專利名稱:用于鈣蒸發(fā)過程的吸氣劑的制作方法
技術領域:
本發(fā)明涉及在真空管內,具體地說是在陰極射線管(CRT)內運行的系統(tǒng)內用于鈣蒸發(fā)過程的吸氣劑。
基于金屬蒸發(fā)過程的吸氣劑被稱為可蒸發(fā)吸氣劑。50年代就開始使用這些吸氣劑使電視機以及后來的計算機屏幕的陰極射線管保持真空,在本技術領域內,還將CRT稱為顯象管。在制造過程中,利用機械泵將CRT抽真空,然后進行密封;然而,陰極射線管的真空度迅速降低,這主要是因為陰極射線管的內部部件放氣。因此,在陰極射線管內必須采用吸氣材料,吸氣材料可以使氣體分子凝固,從而保持CRT工作所需的真空度。研究過程發(fā)現(xiàn)鋇可以用作吸氣材料。由于這種金屬的空氣反應性強,因此在所有制造過程均易出現(xiàn)問題,所以以對空氣穩(wěn)定的復合物BaAl4的形式使用鋇。在進行密封之前,將該復合物放入CRT內,然后,利用射頻(RF)在外部進行加熱使鋇蒸發(fā);蒸發(fā)鋇以薄膜形式凝固到陰極射線管的內壁,這就是除氣元素。由于鋇蒸發(fā)過程需要約1200℃的高溫,所以這種復合物粉末通常與鎳粉末混合在一起使用;當混合物的溫度達到850℃時,發(fā)生如下放熱反應
反應產(chǎn)生的熱量提高了系統(tǒng)溫度以致達到鋇蒸發(fā)過程所需的溫度。
使用鋇作為除氣元素,以及使用BaAl4作為鋇先驅物,這是在50多年以前確定的,并且它們已成為制造大量用作屏幕的CRT過程的基礎。
然而,使用鋇存在一些缺陷。
首先,與所有重金屬相同,它是有毒元素,因此,為了避免由于該元素在環(huán)境中的擴散引起的生態(tài)問題,在復合物BaAl4的所有生產(chǎn)過程以及在對CRT進行報廢處理時均應特別謹慎。
此外,在CRT內部,還有部分鋇被為了在顯象管內產(chǎn)生圖像使用的高能電子束擊中;在這些情況下,鋇、以及顯象管屏幕均發(fā)出眾所周知對人體有害的X射線。
論文“Barium,strontium and calcium as getters in electron tubes”ofJ.C.Turnbull,published on the Journal of Vacuum Science andTechnology,Vol.14,number1,of January/February1977,pages636-639對在顯象管內用鍶或鈣替代鋇的可能性進行了研究。在此研究中對蒸發(fā)鍶和鈣使用的先驅物是通過分別溶化含有40%Sr和60%Al的混合物和含有35%Ca和65%Al的混合物獲得的(所有百分數(shù)均是按重量計算的);對獲得的材料進行分析證明,在第一種情況下,結果材料是復合物SrAl4與游離Al的復合物,而在第二種情況下,結果材料是含有復合物CaAl2、CaAl4以及CaO而沒有游離Al的各相混合物。研究結果發(fā)現(xiàn),在利用鍶情況下,所獲得的氣體吸附特性可與鋇的氣體吸附特性相媲美,而鈣的結果卻較差;具體地說,該研究證明,利用相同重量的金屬,鍶薄膜的吸附能力(利用氧試驗過程估計)是鋇薄膜吸附能力的75%,而鈣薄膜的吸附能力僅是鋇薄膜吸附能力的四分之一。為了確認此結果,同樣是Turnbull在第3,952,226號美國專利中對使用基于鍶可蒸發(fā)吸氣劑的鋇替代物進行了說明,而沒有對采用類似基于鈣的吸氣劑的可能性進行討論。
此外,除了這些理論評估之外,全世界的CRT生產(chǎn)過程始終采用鋇作為唯一吸氣薄膜材料,并且使用其復合物BaAl4作為所述薄膜的先驅物。
本發(fā)明的目的是提供在真空管內,特別是在陰極射線管內運行的系統(tǒng)內的吸氣劑。
利用鈣蒸發(fā)過程吸氣劑可以實現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的這些目的,該鈣蒸發(fā)過程吸附劑包括按重量計算約含有39%至43%的鈣的鈣鋁復合物。根據(jù)本發(fā)明的吸氣劑優(yōu)先包括復合物CaAl2,按重量計算,復合物CaAl2約含有42.6%的鈣。
現(xiàn)在,將參考附圖對本發(fā)明進行說明,附圖包括
圖1示出根據(jù)本發(fā)明的第一種可蒸發(fā)吸氣劑的金屬蒸發(fā)特性和根據(jù)現(xiàn)有技術的金屬蒸發(fā)特性;圖2圖解示出作為通過蒸發(fā)根據(jù)本發(fā)明的第一種吸氣劑獲得的鈣薄膜的吸附量的函數(shù)的氣體吸附速度與作為通過蒸發(fā)根據(jù)現(xiàn)有技術的同樣金屬重量的吸氣劑獲得鋇薄膜的吸附量的函數(shù)的氣體吸附速度進行比較的情況;圖3和圖4示出根據(jù)本發(fā)明的另一種可蒸發(fā)吸氣劑的金屬蒸發(fā)特性。
與Turnblll在上述論文中研究的利用按重量計算的35%Ca和65%Al的復合物獲得的結果不同,本發(fā)明人發(fā)現(xiàn),利用按重量計算含有約39%至43%的鈣的鈣鋁混合物,所獲得的鈣薄膜的氣體吸附特性比具有同樣金屬重量的鋇薄膜獲得的氣體吸附特性高。按重量計算含有多于43%的鈣的混合物含有游離鈣,并且已經(jīng)證明,它在空氣中非常不穩(wěn)定,所產(chǎn)生的氧化鈣會影響吸氣劑正常工作;這些混合物會引起基于鈣的吸氣劑的生產(chǎn)、貯存以及運輸問題。從另一方面說,具有約少于39%鈣的混合物,在蒸發(fā)時會減少產(chǎn)生元素,而沒有其它優(yōu)勢。在根據(jù)本發(fā)明的鈣鋁復合物中,最優(yōu)先采用純復合物CaAl2,它的鈣含量最高,而不會產(chǎn)生上述說明的對空氣不穩(wěn)定問題。以下將特別參考使用此復合物的過程對本發(fā)明進行說明。
根據(jù)本發(fā)明的可蒸發(fā)吸氣劑可以是所謂“吸熱型”的,它僅含有復合物CaAl2。這樣定義這些吸氣劑是因為鋇蒸發(fā)過程所需的所有熱量通常均通過感應加熱過程由外界供給。
另一方面,還可以采用“放熱型”吸氣劑,其中鈣蒸發(fā)過程所需的部分熱量是通過吸氣劑中的CaAl2與另一種適當成分之間的放熱反應提供的。有意添加的成分可以是鎳,正如在公知的基于鋇的吸氣劑中那樣。另一方面,本發(fā)明人還發(fā)現(xiàn),在基于鈣吸氣劑情況下,還可以使用鈦。
使用鎳的放熱型吸氣劑的情況與使用鈦的吸氣劑的情況差別很大。
本發(fā)明人驚奇地發(fā)現(xiàn),利用CaAl2-Ni混合物,蒸發(fā)鈣的數(shù)量幾乎不依賴于通過射頻提供的能量,即使是在CRT生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的高溫使氣體氧化之后。此情況似乎可以與這些混合物的高反應性聯(lián)系在一起,一達到激發(fā)放熱反應所需的溫度,幾乎釋放出所含有的所有鈣。此特性可以大大簡化CRT的生產(chǎn)過程,這樣就不需要對感應加熱參數(shù)(例如向感應線圈提供的功率或總加熱時間)進行控制。然而,利用這些吸氣劑的鈣蒸發(fā)過程非常強烈,因此,優(yōu)先以小規(guī)格吸氣劑形式采用此混合物。
CaAl2-Ti混合物顯示出更有用的特性,與公知的基于鋇吸氣劑特性類似,鈣的產(chǎn)量依賴于電感加熱功率(影響蒸發(fā)開始時間)和總電感加熱時間。
還可以使用既含有鎳又含有鈦的吸氣劑,這樣會產(chǎn)生介于上述描述的兩種情況之間的中間特性。
吸熱型吸氣劑和放熱型吸氣劑均在金屬(通常是鋼)制成的容器中生產(chǎn)。容器是上開口型的,通常是矮圓柱形(在少量吸氣劑情況下)的,或者是大致具有長方形截面的環(huán)形槽。此容器的形狀實質上與鋇吸氣劑使用的容器的形狀相同;在第2,842,640號、第2,907,451號、第3,033,354號、第3,225,911號、第3,381,805號、第3,719,433號、第4,134,041號、第4,504,765號、第4,486,686號、第4,642,516號以及第4,961,040號美國專利中,披露了一些所述吸氣劑使用的可能形狀。
通過以化學計算比例溶化兩種金屬成分,可以容易地制備復合物CaAl2??梢栽谌魏我环N加熱爐(例如感應爐)上進行溶化,并且優(yōu)先在惰性氣體中(例如在氮氣中)進行溶化。
優(yōu)先以顆粒大小小于500μm的粉末形式使用復合物CaAl2,并且更優(yōu)先采用顆粒大小在50μm至250μm之間的粉末。
在放熱型吸氣劑情況下,優(yōu)先使用顆粒大小小于100μm的粉末形式的添加金屬,更優(yōu)先使用包括顆粒大小在約20μm至70μm之間的粉末形式的添加金屬,添加金屬可以是鎳或鈦或者是它們的混合物。對于顆粒大小大于100μm的粉末形式的鎳或鈦,減小了與CaAl2顆粒的接觸面積,降低了混合物的放熱效果,當顆粒大小小于20μm時,運輸起來就變得困難,并且對于鈦,還可能出現(xiàn)自燃。
CaAl2與添加金屬之間的重量比可以在寬廣限度內發(fā)生變化。具體地說,當采用鎳時,重量比CaAl2∶Ni可以在約20∶80與45∶55之間,并且優(yōu)先在38∶62與42∶58之間;當采用鈦時,重量比CaAl2∶Ti的比在約40∶60與75∶25之間,并且優(yōu)先在45∶55與50∶50之間。如果使用CaAl2的數(shù)量比指出的數(shù)量多,則使用添加金屬的量就少,以致幫助鈣蒸發(fā)的放熱反應僅產(chǎn)生少量熱量;相反,如果鎳或鈦的使用量大于指出的使用量,會導致吸氣劑可釋放的鈣的數(shù)量過分少。
此外,為了改進其某些性能,在根據(jù)本發(fā)明的吸氣劑中,還必須求助于與鋇可蒸發(fā)吸氣劑有關的現(xiàn)有技術內容。
例如,吸氣劑可以按重量計算(粉末混合物的)含有至多5%的復合物,該復合物是從氮化鐵、氮化鍺或氮化鐵與氮化鍺混合物中選擇的;由于在這些吸氣劑中,在進行鈣蒸發(fā)過程之前,立即釋放出氮氣,可以獲得具有更均勻厚度的更擴散的金屬模。例如,在第3,389,288號和第3,669,567號美國專利中披露的鋇蒸發(fā)過程氮化作用吸氣劑。
在放熱型吸氣劑和吸熱型吸氣劑兩種情況下,容器內的粉末包的自由表面可以具有徑向下降(從2個到8個,通常是4個),從而減少沿粉末包外圍方向的熱量傳輸,這樣就減少了在Ca蒸發(fā)過程中可能噴射固體顆粒的問題。關于所存在的問題以及利用徑向下降提供的解決方案的更詳細說明,請參考第5,118,988號美國專利。
此外,正如第3,558,962號美國專利和第EP-A-853328號歐洲專利申請所披露的那樣,為了提高粉末包電感加熱的一致性,可以在粉末包內,大致平行于容器底部添加斷續(xù)金屬元素。
最后,主要為了在上述熔結過程中防止吸氣劑接觸大氣,用保護膜覆蓋整個粉末包,或所述粉末包的某些成分。這些保護層通常是玻璃質的并且包括二氧化硼作為唯一成分或主要成分。例如,在第4,342,662號美國專利(披露利用按重量計算可能含有至多7%二氧化硅的硼復合物薄膜保護吸氣劑)以及第Hei-2-6185號日本專利(披露僅利用二氧化硼至少保護鎳)中對利用這些薄膜全部或部分保護用于鋇蒸發(fā)過程的吸氣劑進行了說明。
在以下實例中將進一步對本發(fā)明進行說明。這些非限制性實例說明了一些實施例,這些實施例用于向本技術領域內的熟練技術人員講述如何實現(xiàn)本發(fā)明,這些實施例還代表實現(xiàn)本發(fā)明的最佳方式。實例1通過在耐火坩堝(鋁與氧化鎂混合)內溶化42.6 g的鈣屑和57.4 g的鋁珠,制備100g CaAl2復合物。在感應爐內,在氮氣環(huán)境下進行此溶化過程。溶化物質凝固后,將鑄塊研磨成粉末并對粉末過篩,分離出顆粒大小小于210μm的顆粒。粉末X射線衍射法確認此材料為CaAl2。實例2將上述實例1所述的20g CaAl2與平均顆粒大小為40μm的80g鎳粉末混合。利用此混合物可以制備用于鈣蒸發(fā)過程的一組吸氣劑,各吸氣劑均可以采用外經(jīng)為20mm、槽寬為6mm的圓環(huán)槽形鋼制容器,通過利用對其施加約6,500kg/cm2壓力的有形沖床壓粉末,在各容器內裝1g混合物。各吸氣劑內的標稱鈣含量為85mg。實例3對根據(jù)實例2制備的5種吸氣劑進行鈣蒸發(fā)試驗。對各吸氣劑稱重,并將各吸氣劑放入玻璃器皿內,該玻璃器皿被抽真空,并利用位于該吸氣劑附近的線圈從外部對該玻璃器皿進行加熱??偧訜釙r間(T.T)即通過線圈施加熱量的時間,在所有試驗中,該時間均為30秒。反之,功率變化時,會改變蒸發(fā)過程的觸發(fā)時間(在本技術領域內,被定義為“開始時間”,S.T.)功率越高,對該吸氣劑加熱越快并且鈣蒸發(fā)過程開始得越快。在蒸發(fā)過程結束時,從器皿內取出該吸氣劑并進行稱重;根據(jù)蒸發(fā)前、后的重量差,來確定鈣蒸發(fā)量。用作為S.T.的函數(shù)的鈣產(chǎn)量來表示這5個試驗結果,它們示于表1并圖解示于圖1,其中縱坐標給出鈣產(chǎn)量,用相對于包含在初始吸氣劑內的總鈣含量的蒸發(fā)金屬的本發(fā)明表示,它是S.T.值的函數(shù);用園圈表示這些試驗獲得的數(shù)值,而線1表示利用最小二乘法計算的這些數(shù)值的內插值。表1
實例4在450℃溫度下,對空氣暴露1個小時后,對實例2中說明的9份吸氣劑進行鈣蒸發(fā)試驗。此處理過程模擬,在稱為“熔結”的CRT制造過程中,吸氣劑所經(jīng)受情況在此制造過程中,通過將玻璃溶化為軟熔融膏,將CRT的正面玻璃部分與背面玻璃部分密封在一起。在進行此處理期間,吸氣劑被部分氧化,這樣會在以下的蒸發(fā)過程中產(chǎn)生過量放熱問題。在450℃下進行處理之后,根據(jù)實例3所述的方法,對吸氣劑進行蒸發(fā)實驗。實驗結果列于表2并圖解示于圖1;在圖中,用方形表示實驗獲得的數(shù)值,而線2表示它們的內插值。表2
在圖1所示的圖中,為了進行比較,還示出根據(jù)現(xiàn)有技術吸氣劑繪制的、與鋇蒸發(fā)有關的兩條曲線;曲線3涉及未經(jīng)受熔結處理的吸氣劑的蒸發(fā)過程,而曲線4涉及經(jīng)受所述處理的吸氣劑的蒸發(fā)過程。實例5在此實例中,對由吸氣劑產(chǎn)生的鈣薄膜的氣體吸附特性進行評估。
將實例2制備的吸氣劑放入內部容積為8.35升的測量室內。將測量室抽真空并在用渦輪分子泵抽真空時以150℃的溫度對測量室進行消毒處理16個小時。在處理過程結束時,停止抽真空,并對鈣蒸發(fā)30秒的T.T.。然后,利用一氧化碳CO作為實驗氣體,開始進行氣體吸附實驗。相應數(shù)量的CO被引入測量室內;引入這樣多的CO量,以致測量室內的壓力達到8.8×10-3毫巴。利用電容壓力表,對因為鈣薄膜對CO的吸附作用引起的測量室內的壓力下降進行測量。當測量室內的壓力達到約1.33×10-4毫巴時,引入下一批CO。圖2圖解示出此吸附實驗的結果,圖2示出作為每克薄膜的CO吸附量Q的函數(shù)的每克鈣薄膜的吸附速率S。通過每次加入氣體后的頭4秒內測量的CO吸附速率的平均值,并通過根據(jù)在各種配料期間施加到樣品的總CO量,報告此數(shù)值,獲得圖2所示的曲線圖;將S作為被實驗時間(以秒為單位)除并被鈣薄膜的重量(以克,g為單位)除獲得的氣體量(以每升毫巴為單位,mbar×1)來測量;將Q作為被鈣薄膜的重量(以克為單位)除的氣體重量(以每升毫巴為單位)來測量。當初始抽真空速度降低到初始速度的1%時,認為薄膜的吸附能力已經(jīng)耗盡。在實驗結束時,計算鈣薄膜的總吸附能力。
重復此實驗以確認已獲得數(shù)據(jù)的復驗性;表3列出兩個實驗的結果。實例6(比較實驗)對Ba的標稱含量為150mg、包括由47%的BaAl4復合物和53%的Ni構成的570mg混合物,重復實例5的實驗。圖2中的曲線6示出此實驗結果。為了檢驗其復驗性,重復此實驗;這兩個實驗結果示于表3,其中列出了用于堿土金屬蒸發(fā)過程的復合物、被蒸發(fā)金屬的克數(shù)、CO的吸附總量以及特點薄膜能力(單位重量薄膜金屬的能力)。表3
實例7如實例1那樣制備的45g CaAl2粉末與平均顆粒大小為30μm的55g鈦粉末混合。利用此混合物可以制備用于鈣蒸發(fā)過程的一組吸氣劑,各吸氣劑均可以采用外經(jīng)為20mm、槽寬為6mm的圓環(huán)槽形鋼制容器,通過對沖床施加約18,000kg/cm2壓力,將具有500g CaAl2-Ti混合物的各種吸氣劑壓入該容器內。各吸氣劑的標稱鈣含量為96mg。實例8對一系列如實例7那樣制備的樣品重復進行實例3的實驗。每次實驗的T.T.值為30秒。圖3所示的曲線圖示出這些實驗結果。實例9對制備后,模擬吸氣劑在CRT生產(chǎn)線上處于“熔結”狀況、在450℃空氣中加熱處理1小時的一系列樣品重復實例8的實驗。圖4中的曲線圖示出這些實驗結果。
圖2和表3所示的結果證明,在成為可能之前,不管我們怎樣認為,但是通過對本發(fā)明的吸氣劑進行實驗,所獲得的鈣薄膜的每單位金屬重量的氣體吸附能力可與利用公知吸氣劑獲得的鋇薄膜的每單位金屬重量的氣體吸附能力媲美,甚至更高。
圖1進一步示出在對吸氣劑進行熔結處理和不對吸氣劑進行熔結處理的兩種情況下,作為相同S.T.、T.T.的函數(shù)的根據(jù)本發(fā)明的放熱型CaAl2-Ni吸氣劑產(chǎn)生的金屬與現(xiàn)有技術的基于鋇的吸氣劑產(chǎn)生的金屬。通過對圖1內的金屬產(chǎn)量曲線進行比較,可以得出結論·與現(xiàn)有技術的鋇吸氣劑不同,采用鎳作為添加金屬的本發(fā)明吸氣劑的金屬產(chǎn)量實質上與蒸發(fā)的開始時間無關,因此與通過感應線圈施加的功率無關,所以可以采用低功率。
·即使在熔結之后,根據(jù)本發(fā)明的吸氣劑的鈣產(chǎn)量實質上仍與S.T.無關。
根據(jù)這兩個特性,利用CaAl2-Ni,可以降低通過線圈提供的功率,但是必須對蒸發(fā)參數(shù)進行少量控制;事實上,利用鋇吸氣劑過程中,S.T.或T.T.(例如,因為在CRT制造過程中,對這些參數(shù)的控制出現(xiàn)錯誤)發(fā)生變化會引起蒸發(fā)鋇的數(shù)量顯著變化,因此具有不同的薄膜吸附特性,而利用根據(jù)本發(fā)明的吸氣劑,相同的S.T.或T.T.變化對金屬產(chǎn)量沒有影響。
最后,圖3和圖4示出CaAl2-Ni具有良好鈣釋放特性,在對非熔結吸氣劑施加高功率(低S.T.值)情況下,其鈣產(chǎn)量超過標稱鈣含量(96mg)的80%,而對于熔結吸氣劑,其鈣產(chǎn)量超過標稱鈣含量(96mg)的超過70%。
權利要求
1.一種用于鈣蒸發(fā)過程的吸氣劑,該吸氣劑包括按重量計算約含有39%至43鈣的鈣鋁復合物。
2.根據(jù)權利要求1所述的吸氣劑,其中鈣鋁復合物是CaAl2。
3.根據(jù)權利要求1所述的吸氣劑,形成上開口型的,通常是矮圓柱形(在少量吸氣劑情況下)的,或者是大致具有長方形截面的環(huán)形槽的容器。
4.根據(jù)權利要求3所述的吸氣劑,其中鈣鋁復合物是粉末形式的。
5.根據(jù)權利要求4所述的吸氣劑,其中鈣鋁復合物粉末的顆粒大小小于500μm。
6.根據(jù)權利要求5所述的吸氣劑,其中鈣鋁復合物粉末的顆粒大小在約50μm至250μm之間。
7.根據(jù)權利要求4所述的吸氣劑,在該吸氣劑內僅提供鈣鋁復合物。
8.根據(jù)權利要求4所述的吸氣劑,在該吸氣劑內鈣鋁復合物與鎳混合。
9.根據(jù)權利要求8所述的吸氣劑,其中鎳是粉末形式的,并且CaAl2-Ni混合物形成粉末包。
10.根據(jù)權利要求9所述的吸氣劑,其中鎳粉末的顆粒大小小于約100μm。
11.根據(jù)權利要求10所述的吸氣劑,其中鎳粉末的顆粒大小在約20μm至70μm之間。
12.根據(jù)權利要求8所述的吸氣劑,其中鈣鋁復合物與鎳之間的重量比在20∶80與45∶55之間。
13.根據(jù)權利要求12所述的吸氣劑,其中鈣鋁復合物與鎳之間的重量比在38∶62與42∶58之間。
14.根據(jù)權利要求8所述的吸氣劑,按重量計算包括至多4%的復合物,該復合物是從氮化鐵、氮化鍺或它們的混合物中選擇的。
15.根據(jù)權利要求9所述的吸氣劑,其中容器內粉末包的自由表面具有2個至8個徑向下降。
16.根據(jù)權利要求9所述的吸氣劑,其中在粉末包內存在尤其平行于容器底部的斷續(xù)金屬元素。
17.根據(jù)權利要求9所述的吸氣劑,其中至少有一種粉末被基于硼的保護膜覆蓋。
18.根據(jù)權利要求4所述的吸氣劑,在該吸氣劑內鈣鋁復合物與鈦混合。
19.根據(jù)權利要求18所述的吸氣劑,其中鈦是粉末形式的,并且CaAl2-Ti混合物形成粉末包。
20.根據(jù)權利要求19所述的吸氣劑,其中鈦顆粒大小小于約100μm。
21.根據(jù)權利要求20所述的吸氣劑,其中其中鈦顆粒大小在約20μm至70μm之間。
22.根據(jù)權利要求18所述的吸氣劑,其中鈣鋁復合物與鈦之間的重量比在40∶60與75∶25之間。
23.根據(jù)權利要求22所述的吸氣劑,其中鈣鋁復合物與鈦之間的重量比在45∶55與50∶50之間。
24.根據(jù)權利要求18所述的吸氣劑,按重量計算包括至多4%的復合物,該復合物是從氮化鐵、氮化鍺或它們的混合物中選擇的。
25.根據(jù)權利要求19所述的吸氣劑,其中容器內粉末包的自由表面具有2個至8個徑向下降。
26.根據(jù)權利要求19所述的吸氣劑,其中在粉末包內存在尤其平行于容器底部的斷續(xù)金屬元素。
27.根據(jù)權利要求19所述的吸氣劑,其中至少有一種粉末被基于硼的保護膜覆蓋。
全文摘要
本發(fā)明披露了基于使用復合物CaAl
文檔編號H01J7/18GK1357155SQ00809220
公開日2002年7月3日 申請日期2000年6月20日 優(yōu)先權日1999年6月24日
發(fā)明者科爾拉多·卡雷蒂, 魯卡·托亞, 克勞蒂奧·波非托 申請人:工程吸氣公司