專利名稱:光照射裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種可以照射均勻且高照度的大致平行光的光照射裝置。對照射對象物上的矩形照射區(qū)進行光照射的光照射裝置具備：多個發(fā)光元件，在基板上配置成正方格子狀或者三角格子狀并射出光；透鏡單元，具有多個將從發(fā)光元件射出的光形成為規(guī)定的發(fā)散角的光的第一透鏡；導光部件，將從透鏡單元射出的光混合并進行傳導；第二透鏡，將從導光部件射出的來自各發(fā)光元件的光分別形成為平行光；第三透鏡，以規(guī)定的倍率擴大從第二透鏡射出的光，并聚光在照射對象物上；孔徑光闌，具有以導光部件的光軸為中心的圓形開口，并配置于導光部件與第二透鏡之間或者第二透鏡與第三透鏡之間。
【專利說明】光照射裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種可以對照射對象物上的矩形照射區(qū)照射大致平行光的光照射裝置，特別涉及一種可以以均勻且高的照度照射照射對象物的光照射裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為搭載于液晶用周邊曝光裝置等的光源裝置(光照射裝置)，使用對照射對象物上的矩形照射區(qū)照射紫外線波長區(qū)域的大致平行光的光源裝置。這種光源裝置記載于例如專利文獻I中。
[0003]專利文獻I中記載的光源裝置具備搭載有發(fā)出紫外光的多個LED (Light EmittingD1de:發(fā)光二級管)的平面基板、將來自多個LED的照度不均勻的光束形成為平行光的一片非球面透鏡、以及將來自非球面透鏡的紫外光混合射出的四棱柱形透光性棒，將通過透光性棒成為均勻光的紫外光經(jīng)由聚光透鏡以及中繼透鏡等投影于玻璃基板上的矩形照射區(qū)，從而使照射區(qū)內(nèi)的抗蝕劑曝光。
[0004]在先技術(shù)文獻
[0005]專利文獻1:日本專利特開2007-041466號公報。
實用新型內(nèi)容
[0006]實用新型要解決的技術(shù)問題
[0007]根據(jù)專利文獻I中記載的光源裝置，由于來自多個LED的紫外光入射至透光性棒而被混合，所以能夠得到均勻且高照度的紫外光。然而，在專利文獻I記載的光源裝置中，由于是一種通過一片非球面透鏡使來自多個LED的紫外光形成為平行光并傳導至透光性棒的構(gòu)造，所以，如果不能準確地進行搭載有多個LED的基板、非球面透鏡以及透光性棒的對位，則存在不能獲得所希望的紫外光的問題。即，如果這些對位不能準確地進行，則會產(chǎn)生通過非球面透鏡的紫外光不能成為平行光，不能形成均勻的紫外光的問題以及來自多個LED的紫外光的一部分被屏蔽，不能獲得所希望的光照度的問題。
[0008]本實用新型是鑒于以上情況而完成的，其目的在于提供一種不需要進行光學部件的復(fù)雜的對位操作，就可以對照射對象物上的矩形照射區(qū)照射均勻且高照度的大致平行光的光照射裝置。
[0009]解決技術(shù)問題的技術(shù)方案
[0010]為達成上述目的，本實用新型的光照射裝置是一種對照射對象物上的矩形照射區(qū)照射光的光照射裝置，具備:多個發(fā)光元件，在基板上的矩形區(qū)域?qū)⒐廨S的方向一致地配置成正方格子狀或者三角格子狀，并射出光；透鏡單元，配置于各發(fā)光元件的光軸上，具有多個將從該發(fā)光元件射出的光形成為規(guī)定的發(fā)散角的光的第一透鏡；導光部件，將從透鏡單元射出的光混合并進行傳導；第二透鏡，具有與導光部件的光軸共同的光軸，將從導光部件射出的來自各發(fā)光元件的光分別形成為平行光；第三透鏡，具有與導光部件的光軸共同的光軸，以規(guī)定的倍率擴大從第二透鏡射出的光，并聚光在照射對象物上；孔徑光闌，具有以導光部件的光軸為中心的圓形開口，并配置于導光部件與第二透鏡之間或者第二透鏡與第三透鏡之間。
[0011]根據(jù)這種構(gòu)造，多個第一透鏡通過透鏡單元被一體地固定支撐，所以，無需進行各發(fā)光元件與各第一透鏡的位置調(diào)整(對準調(diào)整)。另外，多個第一透鏡通過透鏡單元被一體地固定支撐，所以，雖然存在發(fā)光元件與第一透鏡的光軸產(chǎn)生偏移，產(chǎn)生不同于設(shè)計值的不需要的光的情況，但不需要的光可以通過配置于光路中的孔徑光闌被去除。因此，無需進行光學部件的復(fù)雜的對位操作，可以對照射對象物上的矩形照射區(qū)照射均勻且高照度的大致平行光。
[0012]另外，第二透鏡可以由至少兩片透鏡構(gòu)成。
[0013]另外，第二透鏡可以由雙凸透鏡、平凸透鏡、彎月形透鏡或者這些透鏡組合構(gòu)成。
[0014]另外，第三透鏡可以由至少兩片透鏡構(gòu)成。
[0015]另外，第三透鏡可以由雙凸透鏡、平凸透鏡、彎月形透鏡或者這些透鏡組合構(gòu)成。
[0016]另外，優(yōu)選導光部件為具有與透鏡單元相對、且將來自多個發(fā)光元件的光全部收入的矩形入射面、以及與第二透鏡相對、且將從入射面入射的光向第二透鏡射出的矩形射出面的四棱柱形玻璃棒。
[0017]另外，優(yōu)選從第二透鏡射出的平行光為發(fā)散角為25°以下的光。
[0018]另外，優(yōu)選光為紫外線波長區(qū)域的光。
[0019]另外，多個發(fā)光元件可以由發(fā)出η種(η為2以上的整數(shù))不同波長的光的η種發(fā)光元件構(gòu)成。
[0020]另外，多個發(fā)光元件沿著與光軸的方向正交且彼此正交的第一方向與第二方向排列，從光軸的方向觀察時，各發(fā)光元件為具有正方形的外形的LED，可以配置成該外形的兩邊與所述第一方向平行。
[0021]另外，多個發(fā)光元件沿著與光軸的方向正交且彼此正交的第一方向與第二方向排列，從光軸的方向觀察時，各發(fā)光元件為具有正方形的外形的LED，可以配置成該外形的一個對角線與所述第一方向平行。
[0022]實用新型的效果
[0023]如上所述，根據(jù)本實用新型，能夠?qū)崿F(xiàn)不需要進行光學部件的復(fù)雜的對位操作，就可以對照射對象物上的矩形照射區(qū)照射均勻且高照度的大致平行光的光照射裝置。

【附圖說明】

[0024]圖1為表示本實用新型的實施方式涉及的光照射裝置的構(gòu)造的模式圖。
[0025]圖2為表示本實用新型的實施方式涉及的光照射裝置中具備的LED單元的構(gòu)造的圖。
[0026]圖3為表示本實用新型的實施方式涉及的光照射裝置中具備的LED元件的構(gòu)造的圖。
[0027]圖4為表示本實用新型的實施方式涉及的光照射裝置中具備的透鏡單元的構(gòu)造的圖。
[0028]圖5為表示本實用新型的實施方式涉及的光照射裝置中具備的玻璃棒的構(gòu)造的圖。
[0029]圖6為從本實用新型的實施方式涉及的光照射裝置中具備的玻璃棒射出的紫外光的光路圖。
[0030]圖7(a)?圖7(c)為表示從本實用新型的實施方式涉及的光照射裝置射出的紫外光在照射對象物W上的光量分布與光束角的分布的曲線圖。
[0031]圖8為表示本實用新型的變形例涉及的光照射裝置的LED單元的構(gòu)造的圖。
[0032]圖9為表示本實用新型的變形例涉及的光照射裝置的LED單元的構(gòu)造的圖。

【具體實施方式】
[0033]以下，參照附圖對本實用新型的實施方式加以詳細說明。此外，對圖中相同或者相當?shù)牟糠謽擞浵嗤姆?，不再重?fù)其說明。
[0034]圖1為表示本實用新型的實施方式涉及的光照射裝置100的構(gòu)造的模式圖。本實施方式的光照射裝置100為一種組裝于液晶用周邊曝光裝置等，并對照射對象物w(例如，玻璃基板上的抗蝕劑等)上的矩形照射區(qū)照射紫外線波長區(qū)域的大致平行光的裝置。
[0035]如圖1所示，光照射裝置100具有LED單元110、透鏡單元120、玻璃棒130 (導光部件)、聚光透鏡140 (第二透鏡)、孔徑光闌150、中繼透鏡160 (第三透鏡)、以及容納這些部件的圓筒狀殼體101。LED單元110、透鏡單元120、玻璃棒130、聚光透鏡140、孔徑光闌150、以及中繼透鏡160朝向照射對象物W，將光軸對齊地(即、在光軸AX上)依次配置。此夕卜，在本實施方式中，光照射裝置100的工作距離WD (從殼體101到照射對象物W的距離)被設(shè)定為125mm，從光照射裝置100射出的紫外線波長區(qū)域的光(以下，成為“紫外光”)在工作距離WD上聚光為均勻的光量分布(在后詳述)。此外，在本說明書中，將從光照射裝置100射出的紫外光的行進方向(即，平行于光軸AX的方向)設(shè)為Z軸方向，將與Z軸方向正交且相互正交的兩個方向定義為X軸方向以及Y軸方向來進行說明。
[0036]圖2為表示本實施方式的LED單元110的構(gòu)造的圖。如圖2所示，本實施方式的LED單元110具備大致正方形的基板112、以及在該基板112上的矩形區(qū)域112a內(nèi)、在Z軸方向上使光軸一致地配置的多個LED元件114 (發(fā)光元件)。本實施方式的LED元件114具有6.8mm(X軸方向長度)X6.8mm(Y軸方向長度)的矩形外形(圖3)，其兩邊為與X軸方向平行的方向，在矩形區(qū)域112a內(nèi)配置為6列(Y軸方向)X6個(X軸方向)的二維正方格子狀，并與基板112電連接。基板112為由玻璃環(huán)氧樹脂、陶瓷等構(gòu)成的電子電路基板，與未圖示的LED驅(qū)動電路連接，經(jīng)由基板112將來自LED驅(qū)動電路的驅(qū)動電流供給各LED元件 114。
[0037]圖3為表示本實施方式的LED元件114的構(gòu)造的圖。如圖3所示，本實施方式的LED元件114具備在其內(nèi)部配置成正方格子狀的4個LED芯片114a。當向各LED元件114供給驅(qū)動電流時，則各LED芯片114a以對應(yīng)于驅(qū)動電流的光量發(fā)光，從各LED元件114射出規(guī)定光量的紫外光。此外，在本實施方式中，各LED芯片114a被構(gòu)造成從LED驅(qū)動電路接受驅(qū)動電流的供給，并射出波長為365nm的紫外光。即，從基板112上的各LED元件114以規(guī)定光量射出波長為365nm的紫外光。
[0038]此外，以本實施方式的各LED元件114射出大致相同的光量的紫外光的方式調(diào)整供給至各LED元件114的驅(qū)動電流。另外，如圖2所示，在本實施方式中，LED元件114的X軸方向的節(jié)距PH、以及Y軸方向的節(jié)距PV都被設(shè)定為1mm左右。另外，本實施方式的LED單元110以基板112上的矩形區(qū)域112a的中心C與光軸AX大致一致的方式配置于殼體(未圖示)內(nèi)。
[0039]圖4為表示本實施方式的透鏡單元120的構(gòu)造的圖。如圖4所示，本實施方式的透鏡單元120具備底板122以及多個第一透鏡124。底板122為用于一體地固定支撐多個第一透鏡124的板狀部件，在底板122上設(shè)置有安裝有第一透鏡124的6列(Y軸方向)X6個(X軸方向)的圓形開口 122a，第一透鏡124嵌入并固定于各開口 122a。此外，作為將第一透鏡124固定于底板122的方法，可以應(yīng)用通過底板122和與底板122大致相同形狀的板(未圖示)夾持第一透鏡123的方法以及嵌合、壓接、粘合等方法。
[0040]第一透鏡124為將從LED元件114射出的紫外光形成為規(guī)定的發(fā)散角的紫外光的平凸透鏡，各第一透鏡124的光軸以與各LED元件114的光軸大致一致的方式調(diào)整位置并配置。進而，通過各第一透鏡124的紫外光朝后段玻璃棒130射出(圖1)。
[0041]如上所述，在本實施方式的透鏡單元120中，形成將多個第一透鏡124—體地固定支撐的構(gòu)造，不需要進行各LED元件114與各第一透鏡124的位置調(diào)整(對準調(diào)整)。即，只要僅僅進行LED單元110與透鏡單元120的位置調(diào)整，則各第一透鏡124的光軸與各LED元件114的光軸大致一致，因此，被構(gòu)造為各第一透鏡124能夠有效地(即，沒有浪費)收入來自各LED元件114的紫外光，并向后段的玻璃棒130射出。在此，為了各第一透鏡124的光軸與各LED元件114的光軸大致一致，需要在基板112上的規(guī)定位置準確配置各LED元件114，另外，也需要在底板122上的規(guī)定位置準確配置各第一透鏡124，而實際上，存在基板112、LED元件114、第一透鏡124、底板112的制造上的偏差以及組裝上的誤差，因此難以準確地使全部LED元件114的光軸和全部的第一透鏡124的光軸一致。于是，第一透鏡124的光軸與LED元件114的光軸不一致時(即，光軸傾斜、移位時)，通過第一透鏡124的紫外光不形成所希望的發(fā)散角，從透鏡單元120射出與規(guī)定的發(fā)散角的紫外光混合的、比規(guī)定的發(fā)散角更大的發(fā)散角的紫外光(以下，稱為“不需要的光”)。在此，在本實施方式中，在紫外光的光路中配置孔徑光闌150來解決涉及到的問題(在后詳述)。
[0042]如圖1所示，通過各第一透鏡124的紫外光射入后段玻璃棒130的入射面130a。圖5為表示本實施方式的玻璃棒130的構(gòu)造的圖。如圖5所示，玻璃棒130是由四棱柱形玻璃制成的導光部件，入射面130a形成于一個端面，出射面130b形成于另一端面。此外，本實施方式的玻璃棒130的尺寸為58mm (X軸方向)X 58mm (Y軸方向)X 250mm (Z軸方向)，被構(gòu)造成從透鏡單元120射出的全部紫外光都射入入射面130a。如上所述，入射至玻璃棒130的入射面130a的紫外光(S卩，從透鏡單元120射出的紫外光)具有規(guī)定的發(fā)散角，所以在玻璃棒130內(nèi)，各角度成分的紫外光分別一邊被反射(即，一邊被混合)一邊被傳導，從出射面130b射出均勻的光量分布的紫外光。此外，本實施方式的玻璃棒130為四棱柱形，因此入射至入射面130a的紫外光的發(fā)散角在出射面130b上也被維持，從出射面130b向著后段的聚光透鏡140、孔徑光闌150、中繼透鏡160射出規(guī)定的發(fā)散角的紫外光(S卩，具有與從透鏡單元120射出的紫外光大致相等的發(fā)散角的紫外光)。
[0043]圖6為從本實施方式的玻璃棒130的出射面130b射出的紫外光的光路圖。本實施方式的聚光透鏡140與中繼透鏡160為以規(guī)定的倍率擴大出射面130b的圖像并投影在照射對象物W上的投影光學系，如上所述，從本實施方式的玻璃棒130的出射面130b射出均勻的光量分布的紫外光，所以在照射對象物W上照射均勻的光量分布的紫外光。
[0044]如圖1以及圖6所示，聚光透鏡140為一種將從玻璃棒130入射的紫外光形成為大致平行光的透鏡。在本實施方式中，由一對雙凸透鏡141、142構(gòu)成，從玻璃棒130入射的紫外光通過一對雙凸透鏡141、142后，形成具有Z軸方向±14°以下的擴散角的紫外光。
[0045]從聚光透鏡140射出的紫外光通過孔徑光闌150后射入中繼透鏡160。本實施方式的孔徑光闌150為在中心具有直徑86mm的圓形開口的光闌，具有去除從聚光透鏡140射出的紫外光中不需要的光的功能。
[0046]如上所述，由于基板112、LED元件114、第一透鏡124、底板122的制造上的偏差和組裝上的誤差的影響，從透鏡單元120射出與規(guī)定的發(fā)散角的紫外光混合的、比規(guī)定的發(fā)散角大的發(fā)散角的紫外光(即，不需要的光)。該不需要的光也通過玻璃棒130、聚光透鏡140，但是不需要的光的發(fā)散角比規(guī)定的發(fā)散角大，因此，即使通過聚光透鏡140，也不能成為規(guī)定的(即，設(shè)計值)±14°以下的發(fā)散角。于是，如此一來，如果發(fā)散角大的不需要的光照射在照射對象物W上則會產(chǎn)生光量分布均勻性下降的問題。因此，在本實施方式中，構(gòu)成為通過在聚光透鏡140與中繼透鏡160之間配置孔徑光闌150去除不需要的光，從而在照射對象物W上能夠得到均勻的光量分布。即，在本實施方式中，通過配置孔徑光闌150，消除了基板112、LED元件114、第一透鏡124、底板122的制造上的偏差和組裝上的誤差的影響。因此，通過孔徑光闌150去除不需要的光，使得僅僅規(guī)定的發(fā)散角的紫外光(即，通過聚光透鏡140得到的具有Z軸方向±14°以下的發(fā)散角的紫外光)通過中繼透鏡160，并照射至照射對象物W上。
[0047]如圖1以及圖6所示，中繼透鏡160為以規(guī)定的倍率擴大通過孔徑光闌后入射的紫外光，并在照射對象物W上聚光的透鏡。在本實施方式中，由以凸面彼此相對的方式配置的一對平凸透鏡161、162構(gòu)成，通過孔徑光闌150后入射的紫外光通過一對平凸透鏡161、162后，在配置于工作距離WD上的照射對象物W上的矩形照射區(qū)內(nèi)聚光，均勻地照明該照射區(qū)。
[0048]圖7(a)?圖7(c)為通過模擬求得的使用本實施方式的光照射裝置100照明照射對象物W時的紫外光的光量分布以及光束角的分布的結(jié)果。圖7(a)為照射對象物W上的X軸方向的紫外光的光量分布，橫軸表示將光軸AX的位置設(shè)為Omm的X軸方向的位置，縱軸表示紫外光的強度(mW/cm2)。另外，圖7(b)為照射對象物W上的Y軸方向的紫外光的光量分布，橫軸表示將光軸AX的位置設(shè)為Omm的Y軸方向的位置，縱軸表示紫外光的強度(mW/cm2)。另外，圖7 (c)為射入照射對象物W的紫外光的光束角的分布，橫軸表示將光軸AX的方向(即，Z軸方向)設(shè)為0°時的紫外光的光束角度，縱軸為通過相對值表示各角度的度數(shù)的軸。如圖7(a)以及圖7(b)所示，可知配置于工作距離WD上的照射對象物W上的矩形照射區(qū)(±35mmX±35mm)內(nèi)被紫外光均勻照明。另外，如圖7(c)所示，可知在照射區(qū)內(nèi)僅照明±14°以內(nèi)的紫外光。
[0049]如上所述，在本實施方式的光照射裝置100中，采用通過透鏡單元120—體地固定支撐多個第一透鏡124的構(gòu)造，不需要進行各LED元件114與各第一透鏡124的位置調(diào)整(對準調(diào)整)。另外，通過在紫外光的光路中配置孔徑光闌150而去除通過采用這種構(gòu)造而產(chǎn)生的不需要的光。從而，根據(jù)本實施方式的構(gòu)造，不需要進行光學部件的復(fù)雜的對位操作，就可以對照射對象物W上的矩形照射區(qū)照射均勻且高照度的大致平行光。
[0050]以上為本實施方式的說明，但本實用新型并不局限于以上構(gòu)造，在本實用新型的技術(shù)思想范圍內(nèi)可以進行多種變形。
[0051]例如，在本實施方式中，雖然采用在聚光透鏡140與中繼透鏡160之間配置孔徑光闌150的構(gòu)造，但孔徑光闌150只要配置于紫外光的光路中即可，例如，可以配置于玻璃棒130與聚光透鏡140之間。
[0052]另外，本實施方式的聚光透鏡140采用由一對雙凸透鏡141、142構(gòu)成的構(gòu)造，但并不局限于這種構(gòu)造，例如，也可以由一對平凸透鏡、或者一對彎月形透鏡構(gòu)成。另外，聚光透鏡140可以由兩片以上的透鏡組合構(gòu)成，也可以由雙凸透鏡、平凸透鏡、彎月形透鏡或者這些透鏡組合構(gòu)成。
[0053]另外，本實施方式的中繼透鏡160采用由以凸面彼此相對的方式配置的一對平凸透鏡161、162構(gòu)成的構(gòu)造，但并不局限于這種構(gòu)造，一對平凸透鏡161、162可以配置成平面彼此相對，另外，也可以配置成兩個凸面或者兩個平面的方向一致。另外，中繼透鏡160可以由一對雙凸透鏡、或者一對彎月形透鏡構(gòu)成。另外，中繼透鏡160可以由兩片以上的透鏡組合構(gòu)成，也可以由雙凸透鏡、平凸透鏡、彎月形透鏡或者這些透鏡組合構(gòu)成。
[0054]另外，本實施方式的玻璃棒130作為呈現(xiàn)四棱柱形的形狀的部件進行說明，但只要能夠混合射入入射面130a的紫外光并導光即可，例如也可以應(yīng)用棱臺形狀的部件。
[0055]另外，在本實施方式中，雖然采用從玻璃棒130射出的紫外光通過聚光透鏡140被形成為具有Z軸方向±14°以下的發(fā)散角的紫外光的構(gòu)造，但并不局限于這種構(gòu)造，能夠根據(jù)照射對象物W的規(guī)格和求得的紫外光的規(guī)格適當改變。一般而言，可以認為如果是發(fā)散角為±25°以下的紫外光，則可以應(yīng)用于組裝有本實施方式的光照射裝置100的液晶用周邊曝光裝置等，但是為了在照射對象物W上照射均勻的光量分布的紫外光，希望通過聚光透鏡140的紫外光的發(fā)散角越小(即、希望越接近平行光)，優(yōu)選為±20°以下，更優(yōu)選為±15°以下的構(gòu)造。
[0056]另外，本實施方式的LED元件114形成為具備配置成正方格子狀的4個LED芯片114a，但并不局限于這種構(gòu)造，只要具備至少一個LED芯片即可。
[0057]另外，本實施方式的LED元件114采用射出波長為365nm的紫外光的部件，但并不局限于這種構(gòu)造，可以為射出其他波長(例如，波長385nm、波長405nm)的紫外光的部件，也可以組合波長不同的多種LED元件(即，混合多個波長)而構(gòu)成。
[0058]另外，本實施方式的LED單元110采用具備6列(Y軸方向)X6個(X軸方向)的配置成二維正方格子狀的36個LED元件114的構(gòu)造，但是只要均等配置于矩形區(qū)域112a內(nèi)即可，并不局限于36個的構(gòu)造。另外，LED元件114無需一定要配置成二維正方格子狀，例如，如圖8所示，也可以配置成三角格子狀。另外，在本實施方式中，LED元件114采用其兩邊在平行于X軸方向的方向上配置的部件，但是例如，如圖9所示，也可以LED元件114的一個對角線在平行于X軸方向的方向上配置。
[0059]此外，應(yīng)該認為此次公開的實施方式在所有方面僅是示例，而非限定的解釋。本實用新型的范圍并不由上述說明所體現(xiàn)，而是包含由權(quán)利要求書所示的、與權(quán)利要求等同的范圍以及范圍內(nèi)的全部變更。
[0060]符號說明
[0061]100 光照射裝置
[0062]101 殼體
[0063]110LED 單元
[0064]112基板
[0065]114LED 元件
[0066]114a LED 芯片
[0067]120透鏡單元
[0068]122底板
[0069]124第一透鏡
[0070]130玻璃棒
[0071]140聚光透鏡
[0072]141、142 雙凸透鏡
[0073]150孔徑光闌
[0074]160中繼透鏡
[0075]161、162 平凸透鏡。
【權(quán)利要求】
1.一種光照射裝置，對照射對象物上的矩形照射區(qū)照射光，其特征在于，具備: 多個發(fā)光元件，在基板上的矩形區(qū)域使光軸的方向一致地配置成正方格子狀或者三角格子狀，并射出所述光； 透鏡單元，配置在各發(fā)光元件的光軸上，具有多個將從該發(fā)光元件射出的光形成為規(guī)定的發(fā)散角的光的第一透鏡； 導光部件，將從所述透鏡單元射出的光混合并進行傳導； 第二透鏡，具有與所述導光部件的光軸共同的光軸，將從所述導光部件射出的來自所述各發(fā)光元件的光分別形成為平行光； 第三透鏡，具有與所述導光部件的光軸共同的光軸，以規(guī)定的倍率擴大從所述第二透鏡射出的光，并聚光在所述照射對象物上；以及 孔徑光闌，具有以所述導光部件的光軸為中心的圓形開口，并配置于所述導光部件與所述第二透鏡之間或者所述第二透鏡與所述第三透鏡之間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光照射裝置，其特征在于， 所述第二透鏡由至少兩片透鏡構(gòu)成。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光照射裝置，其特征在于， 所述第二透鏡由雙凸透鏡、平凸透鏡、彎月形透鏡或者這些透鏡組合構(gòu)成。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光照射裝置，其特征在于， 所述第三透鏡由至少兩片透鏡構(gòu)成。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光照射裝置，其特征在于， 所述第三透鏡由雙凸透鏡、平凸透鏡、彎月形透鏡或者這些透鏡組合構(gòu)成。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 所述導光部件是具有與所述透鏡單元相對且將來自所述多個發(fā)光元件的光全部收入的矩形入射面、以及與所述第二透鏡相對且將從所述入射面入射的光向所述第二透鏡射出的矩形射出面的四棱柱形的玻璃棒。7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 從所述第二透鏡射出的平行光是發(fā)散角為25°以下的光。8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 所述光是紫外線波長區(qū)域的光。9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 所述多個發(fā)光元件由發(fā)出η種不同波長的光的η種發(fā)光元件構(gòu)成，其中，η為2以上的整數(shù)。10.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 所述多個發(fā)光元件沿著與所述光軸的方向正交且彼此正交的第一方向與第二方向排列， 從所述光軸的方向觀察時，所述各發(fā)光元件是具有正方形的外形的LED，并配置成該外形的兩邊與所述第一方向平行。11.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 所述多個發(fā)光元件沿著與所述光軸的方向正交且彼此正交的第一方向與第二方向排列， 從所述光軸的方向觀察時，所述各發(fā)光元件是具有正方形的外形的LED，并配置成該外形的一個對角線與所述第一方向平行。
【文檔編號】F21V19-00GK204300754SQ201420732439
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