專利名稱：圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學(xué)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學(xué)裝置。
背景技術(shù)：
在顯示裝置及半導(dǎo)體裝置的制造工序中，大多包含將在基板上堆積的膜布圖成為所需的形狀、形成膜圖案的圖案形成工序。
近幾年來，在這種圖案形成工序中，為了提高生產(chǎn)率，而利用使向基板噴出的液滴固化后自我整合地形成膜圖案的噴墨法。噴墨法由于能夠形成與液滴形狀對(duì)應(yīng)的膜圖案，所以不需要形成旨在布圖的掩模，能夠減少圖案形成工序的工序數(shù)。
可是，利用噴墨法形成膜圖案時(shí)，如果射中的液滴不在基板表面散開后，液滴的凹凸形狀就會(huì)反映到圖案形狀中，有損于膜圖案的平坦性及膜厚均勻性。
因此，在這種現(xiàn)有技術(shù)的噴墨法中，有人提出了能夠使射中的液滴在基板表面的散開擴(kuò)大的方案(例如專利文獻(xiàn)1)。在專利文獻(xiàn)1中，使液滴的噴出方向傾斜于基板的法線，賦予噴出的液滴沿著基板的反掃描方向的成分。這樣，能夠使噴出的液滴沿著基板的切線方向散開基板的法線方向和噴出方向構(gòu)成的角度(傾斜角)。
專利文獻(xiàn)1日本國(guó)特開平2005-131498號(hào)公報(bào) 可是，在上述噴墨法中，通常使噴出液滴的液滴噴出頭與基板相對(duì)移動(dòng)(掃描)，從而形成所需的圖案。因此，在形成大型的膜圖案時(shí)，需要使一個(gè)液滴噴出頭進(jìn)行多次換行掃描，或者使多個(gè)液滴噴出頭連續(xù)掃描。就是說，使一個(gè)液滴噴出頭每次掃描形成的圖案(單一圖案)依次接合，從而形成大型的膜圖案。
可是，位于各單一圖案的外緣(交界)的各液滴，在各自的表面張力等的作用下，被一樣地向?qū)?yīng)的單一圖案的內(nèi)方拉過去(流動(dòng))。因此，在依次接合多個(gè)單一圖案后形成的膜圖案中，接合的單一圖案的外緣(交界)就產(chǎn)生膜厚的離差(換行條紋)。其結(jié)果，存在著有損于膜圖案的膜厚均勻性的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決上述問題而研制的，其目的在于提供提高由液滴構(gòu)成的圖案的膜厚均勻性的圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學(xué)裝置。
本發(fā)明的圖案形成方法，是在向基板的圖案形成區(qū)域噴出圖案形成材料的液滴后形成圖案的圖案形成方法中，從所述基板的法線上看，向所述圖案形成區(qū)域的外緣，按照從所述圖案形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)朝著外側(cè)的噴出方向，噴出所述液滴。
采用本發(fā)明的圖案形成方法后，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴從圖案形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)向著外側(cè)的速度成分。這樣，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴抵抗其表面張力的流動(dòng)。其結(jié)果，能夠提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該圖案形成方法中，所述外緣，是鄰接的多個(gè)所述圖案形成區(qū)域的交界；從所述基板的法線上看，可以按照從所述圖案形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)向著所述交界的噴出方向，噴出所述液滴。

采用本發(fā)明的圖案形成方法后，對(duì)于鄰接的圖案的交界而言，能夠提高其膜厚均勻性。
另外，在該圖案形成方法中，可以從所述基板的法線方向上看，按照具有沿著所述圖案形成區(qū)域的外緣的成分的所述噴出方向，噴出所述液滴。
采用該圖案形成方法后，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴抵抗其表面張力的流動(dòng)和沿著外緣方向的流動(dòng)。其結(jié)果，由于使射中的液滴沿著外緣方向流動(dòng)，所以能夠使射到外緣的各液滴的接合均勻。因此，能夠進(jìn)一步提高圖案的膜厚均勻性。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，是在向基板的圖案形成區(qū)域噴出圖案形成材料的液滴后形成圖案的液滴噴出裝置中，具備從所述基板的法線上看，向所述圖案形成區(qū)域的外緣，按照從所述圖案形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)朝著外側(cè)的噴出方向，噴出所述液滴的液滴噴出頭。
采用本發(fā)明的液滴噴出裝置后，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴從圖案形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)向外側(cè)的速度成分。這樣，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴抵抗其表面張力的流動(dòng)。其結(jié)果，能夠提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，所述基板，可以具備鄰接的多個(gè)所述圖案形成區(qū)域；所述外緣，是鄰接的多個(gè)所述圖案形成區(qū)域的交界。
采用該液滴噴出裝置后，對(duì)于連續(xù)的圖案的交界，能夠提高其膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，可以具備方向設(shè)定單元，該方向設(shè)定單元移動(dòng)所述液滴噴出頭，設(shè)定所述噴出方向。
采用該液滴噴出裝置后，能夠用方向設(shè)定單元設(shè)定的噴出方向，噴出液滴。這樣，能夠與圖案形成區(qū)域的形狀及尺寸無關(guān)，用所需的噴出方向噴出液滴。其結(jié)果，能夠切實(shí)提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，可以具備方向信息生成單元，該方向信息生成單元生成與所述圖案形成區(qū)域?qū)?yīng)的所述噴出方向有關(guān)的方向信息；控制單元，該控制單元根據(jù)所述方向信息，驅(qū)動(dòng)控制所述方向設(shè)定單元。
采用該液滴噴出裝置后，能夠根據(jù)與圖案形成區(qū)域?qū)?yīng)的方向信息，驅(qū)動(dòng)控制方向設(shè)定單元。這樣，能夠與圖案形成區(qū)域的形狀及尺寸無關(guān)，更切實(shí)地提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，可以具備多個(gè)所述液滴噴出頭，和與所述多個(gè)液滴噴出頭對(duì)應(yīng)的多個(gè)所述方向設(shè)定單元；所述方向信息生成單元，生成所述方向信息，以便使與所述多個(gè)液滴噴出頭對(duì)應(yīng)的各噴出方向，在所述基板側(cè)交叉。
采用該液滴噴出裝置后，能夠利用多個(gè)液滴噴出頭噴出噴出方向不同的液滴。這樣，對(duì)于鄰接的圖案形成區(qū)域及多個(gè)不同的圖案形成區(qū)域，能夠用大致相同的時(shí)刻形成圖案。其結(jié)果，能夠不影響生產(chǎn)效率地提高圖案的膜厚均勻性。
另外，在該液滴噴出裝置中，可以具備移動(dòng)單元，該移動(dòng)單元使所述基板與所述液滴噴出頭相對(duì)移動(dòng)，以便使所述噴出方向具有沿著所述圖案形成區(qū)域的外緣的成分。
采用該液滴噴出裝置后，能夠賦予射到圖案形成區(qū)域的外緣的液滴抵抗其表面張力的流動(dòng)和沿著外緣方向的流動(dòng)。其結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高圖案的膜厚均勻性。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置，具備由上述液滴噴出裝置形成的圖案。
采用本發(fā)明的電光學(xué)裝置后，能夠具備由提高了的液滴構(gòu)成的圖案。


圖1是表示本實(shí)施方式中的液晶顯示裝置的立體圖。
圖2是表示本實(shí)施方式中的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖3是表示本實(shí)施方式中的液滴噴出裝置的立體圖。
圖4是表示本實(shí)施方式中的液滴噴出頭的立體圖。
圖5是表示本實(shí)施方式中的液滴噴出頭的簡(jiǎn)要平面圖。
圖6是表示本實(shí)施方式中的液滴噴出頭的簡(jiǎn)要側(cè)面圖。
圖7是表示本實(shí)施方式中的液滴噴出頭的主要部件側(cè)面圖。
圖8是講述本實(shí)施方式中的液滴噴出動(dòng)作的說明圖。
圖9是講述本實(shí)施方式中的液滴噴出動(dòng)作的說明圖。
圖10是講述本實(shí)施方式中的液滴噴出動(dòng)作的說明圖。
圖11是表示本實(shí)施方式中的液滴噴出裝置的電氣結(jié)構(gòu)的電氣塊方框電路圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照?qǐng)D1～圖11，講述將本發(fā)明具體化的一種實(shí)施方式。首先，講述作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置10，該電光學(xué)裝置具有采用本發(fā)明的圖案形成方法形成的取向膜。圖1是液晶顯示裝置10的立體圖，，圖2是圖1的A～A線剖面圖。
在圖1中，在液晶顯示裝置10的下側(cè)，具備邊緣燈型的背景燈12，該背景燈12具有LED等光源11，四方板狀地形成。在背景燈12的上方，具備和背景燈12大致相同尺寸形成的四方板狀的液晶屏13。而且，由光源11射出的光，朝著液晶屏13照射。
在液晶屏13中，具備相對(duì)的元件基板14和相對(duì)基板15。這些元件基板14和相對(duì)基板15，如圖2所示，通過由光硬化性樹脂構(gòu)成的四方框狀的密封部件16做媒介，粘貼在一起。而且，在這些元件基板14和相對(duì)基板15之間的間隙，封入液晶17。
在圖1中，在元件基板14的下面(背景燈12一側(cè)的側(cè)面)，粘貼著偏振光板及相位差板等光學(xué)基板18。光學(xué)基板18將來自背景燈12的光，作為直線偏振光射到液晶17上。在元件基板14的上面(相對(duì)基板15一側(cè)的側(cè)面元件形成面14a)，排列形成大致遍及一個(gè)方向(X箭頭方向)的全寬地延伸的多個(gè)掃描線Lx。各掃描線Lx，分別與配置在元件基板14的一側(cè)的掃描線驅(qū)動(dòng)電路19電連接，同時(shí)還在規(guī)定的時(shí)刻，輸入來自掃描線驅(qū)動(dòng)電路19的掃描信號(hào)。另外，在元件形成面14a上，排列形成大致遍及Y箭頭方向的全寬地延伸的多個(gè)數(shù)據(jù)線Ly。各數(shù)據(jù)線Ly，分別與配置在元件基板14的另一側(cè)的數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路21電連接，同時(shí)還在規(guī)定的時(shí)刻，輸入根據(jù)來自數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路21的顯示數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)信號(hào)。在元件形成面14a的掃描線Lx和數(shù)據(jù)線Ly的交叉的位置，形成多個(gè)象素22，這些象素22矩陣狀地排列，與對(duì)應(yīng)的掃描線Lx及數(shù)據(jù)線Ly連接。在各象素22中，分別具備TFT等未圖示的控制元件及由透明導(dǎo)電膜等構(gòu)成的光透過性的象素電極23。
在圖2中，在各象素22的整個(gè)上側(cè)，層疊經(jīng)過摩擦處理等取向處理的取向膜24。取向膜24是由取向性聚酰亞胺等取向性高分子構(gòu)成的薄膜圖案，在對(duì)應(yīng)的象素電極23附近，將液晶17的取向設(shè)定成規(guī)定的取向。該取向膜24，采用噴墨法形成。就是說，將取向膜形成材料F(該取向膜形成材料F是將取向性高分子溶解到規(guī)定的溶劑中后構(gòu)成的圖案形成材料)(參照?qǐng)D7)，作為第1液滴Fa及第2液滴Fb(參照?qǐng)D7)，向各象素22的整個(gè)上側(cè)噴出后，形成取向膜24。
在所述相對(duì)基板15的上面，設(shè)置著偏振光板25，該偏振光板25將和來自光學(xué)基板18的光正交的光，射到外方(圖2中的上方)。在相對(duì)基板15的下面(元件基板14一側(cè)的側(cè)面電極形成面15a)的整個(gè)面上，層疊著和各象素電極23相對(duì)地形成的、由光透過性的導(dǎo)電膜構(gòu)成的相對(duì)電極26。相對(duì)電極26在與所述數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路21電連接的同時(shí)，還被賦予來自該數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路21的規(guī)定的共同電位。在相對(duì)電極26的整個(gè)下面，層疊經(jīng)過摩擦處理等取向處理的取向膜27。該取向膜27，和所述取向膜24一樣，在采用噴墨法形成的同時(shí)，還在所述相對(duì)電極26的附近，將液晶17的取向設(shè)定成規(guī)定的取向。
然后，根據(jù)線依次掃描，在規(guī)定的時(shí)刻，一根一根地選擇各掃描線Lx，只在各自選擇的期間中，使各象素22的控制元件成為接通狀態(tài)。于是，向與各控制元件對(duì)應(yīng)的各象素電極23，輸出根據(jù)來自對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線Ly的顯示數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)信號(hào)。向各象素電極23輸出數(shù)據(jù)信號(hào)后，根據(jù)各象素電極23和相對(duì)電極26之間的電位差，調(diào)制對(duì)應(yīng)的液晶17的取向狀態(tài)。就是說，按照象素22，調(diào)制來自光學(xué)基板18的光的偏振光狀態(tài)。而且，根據(jù)調(diào)制的光是否通過偏振光板25，在液晶屏13的上側(cè)，顯示根據(jù)顯示數(shù)據(jù)的圖象。
接著，按照?qǐng)D3～11，講述旨在形成上述取向膜27(取向膜24)的液滴噴出裝置30。
在圖3中，液滴噴出裝置30在具備正方體形狀形成的基臺(tái)31的同時(shí)，還在該基臺(tái)31的上面，形成一對(duì)沿著其長(zhǎng)度方向(X箭頭方向)延伸的導(dǎo)向槽32。在該基臺(tái)31的上方，具備作為移動(dòng)單元的輸送臺(tái)33，該輸送臺(tái)33在與基臺(tái)31內(nèi)設(shè)置的X軸電動(dòng)機(jī)MX(參照?qǐng)D11)的輸出軸驅(qū)動(dòng)連接的同時(shí)，還沿著所述導(dǎo)向槽32，以規(guī)定的速度(輸送速度V)，朝著X箭頭方向及反X箭頭方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)(沿著X箭頭方向輸送)。
在輸送臺(tái)33的上面，形成放置面34，可以放置將所述相對(duì)電極26作為上側(cè)的相對(duì)基板15，并且使處于放置狀態(tài)的相對(duì)基板15在輸送臺(tái)33上定位固定。此外，在本實(shí)施方式中，采用將相對(duì)基板15放置到輸送臺(tái)33上的結(jié)構(gòu)，但并不局限于此，還可以采用將所述各象素電極23作為上側(cè)的元件基板14的結(jié)構(gòu)。
在基臺(tái)31的Y箭頭方向的兩側(cè)，設(shè)置著門型形成的導(dǎo)向部件35，同時(shí)還在該導(dǎo)向部件35中，形成上下一對(duì)朝著Y箭頭方向延伸的導(dǎo)軌36。另外，在導(dǎo)向部件35中，還具備滑動(dòng)架37，該滑動(dòng)架37在與導(dǎo)向部件35內(nèi)設(shè)置的Y軸電動(dòng)機(jī)MY(參照?qǐng)D11)的輸出軸驅(qū)動(dòng)連接的同時(shí)，還沿著導(dǎo)軌36，朝著Y箭頭方向及反Y箭頭方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)(沿著Y箭頭方向掃描)。在滑動(dòng)架37的內(nèi)部，設(shè)置著可以導(dǎo)出、收容所述取向膜形成材料F(參照?qǐng)D7)的墨水囊38，將該墨水囊38收容的所述取向膜形成材料F，供給搭載在滑動(dòng)架37下方的一對(duì)頭組件H(第1頭組件Ha及第2頭組件Hb)。
圖4是從下方(相對(duì)基板15)看第1頭組件Ha及第2頭組件Hb的簡(jiǎn)要立體圖。圖5是從滑動(dòng)架37的一側(cè)看第1頭組件Ha及第2頭組件Hb的平面圖。
在圖4中，在滑動(dòng)架37的下側(cè)(圖4中的上側(cè))，配置著一對(duì)頭組件H。一對(duì)頭組件H，在從Y箭頭方向看，被分別互相平行設(shè)置的同時(shí)，從X箭頭方向看，還有一部分互相重疊。此外，在本實(shí)施方式中，將反Y箭頭方向的頭組件H，稱作(第1頭組件Ha)；將Y箭頭方向的頭組件H，稱作(第2頭組件Hb)。
這些一對(duì)頭組件H，分別從滑動(dòng)架37的一側(cè)，依次具備轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)39、導(dǎo)向臺(tái)40和傾動(dòng)臺(tái)41。在本實(shí)施方式中，這些轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)39、導(dǎo)向臺(tái)40和傾動(dòng)臺(tái)41構(gòu)成方向設(shè)定單元。
各轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)39，立方體形狀地形成，分別向Y箭頭方向延伸的同時(shí)，還與滑動(dòng)架37內(nèi)設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)(第1轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRa及第2轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRb參照?qǐng)D11)的輸出軸連接。各轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)39，分別接受對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)力，使對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向臺(tái)40以沿著相對(duì)基板15的法線方向(Z箭頭方向)的軸(旋轉(zhuǎn)軸Cr)為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。
各導(dǎo)向臺(tái)40，大致立方體形狀地形成，分別與各轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)39對(duì)應(yīng)的同時(shí)，還在其下側(cè)(傾動(dòng)臺(tái)41的一側(cè))，遍及其Y箭頭方向的大致全寬地形成斷面圓弧狀的凹曲面(導(dǎo)向面40s)。各導(dǎo)向面40s，在對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向臺(tái)40的正下方，而且位于被放置到輸送臺(tái)33上的狀態(tài)的相對(duì)電極26上面地形成各自對(duì)應(yīng)的曲率中心Cd(參照?qǐng)D5及圖6)。
在本實(shí)施方式中，將如圖5的雙點(diǎn)劃線所示的各導(dǎo)向臺(tái)40的配置位置——使對(duì)應(yīng)的曲率中心Cd(圖5的點(diǎn)劃線)和Y箭頭方向平行的配置位置，稱作“初始位置”。另外，將如圖5的實(shí)線所示的第1頭組件Ha的導(dǎo)向臺(tái)40(曲率中心Cd)對(duì)于Y箭頭方向而言左轉(zhuǎn)第1轉(zhuǎn)動(dòng)角θra、第2頭組件Hb的導(dǎo)向臺(tái)40(曲率中心Cd)對(duì)于Y箭頭方向而言，右轉(zhuǎn)第2轉(zhuǎn)動(dòng)角θrb的配置位置，稱作“轉(zhuǎn)動(dòng)位置”。
在圖4中，各傾動(dòng)臺(tái)41，半圓柱狀地形成，分別向Y箭頭方向延伸的同時(shí)，還在其導(dǎo)向臺(tái)40的一側(cè)，形成分別與導(dǎo)向面40s對(duì)應(yīng)的凸曲面(滑動(dòng)面41s)。另外，在各傾動(dòng)臺(tái)41的一個(gè)側(cè)面——與其滑動(dòng)面41s相對(duì)的側(cè)面(圖4中的上面)，形成分別沿著相對(duì)基板15的平面(安裝面41t)。各傾動(dòng)臺(tái)41，分別與滑動(dòng)架37內(nèi)設(shè)置的傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)(第1傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)MDa及第2傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)MDb參照?qǐng)D11)的輸出軸連接的同時(shí)，接受對(duì)應(yīng)的傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)力，使對(duì)應(yīng)的滑動(dòng)面41s沿著對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向面40s滑動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng))。就是說，各傾動(dòng)臺(tái)41將位于相對(duì)電極26之上的曲率中心Cd作為傾動(dòng)軸，使對(duì)應(yīng)的安裝面41t對(duì)于相對(duì)基板15而言傾動(dòng)。
在本實(shí)施方式中，將如圖6的雙點(diǎn)劃線所示的各傾動(dòng)臺(tái)41的配置位置——使對(duì)應(yīng)的安裝面41t的法線方向(“噴出方向”)和相對(duì)基板15的法線方向(“Z箭頭方向”)成為平行的配置位置，稱作“初始位置”。另外，將如圖6的實(shí)線所示的傾動(dòng)臺(tái)41的配置位置——使對(duì)應(yīng)的安裝面41t的法線方向(“噴出方向”)對(duì)于相對(duì)基板15的法線方向(“Z箭頭方向”)而言傾斜規(guī)定的角度(“傾斜角”)的配置位置，稱作“傾斜位置”。在本實(shí)施方式中，將與第1頭組件Ha對(duì)應(yīng)的“噴出方向”和“傾斜角”，分別稱作“第1噴出方向Aa”和“第1傾斜角θda”；將與第2頭組件Hb對(duì)應(yīng)的“噴出方向”和“傾斜角”，分別稱作“第2噴出方向Ab”和“第2傾斜角θdb”。
此外，在本實(shí)施方式中，如圖6所示，從Z箭頭方向看，第1頭組件Ha和第2頭組件Hb的雙方的傾動(dòng)臺(tái)41，分別向X箭頭方向的一側(cè)(相對(duì)基板15的輸送方向一側(cè))傾斜。
在圖4中，各安裝面41t具備立方體形狀形成的液滴噴出頭(以下簡(jiǎn)稱“噴出頭”)，分別沿著Y箭頭方向延伸。在本實(shí)施方式中，將與第1頭組件Ha對(duì)應(yīng)的噴出頭，稱作“第1噴出頭42a”。另外，將與第2頭組件Hb對(duì)應(yīng)的噴出頭，稱作“第2噴出頭42b”。
在第1噴出頭42a及第2噴出頭42b的下側(cè)(圖4中的上側(cè))，分別具備噴嘴板43，同時(shí)還在該噴嘴板43的相對(duì)基板15的一側(cè)(圖4中的上側(cè))，形成和對(duì)應(yīng)的安裝面41t平行的噴嘴形成面43s。在各噴嘴形成面43s上，多個(gè)噴嘴分別沿著Y箭頭方向，以相等的間隔(噴嘴間距Wn)排列形成。在本實(shí)施方式中，將與第1頭組件Ha對(duì)應(yīng)的噴嘴，稱作“第1噴嘴Na”。另外，將與第2頭組件Hb對(duì)應(yīng)的噴出頭，稱作“第2噴嘴Nb”。
在圖6中，各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，沿著各自對(duì)應(yīng)的噴嘴形成面43s的法線方向即第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab，貫通對(duì)應(yīng)的噴嘴板43后形成。各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，配置成為在各自對(duì)應(yīng)的傾動(dòng)臺(tái)41位于“初始位置”時(shí)，位于曲率中心Cd的Z箭頭方向即第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab的相反側(cè)。此外，在本實(shí)施方式中，將曲率中心Cd而且與各第1噴嘴Na的第1噴出方向Aa對(duì)應(yīng)的位置，分別稱作“第1射中位置Pa”。另外，將曲率中心Cd而且與各第2噴嘴Na的第2噴出方向Ab對(duì)應(yīng)的位置，分別稱作“第2射中位置Pb”。
然后，正轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)各傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)，將各傾動(dòng)臺(tái)41從“初始位置”配置移動(dòng)到“傾斜位置”。于是，如圖6所示，各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，以各自對(duì)應(yīng)的曲率中心Cd即對(duì)應(yīng)的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb為中心，向X箭頭方向一側(cè)傾動(dòng)第1傾斜角θda及第2傾斜角θdb。傾動(dòng)的各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，使各自對(duì)應(yīng)的形成方向(第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab)，對(duì)于相對(duì)基板15的法線(Z箭頭方向)而言，傾斜第1傾斜角θda及第2傾斜角θdb。此外，這時(shí)，各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb，在使各自的形成方向傾斜的過程中，能夠維持對(duì)應(yīng)的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb，能夠?qū)?duì)應(yīng)的第1射中位置Pa及第2射中位置Pb之間的距離，維持成規(guī)定的距離(飛行距離L)。就是說，液滴噴出裝置30采用能夠在變更第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab的過程中，維持各第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb噴出的第1液滴Fa及第2液滴Fb的射中精度的結(jié)構(gòu)。
在圖7中，在各第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)的第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)的相反側(cè)，分別形成與所述墨水囊38連通的空腔諧振器44，將來自墨水囊38的取向膜形成材料F，供給對(duì)應(yīng)的第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)。在各空腔諧振器44的第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)的相反側(cè)，粘貼著可以朝著第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)及其相反方向振動(dòng)的振動(dòng)板45，從而使空腔諧振器44內(nèi)的容積擴(kuò)大·縮小。在振動(dòng)板45的上側(cè)，設(shè)置著與各第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)對(duì)應(yīng)的多個(gè)第1壓電元件PZa(第2壓電元件PZb)。各第1壓電元件PZa(第2壓電元件PZb)，分別接受旨在進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的信號(hào)(壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM參照?qǐng)D11)后收縮·伸張，使對(duì)應(yīng)的振動(dòng)板45朝著第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)及其相反方向振動(dòng)。此外，本實(shí)施方式的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，根據(jù)預(yù)先通過試驗(yàn)等設(shè)定的波形數(shù)據(jù)WD(參照?qǐng)D11)生成，設(shè)定成在使彎月面圓滑地振動(dòng)的同時(shí)，還用規(guī)定的重量使第1液滴Fa及第2液滴Fb的重量穩(wěn)定。
然后，向各第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb，分別供給壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM。于是，各空腔諧振器44的容積擴(kuò)大·縮小，各第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)內(nèi)的彎月面(取向膜形成材料F的界面)振動(dòng)。各第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)內(nèi)的彎月面振動(dòng)后，與壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM對(duì)應(yīng)的規(guī)定的重量(“噴出重量”)的取向膜形成材料F，就作為第1液滴Fa(第2液滴Fb)，從對(duì)應(yīng)的第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)中噴出。噴出的各第1液滴Fa(第2液滴Fb)，分別沿著第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)的形成方向即第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)，用規(guī)定的速度(噴出速度Vf)飛行。
在這里，如圖8所示，在相對(duì)電極26上的形成所述取向膜27的區(qū)域(圖8所示的雙點(diǎn)劃線取向膜形成區(qū)域S)中，設(shè)定旨在使第1液滴Fa及第2液滴Fb射中的多個(gè)晶格結(jié)點(diǎn)(目標(biāo)位置T)。
更詳細(xì)的說，首先，根據(jù)取向膜27的膜厚(“目標(biāo)膜厚”)和所述“噴出重量”，設(shè)定噴出的總數(shù)量即目標(biāo)位置T的數(shù)量。設(shè)定目標(biāo)位置T的數(shù)量后，再設(shè)定鄰接的目標(biāo)位置T的X箭頭方向及Y箭頭方向的間隔(輸送間距Wx及排列間距Wy)，以便在取向膜形成區(qū)域S內(nèi)，沿著X箭頭方向及Y箭頭方向，晶格狀配置所述數(shù)量的目標(biāo)位置T。這時(shí)，將排列間距Wy設(shè)定成比第1噴嘴Na(第2噴嘴Nb)的噴嘴間距Wn短。
設(shè)定輸送間距Wx及排列間距Wy后，根據(jù)輸送間距Wx及排列間距Wy，計(jì)算與取向膜形成區(qū)域S對(duì)應(yīng)的各目標(biāo)位置T的位置坐標(biāo)。計(jì)算出各目標(biāo)位置T的位置坐標(biāo)后，在各目標(biāo)位置T中，將位于取向膜形成區(qū)域S的反Y箭頭方向一側(cè)的目標(biāo)位置T，作為旨在分別使第1液滴Fa射中的目標(biāo)位置T(第1目標(biāo)位置Ta)。相反，在各目標(biāo)位置T中，將位于取向膜形成區(qū)域S的Y箭頭方向一側(cè)的目標(biāo)位置T，作為旨在分別使第2液滴Fb射中的目標(biāo)位置T(第2目標(biāo)位置Tb)。這樣，在取向膜形成區(qū)域S中，設(shè)定旨在使第1液滴Fa或第2液滴Fb射中的目標(biāo)位置T(第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb)。
此外，在本實(shí)施方式中，將取向膜形成區(qū)域S內(nèi)的使第1液滴Fa射中的區(qū)域，稱作“第1形成區(qū)域Sa”。另外，將取向膜形成區(qū)域S內(nèi)的使第2液滴Fb射中的區(qū)域，稱作“第2形成區(qū)域Sb”。

而且，設(shè)定各目標(biāo)位置T后，如圖9所示，首先驅(qū)動(dòng)控制第1轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRa，使第1頭組件Ha的導(dǎo)向臺(tái)40轉(zhuǎn)動(dòng)第1轉(zhuǎn)動(dòng)角θra(向“轉(zhuǎn)動(dòng)位置”轉(zhuǎn)動(dòng))，以便從X箭頭方向看的第1噴嘴Na(第1射中位置Pa)的間隔，分別成為排列間距Wy。另外，驅(qū)動(dòng)控制第2轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRb，使第2頭組件Hb的導(dǎo)向臺(tái)40轉(zhuǎn)動(dòng)第2轉(zhuǎn)動(dòng)角θrb(向“轉(zhuǎn)動(dòng)位置”轉(zhuǎn)動(dòng))，以便從X箭頭方向看的第2噴嘴Nb(第2射中位置Pb)的間隔，分別成為排列間距Wy。
接著，驅(qū)動(dòng)控制各傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)，傾動(dòng)各傾動(dòng)使臺(tái)41(向“傾動(dòng)位置”傾動(dòng))，以便從X箭頭方向看的第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab，在相對(duì)基板15的一側(cè)交叉。
這樣，從相對(duì)基板15的法線方向(“Z箭頭方向”)看，能夠使第1噴出方向Aa由第1形成區(qū)域Sa朝著第2形成區(qū)域Sb。另外，從相對(duì)基板15的法線方向(“Z箭頭方向”)看，能夠使第2噴出方向Ab由第2形成區(qū)域Sb朝著第1形成區(qū)域Sa。就是說，能夠向第1形成區(qū)域Sa的外緣——位于其第2形成區(qū)域Sb的外緣(交界)的第1目標(biāo)位置Ta，噴出具有從第1形成區(qū)域Sa的內(nèi)側(cè)朝著外側(cè)的速度成分的第1液滴Fa。另外，能夠向第2形成區(qū)域Sb的外緣——位于其第1形成區(qū)域Sa的外緣(交界)的第2目標(biāo)位置Tb，噴出具有從第2形成區(qū)域Sb的內(nèi)側(cè)朝著外側(cè)的速度成分的第2液滴Fb。
然后，用輸送速度V，朝著X箭頭方向輸送相對(duì)基板15，在各第1射中位置Pa及第2射中位置Pb，分別位于對(duì)應(yīng)的第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb的時(shí)刻，向各第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb供給壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM。
于是，如圖10所示，來自各第1噴嘴Na的第1液滴Fa，分別沿著第1噴出方向Aa飛行，依次射到第1目標(biāo)位置Ta(第1射中位置Pa)的區(qū)域。另外，來自各第2噴嘴Nb的第2液滴Fb，分別沿著第2噴出方向Ab飛行，依次射到第2目標(biāo)位置Tb(第2射中位置Pb)的區(qū)域。
這時(shí)，賦予射中的各第1液滴Fa與第1噴出方向Aa對(duì)應(yīng)的相對(duì)基板15的切線方向的速度成分(第1噴出切線速度Vfa)。另外，還賦予射中的各第1液滴Fa朝著相對(duì)基板15的輸送方向的相反側(cè)、與相對(duì)基板15的輸送速度V對(duì)應(yīng)的相對(duì)速度成分(第1輸送切線速度Via)。因此，賦予射中的各第1液滴Fa合成這些第1噴出切線速度Vfa和第1輸送切線速度Via的方向的速度成分(第1切線速度Va)。
其結(jié)果，射中第1形成區(qū)域Sa的各第1液滴Fa，沿著第1切線速度Va流動(dòng)，朝著抵抗其表面張力的方向即從第1形成區(qū)域Sa向第2形成區(qū)域Sb的方向流動(dòng)。這樣，射中的各第1液滴Fa，能夠在第2形成區(qū)域Sb一側(cè)的外緣，抑制表面張力引起的流動(dòng)(膜厚降低)，第1切線速度Va引起的流動(dòng)，則能夠使該第2形成區(qū)域Sb一側(cè)的膜厚均勻。
另一方面，賦予射中的各第2液滴Fb與第2噴出方向Ab對(duì)應(yīng)的相對(duì)基板15的切線方向的速度成分(第2噴出切線速度Vfb)。另外，還賦予射中的各第2液滴Fb朝著相對(duì)基板15的輸送方向的相反側(cè)、與相對(duì)基板15的輸送速度V對(duì)應(yīng)的相對(duì)速度成分(第2輸送切線速度Vib)。因此，賦予射中的各第2液滴Fb合成這些第2噴出切線速度Vfb和第2輸送切線速度Vib的方向的速度成分(第1切線速度Vb)。
其結(jié)果，射中第2形成區(qū)域Sb的各第2液滴Fb，沿著第2切線速度Vb流動(dòng)，朝著抵抗其表面張力的方向即從第2形成區(qū)域Sb向第1形成區(qū)域Sa的方向流動(dòng)。這樣，射中的各第2液滴Fb，能夠在第1形成區(qū)域Sa一側(cè)的外緣，抑制表面張力引起的流動(dòng)(膜厚降低)，第2切線速度Vb引起的流動(dòng)，則能夠使該第1形成區(qū)域Sa一側(cè)的膜厚均勻。
這樣，能夠分別在第1形成區(qū)域Sa和第1形成區(qū)域Sb的交界，使由第1液滴Fa構(gòu)成的第1液態(tài)膜LFa和由第2液滴Fb構(gòu)成的第2液態(tài)膜LFb的膜厚均勻。而且，由于提高了交界區(qū)域的膜厚均勻性，所以能夠提高第1液態(tài)膜LFa和由第2液滴Fb接合后形成的取向膜27的膜厚均勻性。
接著，根據(jù)圖11，講述采用上述結(jié)構(gòu)的液滴噴出裝置30的電氣性的結(jié)構(gòu)。
在圖11中，控制裝置51具備構(gòu)成控制單元及方向信息生成單元的CPU、RAM、ROM等。而且，控制裝置51按照RAM及ROM等存放的各種數(shù)據(jù)及各種程序，輸送輸送臺(tái)33滑動(dòng)架37，在使滑動(dòng)架37進(jìn)行掃描的同時(shí)，還驅(qū)動(dòng)控制第1頭組件Ha及第2頭組件Hb。
控制裝置51與輸入裝置52、X軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53、Y軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54、第1臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路55、第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56、第2臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路57及第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58連接。
輸入裝置52，具有起動(dòng)開關(guān)、停止開關(guān)等操作開關(guān)，在將各種操作信號(hào)向控制裝置51輸入的同時(shí)，還將有關(guān)相對(duì)基板15形成的取向膜27的目標(biāo)膜厚的信息，作為既定形式的膜厚信息It，向控制裝置51輸入。
然后，將膜厚信息It，由輸入裝置52向控制裝置51輸入。于是，控制裝置51接收來自輸入裝置52的膜厚信息It，計(jì)算向相對(duì)電極26噴出的取向膜形成材料F的總重量。另外，控制裝置51根據(jù)計(jì)算出的總重量和與波形數(shù)據(jù)WD對(duì)應(yīng)的第1液滴Fa(第2液滴Fb)的重量，計(jì)算噴出的第1液滴Fa及第2液滴Fb的數(shù)量即各第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb的位置坐標(biāo)(輸送間距Wx及排列間距Wy)。這時(shí)，排列間距Wy被設(shè)定成比第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb的噴嘴間距Wn短。
接著，控制裝置51計(jì)算出各目標(biāo)位置T的位置坐標(biāo)后，生成、存放旨在向第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb分別噴出第1液滴Fa及第2液滴Fb的第1描繪數(shù)據(jù)BMa及第2描繪數(shù)據(jù)BMb。進(jìn)而，控制裝置51生成、存放構(gòu)成方向信息的第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD、第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD、第1傾動(dòng)數(shù)據(jù)DaD及第2傾動(dòng)數(shù)據(jù)GbD。
第1描繪數(shù)據(jù)BMa及第2描繪數(shù)據(jù)BMb，是分別使包含第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb的取向膜形成區(qū)域S內(nèi)的各晶格結(jié)點(diǎn)，與各自的各比特的值(0或1)對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)，按照各比特的值，分別規(guī)定第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb的接通或斷開。而且，第1描繪數(shù)據(jù)BMa規(guī)定每當(dāng)?shù)?射中位置Pa位于對(duì)應(yīng)的第1目標(biāo)位置Ta上時(shí)，噴出第1液滴Fa。另外，第2描繪數(shù)據(jù)BMb規(guī)定每當(dāng)?shù)?射中位置Pb位于對(duì)應(yīng)的第2目標(biāo)位置Tb上時(shí)，噴出第2液滴Fb。
第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD及第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD，是分別用第1轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRa及第2轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRb的轉(zhuǎn)數(shù)，規(guī)定第1轉(zhuǎn)動(dòng)角θra及第2轉(zhuǎn)動(dòng)角θrb的數(shù)據(jù)，根據(jù)第1形成區(qū)域Sa和第2形成區(qū)域Sb的交界位置、排列間距Wy生成。就是說，這些第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD及第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD，規(guī)定第1轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRa及第2轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRb的轉(zhuǎn)數(shù)，以便使各自對(duì)應(yīng)的第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab，朝著第1形成區(qū)域Sa和第2形成區(qū)域Sb的交界一側(cè)。而且，這些第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD及第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD，規(guī)定第1轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRa及第2轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRb的轉(zhuǎn)數(shù)，以便從各自的X箭頭方向看的第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb的間隔，成為排列間距Wy。
第1傾動(dòng)數(shù)據(jù)DaD及第2傾動(dòng)數(shù)據(jù)DbD，是分別用第1傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)MDa及第2傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)MDb的轉(zhuǎn)數(shù)，規(guī)定第1傾斜角θda及第2傾斜角θdb的數(shù)據(jù)，根據(jù)輸送間距Wx和排列間距Wy生成。就是說，這些第1傾動(dòng)數(shù)據(jù)DaD及第2傾動(dòng)數(shù)據(jù)DbD，根據(jù)預(yù)先進(jìn)行的試驗(yàn)等，規(guī)定第1轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRa及第2轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRb的轉(zhuǎn)數(shù)，以便使射中的第1液滴Fa及第2液滴Fb的長(zhǎng)徑及短徑，分別大于輸送間距Wx及排列間距Wy。
X軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53，應(yīng)答來自控制裝置51的與X軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，使X軸電動(dòng)機(jī)MX正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，從而使輸送臺(tái)33往復(fù)移動(dòng)。向該X軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53被輸入來自X軸電動(dòng)機(jī)MX具備的X軸電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢出器MEX的檢出信號(hào)。X軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53在根據(jù)來自X軸電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢出器MEX的檢出信號(hào)，計(jì)算輸送臺(tái)33(相對(duì)基板15)的移動(dòng)方向及移動(dòng)量的同時(shí)，還作為基板位置信息SPI，生成有關(guān)輸送臺(tái)33(各目標(biāo)位置T)的現(xiàn)在位置的信息。而且，控制裝置51接收來自X軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53的基板位置信息SP1后，輸出各種信號(hào)。
Y軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54，應(yīng)答來自控制裝置51的與Y軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，使Y軸電動(dòng)機(jī)MY正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，從而使滑動(dòng)架37往復(fù)移動(dòng)。向該Y軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54被輸入來自Y軸電動(dòng)機(jī)MY具備的Y軸電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢出器MEY的檢出信號(hào)。Y軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54在根據(jù)來自Y軸電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢出器MEY的檢出信號(hào)，計(jì)算滑動(dòng)架37(第1頭組件Ha及第2頭組件Hb)的移動(dòng)方向及移動(dòng)量的同時(shí)，還作為滑動(dòng)架位置信息CPI，生成有關(guān)滑動(dòng)架37的現(xiàn)在位置的信息。而且，控制裝置51接收來自Y軸電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54的滑動(dòng)架位置信息CPI后，輸出各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
更詳細(xì)的說，控制裝置51根據(jù)基板位置信息SP1及滑動(dòng)架位置信息CP1，在相對(duì)基板15進(jìn)入滑動(dòng)架37的正下方之前，生成第1噴出控制信號(hào)SIa，以便使與相對(duì)基板15的輸送量(往動(dòng)或復(fù)動(dòng))對(duì)應(yīng)的第1描繪數(shù)據(jù)BMa，與規(guī)定的時(shí)鐘脈沖信號(hào)同步。另外，控制裝置51生成第2噴出控制信號(hào)SIb，以便使與相對(duì)基板15的輸送量(往動(dòng)或復(fù)動(dòng))對(duì)應(yīng)的第2描繪數(shù)據(jù)BMb，與規(guī)定的時(shí)鐘脈沖信號(hào)同步。而且，控制裝置51每當(dāng)掃描滑動(dòng)架37時(shí)，將生成的第1噴出控制信號(hào)SIa及第2噴出控制信號(hào)SIb，分別依次串行傳輸給第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56及第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58。
另外，控制裝置51根據(jù)基板位置信息SP1，每當(dāng)?shù)?射中位置Pa位于第1目標(biāo)位置Ta時(shí)，生成旨在驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的第1壓電元件PZa的信號(hào)(第1噴出時(shí)刻信號(hào)LPa)。另外，控制裝置51根據(jù)基板位置信息SP1，每當(dāng)?shù)?射中位置Pb位于第2目標(biāo)位置Tb時(shí)，生成旨在驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的第2壓電元件PZb的信號(hào)(第2噴出時(shí)刻信號(hào)LPb)。而且，控制裝置51將生成的第1噴出時(shí)刻信號(hào)LPa及第2噴出時(shí)刻信號(hào)LPb，分別逐次向第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56及第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58輸出。
第1臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路55，應(yīng)答來自控制裝置51的第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD，使驅(qū)動(dòng)第1頭組件Ha的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)39的第1轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRa正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。另外，第1臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路55，應(yīng)答來自控制裝置51的第1傾動(dòng)數(shù)據(jù)DaD，使傾動(dòng)第1頭組件Ha的傾動(dòng)臺(tái)41的第1傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)MDa正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。
第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56，與多個(gè)所述第1壓電元件PZa連接。第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56，被供給來自控制裝置51的波形數(shù)據(jù)WD、第1噴出控制信號(hào)SIa及第1噴出時(shí)刻信號(hào)LPa。第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56，接收來自控制裝置51的第1噴出控制信號(hào)SIa后，使該第1噴出控制信號(hào)SIa與各第1壓電元件PZa對(duì)應(yīng)，依次進(jìn)行串行/并行變換。而且，第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56，每當(dāng)接收來自控制裝置51的第1噴出時(shí)刻信號(hào)LPa時(shí)，根據(jù)經(jīng)過串行/并行變換的第1噴出控制信號(hào)SIa，將波形數(shù)據(jù)WD產(chǎn)生的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，供給選擇的第1壓電元件PZa。就是說，第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56，每當(dāng)各第1射中位置Pa位于第1目標(biāo)位置Ta時(shí)，就向?qū)?yīng)的第1壓電元件PZa供給壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM。
第2臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路57，應(yīng)答來自控制裝置51的第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD，使驅(qū)動(dòng)第2頭組件Hb的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)39的第2轉(zhuǎn)動(dòng)電動(dòng)機(jī)MRb正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。另外，第2臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路57，應(yīng)答來自控制裝置51的第2傾動(dòng)數(shù)據(jù)DbD，使傾動(dòng)第2頭組件Hb的傾動(dòng)臺(tái)41的第2傾動(dòng)電動(dòng)機(jī)MDb正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。
第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58，與多個(gè)所述第2壓電元件PZb連接。第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58，被供給來自控制裝置51的波形數(shù)據(jù)WD、第2噴出控制信號(hào)SIb及第2噴出時(shí)刻信號(hào)LPb。第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58，接收來自控制裝置51的第2噴出控制信號(hào)SIb后，使該第2噴出控制信號(hào)SIb與各第2壓電元件PZb對(duì)應(yīng)，依次進(jìn)行串行/并行變換。而且，第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58，每當(dāng)接收來自控制裝置51的第2噴出時(shí)刻信號(hào)LPb時(shí)，根據(jù)經(jīng)過串行/并行變換的第2噴出控制信號(hào)SIb，將波形數(shù)據(jù)WD產(chǎn)生的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，供給選擇的第2壓電元件PZb。就是說，第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58，每當(dāng)各第2射中位置Pb位于第2目標(biāo)位置Tb時(shí)，就向?qū)?yīng)的第2壓電元件PZb供給壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM。
接著，講述使用上述的液滴噴出裝置30，形成取向膜27的方法。
首先，如圖3所示，將相對(duì)基板15放置到輸送臺(tái)33上。這時(shí)，輸送臺(tái)33配置在與滑動(dòng)架37相比，靠近反X箭頭方向的一側(cè)?；瑒?dòng)架37則配置在導(dǎo)向部件35的最反Y箭頭方向的一側(cè)。另外，各導(dǎo)向臺(tái)40及傾動(dòng)臺(tái)41，被分別配置在“初始位置”。
在該狀態(tài)下，操作輸入裝置52，將膜厚信息It輸入控制裝置51。于是，控制裝置51計(jì)算與膜厚信息It(目標(biāo)膜厚)對(duì)應(yīng)的輸送間距Wx及排列間距Wy、即第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb的位置坐標(biāo)。另外，控制裝置51根據(jù)第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb的位置坐標(biāo)，生成、存放第1描繪數(shù)據(jù)BMa及第2描繪數(shù)據(jù)BMb。另外，控制裝置51根據(jù)第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb的位置坐標(biāo)，生成、存放第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD、第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD、第1傾動(dòng)數(shù)據(jù)DaD及第2傾動(dòng)數(shù)據(jù)GbD， 存放各種數(shù)據(jù)后，控制裝置51通過第1臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路55及第2臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路57做媒介，配置移動(dòng)各導(dǎo)向臺(tái)40。就是說，控制裝置51根據(jù)第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD及第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD，分別將第1頭組件Ha及第2頭組件Hb的導(dǎo)向臺(tái)40，從“初始位置”配置移動(dòng)到“轉(zhuǎn)動(dòng)位置”。配置移動(dòng)各導(dǎo)向臺(tái)40后，控制裝置51通過第1臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路55及第2臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路57做媒介，配置移動(dòng)各傾動(dòng)臺(tái)41。就是說，控制裝置51根據(jù)第1傾動(dòng)數(shù)據(jù)DaD及第2傾動(dòng)數(shù)據(jù)DbD，分別將第1頭組件Ha及第2頭組件Hb的傾動(dòng)臺(tái)41，從“初始位置”配置移動(dòng)到“轉(zhuǎn)動(dòng)位置”。
配置移動(dòng)各導(dǎo)向臺(tái)40及各傾動(dòng)臺(tái)41后，控制裝置51驅(qū)動(dòng)控制Y軸電動(dòng)機(jī)MY，將相對(duì)基板15向X箭頭方向輸送時(shí)，配置移動(dòng)滑動(dòng)架37，以便使各第1射中位置Pa及各第2射中位置Pb分別位于對(duì)應(yīng)的第1目標(biāo)位置Ta及第2目標(biāo)位置Tb的路線上。
這樣，控制裝置51在從對(duì)應(yīng)的第1形成區(qū)域Sa的內(nèi)側(cè)朝著鄰接的第2形成區(qū)域Sb的一側(cè)，固定第1噴出方向Aa。另外，控制裝置51在從對(duì)應(yīng)的第2形成區(qū)域Sb的內(nèi)側(cè)朝著鄰接的第1形成區(qū)域Sa的一側(cè)，固定第2噴出方向Ab。
固定第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab后，控制裝置51驅(qū)動(dòng)控制X軸電動(dòng)機(jī)MX，開始向輸送臺(tái)33(相對(duì)基板15)的X箭頭方向進(jìn)行掃描。
這時(shí)，控制裝置51使波形數(shù)據(jù)WD和規(guī)定的時(shí)鐘脈沖信號(hào)同步，向第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56及第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58輸出。另外，控制裝置51使與相對(duì)基板15的掃描量對(duì)應(yīng)的第1描繪數(shù)據(jù)BMa及第2描繪數(shù)據(jù)BMb和規(guī)定的時(shí)鐘脈沖信號(hào)同步，分別生成第1噴出控制信號(hào)SIa及第2噴出控制信號(hào)SIb。進(jìn)而，控制裝置51將生成的第1噴出控制信號(hào)SIa及第2噴出控制信號(hào)SIb串行傳輸給第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56及第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58。
然后，控制裝置51根據(jù)基板位置信息SPI及滑動(dòng)架位置信息CPI，每當(dāng)?shù)?射中位置Pa位于對(duì)應(yīng)的第1目標(biāo)位置Ta上時(shí)，向第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56輸出第1噴出時(shí)刻信號(hào)LPa。另外，控制裝置51每當(dāng)?shù)?射中位置Pb位于對(duì)應(yīng)的第2目標(biāo)位置Tb上時(shí)，向第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58輸出第2噴出時(shí)刻信號(hào)LPb。
輸出第1噴出時(shí)刻信號(hào)LPa后，控制裝置51通過第1噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56做媒介，實(shí)行根據(jù)第1噴出控制信號(hào)SIa的液滴噴出動(dòng)作。
就是說，每當(dāng)?shù)?射中位置Pa位于對(duì)應(yīng)的第1目標(biāo)位置Ta上時(shí)，控制裝置51就向?qū)?yīng)的第1壓電元件PZa供給壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，使對(duì)應(yīng)的第1噴嘴Na噴出第1液滴Fa。噴出的各第1液滴Fa，分別向著第1噴出方向Aa飛行，依次射中對(duì)應(yīng)的第1目標(biāo)位置Ta。射中的各第1液滴Fa，分別沿著合成第1噴出切線速度Vfa和第1輸送切線速度Via的第1切線速度Va的方向流動(dòng)。這樣，朝著抵抗其表面張力的方向、即朝著從第1形成區(qū)域Sa向第2形成區(qū)域Sb的方向流動(dòng)。這樣，能夠在第1形成區(qū)域Sa形成由第1液滴Fa構(gòu)成的第1液態(tài)膜LFa，能夠在第2形成區(qū)域Sb一側(cè)的外緣，抑制表面張力引起的流動(dòng)(膜厚降低)。而且，第1切線速度Va引起的流動(dòng)，還能夠在第1液態(tài)膜LFa的第2形成區(qū)域Sb的一側(cè)，使其膜厚均勻。
另外，輸出第2噴出時(shí)刻信號(hào)LPb后，控制裝置51通過第2噴出頭驅(qū)動(dòng)電路58做媒介，實(shí)行根據(jù)第2噴出控制信號(hào)SIb的液滴噴出動(dòng)作。
就是說，每當(dāng)?shù)?射中位置Pb位于對(duì)應(yīng)的第2目標(biāo)位置Tb上時(shí)，控制裝置51就向?qū)?yīng)的第2壓電元件PZb供給壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，使對(duì)應(yīng)的第2噴嘴Nb噴出第2液滴Fb。噴出的各第2液滴Fb，分別向著第2噴出方向Ab飛行，依次射中對(duì)應(yīng)的第2目標(biāo)位置Tb。射中的各第2液滴Fb，分別沿著合成第2噴出切線速度Vfb和第2輸送切線速度Vib的第2切線速度Vb的方向流動(dòng)，朝著抵抗其表面張力的方向、即朝著從第2形成區(qū)域Sb向第1形成區(qū)域Sa的方向流動(dòng)。這樣，能夠在第2形成區(qū)域Sb形成由第2液滴Fb構(gòu)成的第2液態(tài)膜LFb，能夠在第1形成區(qū)域Sa一側(cè)的外緣，抑制表面張力引起的流動(dòng)(膜厚降低)。而且，第2切線速度Vb引起的流動(dòng)，還能夠在第2液態(tài)膜LFb的第1形成區(qū)域Sa的一側(cè)，使其膜厚均勻。
然后，能夠在由第1液滴Fa構(gòu)成的第1液態(tài)膜LFa和由第2液滴Fb構(gòu)成的第2液態(tài)膜LFb的交界區(qū)域，使其膜厚均勻，能夠形成提高膜厚均勻性的取向膜27。
接著，列舉采用以上結(jié)構(gòu)的本實(shí)施方式的效果。
(1)采用上述實(shí)施方式后，向第1形成區(qū)域Sa噴出來自第1噴出方向Aa的第1液滴Fa，賦予射中的第1液滴Fa從第1形成區(qū)域Sa的內(nèi)側(cè)向外側(cè)(第2形成區(qū)域Sb的一側(cè))的速度成分。另外，向第2形成區(qū)域Sb噴出來自第2噴出方向Ab的第2液滴Fb，賦予射中的第2液滴Fb從第2形成區(qū)域Sb的內(nèi)側(cè)向外側(cè)(第1形成區(qū)域Sa的一側(cè))的速度成分。
而且，能夠賦予第1形成區(qū)域Sa的外緣——射到第2形成區(qū)域Sb的外緣的各第1液滴Fa，抵抗其表面張力的向外側(cè)的流動(dòng)。其結(jié)果，在第1液態(tài)膜LFa的第2形成區(qū)域Sb的一側(cè)，能夠提高其膜厚均勻性。另外，能夠賦予第2形成區(qū)域Sb的外緣——射到第1形成區(qū)域Sa的外緣的各第2液滴Fb，抵抗其表面張力的向外側(cè)的流動(dòng)。其結(jié)果，在第2液態(tài)膜LFb的第1形成區(qū)域Sa的一側(cè)，能夠提高其膜厚均勻性。這樣，能夠提高取向膜27的膜厚均勻性。
(2)而且，接合第1液態(tài)膜LFa和第2液態(tài)膜LFb后，形成取向膜27。這樣，能夠提高取向膜27的膜厚均勻性。
(3)采用上述實(shí)施方式后，分別賦予射中的第1液滴Fa及第2液滴Fb，沿著第1形成區(qū)域Sa及第2形成區(qū)域Sb的外緣(反X箭頭方向)的速度成分(第1輸送切線速度Via及第2輸送切線速度Vib)。這樣，能夠賦予射到第1形成區(qū)域Sa及第2形成區(qū)域Sb的外緣的第1液滴Fa及第2液滴Fb，沿著外緣流動(dòng)(的力)。其結(jié)果，由于使第1液滴Fa及第2液滴Fb沿著外緣流動(dòng)，所以能夠提高沿著外緣的膜厚的均勻性。進(jìn)而，能夠提高取向膜27的膜厚均勻性。
(4)采用上述實(shí)施方式后，根據(jù)與取向膜形成區(qū)域S對(duì)應(yīng)的目標(biāo)位置T，生成第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD、第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD、第1傾動(dòng)數(shù)據(jù)DaD及第2傾動(dòng)數(shù)據(jù)GbD。而且，根據(jù)這些第1轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RaD、第2轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)RbD、第1傾動(dòng)數(shù)據(jù)DaD及第2傾動(dòng)數(shù)據(jù)GbD，設(shè)定第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab。這樣，能夠分別賦予第1液滴Fa及第2液滴Fb的兩者，與取向膜形成區(qū)域S(第1取向膜形成區(qū)域Sa及第2取向膜形成區(qū)域Sb)對(duì)應(yīng)的第1切線速度Va及第2切線速度Vb。其結(jié)果，能夠更加切實(shí)地提高取向膜27的膜厚均勻性。
(5)采用上述實(shí)施方式后，從相對(duì)基板15的輸送方向(X箭頭方向)看，使第1噴出方向Aa和第2噴出方向Ab交叉。而且，通過相對(duì)基板15的一次掃描，能夠使第1液滴Fa和第2液滴Fb雙雙射中。其結(jié)果，能夠不影響取向膜27的生產(chǎn)效率地提高其膜厚均勻性。
另外，能夠使交界區(qū)域中的第1液滴Fa和第2液滴Fb射中時(shí)刻，大致相同。因此，能夠抑制第1液滴Fa和第2液滴Fb的干燥狀態(tài)的差異引起的膜厚變動(dòng)，能夠進(jìn)一步提高取向膜27的膜厚均勻性。
此外，上述實(shí)施方式，可以進(jìn)行如下變更。
·在上述實(shí)施方式中，接合第1液態(tài)膜LFa和第2液態(tài)膜LFb后形成取向膜27。但并不局限于此，既可以采用形成只由第1液態(tài)膜LFa構(gòu)成的圖案的結(jié)構(gòu)，或者還可以采用形成只由第2液態(tài)膜LFb構(gòu)成的圖案的結(jié)構(gòu)。這樣，至少對(duì)于由第1液態(tài)膜LFa構(gòu)成的圖案而言，能夠提高第1切線速度Va一側(cè)的外緣的膜厚均勻性?；蛘邔?duì)于由第2液態(tài)膜LFb構(gòu)成的圖案而言，能夠提高第2切線速度Vb一側(cè)的外緣的膜厚均勻性。
·在上述實(shí)施方式中，采用使來自第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)的第1液滴Fa(第2液滴Fb)射到整個(gè)第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)中的結(jié)構(gòu)。但并不局限于此，例如可以采用使來自第1噴出方向Aa(第2噴出方向Ab)的第1液滴Fa(第2液滴Fb)只射到第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)的外緣——其第2形成區(qū)域Sb一側(cè)(第1形成區(qū)域Sa一側(cè))的外緣中的結(jié)構(gòu)。
這樣，能夠只在第1液態(tài)膜LFa(第2液態(tài)膜LFb)的第2形成區(qū)域Sb(第1形成區(qū)域Sa)的一側(cè)的外緣，提高其膜厚均勻性，能夠保持其它的外緣的膜厚均勻性。
·或者也可以采用按照分別從第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)的內(nèi)側(cè)朝著外側(cè)的噴出方向，噴出向第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)的外緣噴出的所有的第1液滴Fa(第2液滴Fb)的結(jié)構(gòu)。這樣，能夠遍及第1形成區(qū)域Sa(第2形成區(qū)域Sb)的整個(gè)外緣，提高其膜厚均勻性。
·在上述實(shí)施方式中，從相對(duì)基板15的法線方向看，第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab具有輸送臺(tái)33的掃描方向的成分。但并不局限于此，也可以采用從相對(duì)基板15的法線方向看，第1噴出方向Aa及第2噴出方向Ab具有輸送臺(tái)33的反掃描方向的成分的結(jié)構(gòu)。
·在上述實(shí)施方式中，分別向第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb供給由共同的波形數(shù)據(jù)WD構(gòu)成的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，噴出規(guī)定容量的第1液滴Fa及第2液滴Fb。但并不局限于此，例如可以采用向第1壓電元件PZa及第2壓電元件PZb供給由不同的波形數(shù)據(jù)WD構(gòu)成的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，噴出不同重量的第1液滴Fa及第2液滴Fb的結(jié)構(gòu)。
·在上述實(shí)施方式中，采用分別只具備一個(gè)第1噴出頭42a及第2噴出頭42b的結(jié)構(gòu)。但并不局限于此，可以采用具備多個(gè)第1噴出頭42a或第2噴出頭42b的結(jié)構(gòu)。
·在上述實(shí)施方式中，采用分別只具備一列第1噴嘴Na及第2噴嘴Nb的結(jié)構(gòu)。但并不局限于此，可以采用具備多列第1噴嘴Na或第2噴嘴Nb的結(jié)構(gòu)。
·在上述實(shí)施方式中，將圖案具體化成液晶顯示裝置10的取向膜27。但并不局限于此，例如可以具體化成液晶顯示裝置10及利用由電子釋放元件釋放的電子產(chǎn)生的熒光物質(zhì)的發(fā)光的電場(chǎng)效應(yīng)型裝置(FED及SED)設(shè)置的各種薄膜、金屬布線、彩色濾色片等。就是說，只要是由射中的液滴形成的圖案就行。
·在上述實(shí)施方式中，將基板具體化成液晶顯示裝置10的相對(duì)基板15。但并不局限于此，也可以將基板具體化成硅基板、撓性基板或金屬基板等。
·在上述實(shí)施方式中，將電光學(xué)裝置具體化成液晶顯示裝置10。但并不局限于此，也可以將電光學(xué)裝置具體化成電致發(fā)光元件裝置。
權(quán)利要求
1.一種圖案形成方法，向基板的圖案形成區(qū)域噴出圖案形成材料的液滴后形成圖案，其特征在于從所述基板的法線方向看，以從所述圖案形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)朝著外側(cè)的噴出方向，將所述液滴噴向所述圖案形成區(qū)域的外緣。
2.如權(quán)利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于所述外緣，是鄰接的多個(gè)所述圖案形成區(qū)域的交界；從所述基板的法線方向看，以從所述圖案形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)向著所述交界的噴出方向，噴出所述液滴。
3.如權(quán)利要求2所述的圖案形成方法，其特征在于從所述基板的法線方向看，以具有沿著所述圖案形成區(qū)域的外緣的成分的所述噴出方向，噴出所述液滴。
4.一種液滴噴出裝置，向基板的圖案形成區(qū)域噴出圖案形成材料的液滴后形成圖案，其特征在于具備從所述基板的法線方向看，以從所述圖案形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)朝著外側(cè)的噴出方向，將所述液滴噴向所述圖案形成區(qū)域的外緣的液滴噴出頭。
5.如權(quán)利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于所述基板，具備鄰接的多個(gè)所述圖案形成區(qū)域；所述外緣，是鄰接的多個(gè)所述圖案形成區(qū)域的交界。
6.如權(quán)利要求4或5所述的液滴噴出裝置，其特征在于具備方向設(shè)定單元，該單元移動(dòng)所述液滴噴出頭，設(shè)定所述噴出方向。
7.如權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具備方向信息生成單元，該單元生成與所述圖案形成區(qū)域?qū)?yīng)的所述噴出方向有關(guān)的方向信息；和控制單元，該單元根據(jù)所述方向信息，驅(qū)動(dòng)控制所述方向設(shè)定單元。
8.如權(quán)利要求7所述的液滴噴出裝置，其特征在于具備多個(gè)所述液滴噴出頭，和與所述多個(gè)液滴噴出頭對(duì)應(yīng)的多個(gè)所述方向設(shè)定單元；所述方向信息生成單元，生成所述方向信息，以便使與所述多個(gè)液滴噴出頭對(duì)應(yīng)的各噴出方向，在所述基板側(cè)交叉。
9.如權(quán)利要求4～8任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于具備移動(dòng)單元，該單元使所述基板針對(duì)所述液滴噴出頭產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)，以便使所述噴出方向具有沿著所述圖案形成區(qū)域的外緣的成分。
10.一種電光學(xué)裝置，其特征在于具備由權(quán)利要求4～9任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置形成的圖案。
全文摘要
向第1形成區(qū)域(Sa)噴出來自第1噴出方向(Aa)的第1液滴(Fa)，賦予射中的第1液滴(Fa)從第1形成區(qū)域(Sa)的內(nèi)側(cè)向外側(cè)(第2形成區(qū)域(Sb)的一側(cè))的速度成分(第1切線速度(Va))。另外，向第2形成區(qū)域(Sb)噴出來自第2噴出方向(Ab)的第2液滴(Fb)，賦予射中的第2液滴(Fb)從第2形成區(qū)域(Sb)的內(nèi)側(cè)向外側(cè)(第1形成區(qū)域(Sa)的一側(cè))的速度成分(第2切線速度(Vb))。提供提高由液滴構(gòu)成的圖案的膜厚均勻性的圖案形成方法、液滴噴出裝置及電光學(xué)裝置。
文檔編號(hào)H01L51/00GK101024332SQ20071000585
公開日2007年8月29日 申請(qǐng)日期2007年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月22日
發(fā)明者巖田裕二 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社