放電室516(B)這樣3個(gè)放電室516成對(duì)，構(gòu)成1個(gè)像素而進(jìn)行配置。
在上述(玻璃)基板501的上面以規(guī)定間隔帶狀地形成地址電極511，為了覆蓋在這些地址電極511和基板501的上面而形成電介質(zhì)層519，進(jìn)一步在電介質(zhì)層519上在地址電極511、511之間沿各地址電極511地形成隔壁515。此外，在隔壁515上在它的長(zhǎng)方向的規(guī)定位置上沿與地址電極511正交的方向也以規(guī)定間隔進(jìn)行隔開(圖中未畫出)，形成基本上由與地址電極511的寬方向左右兩側(cè)鄰接的隔壁和沿與地址電極511正交的方向延伸設(shè)置的隔壁隔開的長(zhǎng)方形的區(qū)域，與這些長(zhǎng)方形的區(qū)域?qū)?yīng)地形成放電室516，這些長(zhǎng)方形的區(qū)域形成3對(duì)構(gòu)成1個(gè)像素。又，在由隔壁515劃分的長(zhǎng)方形的區(qū)域內(nèi)側(cè)配置熒光體517。熒光體517發(fā)出紅、綠、藍(lán)中任何一種熒光，分別在紅色放電室516(R)的底部配置紅色熒光體517(R)，在綠色放電室516(G)的底部配置綠色熒光體517(G)，在藍(lán)色放電室516(B)的底部配置藍(lán)色熒光體517(B)。
其次，在上述玻璃基板502一側(cè)，沿與先前的地址電極511正交的方向以規(guī)定間隔帶狀地形成多個(gè)由ITO構(gòu)成的透明顯示電極512，并且為了補(bǔ)償高電阻的ITO形成由金屬構(gòu)成的總線電極512a。又形成覆蓋它們的電介質(zhì)層513，進(jìn)一步形成由MgO等構(gòu)成的保護(hù)膜514。
而且，為了使上述地址電極511.....與顯示電極512.....相互正交地而使上述基板501和玻璃基板502的基板2相對(duì)配置并相互粘合起來(lái)，通過(guò)對(duì)由在基板501、隔壁515和玻璃基板502一側(cè)形成的保護(hù)膜514包圍的空間部分進(jìn)行排氣并封入稀有氣體，形成放電室516。此外，為了對(duì)每個(gè)放電室516配置2個(gè)顯示電極512而形成在玻璃基板502一側(cè)形成的顯示電極512。
上述地址電極511和顯示電極512與圖中未畫出的交流電源連接，通過(guò)向各電極通電在所要位置的放電顯示單元510上激勵(lì)熒光體517使其發(fā)光，能夠進(jìn)行彩色顯示。
而且，在本例中，特別是關(guān)于上述地址電極511、總線電極512a和熒光體517，是分別用上述噴出裝置30形成的。即，關(guān)于這些地址電極511和總線電極512a，特別從有利于它們形成圖案出發(fā)，是通過(guò)噴出分散了金屬膠體材料(例如金膠體和銀膠體)和導(dǎo)電性微粒子(例如金屬微粒子)的液體材料(液狀體)，進(jìn)行干燥·燒結(jié)形成的。又，關(guān)于熒光體517，是通過(guò)噴出將熒光體材料溶解在溶劑中或者分散在分散劑中的液狀材料(液狀體)，進(jìn)行干燥·燒結(jié)形成的。
即便在制造這種等離子體顯示器500中，通過(guò)在用于形成地址電極511、總線電極512a和形成熒光體517的噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等，也能夠從噴出頭34分別良好地噴出各電極511、512a的形成材料(液狀材料)和熒光體517的形成材料(液狀材料)，從而能夠提高得到的等離子體顯示器500的可靠性。
其次，作為上述構(gòu)成要素的形成例，我們說(shuō)明用于液狀顯示裝置的濾色器的制造方法。
為了由上述噴出裝置30，在基板S上噴出墨水制造濾色器，首先在臺(tái)板39上的規(guī)定位置上設(shè)置基板S。這里，作為基板S，用具有適當(dāng)?shù)臋C(jī)械強(qiáng)度，并且光透過(guò)性高的透明基板。具體地說(shuō)，可以用透明玻璃基板、丙烯玻璃、塑料基板、塑料膜和它們的表面處理品等。
又，在本例中，例如在長(zhǎng)方形形狀的基板S上，從提高生產(chǎn)性的觀點(diǎn)出發(fā)帶狀地形成多個(gè)濾色器區(qū)域。這些濾色器區(qū)域，通過(guò)以后切斷基板S，能夠用作適合于液晶顯示裝置的濾色器。此外，分別以規(guī)定的圖案，在本例中是以至今眾所周知的帶型形成并配置R的墨水、G的墨水、B的墨水，作為濾色器區(qū)域。此外，作為該形成的圖案，除了帶型外，也可以用感光嵌鑲幕型和6型或者方格型等。
為了形成這種濾色器區(qū)域，首先如圖7A所示在透明基板S的一個(gè)面上形成黑底52。作為形成該黑底52的方法，用旋轉(zhuǎn)涂敷等方法以規(guī)定厚度(例如約2im)涂敷沒有光透過(guò)性的樹脂(最好是黑色)。由該黑底52的格子包圍的最小顯示要素，即關(guān)于濾色器單元53，例如X軸方向的寬度為30im、Y軸方向的長(zhǎng)度為100im。
其次，如圖7B所示，從上述噴墨頭34噴出墨滴(液滴)54，使它們彈著在濾色器單元53上。關(guān)于噴出的墨滴54的量，是考慮到加熱工序中墨水體積減小的足夠的量。
這樣如果在基板S上的所有的濾色器單元53上充填了墨滴54，則為了用加熱器將基板S加熱到規(guī)定溫度(例如約70度)而進(jìn)行加熱處理。通過(guò)該加熱處理，墨水溶劑蒸發(fā)，墨水的體積減小。當(dāng)這種體積減小急劇時(shí)，重復(fù)進(jìn)行墨水噴出工序和加熱工序，直到作為濾色器得到足夠的墨水膜的厚度為止。通過(guò)該處理，使包含在墨水中溶劑蒸發(fā)，最終只殘留包含在墨水中的固形成分進(jìn)行成膜化，形成圖7C所示的濾色器55。
其次，使基板S平坦化，并且為了保護(hù)濾色器55，如圖7D所示在基板S上形成保護(hù)膜56覆蓋濾色器55和黑底52。為了形成該保護(hù)膜56，能夠采用旋轉(zhuǎn)涂敷法、滾筒涂敷法、縱割法等的方法，但是與濾色器55的情形相同，也能夠用圖1所示的噴出裝置30。
其次，如圖7E所示在該保護(hù)膜56的整個(gè)面上，用濺射法和真空蒸涂法等形成透明導(dǎo)電膜57。此后，使透明導(dǎo)電膜57形成圖案，與上述濾色器單元53對(duì)應(yīng)地使像素電極58形成圖案。
在這種由噴出裝置30制造濾色器的制造過(guò)程中，通過(guò)在用于形成各濾色器55的噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等，能夠從噴出頭34良好地噴出各濾色器55的形成材料(墨滴54)，從而能夠提高得到的濾色器的可靠性。
其次，作為上述構(gòu)成要素的形成例，我們說(shuō)明導(dǎo)電膜配線圖案(金屬配線圖案)的形成方法。圖8是表示導(dǎo)電膜配線圖案的形成方法的一個(gè)例子的操作程序圖。
在圖8中，與本例有關(guān)的圖案形成方法具有用規(guī)定溶劑等洗凈配置液體材料的液滴的基板的工序(步驟S1)、構(gòu)成基板的表面處理工序的一部分的防水化處理工序(步驟S2)、構(gòu)成調(diào)整經(jīng)過(guò)防水化處理的基板表面的防水性的表面處理工序的一部分的防水性控制處理工序(步驟S3)、在經(jīng)過(guò)表面處理的基板上根據(jù)液滴噴出法配置包含導(dǎo)電膜配線形成用材料的液體材料的液滴，描繪(形成)膜圖案的材料配置工序(步驟S4)、包含至少除去配置在基板上液體材料的溶劑成分的一部分的熱·光處理的中間干燥處理工序(步驟S5)、和燒結(jié)描繪了規(guī)定圖案的基板的燒結(jié)工序(步驟S7)。此外，在中間干燥處理工序后，判斷是否結(jié)束了規(guī)定圖案的描繪(步驟S6)，如果結(jié)束了圖案描繪則進(jìn)行燒結(jié)工序，另一方面，如果沒有結(jié)束圖案描繪則進(jìn)行材料配置工序。
其次，我們說(shuō)明根據(jù)用上述噴出裝置30進(jìn)行的液滴噴出法的材料配置工序(步驟S4)。
本例的材料配置工序是通過(guò)由上述噴出裝置30的液滴噴出頭34在基板S上配置包含導(dǎo)電膜配線形成用材料的液體材料的液滴，在基板S上并排地形成多個(gè)線狀的膜圖案(配線圖案)的工序。液體材料是將作為導(dǎo)電膜配線形成用材料的金屬等的導(dǎo)電性微粒分散在分散劑中的液狀體。在下面的說(shuō)明中，我們說(shuō)明在基板S上形成3個(gè)第1、第2和第3膜圖案(線狀圖案)W1、W2和W3的情形。
圖9A、9B、10和11是用于說(shuō)明在本例中的基板S上配置液滴的順序的一個(gè)例子的圖。在這些圖中，在基板S上設(shè)定具有作為配置了液體材料的液滴的格子狀的多個(gè)單位區(qū)域的象素小區(qū)的位圖。這里，將1個(gè)象素小區(qū)設(shè)定為正方形。而且，為了與在這些多個(gè)象素小區(qū)中的規(guī)定象素小區(qū)對(duì)應(yīng)，而設(shè)定形成第1、第2和第3膜圖案W1、W2和W3的第1、第2和第3圖案形成區(qū)域R1、R2、R3。在X軸方向并排地設(shè)定這些多個(gè)圖案形成區(qū)域R1、R2、R3。此外，在圖9A～圖11中，圖案形成區(qū)域R1、R2、R3是畫上斜線的區(qū)域。
又，為了在基板S上的第1圖案形成區(qū)域R1中配置由設(shè)置在液滴噴出裝置的噴出頭34中的多個(gè)噴嘴中的第1噴嘴34A噴出的液體材料的液滴而進(jìn)行設(shè)定。同樣，為了在基板S上的第2、第3圖案形成區(qū)域R2、R3中配置由設(shè)置在液滴噴出裝置的噴出頭10中的多個(gè)噴嘴中的第2、第3噴嘴34B、34C噴出的液體材料的液滴而進(jìn)行設(shè)定。即，為了與第1、第2和第3圖案形成區(qū)域R1、R2、R3中的各個(gè)對(duì)應(yīng)，而設(shè)置噴嘴(噴出單元)34A、34B、34C。而且，噴出頭34順次地將多個(gè)液滴配置在設(shè)定的多個(gè)圖案形成區(qū)域R1、R2、R3中各個(gè)的多個(gè)象素位置上。
進(jìn)一步，為了在第1、第2和第3圖案形成區(qū)域R1、R2、R3的各個(gè)中，從作為線寬方向的一側(cè)(-X一側(cè))的第1側(cè)部圖案Wa形成要在這些圖案形成區(qū)域R1、R2、R3上形成的第1、第2和第3膜圖案W1、W2、W3，其次，形成作為另一側(cè)(+X一側(cè))的第2側(cè)部圖案Wb，在形成第1、第2側(cè)部圖案Wa、Wb后形成作為線寬方向中央部分的中央圖案Wc，而進(jìn)行設(shè)定。
在本例中，各膜圖案(線狀圖案)W1～W3中的各個(gè)，進(jìn)而各圖案形成區(qū)域R1～R3中的各個(gè)具有相同的線寬L，將該線寬L設(shè)定在與3個(gè)象素小區(qū)相當(dāng)?shù)拇笮∩?。又，也將各圖案間的空間部分中的各個(gè)設(shè)定在相同的寬度S上，也將該寬度S設(shè)定在與3個(gè)象素小區(qū)相當(dāng)?shù)拇笮∩稀６?，將作為噴?4A～34C的間隔的噴嘴間隔設(shè)定在與6個(gè)象素小區(qū)相當(dāng)?shù)拇笮∩稀?br> 在下面的說(shuō)明中，具有噴嘴34A、34B、34C的噴出頭34一面對(duì)基板S進(jìn)行Y軸向的掃描一面噴出液滴。而且，在用圖9A～圖11的說(shuō)明中，在第1次掃描時(shí)配置的液滴上附加“1”，在第2次、第3次，......第n次掃描時(shí)配置的液滴上附加“2”，“3”......“n”。
如圖9A所示，在第1次掃描時(shí)，為了關(guān)于第1、第2和第3圖案形成區(qū)域R1、R2、R3中的各個(gè)形成第1側(cè)部圖案Wa，一面在第1側(cè)部圖案形成預(yù)定區(qū)域空出1個(gè)象素小區(qū)一面由第1、第2和第3噴嘴34A、34B、34C同時(shí)配置液滴。此外，當(dāng)從各噴嘴34A、34B、34C噴出液滴時(shí)，在該噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等。這里，配置在基板S上的液滴通過(guò)彈著在基板S上，在基板S上濕潤(rùn)擴(kuò)大。即，如圖9A中的圓所示，彈著在基板S上的液滴具有比1個(gè)象素小區(qū)大的直徑C那樣地進(jìn)行濕潤(rùn)擴(kuò)大。因?yàn)橐旱卧赮軸方向上空開規(guī)定間隔(1個(gè)象素小區(qū))進(jìn)行配置，所以為了不使配置在基板S上的液滴重疊而進(jìn)行設(shè)定。通過(guò)這樣做，能夠防止在Y軸方向在基板S上過(guò)剩地設(shè)置液體材料，防止發(fā)生隆起。
此外，在圖9A中為了使配置在基板S上時(shí)的液滴不重疊而進(jìn)行配置，但是也可以為了使液滴稍微重疊而進(jìn)行配置。又，這里空開1個(gè)象素小區(qū)地配置液滴，但是也可以只空開與2個(gè)以上的任意數(shù)的象素小區(qū)相當(dāng)?shù)拈g隔配置液滴。這時(shí)，噴出頭34對(duì)基板S的掃描工作和配置工作(噴出工作)增加，最好補(bǔ)插在基板上的液滴之間。
又，因?yàn)橛刹襟ES2和S3將基板S的表面預(yù)先加工成所要的防水性，所以能夠抑制配置在基板S上的液滴的過(guò)分?jǐn)U大。因此，能夠確實(shí)地將圖案形狀控制在良好的狀態(tài)中并且容易進(jìn)行厚膜化。
圖9B是當(dāng)由第2次掃描從噴出頭34將液滴配置在基板S上時(shí)的模式圖。此外，在圖9B中，在第2次掃描時(shí)配置的液滴上附加“2”。在第2次掃描時(shí)，為了補(bǔ)插在第1次掃描時(shí)配置的液滴“1”之間而由各噴嘴34A、34B、34C同時(shí)配置液滴。而且，在第1次和第2次掃描和配置工作中液滴連續(xù)，在第1、第2和第3圖案形成區(qū)域R1、R2、R3的各個(gè)中形成第1側(cè)部圖案Wa。這里，液滴“2”也彈著在基板S上濕潤(rùn)擴(kuò)大，液滴“2”的一部分與先前配置在基板S上的液滴“1”的一部分重合。具體地說(shuō)，液滴“2”的一部分重合在液滴“1”上。此外，在該第2次掃描中，當(dāng)從各噴嘴34A、34B、34C噴出液滴時(shí)，在該噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等。
這里，在基板S上配置了用于形成第1側(cè)部圖案Wa的液滴后，與為了除去分散劑的需要相應(yīng)，能夠進(jìn)行中間干燥處理(步驟S5)。中間干燥處理除了例如用加熱板、電爐、和熱風(fēng)機(jī)等的加熱裝置的一般的熱處理外，也可以是用燈泡老煉的光處理。
其次，噴出頭34和基板S在X軸方向上只相對(duì)移動(dòng)與2個(gè)象素小區(qū)的大小相當(dāng)?shù)木嚯x。這里噴出頭34對(duì)于基板S在+X方向上只階段移動(dòng)與2個(gè)象素小區(qū)相當(dāng)?shù)木嚯x。與此相伴，噴嘴34A、34B、34C也移動(dòng)。而且，噴出頭34進(jìn)行第3次掃描。因此，如圖10A所示，由各噴嘴34A、34B、34C對(duì)第1側(cè)部圖案Wa在X軸方向空出間隔地在基板S上同時(shí)配置用于形成構(gòu)成各個(gè)膜圖案W1、W2、W3的一部分的第2側(cè)部圖案Wb的液滴“3”。這里，液滴“3”也在Y軸方向空出1個(gè)象素小區(qū)地進(jìn)行配置。此外，在該第3次掃描中，當(dāng)從各噴嘴34A、34B、34C噴出液滴時(shí)，在該噴出前，也預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等。
圖10B是當(dāng)由第4次掃描從噴出頭34將液滴配置在基板S上時(shí)的模式圖。此外，在圖10B中，在第4次掃描時(shí)配置的液滴上附加“4”。在第4次掃描時(shí)，為了補(bǔ)插在第3次掃描時(shí)配置的液滴“3”之間而由各噴嘴34A、34B、34C同時(shí)配置液滴。而且，在第3次和第4次掃描和配置工作中液滴連續(xù)，在圖案形成區(qū)域R1、R2、R3的各個(gè)中形成第2側(cè)部圖案Wb。這里，液滴“4”的一部分與先前配置在基板S上的液滴“3”的一部分重合。具體地說(shuō)，液滴“4”的一部分重合在液滴“3”上。此外，在該第4次掃描中，當(dāng)從各噴嘴34A、34B、34C噴出液滴時(shí)，在該噴出前，也預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等。
這里，在基板S上配置了用于形成第2側(cè)部圖案Wb的液滴后，與為了除去分散劑的需要相應(yīng)，能夠進(jìn)行中間干燥處理。
其次，噴出頭34對(duì)于基板S在-X軸方向上只移動(dòng)與1個(gè)象素小區(qū)相當(dāng)?shù)木嚯x。與此相伴噴嘴10A、10B、10C也在-X軸方向上只移動(dòng)與1個(gè)象素小區(qū)相當(dāng)?shù)木嚯x。而且，噴出頭34進(jìn)行第5次掃描。因此，如圖10A所示，在基板上同時(shí)配置用于形成構(gòu)成各個(gè)膜圖案W1、W2、W3的一部分的中央圖案Wc的液滴“5”。這里，液滴“5”也在Y軸方向空出1個(gè)象素小區(qū)地進(jìn)行配置。這里，液滴“5”的一部分與先前配置在基板S上的液滴“1”、“3”的一部分重合。具體地說(shuō)，液滴“5”的一部分重合在液滴“1”、“3”上。此外，在該第5次掃描中，當(dāng)從各噴嘴34A、34B、34C噴出液滴時(shí)，在該噴出前，也預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等。
圖10B是當(dāng)由第6次掃描從噴出頭34將液滴配置在基板S上時(shí)的模式圖。此外，在圖10B中，在第6次掃描時(shí)配置的液滴上附加“6”。在第6次掃描時(shí)，為了補(bǔ)插在第5次掃描時(shí)配置的液滴“5”之間而由各噴嘴10A、10B、10C同時(shí)配置液滴。而且，在第5次和第6次掃描和配置工作中液滴連續(xù)，在圖案形成區(qū)域R1、R2、R3的各個(gè)中形成中央圖案Wc。這里，液滴“6”的一部分與先前配置在基板S上的液滴“5”的一部分重合。具體地說(shuō)，液滴“6”的一部分重合在液滴“5”上。進(jìn)一步，液滴“6”的一部分重合在先前配置在基板S上的液滴“2”、“4”上。此外，在該第6次掃描中，當(dāng)從各噴嘴34A、34B、34C噴出液滴時(shí)，在該噴出前，也預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等。
根據(jù)以上的說(shuō)明，在各圖案形成區(qū)域R1、R2、R3的各個(gè)中形成膜圖案W1、W2、W3。
如以上說(shuō)明的那樣，當(dāng)在圖案形成區(qū)域R1、R2、R3中順次地配置多個(gè)液滴形成相互大致同一形狀的膜圖案W1、W2、W3時(shí)，因?yàn)橄嗤卦O(shè)定對(duì)各圖案形成區(qū)域R1、R2、R3中各個(gè)的多個(gè)EDF小區(qū)配置液滴的配置順序，所以即便在為了使各個(gè)液滴“1”～“6”的一部分重合而進(jìn)行配置的情形中，因?yàn)樵撝睾系男螒B(tài)在各膜圖案W1、W2、W3中是相同的，所以能夠使各膜圖案W1、W2、W3的外觀相同。從而，能夠抑制發(fā)生各膜圖案W1、W2、W3之間外觀上的不均勻。
而且，因?yàn)殛P(guān)于各膜圖案W1、W2、W3，液滴的配置順序是相同的，并且因?yàn)殛P(guān)于各膜圖案W1、W2、W3的液滴配置(液滴之間的重合形態(tài))是相同的，所以能夠抑制發(fā)生外觀上的不均勻。
進(jìn)一步，因?yàn)閷⒃诟髂D案W1、W2、W3中液滴之間的重合狀態(tài)設(shè)定為相同的，所以能夠使各個(gè)膜圖案的膜厚分布大致相同。從而，當(dāng)該膜圖案是在基板的面方向重復(fù)的重復(fù)圖案時(shí)，具體地說(shuō)，例如當(dāng)與顯示裝置的像素對(duì)應(yīng)設(shè)置多個(gè)圖案時(shí)，各像素具有相同的膜厚分布。從而，在基板的面方向的各位置能夠發(fā)揮同一個(gè)功能。
又，因?yàn)樵谛纬傻?、第2側(cè)部圖案Wa、Wb后，配置用于埋入它們之間地形成中央圖案Wc的液滴“5”、“6”，所以能夠大致均勻地形成各膜圖案W1、W2、W3的線寬。即，當(dāng)在基板S上形成中央圖案Wc后，配置用于形成側(cè)部圖案Wa、Wb的液滴“1”、“2”、“3”、“4”時(shí)，因?yàn)榘l(fā)生將這些液滴拉到先前在基板S上形成的中央圖案Wc的現(xiàn)象，所以要控制各膜圖案W1、W2、W3的線寬是困難的，但是如本實(shí)施形態(tài)那樣，因?yàn)橄仍诨錝上形成側(cè)部圖案Wa、Wb后，配置用于埋入它們之間地形成中央圖案Wc的液滴“5”、“6”，所以能夠高精度地控制各膜圖案W1、W2、W3的線寬。
此外，也可以在形成中央圖案Wc后，形成側(cè)部圖案Wa、Wb。這時(shí)，通過(guò)關(guān)于各膜圖案W1～W3，實(shí)施相同的液滴配置順序，能夠抑制發(fā)生各圖案之間外觀上的不均勻。
即便在形成這種導(dǎo)電膜配線圖案(金屬配線圖案)的情形中，通過(guò)在噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等，也能夠良好地噴出液滴，從而能夠提高得到的導(dǎo)電膜配線圖案的可靠性。
其次，作為上述構(gòu)成要素的形成例，我們說(shuō)明微透鏡的制造方法。
在本例中，首先如12A所示，由上述噴出裝置30的噴出頭34在基板S上噴出由光透過(guò)性樹脂構(gòu)成的液滴22a，涂敷它們。此外，當(dāng)從各噴出頭34噴出液滴22a時(shí)，在該噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等。
作為基板S，當(dāng)將得到的微透鏡應(yīng)用于例如屏幕用的光學(xué)膜時(shí)，可以用由醋酸纖維素和丙基纖維素等的纖維素系樹脂、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚脂等的透明樹脂(光透過(guò)性樹脂)構(gòu)成的光透過(guò)性片或光透過(guò)性膜。又，作為基板，也可以使用由玻璃、聚碳酸脂、多芳基化合物、聚醚嗍砜、非晶形聚烯、聚乙烯對(duì)苯二酸脂、聚甲基甲基丙烯酸酯等透明材料(光透過(guò)性材料)構(gòu)成的基板。
作為光透過(guò)性樹脂，可以舉出聚甲基甲基丙烯酸酯、聚羥乙基甲基丙烯酸酯、聚環(huán)己基甲基丙烯酸酯等的丙烯樹脂、聚二甘醇雙烯丙基碳酸酯、聚碳酸酯等的烯丙基系樹脂、甲基丙烯樹脂、聚氨基甲酸乙脂系樹脂、聚脂系樹脂、聚氯乙烯系樹脂、聚醋酸乙烯系樹脂、纖維素系樹脂、聚酰胺樹脂、氟系樹脂，聚丙烯樹脂、聚苯乙烯樹脂等的熱可塑性或熱硬化性樹脂，可以用它們中的一種或者將多種混合起來(lái)使用。
但是，在本例中，特別是作為光透過(guò)性樹脂，可以用放射線照射硬化型的樹脂。該放射線照射硬化型的樹脂是在上述光透過(guò)性樹脂中配入二咪唑啉系化合物等的光聚合開始劑的樹脂，通過(guò)配入這種光聚合開始劑，被賦予放射線照射硬化性。放射線是可見光線、紫外線，遠(yuǎn)紫外線、X射線、電子射線等的總稱，特別是一般使用紫外線。
與所要的單個(gè)微透鏡大小相應(yīng)在基板S上噴出1個(gè)或多個(gè)這種放射線照射硬化型的光透過(guò)性樹脂的液滴22a。這樣一來(lái)，由該液滴22構(gòu)成的光透過(guò)性樹脂23由于它的表面張力成為如圖12A所示的凸?fàn)?大致半球狀)。因此，如果向要形成的單個(gè)微透鏡噴出并涂敷規(guī)定量的光透過(guò)性樹脂，進(jìn)一步與所要的微透鏡個(gè)數(shù)相當(dāng)?shù)剡M(jìn)行該涂敷處理，則用紫外線等的放射線照射這些光透過(guò)性樹脂23，如圖12B所示使它們硬化成為硬化體23a。此外，雖然與從噴出頭34噴出的液滴22a的一滴相當(dāng)?shù)娜萘恳惨驀姵鲱^34和噴出的墨水材料而異，但是通常約為1pL～20pL。
其次，如圖12C所示從噴出頭34，在這些硬化體23a的各個(gè)上噴出所要個(gè)數(shù)的多個(gè)分散了光擴(kuò)散性微粒26的液滴22b，附著在硬化體23a的表面上。作為光擴(kuò)散性微粒26，可以舉出二氧化硅、氧化Al、二氧化鈦、碳酸鈣、氫氧化Al、丙烯樹脂、有機(jī)硅樹脂、聚苯乙烯、尿素樹脂、和甲醛凝聚物等的微粒，可以用它們中的一種或者將多種混合起來(lái)使用。但是，為了光擴(kuò)散性微粒26充分發(fā)揮光擴(kuò)散性，當(dāng)該微粒具有光透過(guò)性時(shí)，需要使它的折射率與上述光透過(guò)性樹脂的折射率充分地不同。所以，當(dāng)光擴(kuò)散性微粒26具有光透過(guò)性時(shí)，為了滿足這種條件，與使用的光透過(guò)性樹脂相應(yīng)適當(dāng)?shù)剡x定并使用光擴(kuò)散性微粒。
這種光擴(kuò)散性微粒26通過(guò)預(yù)先分散在適當(dāng)?shù)娜軇?例如可以用于光透過(guò)性樹脂的溶劑)中，調(diào)整可以從噴出頭34噴出的墨水。這時(shí)，用界面活性劑對(duì)光擴(kuò)散性微粒26的表面進(jìn)行覆蓋處理，或者通過(guò)進(jìn)行用溶融樹脂覆蓋的處理，提高光擴(kuò)散性微粒26到溶劑的分散性，是令人滿意的，通過(guò)這種處理，從噴出頭34的噴出能夠?qū)⒘己玫牧鲃?dòng)性附加給光擴(kuò)散性微粒26。此外，作為用于進(jìn)行表面處理的界面活性劑，可以與光擴(kuò)散微粒24的種類相應(yīng)適當(dāng)?shù)剡x擇并使用陽(yáng)離子系、陰離子系、非離子系、兩性、硅系、氟樹脂系等。
又，作為這種光擴(kuò)散性微粒26，最好用它的粒徑在200nm以上，500nm以下的微粒。如果在這樣的范圍內(nèi)，則由于粒徑在200nm以上，能夠很好地確保它的光擴(kuò)散性，又由于粒徑在500nm以下，能夠從噴出頭34的噴嘴很好地噴出。
此外，關(guān)于分散光擴(kuò)散性微粒26的液滴22b的噴出，既可以用與噴出光透過(guò)性樹脂的液滴22a的噴出頭34相同的噴出頭，也可以用不同的噴出頭。當(dāng)相同的噴出頭時(shí)，能夠使包含噴出頭34的裝置構(gòu)成簡(jiǎn)略化。另一方面，當(dāng)用不同的噴出頭時(shí)，因?yàn)閷?duì)于每種墨水(由光透過(guò)性樹脂構(gòu)成的墨水和由光透過(guò)性微粒24構(gòu)成的墨水)能夠用專用的噴出頭，所以當(dāng)切換涂敷的墨水時(shí)，不需要進(jìn)行噴出頭的清洗等，能夠提高生產(chǎn)性。
此后，通過(guò)進(jìn)行加熱處理、減壓處理或加熱減壓處理，使分散光擴(kuò)散性微粒24的液滴22b中的溶劑蒸發(fā)。這樣一來(lái)，通過(guò)由液滴22b中的溶劑軟化硬化體23a的表面，在那里附著光擴(kuò)散性微粒26，伴隨著溶劑蒸發(fā)，硬化體23a的表面再硬化，使光擴(kuò)散性微粒24固定在光透過(guò)性樹脂的硬化體23a的表面。而且，這樣通過(guò)使光擴(kuò)散性微粒24固定在硬化體23a的表面上，能夠得到如圖12D所示使光擴(kuò)散性微粒24分散在它的表面部分的本發(fā)明的微透鏡25。
即便在這種微透鏡25的制造方法中，也通過(guò)在該噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等，能夠很好地噴出液滴22a、液滴22b，從而能夠提高得到的微透鏡25的可靠性。
又，因?yàn)橛脟娔ㄐ纬捎晒馔高^(guò)性樹脂23和光擴(kuò)散性微粒24構(gòu)成的凸?fàn)?大致半球狀)微透鏡25，所以不需要如在用模具成形法和射出成形法的情形中那樣的成形模具，又也幾乎沒有材料的損耗。因此，能夠達(dá)到降低制造成本的目的。又，因?yàn)榈玫降奈⑼哥R25成凸?fàn)?大致半球狀)，所以能夠使該微透鏡例如在360°的廣大角度范圍(方向)中大致均勻地進(jìn)行光擴(kuò)散，而且通過(guò)對(duì)光擴(kuò)散性微粒26實(shí)施復(fù)合化，能夠賦予得到的微透鏡高的擴(kuò)散性能。
其次，作為上述構(gòu)成要素的形成例，我們說(shuō)明備有電子發(fā)射元件的圖象顯示裝置的制造方法。
圖13A和13B所示的基體70A是經(jīng)過(guò)由上述噴出裝置30進(jìn)行的處理，成為形成構(gòu)成要素的一部分的圖象顯示裝置的電子源基板70B的基板?；w70A具有矩陣狀配置的多個(gè)被噴出單元78。
具體地說(shuō)，基體70A備有基板72、位于基板72上的防止鈉擴(kuò)散層74、位于防止鈉擴(kuò)散層74上的多個(gè)元件電極76A、76B、位于多個(gè)元件電極76A上的多個(gè)金屬配線79A、和位于多個(gè)元件電極76B上的多個(gè)金屬配線79B。多個(gè)金屬配線79A中的各個(gè)具有在Y軸方向延伸的形狀。多個(gè)金屬配線79B中的各個(gè)具有在X軸方向延伸的形狀。因?yàn)樵诮饘倥渚€79A與金屬配線79B之間形成絕緣膜75，所以金屬配線79A與金屬配線79B是電絕緣的。
包含1對(duì)元件電極76A和元件電極76B的部分與1個(gè)圖象區(qū)域?qū)?yīng)。1對(duì)元件電極76A和元件電極76B相互只離開規(guī)定間隔在防止鈉擴(kuò)散層74上相對(duì)配置。與某個(gè)圖象區(qū)域?qū)?yīng)的元件電極76A與對(duì)應(yīng)的金屬配線79A電連接。又，與該圖象區(qū)域?qū)?yīng)的元件電極76B與對(duì)應(yīng)的金屬配線79B電連接。此外，在本說(shuō)明書中，也將基板報(bào)72和防止鈉擴(kuò)散層74合在一起的部分表記為支持基板。
在基體70A的各個(gè)圖象區(qū)域中，元件電極76A的一部分、元件電極76B的一部分、和元件電極76A與元件電極76B之間露出的防止鈉擴(kuò)散層74A與被噴出單元78對(duì)應(yīng)。更具體地說(shuō)，被噴出單元78是要形成導(dǎo)電性薄膜411F(請(qǐng)參照?qǐng)D14B)的區(qū)域，導(dǎo)電性薄膜411F是為了覆蓋元件電極76A的一部分、元件電極76B的一部分、和元件電極76A、76B之間的間隙而形成的。如圖13B中虛線所示，在本例中的被噴出單元78的形狀是圓形。
圖13B所示的基體70A與由X軸方向和Y軸方向規(guī)定的假想平面平行地配置。而且，多個(gè)被噴出單元78形成的矩陣的行方向和列方向是分別與X軸方向和Y軸方向平行的方向。在基體70A中，被噴出單元78在X軸方向以它的順序周期地并列。進(jìn)一步，被噴出單元78在Y軸方向以規(guī)定間隔排成1列。
被噴出單元78之間沿X軸方向的間隔LRX約為190im。被噴出單元78之間的上述間隔和被噴出單元的上述大小，在約40英寸大小的高可見電視中，與圖象區(qū)域78之間的間隔對(duì)應(yīng)。
上述噴出裝置30是向圖13A、13B的基體70A的各個(gè)被噴出單元78噴出作為液狀材料(液狀體)的導(dǎo)電性薄膜材料411的裝置。作為該導(dǎo)電性薄膜材料411，例如可以用有機(jī)鈀溶液。
在用噴出裝置30制造圖象顯示裝置的過(guò)程中，首先，在由鈉玻璃等形成的基板72上，形成將二氧化硅(SiO2)作為主要成分的防止鈉擴(kuò)散層74。具體地說(shuō)，用濺射法在基板72上形成厚度1im的SiO2膜得到防止鈉擴(kuò)散層74。其次，在防止鈉擴(kuò)散層74上，用濺射法或真空蒸涂法形成厚度5nm的鈦層。而且，用光刻技術(shù)和刻蝕技術(shù)，從該鈦層，形成多對(duì)相互只離開規(guī)定距離的1對(duì)元件電極76A和元件電極76B。此后，用網(wǎng)印技術(shù)，在防止鈉擴(kuò)散層74上和多個(gè)元件電極76A上涂敷銀(Ag)膏進(jìn)行燒結(jié)，形成在Y軸方向延伸的多條金屬配線79A。其次，用網(wǎng)印技術(shù)，在各金屬配線79A的一部分上涂敷玻璃膏進(jìn)行燒結(jié)，形成絕緣膜75。而且，用網(wǎng)印技術(shù)，在防止鈉擴(kuò)散層74上和多個(gè)元件電極76B上涂敷銀(Ag)膏進(jìn)行燒結(jié)，形成在X軸方向延伸的多條金屬配線79B。此外，當(dāng)制作金屬配線79B時(shí)，為了通過(guò)絕緣膜75，金屬配線79B與金屬配線79A交叉而涂敷Ag膏。通過(guò)以上那樣的工序，得到圖13A、13B所示的基體70A。
其次，通過(guò)在大氣壓下的氧等離子體處理使基體70親液化。通過(guò)這種處理，使元件電極76A的表面的一部分、元件電極76B的表面的一部分、和元件電極76A與元件電極76B之間露出的支持基板的表面親液化。而且，這些表面成為被噴出單元78。此外，與材質(zhì)有關(guān)，即便不進(jìn)行上述那樣的表面處理，也能夠得到呈現(xiàn)所要的親液性的表面。在這種情形中，即便不實(shí)施上述表面處理，也能夠使元件電極76A的表面的一部分、元件電極76B的表面的一部分、和元件電極76A與元件電極76B之間露出的防止鈉擴(kuò)散層74的表面成為被噴出單元78。
形成被噴出單元78的基體70A，由搬運(yùn)裝置470，運(yùn)送到噴出裝置30的臺(tái)架106上。而且，如圖14A所示，噴出裝置30，為了在被噴出單元78的全體上形成導(dǎo)電性薄膜411F，而從噴出頭34噴出導(dǎo)電性薄膜材料411。此外，當(dāng)噴出該導(dǎo)電性薄膜材料411時(shí)，在噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等。
在本例中，為了使彈著在被噴出單元78上的導(dǎo)電性薄膜材料411的液滴直徑在6im到80im的范圍內(nèi)，而從噴出頭34進(jìn)行噴出。當(dāng)在基體70A的被噴出單元78的全體上形成導(dǎo)電性薄膜材料411的層時(shí)，搬運(yùn)裝置470使基體70A位于干燥裝置450內(nèi)。而且，通過(guò)使被噴出單元78上的導(dǎo)電性薄膜材料411完全干燥后，在被噴出單元78上得到將氧化鈀作為主要成分的導(dǎo)電性薄膜材料411F。這樣一來(lái)，在各個(gè)像素區(qū)域中，形成覆蓋元件電極76A的一部分、元件電極76B的一部分、和元件電極76A與元件電極76B之間露出的防止鈉擴(kuò)散層74的導(dǎo)電性薄膜411F。
其次，在元件電極76A與元件電極76B之間，加上脈沖狀的規(guī)定電壓，在導(dǎo)電性薄膜411F的一部分上形成電子發(fā)射單元411D。此外，最好在有機(jī)物氣氛下和真空條件下分別在元件電極76A與元件電極76B之間加上電壓。這是因?yàn)槿绻@樣做，則能夠使來(lái)自電子發(fā)射單元411D的電子發(fā)射效率更高。元件電極76A、對(duì)應(yīng)的元件電極76B、和設(shè)置了電子發(fā)射單元411D的導(dǎo)電性薄膜411F是電子發(fā)射元件。又，各個(gè)電子發(fā)射元件與各個(gè)像素區(qū)域?qū)?yīng)。
通過(guò)以上工序，如圖14B所示，基體70A成為電子源基板70B。
其次，如圖14C所示，通過(guò)用眾所周知的方法將電子源基板70B和上述基板70C粘合起來(lái)，得到備有電子發(fā)射元件的圖象顯示裝置70。上述基板70C具有玻璃基板82、在玻璃基板82上矩陣狀配置的多個(gè)熒光單元84、和覆蓋多個(gè)熒光單元84的金屬片86。金屬片86作為用于加速來(lái)自電子發(fā)射單元411D的電子束的電極起作用。為了使多個(gè)電子發(fā)射單元中的各個(gè)與多個(gè)熒光單元84中的各個(gè)相對(duì)配置，而使電子源基板70B與上述基板70C位置重合。又，使電子源基板70B與上述基板70C之間保持真空。
即便在備有這種電子發(fā)射元件的圖象顯示裝置的制造方法中，通過(guò)在噴出前，預(yù)先從噴出頭34內(nèi)除去氣泡等，也能夠良好地噴出導(dǎo)電性薄膜材料411，所以能夠提高得到的圖象顯示裝置的可靠性。
其次，我們說(shuō)明由上述噴出裝置形成一部分構(gòu)成要素的電子設(shè)備的一個(gè)例子。
圖15是表示作為這種電子設(shè)備的一個(gè)例子的便攜式電話的斜視圖。在圖15中標(biāo)號(hào)1000表示便攜式電話本體，標(biāo)號(hào)1001表示用上述有機(jī)EL元件(有機(jī)EL裝置301)的表示單元。
因?yàn)閳D15所示的電子設(shè)備(便攜式電話)備有由上述有機(jī)EL元件構(gòu)成的表示單元1001，所以能夠達(dá)到降低成本的目的，又，能夠良好地形成表示單元1001的構(gòu)成要素。
權(quán)利要求
1.液狀體噴出裝置，備有具有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置的噴出頭、和貯存供給該噴出頭的液狀體的液狀體罐的液狀體噴出裝置，其特征是備有覆蓋上述噴嘴的第1吸引部件、與該第1吸引部件連接，通過(guò)該第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的第1減壓裝置、覆蓋上述噴嘴的第2吸引部件、和與該第2吸引部件連接，通過(guò)該第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，并且與上述液狀體罐內(nèi)連通從而降低該液狀體罐內(nèi)的壓力的第2減壓裝置。
2.權(quán)利要求1所述的液狀體噴出裝置，其特征是在與上述第1吸引部件的噴出頭的相反一側(cè)，設(shè)置檢測(cè)從上述噴嘴流出的液狀體的液狀體檢測(cè)傳感器。
3.權(quán)利要求1或2所述的液狀體噴出裝置，其特征是上述液狀體罐中設(shè)置加熱貯存的液狀體的加熱器。
4.權(quán)利要求1～3中任何一項(xiàng)所述的液狀體噴出裝置，其特征是上述第2吸引部件是至少收藏上述噴出頭的容器。
5.權(quán)要求項(xiàng)4所述的液狀體噴出裝置，其特征是上述第2減壓裝置具有成為上述第2吸引部件的容器內(nèi)和上述液狀體罐內(nèi)降低到相同壓力的構(gòu)成。
6.權(quán)利要求1～3中任何一項(xiàng)所述的液狀體噴出裝置，其特征是上述第1吸引部件和第2吸引部件是由同一吸引部件構(gòu)成的，上述第1減壓裝置和第2減壓裝置是是由同一減壓裝置構(gòu)成的。
7.液狀體噴出方法，備有具有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置的噴出頭、和貯存供給該噴出頭的液狀體的液狀體罐，從備有氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第1吸引部件、與該第1吸引部件連接，通過(guò)該第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的第1減壓裝置、氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第2吸引部件、和與該第2吸引部件連接，通過(guò)該第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，并且與上述液狀體罐內(nèi)連通降低該液狀體罐內(nèi)的壓力的第2減壓裝置的噴出裝置，所述噴出液狀體的方法使用上述噴出裝置，其特征在于備有在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第1吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面的工序，由第1減壓裝置通過(guò)上述第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，將液狀體充填到該噴出頭內(nèi)的工序，在將液狀體充填到上述噴出頭內(nèi)后，在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第2吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面的工序，由第2減壓裝置降低上述液狀體罐內(nèi)的壓力，并且通過(guò)上述第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的工序、和在降低噴出頭內(nèi)的壓力后，從該噴出頭噴出液狀體的工序。
8.電光學(xué)裝置，其特征是用以下部件或裝置形成所述電光學(xué)裝置的至少一部分備有從具有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置的噴出頭、和貯存供給該噴出頭的液狀體的液狀體罐，備有氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第1吸引部件、與該第1吸引部件連接，通過(guò)該第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的第1減壓裝置、氣密地覆蓋在上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第2吸引部件、和與該第2吸引部件連接，通過(guò)該第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，并且與上述液狀體罐內(nèi)連通來(lái)降低該液狀體罐內(nèi)的壓力的第2減壓裝置的液狀體噴出裝置。
9.電光學(xué)裝置的制造方法，用備有具有貯存液狀體的空腔、與該空腔連通的噴嘴和用于通過(guò)上述噴嘴噴出貯存在上述空腔內(nèi)的液狀體的噴出裝置的噴出頭、和貯存供給該噴出頭的液狀體的液狀體罐，備有氣密地覆蓋上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第1吸引部件、與該第1吸引部件連接，通過(guò)該第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的第1減壓裝置、氣密地覆蓋上述噴出頭中的噴嘴形成面的至少一個(gè)噴嘴的第2吸引部件、和與該第2吸引部件連接，通過(guò)該第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，并且與上述液狀體罐內(nèi)相連通來(lái)降低該液狀體罐內(nèi)的壓力的第2減壓裝置的噴出裝置，形成電光學(xué)裝置的構(gòu)成要素的至少一部分的電光學(xué)裝置的制造方法，備有在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第1吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面的工序，由第1減壓裝置通過(guò)上述第1吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力，將液狀體充填到該噴出頭內(nèi)的工序，在將液狀體充填到上述噴出頭內(nèi)后，在覆蓋上述噴出頭的噴嘴的狀態(tài)中用上述第2吸引部件覆蓋上述噴出頭的噴嘴形成面的工序，由第2減壓裝置降低上述液狀體罐內(nèi)的壓力，并且通過(guò)上述第2吸引部件降低噴出頭內(nèi)的壓力的工序、和在降低噴出頭內(nèi)的壓力后，從該噴出頭噴出液狀體的工序。
10.電子設(shè)備，其特征是由權(quán)利要求1～6中任何一項(xiàng)所述的液狀體噴出裝置，或權(quán)利要求7所述的液狀體噴出方法形成構(gòu)成要素的一部分。
全文摘要
本發(fā)明涉及液狀體噴出裝置，有噴出頭(34)和貯存供給噴出頭(34)的液狀體的液狀體罐(35)的液狀體噴出裝置。有覆蓋噴嘴的第1吸引部件(50)、與第1吸引部件(50)連接，通過(guò)第1吸引部件(50)降低噴出頭(34)內(nèi)的壓力的第1減壓裝置(51)、覆蓋噴嘴的第2吸引部件(38)、和與第2吸引部件(38)連接，通過(guò)第2吸引部件(38)降低噴出頭(34)內(nèi)的壓力，并與液狀體罐(35)內(nèi)連通降低液狀體罐(35)內(nèi)的壓力的第2減壓裝置(40)。本發(fā)明能提供與伴隨著液狀體的微細(xì)化的噴嘴路徑和流路的微細(xì)化對(duì)應(yīng)、容易從噴出頭除去氣泡的液狀體噴出裝置和液狀體噴出方法、電子光學(xué)裝置及其制造方法和電子設(shè)備。
文檔編號(hào)H01J9/00GK1496840SQ20031010136
公開日2004年5月19日 申請(qǐng)日期2003年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月17日
發(fā)明者臼井隆寬 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社